JPH08229497A - 枚葉塗工方法およびカラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイコータを用いて枚葉塗工を行う場合に、
膜厚が均一な定常部の割合を大きくするとともに、塗工
開始部および塗工終了部における膜厚のばらつきを大幅
に低減できる枚葉塗工装置および塗工方法を得る。 【解決手段】 被塗工材９を塗工開始位置で一時的に停
止させて口金７の先端部にスリット１４の所望塗工幅全
幅にわたる塗料ビード１３を形成し、その後、被塗工材
９を定速で移動させることにより均一な膜厚の塗膜８を
形成し、塗工終了位置近傍において塗料を供給すること
なくスキージ塗工を行い、さらに口金７を通して余分な
塗料を吸引回収する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は枚葉塗工方法に関
し、さらに詳細にいえば精密塗工用のダイコータを用い
て枚葉塗工を行うための方法に関する。そして、液晶デ
ィスプレイ用のカラーフィルタを作成するために基板上
に塗膜を形成する場合のほか、例えばレジスト塗工等の
半導体製造分野、紫外線吸収層塗工等の光学フィルタ製
造分野等の液体状の塗料を枚葉方式で供給される被塗工
材の表面に薄く均一に塗工する場合に好適である。

【０００２】

【従来の技術】従来から、光学フィルタ用のプラスティ
ック基板や、液晶ディスプレイ用のガラス基板、カラー
フィルタ用のガラス基板などのように、塗工方向の長さ
が１ｍにも満たないような小さな基板に様々な塗料を薄
く、しかも均一に塗布することが強く要請されている。
工業的にこのような基板に塗膜を形成するためには、被
塗工材を１枚ずつコータに供給し、塗料を塗布し、乾燥
などの次工程に搬送する枚葉塗工方式を採用することに
なる。

【０００３】また、被塗工材に塗膜を形成するに当っ
て、スピンコータ、バーコータ、ロールコータが広く用
いられている。

【０００４】このうち、スピンコータを用いる方法は、
半導体ウエハのフォトレジスト塗布に広く用いられてい
る方法であり、回転する被塗工材の表面中央に塗料を滴
下することにより塗膜を形成することができる。そし
て、この方法により得られる塗膜は塗料の種類をこの方
法に適したものに設定することにより全範囲にわたって
膜厚をかなり精度よく均一化できる。しかし、所定の膜
厚の塗膜を得るための塗料の使用量が著しく多く、不経
済である。また、被塗工材のエッジ部、裏面に塗料が付
着したり、装置内に飛散した塗料がゲル化あるいは固形
化することがあり、工程の安定性、清浄性に欠けるの
で、塗工製品の品質低下の原因になってしまう。

【０００５】ロールコータを用いる方法は、ゴムロール
を介して塗料を被塗工材に転写する方法であり、長尺の
被塗工材、ロール状の巻きとられた被塗工材への塗工を
行うことができる。しかし、塗料がパンからアプリケー
ションロール、被塗工材へ順次送られる関係上、塗料が
空気に曝される時間が長く、ひいては、塗料の吸湿、酸
化による変質が起こり易いのみならず、異物の混入も発
生し易い。この結果、塗工製品の品質低下を招いてしま
う。

【０００６】バーコータを用いる方法は、ロッドに細い
ワイヤを巻いたバーを用いて被塗工材に塗料を塗布する
方法である。この方法では、ロッドに巻かれたワイヤが
被塗工材に接するため塗膜のスジが入り易いという不都
合がある。

【０００７】このような不都合を考慮して、近年に至っ
て、ダイコータを用いることが提案されている。そし
て、ダイコータをカラーフィルタの製造に応用する提案
が特開平５−１１１０５号公報、特開平５−１４２４０
７号公報、特開平６−３３９６５６号公報においてなさ
れている。

【０００８】ダイコータは、従来から厚膜塗工や、高粘
度塗料を連続塗布する用途に広く採用されており、ダイ
コータを用いて被塗工材に塗膜を形成する場合には、米
国特許第４，２３０，７９３号、米国特許第４，６９
６，８８５号、米国特許第２，７６１，７９１号に見ら
れるようにカーテンフロー法、押し出し法、ビード法な
どの塗工方法が知られる。中でも上記ビード法は、ダイ
コータの口金に設けられたスリットから塗料を吐出し
て、口金と一定の間隔を保って相対的に走行する被塗工
材との間に塗料ビードと呼ばれる塗料溜りを形成し、こ
の状態で被塗工材の走行に伴なって塗料を引き出して塗
膜を形成するそして、塗膜形成により消費される塗料と
同量の塗料をスリットから供給することにより塗膜を連
続的に形成するビード法を採用すれば、形成された塗膜
は膜厚の均一性をかなり高精度に達成できる。また、塗
料の無駄が殆どなく、また、スリットから吐出されるま
で塗料送液経路が密閉されているのであるから、塗料の
変質、異物の混入を防止でき、得られる塗膜の品質を高
く維持できる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、枚葉方式で供
給される被塗工材に対してダイコータによりビード法を
採用して塗膜を形成しようとすれば、被塗工材への塗工
が必然的に断続的になってしまうのであるから、塗料を
連続的に吐出しているか間欠的に吐出しているかに拘ら
ず、被塗工材の塗工開始位置、塗工終了位置で塗料ビー
ドが乱れ、あるいは塗料ビードが消滅する。そして、塗
工の全範囲にわたって塗工に適した安定な塗料ビードを
保持することが困難になり、塗料ビードが安定状態にな
るまでは均一な塗膜が得られなくなってしまう。

【００１０】このような不都合は短寸の被塗工材であっ
ても、長尺の被塗工材であっても同様に発生するのであ
るが、短寸の被塗工材の場合には、全長に対して均一な
膜厚の塗膜が得られる長さの割合が小さいのに対して、
長尺の被塗工材の場合にはこの割合が大きくなるので、
特公昭４３−２４１３３号公報に「ビードコーティング
では、断続した支持体では、安定したビードを保持する
ことが不可能なので連続した支持体にのみ応用でき
る。」とあるように、一般には長尺の被塗工材に対して
ダイコータによる塗工が行われていた。また、特開平５
−１１１０５号公報、特開平５−１４２４０７号公報の
何れにもこれら短寸の断続支持体に塗工する不都合やそ
れを解決する手段についての記載は見られない。また、
特開平６−３３９６５６号公報においても、塗料供給手
段に加圧圧送を採用したために原理的に不可避な送液の
時間的な遅れを補償するために予め見込んだ時間だけ塗
工に先立って加圧を開始する技術については述べられて
いるが、塗料ビードの形成や消滅を制御する方法や塗料
ビードの乱れを抑制することについては全く記載されて
いないのであるから、これらの技術を採用するといずれ
の場合にも被塗工材のうち有効活用することができない
長さの割合が大きい。従って被塗工材の無駄が著しく多
くなる。言い換えれば被塗工材の全長に対して均一な膜
厚の塗膜が得られる長さの割合が小さいのであるから被
塗工材に対する有効利用可能割合が小さい状態での使用
しかなされておらず、経済性、高精度薄膜塗工性、塗料
の密閉性というダイコータの特徴を有効活用することが
できない。

【００１１】公知の技術の中にはこれら塗工開始部に着
目した技術の開示も見られる。例えば連続した支持体へ
の塗布においても、特開平１−２１３６４１号公報に
は、塗布機にウエブを接近させる塗工開始時にビード前
後に印加する圧力を一時的に増減させることで不安定な
塗工先頭のビードの状態を安定化させることが述べられ
ているし、特開昭６３−１４８２５１号公報のように塗
料の吐出速度を一時的に大きくすることでビード形成を
促す方法が述べられている。また、短寸の枚葉基材に関
しても米国特許第４，９３８，９９４号には、パルスを
発生させて接続ビードを形成する方法が開示されてい
る。

【００１２】しかしながら、上記いずれの方法を採用し
ても、塗工方向の膜厚分布とこれにほぼ直交する方向で
ある幅方向の膜厚分布の両者を、塗工開始直後から均一
かつ安定に塗布できるように両立させることが困難であ
った。

【００１３】この発明は上記の問題点を解消すべくなさ
れたものであり、経済性、高精度薄膜塗工性、塗料の密
閉性というダイコータの特徴を損なうことなく、枚葉方
式で供給される被塗工材に対して、安定して均一な膜厚
の塗膜を形成することができる枚葉塗工方法を提供する
ことを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前述のビード法による均
一かつ安定した塗工に必要な塗料ビードの状態とは、塗
料ビードを塗料吐出装置と被塗工材の間に留めようとす
る力と、持ち去ろうとする力が、拮抗し丁度バランスの
とれた状態である。前者の力としてはメニスカスを形成
する表面張力などが考えられるし、後者の力としては被
塗工材の移動に伴なう剪断力が挙げられる。従って安定
状態にあるビードの形状は塗料の吐出速度、塗工速度、
口金仕様、クリアランスという塗工条件、粘度、比重、
表面張力などの塗料の物性、温度などの塗工環境などに
より一義的に決定するものであり、仮に外的要因などで
一時的にビードが乱れたとしても自己修復的に前記安定
状態を保もとうとする類のものである。

【００１５】このようにある定まった塗布状況下におい
ては均一安定塗工するための塗工条件は一義的に決定し
てしまうにも拘わらず工業的、経済的理由により更に高
速に更に薄膜に塗工したいという要請がある。このよう
な場合に米国特許第２，６８１，２９４号などに減圧室
などを設けてビードをウエブの走行方向と逆方向にビー
ドを吸引する技術が開示されているが、この技術は高速
化、薄膜化することにより前述の塗料ビードを持ち去ろ
うとする力が大きくなり、液体の表面張力などだけでは
これに抗しきれなくなったため、減圧により生じる力で
これを補強し、塗料ビードを保持できるように積極的に
ビードを安定化する技術であると理解できる。

【００１６】これらの解析を考慮し検討した結果出願人
らは、塗工開始直後から塗工方向及びこれに直交する方
向に均一安定な膜厚の塗膜を得るためには、塗工開始時
に吐出装置と被塗工材を相対的に停止させて塗料を吐出
し、スリット開口幅全域にわたる基板の濡れを確保し、
安定塗工状態の塗料ビードを形成するのに過不足のない
量の塗料を供給して、塗工開始に先立って塗料塗布装置
と被塗工材の間にその塗工条件下で一義的に決定する安
定塗工状態の塗料ビードとほぼ同じ形の塗料ビードを形
成して後に、被塗工材の移動を開始するとよいことを見
い出した。

【００１７】請求項１の枚葉塗工方法は、塗料供給装置
により塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出装置に塗
料を供給しつつ、被塗工材を保持するステージまたは塗
料吐出装置の少なくとも一方を相対的に移動させること
により、被塗工材表面に塗膜を形成する枚葉塗工方法で
あって、前記被塗工材表面への塗工開始に際して、被塗
工材の塗工開始位置を塗料吐出装置のスリット位置に対
応させるべく被塗工材を停止させるとともに、塗料供給
装置を動作させてスリットからの塗料の吐出を開始し、
スリット全幅において塗料ビードを形成した後に、ステ
ージまたは塗料吐出装置の少なくとも一方の相対的移動
を開始する方法である。

【００１８】請求項２の枚葉塗工方法は、塗料供給装置
により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出装置に
塗料を供給し、被塗工材をステージにより保持して搬送
することにより被塗工材上に塗膜を形成する枚葉塗工方
法であって、前記ステージを駆動して被塗工材を搬送
し、被塗工材の塗工開始位置を塗料吐出装置の下方に位
置させるべく被塗工材を停止させるとともに、塗料供給
装置を動作させて塗料吐出装置のスリットからの塗料の
吐出を開始し、塗料吐出装置の先端にスリット全幅にお
いて塗料ビードを形成した後に、ステージによる被塗工
材の搬送を開始する方法である。

【００１９】請求項３の枚葉塗工方法は、塗料吐出装置
の先端にスリット全幅にわたり安定塗工を行う際の塗料
ビードを形成するのに過不足ない塗料を供給して前記塗
料ビードを形成して後に、ステージによる被塗工材の搬
送を開始する方法である。

【００２０】塗料ビードを形成するのに過不足ない塗料
の量とは、口金のリップ下面と被塗工材で挟まれた空間
に塗料の表面張力などにより保持される量であるから、
その範囲は、図１に示した塗料吐出装置のフロントリッ
プ７１の下端面長をＬｆ（ｍｍ）、リアリップ７２の下
端面長をＬｒ（ｍｍ）、スリット１４先端開口部の開口
幅をｈ（ｍｍ）とし、塗料吐出装置７と被塗工材９の塗
工開始部との距離クリアランス１１をＣ（ｍｍ）、塗布
される塗膜の塗工方向に直交する方向の塗布幅をＷ（ｍ
ｍ）として、最大でも（Ｌｆ＋Ｌｒ＋ｈ）×Ｃ×Ｗを越
えず、最小でもｈ×Ｃ×Ｗを下回らないことが好まし
い。

【００２１】請求項４の枚葉塗工方法は、塗料吐出装置
と被塗工材との間隔が所定間隔になるように塗料吐出装
置を下降させた後、ステージを駆動して被塗工材を搬送
し、被塗工材の塗工開始位置を塗料吐出装置の下方に位
置させるべく被塗工材を停止させる方法である。

【００２２】請求項５の枚葉塗工方法は、ステージを駆
動して被塗工材を搬送し、被塗工材の塗工開始位置を塗
料吐出装置の下方に位置させるべく被塗工材を停止させ
た後、塗料吐出装置と被塗工材との間隔が所定間隔にな
るように塗料吐出装置を下降させる方法である。

【００２３】請求項６の枚葉塗工方法は、塗料供給装置
により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出装置に
塗料を供給し、被塗工材をステージにより吸着して搬送
することにより被塗工材上に塗膜を形成する枚葉塗工方
法であって、塗料を塗料吐出装置から吐出しつつステー
ジを駆動して被塗工材を搬送し、被塗工材が塗工終了位
置に到達した時点または塗工終了位置に到達する前の時
点で塗料の吐出を停止する方法である。

【００２４】請求項７の枚葉塗工方法は、被塗工材が塗
工終了位置に到達する前の時点で塗料の吐出を停止する
方法である。

【００２５】請求項８の枚葉塗工方法は、塗料供給装置
により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出装置に
塗料を供給し、被塗工材をステージにより保持して搬送
することにより被塗工材上に塗膜を形成する枚葉塗工方
法であって、塗料を塗料吐出装置から供給しつつステー
ジを移動させて被塗工材を搬送し、被塗工材が塗工終了
位置に到達した時点または塗工終了位置に到達する前の
時点で被塗工材に対する塗料の供給を停止し、次いで塗
料吐出装置の先端部に形成されている塗料ビードを塗料
吐出装置を通して吸引する方法である。

【００２６】請求項９の枚葉塗工方法は、塗料の供給を
停止して後、直ちに塗料吐出装置の先端部に形成されて
いる塗料ビードを塗料吐出装置を通して吸引する方法で
ある。

【００２７】請求項１０の枚葉塗工方法は、被塗工材が
塗工終了位置に位置する状態で、塗料吐出装置の先端部
に形成されている塗料ビードを塗料吐出装置を通して吸
引する方法である。

【００２８】請求項１１の枚葉塗工方法は、被塗工材が
塗工終了位置に到達する前の時点で被塗工材に対する塗
料の供給を停止し、次いで、塗料吐出装置の先端部に形
成されている塗料ビードを塗料吐出装置を通して吸引す
る方法である。

【００２９】請求項１２の枚葉塗工方法は、塗料供給装
置により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出装置
に塗料を供給し、被塗工材をステージにより保持して搬
送することにより被塗工材上に塗膜を形成する枚葉塗工
装置において、塗料を塗料吐出装置から供給しつつステ
ージを移動させて被塗工材を搬送し、被塗工材が塗工終
了位置に到達した時点または塗工終了位置に到達する前
の時点で被塗工材に対する塗料の供給を停止し、次いで
被塗工材が塗工終了位置に到達した時点または塗工終了
位置を通りすぎた後に塗料吐出装置を被塗工材から離す
べく塗料吐出装置を移動させる方法である。

【００３０】請求項１３の枚葉塗工方法は、塗料供給装
置により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出装置
に塗料を供給し、被塗工材をステージにより吸着して搬
送することにより被塗工材上に塗膜を形成する枚葉塗工
方法であって前記ステージを駆動して被塗工材を搬送
し、被塗工材の塗工開始位置を塗料吐出装置の下方に位
置させるべく、被塗工材を停止させるとともに、塗料供
給装置を動作させて塗料吐出装置のスリットからの塗料
の吐出を開始し、塗料吐出装置の先端にスリット全幅に
おいて塗料ビートを形成した後ステージによる被塗工材
へ搬送を開始し、塗料を塗料吐出装置から供給しつつス
テージを移動させて被塗工材を搬送し、被塗工材が塗工
終了位置に到達した時点または塗工終了位置に到達する
前の時点で被塗工材に対する塗料の供給を停止し、次い
で被塗工材が塗工終了位置に到達した時点または塗工終
了位置を通りすぎた後に、塗料吐出装置の先端部に形成
されている塗料ビードを塗料吐出装置を通して吸引する
方法である。

【００３１】請求項１４の枚葉塗工方法は、被塗工材が
塗工終了位置に到達する前の時点で被塗工材に対する塗
料の供給を停止し、次いで被塗工材が塗工終了位置に到
達した時点または塗工終了位置を通りすぎた後に、塗料
吐出装置を被塗工材から離すべく塗料吐出装置を移動さ
せる方法である。

【００３２】請求項１５の枚葉塗工方法は、塗料吐出装
置の先端部に形成されている塗料ビードを塗料吐出装置
のスリットを通して吸引し、次いで、空隙が生じたスリ
ット内に塗料を充填する方法である。

【００３３】請求項１６の枚葉塗工方法は、塗料吐出装
置のスリット先端開口部と被塗工材の間に塗工全幅にわ
たり形成されている塗料ビードを、被塗工材が塗工終了
位置に到達する前の時点で被塗工材に対する塗料の供給
を停止し、次いで被塗工材が塗工終了位置に到達した時
点または塗工終了位置を通りすぎた後に、塗料吐出装置
を通して吸引するすることにより、塗料ビードを消滅さ
せるのに過不足ない塗料を回収し被塗工材上に付着する
ことを防ぐ方法である。塗料ビードを消滅するのに過不
足ない塗料の量とは、口金のリップ下面と被塗工材で挟
まれた空間に塗料の表面張力などにより保持される塗料
ビードから塗工終了点までの塗膜に使用される塗料の体
積を減じたものであるから、その範囲は、図１に示した
塗料吐出装置のフロントリップ７１の下端面長をＬｆ
（ｍｍ）、リアリップ７２の下端面長をＬｒ（ｍｍ）、
スリット１４先端開口部の開口幅をｈ（ｍｍ）とし、塗
料吐出装置７と被塗工材９の塗工開始部との距離クリア
ランス１１をＣ（ｍｍ）、塗布される塗膜の塗工方向に
直交する方向の塗布幅をＷ（ｍｍ）とし、塗布される塗
膜（８）の膜厚をｄ（ｍｍ）として、最大でもＬｆ×Ｃ
×Ｗ＋（ｈ＋Ｌｒ）×（Ｃ−ｄ）×Ｗを越えないように
し、最小でもｈ×（Ｃ−ｄ）×Ｗを下回らないようにす
るのが好ましい。

【００３４】請求項１７の枚葉塗工方法は、被塗工材に
おける塗工開始位置および／または塗工終了位置を、被
塗工材の対応する端部から３ｍｍ以内の範囲に位置させ
る方法である。

【００３５】請求項１８の枚葉塗工方法は、塗料吐出装
置に塗料を供給する塗料供給装置としてピストン型ポン
プを採用する方法である。

【００３６】請求項１９の枚葉塗工方法は、塗料供給装
置としてシリンジ型ポンプを採用する方法である。

【００３７】請求項２０の枚葉塗工方法は、塗料吐出装
置の先端部に残留する塗料を、塗工終了後または塗工開
始前に拭き取る方法である。

【００３８】請求項２１の枚葉塗工方法は、塗工終了後
または塗工開始前に塗料供給装置を動作させて塗料吐出
装置から塗料の吐出を行い、スリット内に生じる可能性
のある空隙を塗料で充填するとともに、塗料吐出装置の
先端を塗料によって濡らしてのちに塗料吐出装置の先端
部に付着した余剰の塗料を拭き取り、塗料吐出装置のス
リットの先端を略均一とする方法である。

【００３９】請求項２２の枚葉塗工方法は、塗料吐出装
置の先端の塗料ビードに対し、被塗工材移動方向上流側
から正圧または負圧を印加する方法である請求項２３の
カラーフィルタの製造方法は、請求項１から請求項２１
の何れかの枚葉塗工方法を用いてカラーフィルタを製造
する方法である。

【００４０】請求項２４のカラーフィルタの製造方法
は、カラーフィルタ製造工程において、保護層、着色
層、樹脂遮光層、レジストの少なくとも１層を塗工する
方法である。

【００４１】請求項１の枚葉塗工方法であれば、塗料供
給装置により塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出装
置に塗料を供給しつつ、被塗工材を保持するステージま
たは塗料吐出装置の少なくとも一方を相対的に移動させ
ることにより、被塗工材表面に塗膜を形成するに当たっ
て、前記被塗工材表面への塗工開始に際して、被塗工材
の塗工開始位置を塗料吐出装置のスリット位置に対応さ
せるべく被塗工材を停止させるとともに、塗料供給装置
を動作させてスリット）からの塗料の吐出を開始し、ス
リット全幅において塗料ビードを形成した後に、ステー
ジまたは塗料吐出装置の少なくとも一方の相対的移動を
開始するのであるから、ステージまたは塗料吐出装置の
何れを移動させる場合であっても、塗料ビードの形成が
完全に達成される前に被塗工材を搬送する場合と比較し
て、塗工開始位置からかなり高い精度の塗膜を形成する
ことができる。したがって、塗膜の全長範囲に対して膜
厚がほぼ均一な塗膜範囲の割合を大きくすることができ
る。

【００４２】請求項２の枚葉塗工方法であれば、塗料供
給装置により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出
装置に塗料を供給し、被塗工材をステージにより保持し
て搬送することにより被塗工材上に塗膜を形成するに当
って、前記ステージを駆動して被塗工材を搬送し、被塗
工材の塗工開始位置を塗料吐出装置の下方に位置させる
べく被塗工材を停止させるとともに、塗料供給装置を動
作させて塗料吐出装置のスリットからの塗料の吐出を開
始し、塗料吐出装置の先端にスリット全幅において塗料
ビードを形成した後、ステージによる被塗工材の搬送を
開始するのであるから、塗料ビードの形成が完全に達成
される前に被塗工材を搬送する場合と比較して、塗工開
始位置からかなり高い精度の塗膜を形成することができ
る。したがって、塗膜の全長範囲に対して膜厚がほぼ均
一な塗膜範囲の割合を大きくすることができる。

【００４３】請求項３の枚葉塗工方法であれば、塗料吐
出装置の先端にスリット全幅にわたり安定塗工を行う際
の塗料ビードを形成するために必要な塗料を過不足なく
供給して塗料ビードを形成して後に、ステージによる被
塗工材の搬送を開始して塗工を開始するのであるから塗
工開始直後から薄膜や厚膜となることなく均一な塗膜を
得ることができる。

【００４４】請求項４の枚葉塗工方法であれば、塗料吐
出装置と被塗工材との間隔が所定間隔になるように塗料
吐出装置を下降させた後、ステージを駆動して被塗工材
を搬送し、被塗工材の塗工開始位置を塗料吐出装置の下
方に位置させるべく被塗工材を停止させるのであるか
ら、被塗工材の近傍での摺動動作がないために、欠陥の
原因たる降塵等のおそれがなく、異物混入のない良好な
塗膜を形成することができる。

【００４５】請求項５の枚葉塗工方法であれば、ステー
ジを駆動して被塗工材を搬送し、被塗工材の塗工開始位
置を塗料吐出装置の下方に位置させるべく被塗工材を停
止させた後、塗料吐出装置と被塗工材との間隔が所定間
隔になるように塗料吐出装置を下降させるのであるか
ら、塗工開始位置において確実かつ完全に塗料ビードを
形成することができ、塗工開始位置以降において膜厚が
ほぼ均一な塗膜を形成することができる。

【００４６】請求項６の枚葉塗工方法であれば、塗料供
給装置により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出
装置に塗料を供給し、被塗工材をステージにより保持し
て搬送することにより被塗工材上に塗膜を形成するに当
って、塗料を塗料吐出装置から吐出しつつステージを駆
動して被塗工材を搬送し、被塗工材が塗工終了位置に到
達した時点または塗工終了位置に到達する前の時点で塗
料の吐出を停止するのであるから、塗工終了位置近傍に
おいて塗膜の膜厚が大きくなってしまうという不都合を
防止することができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一
な塗膜を形成することができる。

【００４７】請求項７の枚葉塗工方法であれば、被塗工
材が塗工終了位置に到達する前の時点で塗料の吐出を停
止するのであるから、塗料ビード１３をある程度消費し
て後に塗工を終了するため、塗工終了位置近傍において
塗膜の膜厚が大きくなってしまうという不都合を防止す
ることができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜
を形成することができる。

【００４８】請求項８の枚葉塗工方法であれば、塗料供
給装置により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐出
装置に塗料を供給し、被塗工材をステージにより保持し
て搬送することにより被塗工材上に塗膜を形成するに当
って、塗料を塗料吐出装置から供給しつつステージを移
動させて被塗工材を搬送し、被塗工材が塗工終了位置に
到達した時点または塗工終了位置に到達する前の時点で
被塗工材に対する塗料の供給を停止し、次いで塗料吐出
装置の先端部に形成されている塗料ビードを塗料吐出装
置を通して吸引するのであるから、塗膜の終端位置にお
いて残留ビードによって膜厚が大きくなってしまうとい
う不都合を防止することができ、広範囲にわたって膜厚
がほぼ均一な塗膜を形成することができる。

【００４９】請求項９の枚葉塗工方法であれば、塗料供
給を停止して後直ちに、塗料吐出装置の先端部に形成さ
れている塗料ビードを塗料吐出装置を通して吸引するの
であるから、比較的広範囲にわたって塗料ビードを操作
することができ、塗膜の終端位置において残留ビードに
より膜厚が大きくなってしまうという不都合を防止する
ことができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を
形成することができる。 請求項１０の枚葉塗工方法で
あれば、被塗工材が塗工終了位置に位置する状態で、塗
料吐出装置の先端部に形成されている塗料ビードを塗料
吐出装置を通して吸引するのであるから、確実にビード
を回収してこれを消滅させることができるので、塗膜の
終端位置において残留ビードにより膜厚が大きくなって
しまうという不都合を防止することができ、広範囲にわ
たって膜厚がほぼ均一な塗膜を形成することができる。

【００５０】請求項１１の枚葉塗工方法であれば、被塗
工材が塗工終了位置に到達する前の時点で被塗工材に対
する塗料の供給を停止し、次いで、塗料吐出装置の先端
部に形成されている塗料ビードを塗料吐出装置を通して
吸引するのであるから、塗膜の終端位置において膜厚が
大きくなってしまうという不都合を防止することがで
き、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を形成する
ことができる。

【００５１】請求項１２の枚葉塗工方法であれば、塗料
供給装置により、塗料吐出用のスリットを有する塗料吐
出装置に塗料を供給し、被塗工材をステージにより保持
して搬送することにより被塗工材上に塗膜を形成するに
当って、塗料を塗料吐出装置から供給しつつステージを
移動させて被塗工材を搬送し、被塗工材が塗工終了位置
に到達した時点または塗工終了位置に到達する前の時点
で被塗工材に対する塗料の供給を停止し、次いで被塗工
材が塗工終了位置に到達した時点または塗工終了位置を
通りすぎた後に塗料吐出装置を被塗工材から離すべく塗
料吐出装置を移動させるのであるから、塗工終了点を確
実に制御することができる。

【００５２】請求項１３の枚葉塗工方法であれば、請求
項１の効果が得られるとともに塗料を塗料吐出装置から
供給しつつステージを移動させて被塗工材を搬送し、被
塗工材が塗工終了位置に到達した時点または塗工終了位
置に到達する前の時点で被塗工材に対する塗料の供給を
停止し、次いで塗料吐出装置の先端部に形成されている
塗料ビードを塗料吐出装置を通して吸引するのであるか
ら、塗膜の開始位置及び終端位置において膜厚が大きく
なってしまうという不都合を防止することができ、広範
囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を形成することがで
きる。

【００５３】請求項１４の枚葉塗工方法であれば、被塗
工材が塗工終了位置に到達する前の時点で被塗工材に対
する塗料の供給を停止し、次いで被塗工材が塗工終了位
置に到達した時点または塗工終了位置を通りすぎた後
に、塗料吐出装置を被塗工材から離すべく塗料吐出装置
を移動させるのであるから、塗料ビードにおける塗料の
量を少なくしてから塗料吐出装置を被塗工材から離れる
方向に移動させることになり、塗膜の終端位置において
膜厚が大きくなってしまうという不都合を防止すること
ができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を形成
することができるとともに塗工終了位置を確実に定める
ことができる。

【００５４】請求項１５の枚葉塗工方法であれば、塗料
吐出装置の先端部に形成されている塗料ビードを塗料吐
出装置のスリットを通して吸引し、次いで、空隙が生じ
たスリット内に塗料を充填するのであるから、次の塗工
のための動作を開始する時点においてスリットには空隙
が存在しない状態にでき、連続して良好な塗工を行わせ
ることができる。

【００５５】請求項１６の枚葉塗工方法であれば、塗料
吐出装置のスリット先端開口部と被塗工材の間に塗工全
幅にわたり形成されている塗料ビードを、被塗工材が塗
工終了位置に到達する前の時点で被塗工材に対する塗料
の供給を停止し、次いで被塗工材が塗工終了位置に到達
した時点または塗工終了位置を通りすぎた後に、塗料吐
出装置を通して吸引するすることにより塗料ビードを消
滅させるのに過不足ない塗料を回収するのであるから、
送液不足や過剰回収により薄膜化したり、塗料ビードを
形成していた塗料が被塗工材上に取り残されることによ
り厚膜化することを防ぐことができ塗工終了部分まで均
一な膜厚の良好な塗膜を得ることができる。

【００５６】請求項１７の枚葉塗工方法であれば、被塗
工材における塗工開始位置および／または塗工終了位置
を、被塗工材の対応する端部から３ｍｍ以内の範囲に位
置させるのであるから、被塗工材の有効活用領域を大き
くすることができる。

【００５７】請求項１８の枚葉塗工方法であれば、塗料
吐出装置に塗料を供給する塗料供給装置としてピストン
型ポンプを採用するのであるから、塗料の定量供給を高
精度化することができる。

【００５８】請求項１９の枚葉塗工方法であれば、塗料
供給装置としてシリンジ型ポンプを採用するのであるか
ら、塗料の定量供給を高精度化することができるととも
に、被塗工材上の塗料の吸引を特別の機構を付加するこ
となく達成することができる。

【００５９】請求項２０の枚葉塗工方法であれば、塗料
吐出装置の先端部に残留する塗料を、塗工終了後または
塗工開始前に拭き取るのであるから、残留塗料による悪
影（塗料の乾燥による悪影響、残留塗料により塗料吐出
装置先端部における塗料の量が不正確になることによる
悪影響など）を解消させることができ、連続して良好な
塗工を行なわせることができる。

【００６０】請求項２１の枚葉塗工方法であれば、塗工
終了後または塗工開始前に塗料供給装置を動作させて塗
料吐出装置から塗料の吐出を行い、スリット内に生じる
可能性のある空隙を塗料で充填するとともに、塗料吐出
装置の先端を塗料によって濡らしてのちに塗料吐出装置
の先端部に付着した余剰の塗料を拭き取るのであるか
ら、一枚一枚の枚葉被塗工材の塗工の直前に塗料吐出装
置のスリット先端部分の塗料の状態を初期化できるため
連続して均一で良好な塗膜が得られるとともに、塗料吐
出装置の先端スリットを塗料自身で潤滑して拭き取るの
であるから、不要の発塵を抑え、拭き取り装置の寿命を
延ばすことができる。

【００６１】請求項２２の枚葉塗工方法であれば、塗料
吐出装置の先端の塗料ビードに対し、被塗工材移動方向
上流側から正圧または負圧を印加するのであるから、常
圧では本来ビードバランスを保てない領域においても塗
料ビードを安定に保つことができるので均一な塗膜形成
できる膜厚範囲を拡げることができる。

【００６２】請求項２３のカラーフィルタの製造方法で
あれば、請求項１から請求項２１の何れかの枚葉塗工方
法を用いてカラーフィルタを製造するのであるから、著
しく高品質のカラーフィルタを安価に得ることができ
る。

【００６３】請求項２４のカラーフィルタの製造方法で
あれば、カラーフィルタ製造工程において、保護層、着
色層、樹脂遮光層、レジストの少なくとも１層を塗工す
るのであるから、該当する層を著しく高品質にすること
ができる。

【００６４】

【発明の実施の形態】以下、添付図面によってこの発明
の好ましい実施の形態を詳細に説明する。

【００６５】図２はこの発明の枚葉塗工方法が実施され
る塗工装置の一例を示す概略図である。この塗工装置
は、塗料タンク１から、開閉弁３、フィルタ６が設けら
れた第１管路２および切換え弁４を通して、シリンジポ
ンプに代表されるピストン型定量ポンプなどからなる定
量ポンプ５（塗料供給装置に相当する）に塗料を供給
し、この定量ポンプ５から切換え弁４および第２管路２
´を通して塗料吐出装置の口金７に塗料を供給する。こ
こで定量ポンプとは、上記シリンジポンプの他、ギヤポ
ンプ、ダイヤフラムポンプなどの容積式ポンプをいう。
また典型的な口金７はフロントリップ７１とリアリップ
７２とこれらフロントリップ７１およびリアリップ７２
間に形成されその開口部が塗料吐出口として規定された
スリット１４から成り、口金７に供給された塗料はスリ
ット１４を通して吐出される。また口金７の先端に近接
する状態でステージ１０により被塗工材９を走行させる
ことにより、口金７と被塗工材９の間にスリット１４を
通して吐出される塗料で塗料ビード１３を形成し、この
状態で被塗工材の走行に伴なって塗料を引き出して塗膜
を形成するそして、塗膜形成により消費される塗料と同
量の塗料をスリットから供給することにより所定厚みの
塗膜８を形成する。なお、開閉弁３、フィルタ６は省略
することが可能であり、定量ポンプ５の種類によっては
切換え弁４を省略することも可能である。

【００６６】上記の構成の塗工装置において、塗料吐出
の即応答性を確保するためには、塗料配管系のシール性
を十分に確保することが必要である。塗膜８の膜厚は特
に限定されるものではないが、塗布後・乾燥前の膜厚が
１〜５００μｍの範囲の薄膜塗工に特に有利に用いられ
る。塗膜８の膜厚が１μｍ未満の場合には、口金７の加
工精度や被塗工材９の膜厚精度の制約から均一性の高い
塗膜８を得ることが難しく、５００μｍを越える場合に
も当然応用できるが、本発明の有効性が特に発揮される
塗工ではない。

【００６７】塗膜８の均一性は図３に拡大して示す口金
７のスリット間隙１２や、口金７と被塗工材９との間隙
であるクリアランス１１を調節することにより制御す
る。本発明において口金の形状、スリット間隙１２やク
リアランス１１は特に限定されるものではないが、例え
ば二つのリップをお互いに向かい合うように張り合わせ
て成る口金を用いる場合は、ステージの移動方向に沿っ
たリップ下面の長さが、フロントリップで０．５ｍｍ以
下、リアリップで１〜４ｍｍのものを用いることが薄膜
到達度や塗工の安定性からは好ましい。スリット間隙１
２は、１０〜５００μｍの範囲に設定することが好まし
い。なぜならば、１０μｍ未満のスリット間隙１２を精
度よく保つように口金７を加工するのは困難であり、間
隙のばらつきやうねりの影響が著しく大きくなるからで
ある。また、スリット間隙１２が５００μｍを越える場
合には、スリット間隙１２での均一な塗料の流れを実現
するのが難しく渡り方向の塗料吐出量にばらつきを生
じ、この結果均一な塗膜を得ることが困難になるからで
ある。さらに、クリアランス１１は１０μｍ〜１ｍｍの
範囲に設定することが好ましい。なぜならば、１０μｍ
未満のクリアランス１１を精度よく保つようにするの
は、装置や被塗工材９の加工精度の制約などから難しい
からである。またクリアランス１１が１ｍｍを越える場
合には、塗料ビード１３を安定に保つことが困難だから
である。また、塗料ビード１３を安定して形成し、均一
性の高い塗膜８を得るためには、クリアランス１１を塗
膜膜厚のおよそ１．５〜数十倍程度に精度よく保持する
ことが好ましい。また、与圧室１５などを設けて塗料ビ
ード１３のステージ搬送逆方向上流側面の圧力を加減圧
し、安定した塗料ビード１３形成を促すようにしてもよ
い。

【００６８】次いで、図４に示すタイムチャートを参照
しながら枚葉塗工方法を説明する。ただし、図４中Ａが
ステージ走行のタイムチャートを示し、上側が順走行
を、下側が逆走行をそれぞれ示している。Ｂは被塗工材
の吸着動作を示している。Ｃはステージ１０に設けたリ
フトピン（図示せず）の動作を示している。Ｄは口金７
の減圧動作を示している。Ｅは口金７の拭き取り動作を
示している。Ｆは口金７の昇降を示している。Ｇは切換
え弁４の動作を示し、上側が口金側への切換えを、下側
が塗料タンク側への切換えをれぞれ示している。Ｈは定
量ポンプ５の動作を示し、上側が吐出動作を、下側が吸
引動作をそれぞれ示している。Ｉは一連の動作を概略的
に説明する図である。なお、特には図示していないが、
ステージ１０の位置または被塗工材９の位置を検出する
センサを有している。このセンサは近接センサ、光電セ
ンサなどからなるセンサであってもよいが、ステージ駆
動用のモータの動作量を検出するエンコーダなどからな
るものであってもよい。

【００６９】先ず、塗工装置の各部の原点復帰を行った
後、切換え弁４を塗料タンク側に切換えるとともに、定
量ポンプ５による吸引動作を行う。そして、リフトピン
を上昇させた状態で図示しない移載機から被塗工材９を
受け取り、リフトピンを下降させて被塗工材９をステー
ジ１０上の所定位置に納め、さらに被塗工材９を真空吸
引することにより被塗工材９をステージ１０上に固定す
る。なお、被塗工材９のステージ１０上への固定（保
持）手段としては、上記真空吸引の他、リンク機構を応
用したレバーによる挾み込みや、吸盤、粘着シート等に
よる保持手段を用いてもよく、この様な手段も本発明で
いう「保持」に含まれる。

【００７０】そして、塗料タンク１から定量ポンプ５に
所定量の塗料が吸引された後に、切換え弁４を口金側に
切換えるとともに、ステージ１０を順走行させて被塗工
材９を口金７の直下まで移動させ、ステージ１０の順走
行を停止させる。次いで、口金７を下降させ、リニアセ
ンサやコッタ等の位置決め機構により所定のクリアラン
ス１１を確保する。ただし、口金７を下降させた後に被
塗工材９を移動させるようにしてもよい。そして、クリ
アランス１１の確保と実質的に同時に定量ポンプ５を動
作させることにより塗料を口金７に供給して塗料の吐出
を開始し、塗料の吐出開始後、所定時間だけステージ１
０を停止状態に維持することにより、口金７と被塗工材
９との間に所定の渡り方向の全域にわたって濡れを確保
し定常塗工とほぼ同じ塗料ビード１３を形成させる。

【００７１】以上のようにして安定塗工に必要な塗料ビ
ード１３が形成された後に、ステージ１０を所定速度で
順走行させることにより塗工を開始する。また、塗工開
始と実質的に同時に減圧室の気圧を所定圧力に保つこと
により減圧を行い、塗料ビード１３を安定化することも
できる。したがって、塗料ビード１３の安定化により塗
膜形成に消費される塗料と口金７のスリット１４から吐
出される塗料とが平衡し、塗工開始直後から、安定な塗
膜の形成を行うことができる定常塗工状態になる。

【００７２】一定の塗料の液溜まりである塗料ビードは
安定塗工を行うためには必要不可欠であるが、塗工の終
了時点で巧く消滅させてやらないとこの部分での厚膜化
を招いてしまう。そこで塗料ビードの消滅を積極的に制
御する手段として、被塗工材９が塗工終了位置よりも所
定距離だけ手前の位置に到達した時点で定量ポンプ５に
よる塗料の供給を停止することにより、塗料ビード１３
を消費しながらいわゆるスキージ塗工により塗膜を形成
する。ただし、被塗工材７が塗工終了位置に到達した時
点で塗料の供給を停止してもよい。そして、被塗工材９
が塗工終了位置に到達すれば、定量ポンプ５を反転動作
させることにより口金７のスリット１４を通して所定量
の塗料を吸引回収する。ただし、被塗工材７が塗工終了
位置に到達した時点で塗料の供給を停止する場合には、
被塗工材７を塗工終了位置で一旦停止させ、確実に塗料
ビードを回収してもよい。これらの動作の後に口金７を
上昇させて被塗工材９から遠ざけることにより塗工を終
了する。その後、塗料の吸引回収によりスリット１４に
形成されている可能性がある空隙を解消させるために定
量ポンプ５を動作させて塗料を吐出させる。ステージ１
０はその後も順走行を行って、被塗工材９を次工程に移
載するための所定位置まで搬送して停止し、真空吸着を
解除するとともに、リフトピンを上昇させて被塗工材９
を持ち上げ、その位置で被塗工材９を被塗工材移載機
（図示せず）に渡す。そして、同時に定量ポンプ５によ
る塗料の吐出および口金７の拭き取りを行って口金７の
先端部に残留する塗料を除去する。次いで、ステージ１
０を逆走行させ、次の被塗工材９を受け取るべく所定位
置まで復帰することにより一連の処理を終了し、次の被
塗工材９の塗工に備える。

【００７３】以上の一連の処理を行うことにより、塗工
開始部および塗工終了部における膜厚の定常塗工により
得られた定常部の膜厚に対するばらつきを大幅に抑制す
ることができる。また、塗料ビード１３が形成された後
にステージ１０を走行させて塗膜を形成するのであるか
ら、被塗工材９の端部から対応する定常塗膜膜厚部端部
までの距離を著しく小さくすることができ、被塗工材９
の全長範囲に対する有効活用塗膜形成範囲（定常部）の
割合を大きくすることができる。更にこれらの効果によ
り被塗工材９の内側に塗工開始点と終了点を設定できる
枚葉ダイコータの利点を最大限に活用することが可能と
なる。

【００７４】

【実施例および比較例】

実施例１ ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバインダーとし
て用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、塩臭
素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグリ
ーン３６）を混合・分散して得た重量固形分濃度８ｗｔ
％、粘度２５ｃＰｓの緑色着色塗膜形成用塗料を塗料と
して採用し、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×１．１ｍｍの無
アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気硝子（株）製）
を被塗工材９として採用し、スリット間隙１２を１００
μｍ、クリアランス１１を７５μｍに設定して塗工を行
った。定量ポンプ５としてはギアポンプを用いた。基板
搬送ステージ１０の駆動には高精度ステッピングモータ
を使用しシーケンサにより制御を行って実施した（図
５）。前述の着色塗膜形成用塗料を塗料タンク１に仕込
み予め口金７に至るまでの送液路内を塗料で満たした。
口金７のフロントリップ、リアリップのリップ下面長は
それぞれ０．５ｍｍ、３．５ｍｍのものを用いた。また
塗膜をガラス基板の両端２ｍｍの部分に形成させないた
めにスリット先端の吐出口の渡り方向の幅を３５６ｍｍ
とした。被塗工材を真空吸着することで被塗工材９を搬
送ステージ１０上に固定する。搬送ステージ１０を駆動
して被塗工材９を口金７の直下に移動せしめ停止させ
る。この時近接センサによりステージ１０が口金７直下
に至ったのを感知し、口金７を先述の所定のクリアラン
スを確保する位置にまで降下させるのと実質的に同時に
定量ポンプ５を駆動させて２８５μｌ／秒の割合で塗料
の吐出を開始し、０．３秒間だけ被塗工材を静止して口
金７と被塗工材９との間に３５６ｍｍの渡り方向全域に
渡るビードを形成せしめて後、再び搬送ステージ１０を
３ｍ／分で駆動させて被塗工材９を相対移動させること
で塗工を開始した。ほぼこの直後から塗膜形成に消費さ
れる塗料と口金スリット１４から供給する塗料とが平衡
することにより連続して安定な塗膜を形成することが可
能となる定常塗工状態となる。先と同様に近接センサに
より塗工終了位置よりも１０ｍｍ手前で定量ポンプ５の
駆動を止めた。一方ステージ１０が継続して移動を続け
るために、被塗工材９と口金７との間に形成された塗料
ビード１３を消費しながら所謂スキージ塗工により塗膜
を形成する。被塗工材が塗工終了位置に達したら、口金
７を上昇して被塗工材９より遠ざけることで塗工を終了
した。塗工開始点、終了点はそれぞれ基板端部より１ｍ
ｍ内側となるように塗工した。得られた塗工基板を乾燥
オーブン（図示せず）にて１２０℃で２０分乾燥して緑
色着色塗膜を得た。得られた塗膜の膜厚プロフィールを
図６に示す。塗膜は塗工開始位置から９ｍｍ及び塗工終
了から遡ること１０ｍｍを除いて定常部膜厚が得られ
た。また塗工開始部、塗工終了部のいずれの膜厚も定常
部の８７％から１３４％の範囲で良好であった。

【００７５】実施例２ 塗工開始点、終了点をそれぞれ被塗工材端部とし、定量
ポンプ５としてシリンジポンプを用い、近接センサによ
り塗工終了位置で定量ポンプ５の駆動とステージ１０の
駆動を止め、これと同時に被塗工材９と口金７との間に
形成された塗料ビード１３を定量ポンプ５を反転駆動さ
せることにより口金スリット１４を通じて８５．５μｌ
吸引回収し、しかる後に口金７を上昇して被塗工材９よ
り遠ざけることで塗工を終了し、ステージ１０を再起動
する事を除いては、実施例１と同様にして緑色着色塗膜
を得た。得られた塗膜は図７に示すように塗工開始部か
ら終了部まで膜切れや欠落を起すことなく所望の領域全
てにわたって良好に形成されており、この塗膜の膜厚プ
ロフィールを図８に示す。塗膜は塗工開始位置から９ｍ
ｍ及び塗工終了位置から遡ること９ｍｍを除いて定常部
膜厚が得られた。また、塗工開始部、塗工終了部のいず
れの膜厚も定常部の８８％から１０８％の範囲であっ
た。

【００７６】実施例３ 実施例と同様に、ただしその塗工終了位置で近接センサ
により塗工終了位置よりも５ｍｍ手前でシリンジポンプ
５の駆動を止め、一方ステージ１０が継続して移動を続
けるために被塗工材９と口金７との間に形成された塗料
ビード１３を消費しながら所謂スキージ塗工により塗膜
を形成し、近接センサにより塗工終了位置で定量ポンプ
５の駆動を止め、これと同時に被塗工材９と口金７との
間に形成された塗料ビード１３を定量ポンプ５を反転駆
動させることにより口金スリット１４を通じて１４０μ
ｌ／秒の速度で３５μｌ吸引回収し、口金７を上昇して
被塗工材９より遠ざけることで塗工を終了することを除
いては、実施例２と同様にして緑色着色塗膜を得た。得
られた塗膜の膜厚プロフィールを図９に示す。塗膜は塗
工開始位置から５ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること７
ｍｍを除いて定常部膜厚が得られた。また塗工開始部、
塗工終了部のいずれの膜厚も定常部の９２％から１０７
％の範囲で良好であった。

【００７７】比較例１ この比較例においては、口金の上下動作、ステージの順
走行途中における停止動作を全く行なわず、スキージ塗
工を行なわず、塗料ビードにおける塗料の吸引回収を行
なわないほかは、上記実施例１と同様にして、被塗工材
上に塗膜を形成した。この比較例１により得られた塗膜
の典型的な膜厚プロフィールを図１０に示す。図１１に
示すように塗工開始位置から１２２ｍｍでは全幅にわた
る塗膜は形成されず、未塗工部が残った。塗工開始位置
から１８０ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること４０ｍｍ
を除いて定常部膜厚が得られた。また塗工終了部では定
常部膜厚の３００％を越える点があった。

【００７８】比較例２ この比較例においては、塗工開始点でのステージの順走
行途中における停止動作を全く行なわず、これに替えて
被塗工材が口金の直下を通過するのと実質的に同時に、
塗料吐出を行う方向を正として塗料の送りに正の瞬間的
な脈動（パルス）を発生させること、また塗工終了点で
スキージ塗工を行なわず、塗料の送りに負の脈動（パル
ス）を発生させることのほかは、上記実施例１と同様に
して、被塗工材上に塗膜を形成した（図１２）。この比
較例２により得られた塗膜の典型的な膜厚プロフィール
を図１３に示す。塗工開始位置から２８ｍｍ及び塗工終
了位置から遡ること２０ｍｍを除いて定常部膜厚が得ら
れた。特に塗工開始部に見られる膜厚の一時的な落ち込
みは塗料ビード再形成のためであると考えられ吐出速度
や搬送速度を変えても同じ傾向が見られた。

【００７９】比較例３ この比較例においては、塗工開始点でのステージの順走
行途中における停止動作を全く行なわず、被塗工材が口
金の直下を通過するよりも以前に定量ポンプによる塗料
の吐出を開始すること、また塗工終了点でスキージ塗工
を行なわず、塗料ビードにおける塗料の吸引回収を行な
わないほかは、上記実施例１と同様にして、被塗工材上
に塗膜を形成した（図１４）。図１５に示すように塗工
開始位置から８ｍｍでは全幅にわたる塗膜は形成されず
未塗工部が残った。この比較例３により得られた塗膜の
典型的な膜厚プロフィールを図１６に示す。塗工開始位
置から３７ｍｍ及び塗工終了位置から遡ること２４ｍｍ
を除いて定常部膜厚が得られた。特に塗工開始部では塗
膜が全面に形成されなかった。これは被塗工材が口金の
直下を通過する前に口金下面には塗料が吐出されており
この塗料が自重によりいわゆる懸垂曲線状にリップ下面
に付着している様子などから、被塗工材と接触するとき
に渡り方向にわたって不均一な接触となるためであると
考えられる。そのため塗工開始直後から渡り方向全域に
渡って塗膜を確保するために、被塗工材が口金直下に到
着するまでに吐出する塗料の量を増やしてやると、塗工
開始直後から渡り方向全域に渡って塗膜形成が可能とな
ったが、この部分の膜厚は所望の膜厚に対して約３倍と
なり、基板の側面に塗料が付着し搬送ステージを汚染し
た。この方法によっては、塗工開始直後からの所望幅の
塗膜の確保とその厚膜化の防止が両立しない。

【００８０】実施例１〜３と比較例１〜３を比較すれ
ば、実施例１〜３の方が広範囲にわたる定常部を得るこ
とができており、しかも被塗工材の端部に著しく近接す
る位置から塗膜を形成できている。また実施例１〜３の
方が塗工開始位置、塗工終了位置における膜厚のばらつ
きも大幅に低減されている。

【００８１】実施例４ ステージの順走行途中における０．５秒間の停止動作の
後、搬送ステージ１０を駆動させて被塗工材９を相対移
動させることで塗工を開始すると同時に与圧室１５の気
圧を−１５ｍｍＡｑに保つことで塗料ビード１３の安定
化を図り、１４３μｌ／秒の割合で塗料の吐出により塗
工を行ない塗工終了と実質的に同時に与圧室１５の気圧
を常圧に戻したことを除いては、実施例１と全く同様に
して緑色着色塗膜を得た。定常部膜厚０．９μｍの均一
塗膜が得られた。

【００８２】比較例４ この比較例においては、与圧室１５の気圧調整を行なわ
ないほかは、上記実施例４と同様にして、被塗工材上に
塗膜を形成した。この比較例により得られた塗膜は、図
１７に示すように所々に膜が形成されない所謂膜切れを
生じ、またその形成された塗膜も膜厚分布の不均一なも
のであった。これは比較例４の塗工条件が、得られる塗
膜の膜厚が薄膜設定でありすぎるために前述の塗料ビー
ドを持ち去ろうとする力が大きくなり、液体の表面張力
などだけではこれに抗しきれなくなったため、塗料ビー
ドを保持できなくなったため膜切れを起すと考えられ
る。実施例４と比較例４を比較すれば、塗料ビードを減
圧により生じる力で制御することにより比較例４で示さ
れているような常法では膜切れを起こしてしまうような
より薄い膜厚の塗膜を均一に塗工できている。

【００８３】実施例５ ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバインダーとし
て用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、フタ
ロシアニンブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：
４）をジオキサジンバイオレット（Ｃ．Ｉ．ピグメント
バイオレット２３）を加え分散して重量固形分濃度７ｗ
ｔ％、粘度２０ｃＰｓの青色着色塗膜形成用塗料を塗料
として採用し、３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの
無アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気硝子（株）
製）を被塗工材９として採用し、スリット間隙１２を１
００μｍ、クリアランス１１を７５μｍに設定して塗工
を行った。定量ポンプ５としてはシリンジポンプを採用
した。基板搬送ステージ１０の駆動には精密ＡＣサーボ
モータを使用した。被塗工材９を搬送ステージ１０に内
蔵される受け渡し用のリフトピン（図示せず）を上げて
この位置で移載機（図示せず）より受け取り、次いでリ
フトピンを下げて搬送ステージ１０上の所定の場所に納
める。更に被塗工材９を真空吸着することで被塗工材９
を搬送ステージ１０上に固定する。これらの動作と同時
に切り換え弁４を塗料タンク１側に開き、定量ポンプ５
を吸引側に駆動し塗料を３１００μｌ充填し、切り換え
弁４を口金側に切り替えて塗工に備える。これと同時に
口金７を先述の所定のクリアランスを確保する位置にま
で降下させる。次いで搬送ステージ１０を駆動して被塗
工材９を口金７の直下に移動せしめて停止させる。この
時ステージ駆動用のＡＣサーボモータのステップ数によ
りステージ１０が口金７直下に至ったのを感知し、定量
ポンプ５を駆動させて塗料の吐出を塗料送液速度３０８
μｌ／秒で開始し、０．３秒間被塗工材を静止して口金
７と被塗工材９との間にわたり方向全域に渡るビードを
形成せしめて後、再び搬送ステージ１０を駆動速度は３
ｍ／分にて駆動させて被塗工材９を相対移動させること
で塗工を開始した。ほぼこの直後から塗膜形成に消費さ
れる塗料と口金スリット１４から供給する塗料とが平衡
することにより連続して安定な塗膜を形成することが可
能となる定常塗工状態となる。先と同様にステージ駆動
用のＡＣサーボモータのステップ数により塗工終了位置
よりも５ｍｍ手前位置を感知して定量ポンプ５の駆動を
止める一方ステージ１０が継続して移動を続けるため
に、被塗工材９と口金７との間に形成された塗料ビート
１３を消費しながら所謂スキージ塗工により塗膜を形成
する。被塗工材が塗工終了位置に達したら、定量ポンプ
５を反転駆動させ口金スリット１４を通じて、塗料ビー
ド１３を２８０μｌ／秒の速度で７０μｌ吸引回収し
た。しかる後に口金７を上昇して被塗工材９より遠ざけ
ることで塗工を終了した。引き続いて定量ポンプ５を正
転駆動して口金に７０μｌの塗料を充填した。ステージ
は更に次工程への移載のための所定位置にまで移動して
止まり、真空吸着を解除すると共にリフトピンを上げて
被塗工材を持ち上げその位置でガラス基板移載機（図示
せず）に基板を受け渡す。ステージ１０は次の基板を受
け取るべくリフトピンを収納し所定の位置に反転移動す
る。更に塗工基板は次工程の乾燥ホットプレート（図示
せず）にて１３０℃で１０分乾燥して青色着色塗膜を得
た。引き続いて定量ポンプ５を正転駆動して口金にはさ
らに過剰の塗料を吐出すべく１４０μｌの塗料を口金７
に供給した。この時過剰供給された塗料は口金７から溢
れたが、口金７に付着して止まった。次いで図示されて
いない口金拭き取り装置を作動させて、口金７から溢れ
たた塗料を拭き取り次の被塗工材９の塗工に備える。以
上の動作を順次繰り返して１００枚の基板に塗膜を形成
した。これら一連の動作の概略は図１８に示す。得られ
た塗膜は定常部膜厚１．２μｍであった。かくして得ら
れた塗膜の典型的な膜厚プロフィールの例を図１９に示
す。塗膜は塗工開始位置から８±１ｍｍ及び塗工終了位
置から遡ること７ｍｍ±１を除いて定常部膜厚が得られ
た。又、塗工開始部、塗工終了部のいずれの膜厚も定常
部の９３％から１２６％の範囲で良好であった。また塗
工した１００枚の塗膜間においても定常部膜厚のばらつ
き及び、塗工開始部、塗工終了部の同じ位置での膜厚の
ばらつきはいずれも±０．０５μｍの範囲に収まる良好
な再現性を有していた。

【００８４】比較例５ この比較例においては、塗工終了時において定量ポンプ
５を正転駆動して吸引動作によってスリットに生じた空
隙に塗料を充填せず、定量ポンプ５を正転駆動して口金
に過剰の塗料を吐出せず、口金拭き取り装置を作動させ
て、口金７を拭き取ることをしないほかは、実施例５と
全く同様にして１００枚の被塗工材に塗膜を形成した。
第１枚目の被塗工材に塗工された塗膜は図１９に示され
た膜厚プロフィールとほぼ同等のものであったが、第２
枚目から第１００枚目までの被塗工材に塗工された塗膜
は、特に塗工開始部分で膜厚変動、ばらつきが大きく塗
工開始位置から０〜１５ｍｍの範囲で未塗工の部分を生
じたり、その最大膜厚が定常部の１０６％から３５０％
の範囲でばらついた。塗工開始位置から３０〜１８０ｍ
ｍの部分で定常部膜厚が得られなかった。

【００８５】実施例５と比較例５を比較すれば２枚以上
の被塗工材に連続塗布する場合に実施例５の方が比較例
３よりも広範囲にわたる定常部を得られており、しかも
得られた塗膜間のばらつきも少ないものであった。

【００８６】実施例６ ポリイミド前駆体であるポリアミド酸をバインダーとし
て用い、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、フタ
ロシアニンブルー（Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：
４）をジオキサジンバイオレット（Ｃ．Ｉ．ピグメント
バイオレット２３）を加え分散して重量固形分濃度７ｗ
ｔ％、粘度２０ｃＰｓの青色着色塗膜形成用塗料を得
る。同様にＮ−メチル−２−ピロリドンを溶媒とし、塩
臭素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグ
リーン３６）を混合・分散して重量固形分濃度８ｗｔ
％、粘度２５ｃＰｓの緑色着色塗膜形成用塗料を得る。
さらに同様にジアントラキノンニルレッド（Ｃ．Ｉ．ピ
グメントレッド１７７）を混合した赤色着色塗膜形成用
塗料を重量固形分濃度５ｗｔ％、粘度１２０ｃＰｓを用
意し、パターン加工されたクロム遮光膜層を設けられた
４６５ｍｍ×３６０ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラ
ス基板（ＯＡ−２）上に、赤色着色塗膜形成用塗料を、
充填量を５１７０μｌ、塗料の吐出を塗料送液速度を５
１８μｌ／秒、塗工開始時の停止時間を０．１秒とする
以外は実施例５と同様に塗工した後、減圧溶媒除去を７
０℃、２Ｔｏｒｒ以下の状況に３分間保持することによ
り行い、これに続いてホットプレートにて１３０℃１０
分の乾燥を行った。この塗膜面上にポジ型レジスト（２
６．７ｗｔ％、２０ＣＰＳ）を充填量を１１００μｌ、
塗料の吐出を塗料送液速度を１０９μｌ／秒、塗工開始
時の停止時間を０．８秒とする以外は実施例５と同様に
塗工・乾燥した得られたレジストの塗膜膜厚は１．６μ
ｍであった。次いでマスク露光・現像・エッチングを行
なう所謂フォトリソグラフィの手法によりパターン形成
して後加熱してイミド閉環させることで赤色画素を形成
する。この工程を青、緑色塗膜について適正な条件で順
次繰り返し赤緑青三原色の画素を得た。該画素を設けた
ガラス基板上に厚さ０．９μｍのポリイミド膜を保護膜
として設け更にその上に透明導電膜として厚さ０．１８
μｍの酸化錫−インジウム膜をスパッタ形成しカラーフ
ィルタとした。該ガラス上に対角１０．４インチのカラ
ーフィルタを４面形成した。評価のために各色のパター
ン形成後同一色の画素膜厚を測定した。得られたいずれ
の画素もばらつきのない膜厚を示し、得られたカラーフ
ィルタも良好な特性を示した。

【００８７】比較例６ 実施例６において、着色層の塗工工程を比較例１のよう
にする以外は全く同様にしてカラーフィルタを得た。同
様に評価のために各色のパターン形成後同一色の画素膜
厚を測定した。塗工開始部及び塗工終了部に位置する画
素の膜厚が定常膜厚部から得られた画素部とは異なっ
た。かくして得られたカラーフィルタは母材のどの部分
から得られたかによって特性が異なるが母基板の塗工開
始部及び塗工終了部にあたる部分から得られた画素は膜
厚変動に起因する面内の色特性のばらつきがみられ製品
として使用するに耐えないものばかりであった。

【００８８】実施例７ 実施例６と同様にして、赤色着色塗膜形成用塗布液を塗
工した後、減圧溶媒除去を７０℃、２Torr以下の状況に
３分間保持することにより行い、これに続いてホットプ
レート（図示せず）にて１３０℃、１０分の乾燥を行っ
た。次にこの塗膜面上にポジ型フォトレジスト（２６．
７ｗｔ％、２０センチポアズ）を、充填量が１１００μ
ｌ、塗料の塗料送液速度が１０９μｌ／秒、塗工開始時
の停止時間が０．８秒とする以外は赤色着色塗膜形成用
塗布液の方法と同様に、塗工・乾燥し、膜厚１．６μｍ
のフォトレジスト塗膜を得た。

【００８９】次いでマスク露光・現像・エッチングを行
なう所謂フォトリソグラフィの手法によりパターン形成
して後加熱してイミド閉環させることで赤色画素を形成
した。赤色画素の幅は９０μｍ（設計値）±１μｍの範
囲に納まる高精度なものであり、フォトレジスト層膜厚
の不均一に起因するバラツキは見られなかった。この工
程を青、緑色塗膜について適正な条件で順次繰り返し赤
緑青三原色の画素を得た。ダイは、フロントリップ、リ
アリップの下端面長ＬF 、ＬR がそれぞれ０．５mm、
３．５mm、スリットの先端開口部の開口幅ｈが１００μ
ｍ、塗布方向に直交する方向におけるスリットの先端開
口部の長さ（ダイ長手方向の長さ）Ｗが３６０mmのもの
を用いた。

【００９０】塗工開始部の停止動作中に塗料ビードを形
成するために吐出する塗料の体積Ｖは、［ｈ×ＬC ×
Ｗ］以上［（ＬF ＋ＬR ＋ｈ）×ＬC ×Ｗ］以下となる
ように赤、緑、青色の順に１０４μｌ、９２μｌ、９２
μｌとした。

【００９１】こうして画素を設けたガラス基板上に厚さ
０．９μｍのポリイミド膜を保護膜として設け更にその
上に透明導電膜として厚さ０．１８μｍの酸化錫−イン
ジウム膜をスパッタ形成しカラーフィルタとした。この
ガラス上には対角１０．４インチのカラーフィルタを４
面形成した。評価のために各色のパターン形成後同一色
の画素膜厚を測定した。得られたいずれの画素もばらつ
きのない膜厚を示し、得られたカラーフィルタも良好な
特性を示した。

【００９２】

【発明の効果】請求項１の発明は、ステージまたは塗料
吐出装置の何れを移動させる場合であっても、塗料ビー
ドの形成が完全に達成される前に被塗工材を搬送する場
合と比較して、塗工開始位置からかなり高い精度の塗膜
を形成することができ、ひいては、塗膜の全長範囲に対
して膜厚がほぼ均一かつ、異物降下による欠陥のない塗
膜範囲の割合を大きくすることができるという特有の効
果を奏する。

【００９３】請求項２の発明は、塗料ビードの形成が完
全に達成される前に被塗工材を搬送する場合と比較し
て、塗工開始位置からかなり高い精度の塗膜を形成する
ことができ、ひいては、塗膜の全長範囲に対して膜厚が
ほぼ均一かつ、異物降下による欠陥のない塗膜範囲の割
合を大きくすることができる。特にこの発明は、ステー
ジを駆動して被塗工材を搬送しつつ塗工するのであるか
ら、次々と供給される被塗工材に対しても、均一な膜厚
で容易に塗工することができるという特有の効果を奏す
る。

【００９４】請求項３の発明は、塗料吐出装置の先端に
スリット全幅にわたり安定塗工を行う際の塗料ビードを
形成するために必要な塗料を過不足なく供給して塗料ビ
ードを形成して後に、ステージによる被塗工材の搬送を
開始して塗工を開始するのであるから塗工開始直後から
薄膜や厚膜となることなく均一な塗膜を得ることができ
るという特有の効果を奏する。

【００９５】請求項４の発明は、塗工開始位置において
確実かつ完全に塗料ビードを形成することができ、塗工
開始位置以降において膜厚がほぼ均一な塗膜を形成する
ことができるという特有の効果を奏する。

【００９６】請求項５の発明は、塗工開始位置において
確実かつ完全に塗料ビードを形成することができ、塗工
開始位置以降において膜厚がほぼ均一な塗膜を形成する
ことができるという特有の効果を奏する。

【００９７】請求項６の発明は、塗工終了位置近傍にお
いて塗膜の膜厚が大きくなってしまうという不都合を防
止することができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な
塗膜を形成することができるという特有の効果を奏す
る。

【００９８】請求項７の発明は、塗工終了位置近傍にお
いて塗膜の膜厚が大きくなってしまうという不都合を防
止することができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な
塗膜を形成することができるという特有の効果を奏す
る。

【００９９】請求項８の発明は、塗膜の終端位置におい
て膜厚が大きくなってしまうという不都合を一層確実に
防止することができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一
な塗膜を形成することができるという特有の効果を奏す
る。

【０１００】請求項９の発明は、確実に塗料ビートを消
滅させることができるために塗膜の終端位置において膜
厚が大きくなってしまうという不都合を防止することが
でき、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を形成す
ることができるという特有の効果を奏する。

【０１０１】請求項１０の発明は、塗膜の終端位置にお
いて膜厚が大きくなってしまうという不都合を防止する
ことができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を
形成することができるという特有の効果を奏する。

【０１０２】請求項１１の発明は、塗膜の終端位置にお
いて膜厚が大きくなってしまうという不都合を防止する
ことができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を
形成することができるという特有の効果を奏する。

【０１０３】請求項１２の発明は、塗料吐出装置を被塗
工材から離れる方向に移動させることにより、塗膜終端
部が決まるためにその位置を確実に決定することができ
るという特有の効果を奏する。

【０１０４】請求項１３の発明は、塗膜の開始位置及び
終端位置において膜厚が大きくなってしまうという不都
合を防止することができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ
均一な塗膜を形成することができるという特有の効果を
奏する。

【０１０５】請求項１４の発明は、塗料ビードにおける
塗料の量を少なくしてから塗料吐出装置を被塗工材から
離れる方向に移動させることになり、塗膜の終端位置に
おいて膜厚が大きくなってしまうという不都合を防止す
ることができ、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜
を形成することができるとともに塗膜終端部の位置決め
を確実に行なえるという特有の効果を奏する。

【０１０６】請求項１５の発明は、次の塗工のための動
作を開始する時点においてスリットには空隙が存在しな
い状態にでき、良好な塗工を連続して行わせることがで
きるという特有の効果を奏する。

【０１０７】請求項１６の発明は、塗料吐出装置のスリ
ット先端開口部と被塗工材の間に塗工全幅にわたり形成
されている塗料ビードを、被塗工材が塗工終了位置に到
達する前の時点で被塗工材に対する塗料の供給を停止
し、次いで被塗工材が塗工終了位置に到達した時点また
は塗工終了位置を通りすぎた後に、塗料吐出装置を通し
て吸引するすることにより塗料ビードを消滅させるのに
過不足ない塗料を回収するのであるから、送液不足や過
剰回収により薄膜化したり、塗料ビードを形成していた
塗料が被塗工材上に取り残されることにより厚膜化する
ことを防ぐことができ塗工終了部分まで均一な膜厚の良
好な塗膜を得ることができるという特有の効果を奏す
る。

【０１０８】請求項１７の発明は、被塗工材の有効活用
領域を大きくすることができるという特有の効果を奏す
る。

【０１０９】請求項１８の発明は、塗料の定量供給を高
精度化することができるという特有の効果を奏する。

【０１１０】請求項１９の発明は、塗料の定量供給を高
精度化することができるとともに、被塗工材上の塗料の
吸引を特別の機構を付加することなく達成することがで
きるという特有の効果を奏する。

【０１１１】請求項２０の発明は、残留塗料による悪影
響（塗料の乾燥による悪影響、残留塗料により塗料吐出
装置先端部における塗料の量が不正確になることによる
悪影響など）を解消させることができ、良好な塗工を連
続して行なわせることができるという特有の効果を奏す
る。

【０１１２】請求項２１の発明は、塗工終了後または塗
工開始前に塗料供給装置を動作させて塗料吐出装置から
塗料の吐出を行い、スリット内に生じる可能性のある空
隙を塗料で充填するとともに、塗料吐出装置の先端を塗
料によって濡らしてのちに塗料吐出装置の先端部に付着
した余剰の塗料を拭き取るのであるから、一枚一枚の枚
葉被塗工材の塗工の直前に塗料吐出装置のスリット先端
部分の塗料の状態を初期化できるため連続して均一で良
好な塗膜が得られるとともに、塗料吐出装置の先端スリ
ットを塗料自身で潤滑して拭き取るのであるから、不要
の発塵を抑え、拭き取り装置の寿命を延ばすことができ
るという特有の効果を奏する。

【０１１３】請求項２２の発明は、塗料ビードを常に安
定な状態にすることができ、ひいては塗膜の膜厚の均一
性を高めることができるという特有の効果を奏する。

【０１１４】請求項２３の発明は、著しく高品質のカラ
ーフィルタを安価に得ることができるという特有の効果
を奏する。

【０１１５】請求項２４の発明は、該当する層を著しく
高品質にすることができ、ひいては高品質のカラーフィ
ルタを安価に得ることができるという特有の効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ダイコータの口金近傍の寸法と塗料ビードとの
関係を示した断面図である。

【図２】本発明に係るダイコータの一例を示す概略図で
ある。

【図３】第１図の口金近傍を拡大した図である。

【図４】実施例の各種装置の動作関係を示す模式図であ
る。

【図５】実施例１に係るダイコータの一例を示す概略図
である。

【図６】実施例１で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフ
ィールである。

【図７】実施例２で得られた塗膜の概略図である。

【図８】実施例２で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフ
ィールである。

【図９】実施例３で得られた塗膜の代表的な膜厚プロフ
ィールである。

【図１０】比較例１で得られた塗膜の代表的な膜厚プロ
フィールである。

【図１１】比較例１で得られた塗膜の概略図である。

【図１２】比較例２の各種装置の動作関係を示す模式図
である。

【図１３】比較例２で得られた塗膜の代表的な膜厚プロ
フィールである。

【図１４】比較例３の各種装置の動作関係を示す模式図
である。

【図１５】比較例３で得られた塗膜の概略図である。

【図１６】比較例３で得られた塗膜の代表的な膜厚プロ
フィールである。

【図１７】比較例４で得られた塗膜の概略図である。

【図１８】実施例５の各種装置の動作関係を示す模式図
である。

【図１９】実施例５で得られた塗膜の代表的な膜厚プロ
フィールである。

【符号の説明】

１ 塗料タンク ２ 配管 ３ 開閉弁 ４ 切換え弁 ５ 定量ポンプ（シリンジポンプ） ６ フィルタ ７ 口金 ７１ フロントリップ ７２ リアリップ ８ 塗膜 ９ 被塗工材 １０ 搬送ステージ １１ クリアランス １２ スリット間隙 １３ 塗料ビード １４ 口金スリット １５ 与圧室

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ０５Ｃ 5/02 Ｂ０５Ｃ 5/02 (72)発明者 赤松 孝義 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗料供給装置（５）により塗料吐出用の
   スリット（１４）を有する塗料吐出装置（７）に塗料を
   供給しつつ、被塗工材（９）を保持するステージ（１
   ０）または塗料吐出装置（７）の少なくとも一方を相対
   的に移動させることにより、被塗工材（９）表面に塗膜
   （８）を形成する枚葉塗工方法であって、前記被塗工材
   （９）表面への塗工開始に際して、被塗工材（９）の塗
   工開始位置を塗料吐出装置（７）のスリット（１４）位
   置に対応させるべく被塗工材（９）を停止させるととも
   に、塗料供給装置（５）を動作させてスリット（１４）
   からの塗料の吐出を開始し、スリット全幅において塗料
   ビード（１３）を形成した後に、ステージ（１０）また
   は塗料吐出装置（７）の少なくとも一方の相対的移動を
   開始することを特徴とする枚葉塗工方法。
2. 【請求項２】 塗料供給装置（５）により、塗料吐出用
   のスリット（１４）を有する塗料吐出装置（７）に塗料
   を供給し、被塗工材（９）をステージ（１０）により保
   持して搬送することにより、被塗工材（９）上に塗膜
   （８）を形成する枚葉塗工方法であって、前記ステージ
   （１０）を駆動して被塗工材（９）を搬送し、被塗工材
   （９）の塗工開始位置を塗料吐出装置（７）の下方に位
   置させるべく被塗工材（９）を停止させるとともに、塗
   料供給装置（５）を動作させて塗料吐出装置（７）のス
   リット（１４）からの塗料の吐出を開始し、塗料吐出装
   置（７）の先端にスリット全幅において塗料ビード（１
   ３）を形成した後に、ステージ（１０）による被塗工材
   （９）の搬送を開始することを特徴とする枚葉塗工方
   法。
3. 【請求項３】 塗料吐出装置（７）は、被塗工材（９）
   の相対的な進行方向に沿って位置した少なくとも、フロ
   ントリップ（７１）と、リアリップ（７２）と、これら
   フロントリップ（７１）およびリアリップ（７２）間に
   形成されその開口部が塗料吐出口とされたスリット（１
   ４）とから構成されており、フロントリップ（７１）の
   下端面における前記進行方向の長さをＬｆ（ｍｍ）、リ
   アリップ（７２）の下端面における前記進行方向の長さ
   をＬｒ（ｍｍ）、スリット（１４）先端開口部の前記進
   行方向の開口幅をｈ（ｍｍ）とし、塗料吐出装置（７）
   のスリット（１４）先端開口部と被塗工材（９）の塗工
   開始部とのクリアランス（１１）をＣ（ｍｍ）、塗布さ
   れる塗膜の塗工方向にほぼ直交する方向の塗布幅をＷ
   （ｍｍ）とするときに、スリット（１４）の先端開口部
   と被塗工材（９）との間に塗料ビード（１３）を形成す
   るために被塗工材（９）を停止させたときのスリット
   （１４）から吐出する塗料の体積Ｖ（ｍｍ³ ＝μｌ）
   が、次の式 ｈ×Ｃ×Ｗ≦Ｖ≦（Ｌｆ＋Ｌｒ＋ｈ）×Ｃ×Ｗ で与えられる範囲であること特徴とする請求項１または
   請求項２に記載の枚葉塗工方法。
4. 【請求項４】 塗料吐出装置（７）と被塗工材（９）と
   の間隔が所定間隔になるように塗料吐出装置（７）を下
   降させた後、ステージ（１０）を駆動して被塗工材
   （９）を搬送し、被塗工材（９）の塗工開始位置を塗料
   吐出装置（７）の下方に位置させるべく被塗工材（９）
   を停止させる請求項１から請求項３の何れかに記載の枚
   葉塗工方法。
5. 【請求項５】 ステージ（１０）を駆動して被塗工材
   （９）を搬送し、被塗工材（９）の塗工開始位置を塗料
   吐出装置（７）の下方に位置させるべく被塗工材（９）
   を停止させた後、塗料吐出装置（７）と被塗工材（９）
   との間隔が所定間隔になるように塗料吐出装置（７）を
   下降させる請求項１から請求項３の何れかに記載の枚葉
   塗工方法。
6. 【請求項６】 塗料供給装置（５）により、塗料吐出用
   のスリット（１４）を有する塗料吐出装置（７）に塗料
   を供給し、被塗工材（９）をステージ（１０）により保
   持して搬送することにより被塗工材（９）上に塗膜
   （８）を形成する枚葉塗工方法であって、塗料を塗料吐
   出装置（７）から吐出しつつステージ（１０）を駆動し
   て被塗工材（９）を搬送し、被塗工材（９）が塗工終了
   位置に到達した時点または塗工終了位置に到達する前の
   時点で塗料の吐出を停止することを特徴とする枚葉塗工
   方法。
7. 【請求項７】 被塗工材（９）が塗工終了位置に到達す
   る前の時点で塗料の吐出を停止する請求項１から請求項
   ５の何れかに記載の枚葉塗工方法。
8. 【請求項８】 塗料供給装置（５）により、塗料吐出用
   のスリット（１４）を有する塗料吐出装置（７）に塗料
   を供給し、被塗工材（９）をステージ（１０）により保
   持して搬送することにより被塗工材（９）上に塗膜
   （８）を形成する枚葉塗工方法であって、塗料を塗料吐
   出装置（７）から供給しつつステージ（１０）を移動さ
   せて被塗工材（９）を搬送し、被塗工材（９）が塗工終
   了位置に到達した時点または塗工終了位置に到達する前
   の時点で被塗工材（９）に対する塗料の供給を停止し、
   次いで塗料吐出装置（７）の先端部に形成されている塗
   料ビード（１３）を塗料吐出装置（７）を通して吸引す
   ることを特徴とする枚葉塗工方法。
9. 【請求項９】 塗料の供給を停止した後直ちに、塗料吐
   出装置（７）の先端部に形成されている塗料ビード（１
   ３）を塗料吐出装置（７）を通して吸引する請求項８に
   記載の枚葉塗工方法。
10. 【請求項１０】 被塗工材（９）が塗工終了位置に位置
    する状態で、塗料吐出装置（７）の先端部に形成されて
    いる塗料ビード（１３）を塗料吐出装置（７）を通して
    吸引する請求項８に記載の枚葉塗工方法。
11. 【請求項１１】 被塗工材（９）が塗工終了位置に到達
    する前の時点で被塗工材（９）に対する塗料の供給を停
    止し、次いで、塗料吐出装置（７）の先端部に形成され
    ている塗料ビード（１３）を塗料吐出装置（７）を通し
    て吸引する請求項８に記載の枚葉塗工方法。
12. 【請求項１２】 塗料供給装置（５）により、塗料吐出
    用のスリット（１４）を有する塗料吐出装置（７）に塗
    料を供給し、被塗工材（９）をステージ（１０）により
    保持して搬送することにより被塗工材（９）上に塗膜
    （８）を形成する枚葉塗工方法であって、塗料を塗料吐
    出装置（７）から供給しつつステージ（１０）を移動さ
    せて被塗工材（９）を搬送し、被塗工材（９）が塗工終
    了位置に到達した時点または塗工終了位置に到達する前
    の時点で被塗工材（９）に対する塗料の供給を停止し、
    次いで被塗工材（９）が塗工終了位置に到達した時点ま
    たは塗工終了位置を通りすぎた後に塗料吐出装置（７）
    を被塗工材（９）から離すべく塗料吐出装置（７）を移
    動させることを特徴とする枚葉塗工方法。
13. 【請求項１３】 塗料を塗料吐出装置（７）から供給し
    つつステージ（１０）を移動させて被塗工材（９）を搬
    送し、被塗工材（９）が塗工終了位置に到達した時点ま
    たは塗工終了位置に到達する前の時点で被塗工材（９）
    に対する塗料の供給を停止し、次いで、塗料吐出装置
    （７）の先端部に形成されている塗料ビード（１３）を
    塗料吐出装置（７）を通して吸引する請求項１または請
    求項２に記載の枚葉塗工方法。
14. 【請求項１４】 被塗工材（９）が塗工終了位置に到達
    する前の時点で被塗工材（９）に対する塗料の供給を停
    止し、次いで被塗工材（９）が塗工終了位置に到達した
    時点または塗工終了位置を通りすぎた後に、塗料吐出装
    置（７）を被塗工材（９）から離すべく塗料吐出装置
    （７）を移動させる請求項９、請求項１１、請求項１３
    の何れかに記載の枚葉塗工方法。
15. 【請求項１５】 塗料吐出装置（７）の先端部に形成さ
    れている塗料ビード（１３）を塗料吐出装置（７）のス
    リット（１４）を通して吸引し、次いで、空隙が生じた
    スリット（１４）内に塗料を充填する請求項７から請求
    項１１、請求項１３、請求項１４の何れかに記載の枚葉
    塗工方法。
16. 【請求項１６】 塗料吐出装置（７）は、被塗工材
    （９）の相対的な進行方向に沿って位置した少なくと
    も、フロントリップ（７１）と、リアリップ（７２）
    と、これらフロントリップ（７１）およびリアリップ
    （７２）間に形成されその開口部が塗料吐出口とされた
    スリット（１４）とから構成されており、フロントリッ
    プ（７１）の下端面における前記進行方向の長さをＬｆ
    （ｍｍ）、リアリップ（７２）の下端面における前記進
    行方向の長さをＬｒ（ｍｍ）、スリット（１４）先端開
    口部の前記進行方向の開口幅をｈ（ｍｍ）とし、塗料吐
    出装置（７）のスリット（１４）先端開口部と被塗工材
    （９）の塗工開始部とのクリアランス（１１）をＣ（ｍ
    ｍ）、塗布される塗膜の塗工方向にほぼ直交する方向の
    塗布幅をＷ（ｍｍ）とし、塗布される塗膜（８）の膜厚
    をｄ（ｍｍ）とするときに、塗工終了位置に達するまで
    塗料吐出装置（７）へ塗料の供給を行った場合に本来供
    給されるべき塗料のうち塗工終了位置に達する前に塗料
    吐出装置（７）への塗料の供給を停止したために塗料ビ
    ード（１３）に供給されなかった塗料の体積Ｕ（ｍｍ³
    ＝μｌ）と、塗料吐出装置（７）のスリット（１４）を
    通じて吸引される塗料の体積Ｓ（ｍｍ³ ＝μｌ）が次の
    式 ｈ×（Ｃ−ｄ）×Ｗ≦Ｕ＋Ｓ≦Ｌｆ×Ｃ×Ｗ＋（ｈ＋Ｌ
    ｒ）×（Ｃ−ｄ）×Ｗ で与えられる範囲であること特徴とする請求項７から請
    求項１５の何れかに記載の枚葉塗工方法。
17. 【請求項１７】 被塗工材（９）における塗工開始位置
    および／または塗工終了位置が、被塗工材（９）の対応
    する端部から３ｍｍ以内の範囲に位置している請求項１
    から請求項１６の何れかに記載の枚葉塗工方法。
18. 【請求項１８】 塗料吐出装置（７）に塗料を供給する
    塗料供給装置（５）がピストン型ポンプ（５）である請
    求項１から請求項１７の何れかに記載の枚葉塗工方法。
19. 【請求項１９】 塗料供給装置（５）がシリンジ型ポン
    プ（５）である請求項１から請求項１７の何れかに記載
    の枚葉塗工方法。
20. 【請求項２０】 塗料吐出装置（７）の先端部に残留す
    る塗料を、塗工終了後または塗工開始前に拭き取る請求
    項１から請求項１９の何れかに記載の枚葉塗工方法。
21. 【請求項２１】 塗工終了後または塗工開始前に塗料供
    給装置（５）を動作させて塗料吐出装置（７）から塗料
    の吐出を行い、スリット（１４）内に生じる可能性のあ
    る空隙を塗料で充填するとともに、塗料吐出装置（７）
    の先端を塗料によって濡らしたのちに塗料吐出装置
    （７）の先端部に付着した余剰の前記塗料を拭き取り、
    塗料吐出装置（７）のスリット（１４）の先端を略均一
    とすることを特徴とする請求項１から請求項２０の何れ
    かに記載の枚葉塗工方法。
22. 【請求項２２】 塗料吐出装置（７）の先端の塗料ビー
    ド（１３）に対し、被塗工材移動方向上流側から正圧ま
    たは負圧を印加する請求項１から請求項２１の何れかに
    記載の枚葉塗工方法。
23. 【請求項２３】 請求項１から請求項２２の何れかの枚
    葉塗工方法を用いることを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
24. 【請求項２４】 カラーフィルタ製造工程において、保
    護層、着色層、樹脂遮光層、レジストの少なくとも１層
    を塗工する請求項２３に記載のカラーフィルタの製造方
    法。