CN100377794C - 涂膜的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种涂膜的制造方法，是使用设置了涂料喷出用的狭缝的狭缝金属型涂料机喷头，在基材表面涂布涂料，形成涂膜的涂膜的制造方法，其特征是，毛细管数(Ca)和将涂布间隙设为T、将湿态膜厚设为t时的由T/t得到的量纲为1的膜厚(X)被按照满足下式(2)Ca≤0.0651X-0.6669(2)及下式(3)Ca≤-0.0005Ln(X)+0.0108(3)中的任意一个的方式设定而形成涂膜。

Description

涂膜的制造方法
技术领域
本发明涉及在滤色片的着色层或半导体制造领域的抗蚀剂涂敷等精密涂敷中，使用金属型涂料机将液状的涂料涂布在基材表面而形成涂膜的涂膜的制造方法。
背景技术
一直以来，作为在基材上形成涂膜的方法，广泛使用旋转涂覆法、棒涂覆法及辊涂覆法等。
其中，使用旋转涂覆机的方法是广泛用于半导体晶片的抗蚀剂涂布中的方法，可以利用向旋转的被涂敷材料的表面中央滴下涂料来形成涂膜。此外，利用该方法获得的涂膜通过将涂料的种类设定为适于该方法的涂料，就可以遍及被涂敷材料的全部范围地使膜厚精度相当良好地均一化。但是，用于获得特定的膜厚的涂膜的涂料的使用量显著增多，因而不经济。另外，有涂料附着在被涂敷材料的边缘部或背面、向装置内飞散的涂料凝胶化或固化的情况，在工序的稳定性、清洁性方面欠佳，因此导致涂敷产品的质量降低。
使用辊涂覆机的方法是借助辊将涂料转印到被涂敷材料上的方法，可以进行向长尺寸的被涂敷材料、被卷成卷状的被涂敷材料上的涂敷。但是，考虑到涂料从底座向施料辊、被涂敷材料依次传送的关系，涂料暴露在空气中的时间较长，由此不仅容易引起由涂料的吸湿、氧化造成的变质，而且容易产生异物的混入。其结果是，导致涂敷产品的质量降低。
另外，使用了棒涂覆机的方法是使用在杆上卷绕了较细的金属丝的棒向被涂敷材料上涂布涂料的方法。该方法中，由于卷绕在杆上的金属丝与被涂敷材料接触，因此有容易在涂膜上加入线条的问题。
考虑到此种问题，近年来，提出了使用金属型涂料机的金属型涂覆法。此外，将金属型涂料机用于滤色片的制造的方案也被公布在特开平5-11105号公报、特开平5-142407号公报、特开平6-339656号公报等中。
金属型涂覆机一直以来被广泛用于厚膜涂敷、连续涂布高粘度涂料的用途中，在使用金属型涂覆机形成被涂敷材料涂膜的情况下，如美国专利第4,230,793号、美国专利第4,696,885号、美国专利第2,761,791号中所示，已知有幕涂流动法、挤出法、液珠法等涂敷方法。其中，所述液珠法是从设于金属型涂料机的喷头上的狭缝喷出涂料，在喷头和保持一定的间隔地相对移动的被涂敷材料之间形成被称作涂料液珠的涂料滞留，在该状态下伴随着被涂敷材料的移动将涂料拉出而形成涂膜。此外，如果采用通过将与被涂膜形成所消耗的量相同的量的涂料从狭缝供给而连续地形成涂膜的液珠法，则所形成的涂膜就能够以相当高的精度实现膜厚的均一性。另外，由于基本上不会有涂料的浪费，另外，直至从狭缝喷出为止涂料送液路径被密闭，因此可以防止涂料的变质、异物的混入，从而可以将所得的涂膜的质量维持较高的水平。
但是，例如在液晶显示器用的滤色片的制造中被涂敷的膜的大部分为干燥时的膜厚在10μm以下的薄膜，当要涂敷此种更薄的涂膜时，由于涂料液珠的容积变小，因此涂料液珠的稳定性被损害的可能性较高。其结果是，在涂膜表面上相对于喷头的行进方向成直角方向上产生的所谓横向条纹不均发生的可能性变高。
此种在表面上产生的条纹不均的涂膜由于无法用于滤色片的着色层等精度高的用途中，因此希望有此种条纹不均的发生较少的涂膜的制造方法。
发明内容
本发明是鉴于所述问题而完成的，是在基材表面使用金属型涂料机形成涂膜的涂膜的制造方法，目的在于，提供条纹不均的产生极少的能够获得均一的涂膜表面的涂膜的制造方法。
为了达成所述目的，本发明是使用设置了涂料喷出用的狭缝的狭缝金属型涂料机喷头，在基材表面涂布涂料，形成涂膜的涂膜的制造方法，其特征是，
当将所述涂料的动态粘度设为μ，将所述基材和所述喷头的相对速度设为V，将所述涂料的动态表面张力设为σ时，由下式(1)得到的毛细管数(Ca)
Ca＝μ·V/σ    (1)和
将作为所述喷头的下端面和所述基材表面的间隔的涂布间隙设为T，将涂膜的涂布时的湿态膜厚设为t时，由T/t得到的量纲为1的膜厚(X)被按照满足下式(2)
Ca≤0.0651X-0.6669           (2)
及下式(3)
Ca≤-0.0005Ln(X)+0.0108       (3)
的任意一个的方式设定而形成涂膜。
本发明中，由于是在如上所述的条件下使用金属型涂覆机形成涂膜的方法，因此涂料液珠被稳定地形成，其结果是，就可以抑制由涂料液珠的紊乱造成的横向条纹不均，即抑制与金属型涂料机的行进方向成直角方向上产生的条纹不均的发生，由此就可以用优良的成品率制造表面极为平滑的涂膜。
另一方面，本发明还提供在透明基板上至少形成着色层及遮光层的滤色片的制造方法，其特征是，将所述着色层及遮光层当中的至少一层使用上面所述的涂膜的制造方法形成。
本发明的滤色片的制造方法由于利用了所述涂膜的制造方法，因此例如当使用所述涂膜的制造方法制造着色层时，就可以用优良的成品率制造具有在着色层表面上条纹不均较少的、具有极为均一的表面状态的高质量的着色层的滤色片。
附图说明
图1是表示本发明的涂膜的制造方法的一个例子的概略剖面图。
图2是表示本发明的涂膜的制造方法的参数和表面状态的关系的图表。
图3是表示本发明的涂膜的制造方法的参数和表面状态的关系的图表。
图4是表示测定动态粘度的装置的概略立体图。
图5是表示测定动态表面张力的装置的概略主视图。
具体实施方式
下面将对本发明的涂膜的制造方法及使用它的滤色片的制造方法分别进行说明。
A.涂膜的制造方法
本发明人等着眼于通过使在金属型涂料机喷头的下端面和基材表面上形成的涂料液珠稳定化，可以大幅度地减少在涂膜表面上产生的横向条纹不均这一点，对用于使涂料液珠稳定化的条件进行了各种研究，结果发现，通过将由涂料的动态粘度、涂料的动态表面张力及基材和金属型涂料机的相对速度决定的毛细管数、由作为金属型涂料机的下端面和基材之间的距离的涂布间距及涂膜的湿态膜厚决定的量纲为1的膜厚设为特定的范围，就可以使横向条纹不均大幅度地减少，从而完成了本发明。
下面，对于本发明的涂膜的制造方法，将使用附图进行详细说明。
图1是表示利用本发明的涂膜的制造方法制造涂膜的状态的一个例子的图，是使用设置了涂料喷出用狭缝1的狭缝金属型涂料机喷头2，在基材3上形成涂膜4的状态的图。如该例子中所示，在涂膜形成时，在喷头2的下端面5和基材3表面之间，形成由狭缝1供给的涂料构成的涂料液珠6。通过在该状态下使喷头2和基材3相对移动，在基材3表面就形成涂膜4，但是如果在该涂膜4的形成时，所述涂料液珠6的形状不稳定，则所形成的涂膜4的形状就会不稳定，其结果是，涂膜4的膜厚也变得不均一。由此，在涂膜表面上就会产生如上所述的横向条纹不均。所以，就需要使所述涂料液珠6的形状稳定化。
本发明中，作为用于此种涂料液珠的稳定化的参数，首先关注毛细管数(Ca)。
毛细管数(Ca)是由下式(1)表示的参数。
Ca＝μ·V/σ    (1)
这里，μ表示涂料的动态粘度，V表示基材和喷头的相对速度，σ表示涂料的动态表面张力。一般来说，从涂料液珠的稳定化的观点出发可以说，涂料的动态粘度μ较低，并且涂料的动态表面张力σ较高，则在维持涂料液珠的形状方面是理想的。另外，基材和喷头的相对速度V较慢，在涂料液珠的形状的稳定性方面是理想的。所以，一般来说，可以说毛细管数(Ca)越低，则在涂料液珠的稳定性方面就越理想。
另外，作为其他的参数，关注量纲为1的膜厚(X)。该量纲为1的膜厚(X)是由下式(4)表示的参数。
X＝T/t    (4)
这里，T是作为狭缝金属型涂料机喷头的下端面和基材表面的间隔的涂布间距，t是涂膜的湿态膜厚。
如图1所示，T＞t，并且其差值越小，则轧液等问题就越少，并且在维持涂料液珠的形状方面就越理想。所以，量纲为1的膜厚(X)的值一般来说越低越好。
此外，通过将该毛细管数(Ca)设为纵轴，将量纲为1的膜厚(X)设为横轴，使各种参数变化而形成涂膜，总结后的评价结果为图2。而且，图2中的○表示未产生横向条纹不均的，△表示产生少量的横向条纹不均的，×表示产生了横向条纹不均的，*表示有轧液的。横向条纹不均的有无是向涂膜表面照射Na灯，通过目视其反射光而判断的。
如上所述，左下方，即毛细管数和量纲为1的膜厚越低，则结果越良好，可以说图2中所示的两条直线的左下侧为合适的范围。如果将其用式子表示，则为下式(2)及(3)，通过采用满足该二式的任意一个的条件的毛细管数及量纲为1的膜厚，就可以大幅度地减少横向条纹不均。
Ca≤0.0651X-0.6669    (2)
Ca≤-0.0005Ln(X)+0.0108    (3)
另外，图3是表示更为合适的范围的图，可以说图3所示的两条直线的左下侧是更为合适的范围。如果将其用式子表示，则为下式(5)及(6)，通过采用满足该二式的任意一个的条件的毛细管数及量纲为1的膜厚，就可以进一步完全地减少横向条纹不均。
Ca≤0.0403X-0.6301    (5)
Ca≤-0.0006Ln(X)+0.008    (6)
1.各种参数
下面，对用于算出该毛细管数(Ca)及量纲为1的膜厚(X)的各种参数进行说明。
(毛细管数)
首先，为了获得毛细管数，有必要确定涂料的动态粘度μ、涂料的动态表面张力σ及基材和喷头的相对速度。下面对它们进行说明。
a.涂料的动态粘度μ
本发明的涂料的动态粘度使用采用双重圆筒式流变仪(Rheometric·scientific公司制，商品名：ARES)，以剪切速率100S-1、23℃、液量10cc测定的值。将双重圆筒式流变仪的概略情况表示在图4中。
作为可以用于本发明的涂膜的制造方法中的涂料，为如下的涂料，即，其动态粘度的上限值在20mPa·s以下，优选10mPa·s以下，下限值在1mPa·s以上，优选1.5以上。这是因为，在本发明中，在使用具有所述范围内的动态粘度的涂料时，就可以有效地抑制横向条纹不均。
b.涂料的动态表面张力σ
本发明的涂料的动态表面张力使用采用气泡气压动态表面张力仪(商品名：BP-2，KRUSS公司制)而测定的值。测定条件如下。
毛细管直径：Φ0.228mm
测定温度：23℃
液量：60cc
表面寿命：10ms
毛细管浸渍深度：10mm
设定密度：1.00g/cm3
将气泡气压动态表面张力仪的概略情况表示在图5中。
作为可以用于本发明的涂膜的制造方法中的涂料，优选如下的涂料，即，其动态表面张力的上限值在72mN/m以下，优选50mN/m以下，下限值在27mN/m以上，优选30mN/m以上。这是因为，在本发明中，在使用具有所述范围内的动态表面张力的涂料时，就可以有效地抑制横向条纹不均。
c.涂布速度V
所谓本发明的涂布速度是指狭缝金属型涂料机喷头和基材的相对速度。作为可以适用于本发明的涂膜的制造方法的涂布速度，优选设为0.01m/sec～0.50m/sec的范围内，特别优选设为0.05m/sec～0.20m/sec的范围内。这是因为，当使涂布速度慢于所述范围时，则由于有可能在生产效率方面产生问题，因此不够理想，如果比所述范围更快，则无法作为生产装置实现。
(量纲为1的膜厚)
本发明中使用的量纲为1的膜厚(X)如上所述，是利用涂布间距T和湿态膜厚t算出的参数。
a.涂布间距T
所谓本发明中使用的涂布间距T是指从狭缝金属型涂料机喷头的下端面到基材表面的距离。
本发明中，从涂料液珠的稳定性等观点考虑，该涂布间距T有必要采用比后述的湿态膜厚t更大的值。
作为本发明的涂布间距T的具体的范围，为50～300μm的范围内，特别优选采用70～200μm的范围内。当超过所述范围时，则通常难以使涂料液珠的形状稳定，这是因为，当小于所述范围时，由于机械的精度的问题而难以采用。
b.湿态膜厚t
所谓本发明中所使用的湿态膜厚t是指，以涂敷在基材上的涂料喷出量/涂敷面积的形式表示，涂敷后不久的涂料中的溶剂以挥发前的状态存在时的固液界面和气液界面间的距离。
作为本发明的湿态膜厚t的具体的范围，为5μm～50μm的范围内，其中，特别优选6μm～30μm的范围内。当小于所述范围时，则难以用均一的状态将表面成膜，当超过所述范围时，则通常无法用于以如此高精度要求表面的均一性的用途。
(其他的参数)
本发明中，通过如上所述，按照使毛细管数和量纲为1的膜厚具有特定的关系的方式，选择涂料的材料，并且调整装置的参数，就可以获得抑制了横向条纹不均的产生的涂膜。所以，虽然以与所述的毛细管数和量纲为1的膜厚有关的参数为主考虑即可，但是对于其他的参数，当数值有很大差别时，就会有对条纹不均的产生等造成影响的可能性。下面对此种参数进行说明。
a.喷出量
从喷头喷出的涂料的喷出量由于是最终对所述的湿态膜厚t产生影响的参数，因此当该喷出量也为特定的范围内时，则可以抑制横向条纹不均。
具体来说，每单位长度，即喷头的长度方向的长度每1em的喷出量为0.1cc/min～10cc/min的范围内，特别是在0.1cc/min～10cc/min的范围内的情况下，本发明的涂膜的制造方法就会合适地发挥作用，可以制造抑制了横向条纹不均的产生的涂膜。而且，所述数值适用于狭缝宽度(狭缝间距)为30～150μm的范围内，狭缝间距的尺寸的不均在10％以内的情况。
b.涂膜的干态膜厚
它也是影响所述湿态膜厚t的参数，是由固态成分浓度和湿态膜厚t的关系决定的参数。具体来说，优选在0.5μm～5μm的范围内，其中特别优选1μm～3μm的范围内，基材中央部和离涂膜端部50mm内侧的区域的膜厚差优选在±5％以内。这是因为，在进行所述范围内的涂膜的制造时，就可以有效地获得本发明的横向条纹不均抑制作用。
2.涂膜的制造方法
本发明虽然通过将所述参数按照满足特定的关系的方式调整而使用，制造横向条纹不均特别少的涂膜，但是该涂膜的制造方法具体来说是利用金属型涂料机完成的方法，是通过使用设置了涂料喷出用的狭缝的狭缝金属型涂料机喷头，在基材表面涂布涂料，形成涂膜而完成的。
a.狭缝金属型涂料机喷头
本发明中所使用的狭缝金属型涂料机喷头在其形状或材质等上没有特别限定，只要是能够高精度地控制喷出量的喷头，无论是哪种种类或形状的喷头都可以使用。
具体来说，例如如图1所示，可以举出由前唇7和后唇8构成并在其间形成有狭缝1的喷头等。此时，涂料由图示略的泵向集流腔9(manifold)供给，经过狭缝1而向基材3表面喷出。
另外，作为将涂料向此种狭缝金属型涂料机喷头供给的泵，只要是双膜片泵或管道膜泵、注射式泵等通常用于金属型涂覆法中的泵，就可以使用，没有特别限定。
b.基材
作为本发明中形成涂膜的基材，只要是以单张式供给并在表面具有一定的平滑性的材料，就没有特别限定，可以根据用途选择使用玻璃基板、透明树脂基板等基材。
c.涂料
关于本发明中所使用的涂料，只要是能够满足关于所述参数的关系的涂料，就没有特别限定。一般来说，虽然是在溶剂中溶解有固态成分的材料，但是并不限定于此，也可以是含有较多单体成分并在涂布后使之聚合固化的类型的涂料。
具体来说，可以举出后述的滤色片的着色层形成用涂料、各种抗蚀剂用涂料等。
d.其他
在本发明的涂膜的制造方法中，为了涂膜端部的平滑化，也可以在利用金属型涂覆法的涂布结束后，施加500rpm以下的低速旋转。另外，同样为了涂膜端部的平滑化，也可以进行最佳化了的反吸(suck back)。
B.滤色片的制造方法
本发明的滤色片的制造方法是在透明基板上至少形成着色层及遮光层而成的滤色片的制造方法，其特征是，所述着色层及所述遮光层当中的至少一层是使用所述的涂膜的制造方法形成的。
通常，滤色片是在透明基板上，具有被称为黑矩阵的遮光层、将该遮光层的开口部作为着色象素而具有红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)3原色的着色象素的着色层、根据需要设置的保护层的构件。通过在形成该着色层及遮光层时使用所述的涂膜的制造方法，就可以用良好的成品率形成例如具有表面平滑性极为良好的着色层的滤色片。而且，本发明中，对于所述根据需要而设置的保护层，最好也利用所述涂膜的制造方法来形成，从而可以获得表面状态均一的保护层。
此外，利用本发明的滤色片的制造方法获得的滤色片由于是具有利用如上所述的涂膜的制造方法获得的着色层、遮光层或保护层的滤色片，因此就可以消除材料方面的浪费，并且成为大幅度地抑制了条纹不均的产生的高质量的滤色片。
关于本发明的滤色片的制造方法中所使用的透明基材，只要是通常的滤色片中所使用的材料，就没有特别限定。另外，作为利用所述涂膜的制造方法形成着色层或遮光层时的涂料的组成，只要是在所述各种参数的范围内，可以使用通常所使用的任何材料。此外，对于形成于滤色片上的透明电极等其他的构件，只要是形成于一般的滤色片上的构件，就没有特别限定，可以根据用途等使用各种的构件。
而且，本发明并不限定于所述实施方式。所述实施方式是示例性的，具有与本发明的技术方案的范围中所述的技术思想本质上相同的构成并起到相同的作用效果的方式，无论是何种方式，都包含于本发明的技术范围中。
[实施例]
下面将举出实施例，对本发明进行进一步说明。
使用基材尺寸为550mm×650mm×0.7mm的无碱玻璃(日电GLASSOA-10)，另外，作为定量泵使用膜片泵。另外，将狭缝前端的喷出口的跨度方向的宽度设为540mm。
使喷头前端的中央部停止在离玻璃基板端部10mm的位置上，将间隔设为40μm，以0.01～0.03L/min的喷出速率喷出涂料0.3～1.0sec，形成了涂料液珠。而且，对于涂料的组成，如下所示。
然后，将基板搬送速度在15mm/sec～180mm/sec间任意设定，将喷出速率在0.01～0.03L/min间任意设定，使涂料喷出装置沿Z轴方向上升，在涂布间距达到40μm～200μm的点处停止上升，作为正常涂敷状态。
继而，在离涂敷结束侧的基板端部10mm的位置上，停止涂料的喷出，同时使涂料喷出装置沿Z轴方向上升，结束涂敷。
在将所得的涂敷基板用化学干式泵临时干燥至减压室内压显示93Pa为止后，在烤盘上以80℃进行30分钟的煅烧，得到了涂膜。
这里，改变涂料侧的参数及装置侧的参数，如图2所示，得到了与各种毛细管数及量纲为1的膜厚的值对应的数据。
具体来说，在涂料侧，通过使涂料的固态成分浓度以16.4质量％、18.8质量％、19.9质量％、24质量％、24.8质量％、29.6质量％及34质量％的6个水平变化，使动态粘度及动态表面张力以6个水平变化。另外，作为装置侧的参数，涂敷速度在15mm/sec～180mm/sec的范围内变化，湿态膜厚在5.06μm～28.58μm的范围内变化，涂布间距在40μm～200μm的范围内(40μm、80μm、100μm、150μm及200μm这5个水平)变化。
将涂料的组成表示如下。
<涂料组成1：固态成分浓度24.8质量％>
·丙二醇单甲醚醋酸酯：35.62重量份
·3-甲氧基丁基醋酸酯：39.39重量份
·颜料：6.2重量份
(色素红254，色素黄138)
·碱可溶性丙烯酸类聚合物：7.8重量份
(平均分子量：10000，酸价：60)
·光聚合性单体：5.2重量份
(二季戊四醇五丙烯酸酯)
·光聚合引发剂：2.5质量份
(2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮(morpholinopropanone)-1)+(二乙基氨基二苯酮)
·颜料分散剂：3.1重量份
(BIGCHEMI株式会社制，Disperbyk161)
<涂料组成2：固态成分浓度19.9质量％>
·丙二醇单甲醚醋酸酯：38.04重量份
·3-甲氧基丁基醋酸酯：42.06重量份
·颜料：5.0重量份
(色素红254，色素黄138)
·碱可溶性丙烯酸类聚合物：6.3重量份
(平均分子量：10000，酸价：60)
·光聚合性单体：4.2重量份
(二季戊四醇五丙烯酸酯)
·光聚合引发剂：2.0质量份
(2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮-1)+(二乙基氨基二苯酮)
·颜料分散剂：2.5重量份
(BIGCHEMI株式会社制，Disperbyk161)
<涂料组成3：固态成分浓度16.4质量％>
·丙二醇单甲醚醋酸酯：39.70重量份
·3-甲氧基丁基醋酸酯：43.90重量份
·颜料：4.1重量份
(色素红254，色素黄138)
·碱可溶性丙烯酸类聚合物：5.2重量份
(平均分子量：10000，酸价：60)
·光聚合性单体：3.4重量份
(二季戊四醇五丙烯酸酯)
·光聚合引发剂：1.7质量份
(2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮-1)+(二乙基氨基二苯酮)
·颜料分散剂：2.1重量份
(BIGCHEMI株式会社制，Disperbyk161)
<涂料组成4：固态成分浓度24质量％>
·丙二醇单甲醚醋酸酯：36.09重量份
·3-甲氧基丁基醋酸酯：39.91重量份
·颜料：6.0重量份
(色素红254，色素黄138)
·碱可溶性丙烯酸类聚合物：7.5重量份
(平均分子量：10000，酸价：60)
·光聚合性单体：5.0重量份
(二季戊四醇五丙烯酸酯)
·光聚合引发剂：2.4质量份
(2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮-1)+(二乙基氨基二苯酮)
·颜料分散剂：3.0重量份
(BIGCHEMI株式会社制，Disperbyk161)
<涂料组成5：固态成分浓度34质量％>
·丙二醇单甲醚醋酸酯：31.34重量份
·3-甲氧基丁基醋酸酯：34.66重量份
·颜料：8.5重量份
(色素红254，色素黄138)
·碱可溶性丙烯酸类聚合物：10.7重量份
(平均分子量：10000，酸价：60)
·光聚合性单体：7.1重量份
(二季戊四醇五丙烯酸酯)
·光聚合引发剂：3.4质量份
(2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮-1)+(二乙基氨基二苯酮)
·颜料分散剂：4.2重量份
(BIGCHEMI株式会社制，Disperbyk161)
<涂料组成6：固态成分浓度18.8质量％>
·丙二醇单甲醚醋酸酯：38.14重量份
·3-甲氧基丁基醋酸酯：43.06重量份
·颜料：4.7重量份
(色素红254，色素黄138)
·碱可溶性丙烯酸类聚合物：6.3重量份
(平均分子量：10000，酸价：60)
·光聚合性单体：3.9重量份
(二季戊四醇五丙烯酸酯)
·光聚合引发剂：1.6质量份
(2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮-1)+(二乙基氨基二苯酮)
·颜料分散剂：2.4重量份
(BIGCHEMI株式会社制，Disperbyk161)
对像这样与各种的毛细管数和量纲为1的膜厚的值对应的涂膜表面的横向条纹不均的状态利用所述的评价方法，即目视进行评价，将未产生横向条纹不均的作为○，将产生少量的横向条纹不均的作为△，将产生了横向条纹不均的作为×，将产生了轧液的作为*。
将结果表示在表1、表2及图2中。
而且，表中的Na灯反射的评价及白色透过的评价是按照以下的基准进行的。
(Na灯反射)
◎：良好
○：有若干线条
△：有线条
×：产生涂布不良
(白色透过)
○：良好
△：有若干线条
×：产生涂布不良
表1
  感光材料   粘度(mPa·s)   动态表面张力(mN/m)   涂敷速度(mm/sec)   液膜厚度(μm)   涂布间距(μm)   量纲为1的膜厚 Ca数   精加工Na灯反射   精加工白色透过
  涂料1固形成分浓度24.8％   参数1   4.5   30.87   20   16.03   100   6.24   0.00292   ◎   ○
  参数2   4.5   30.87   40   8.01   100   12.48   0.00583   ◎   ○
  参数3   4.5   30.87   65   4.93   100   20.28   0.00948   ×   ×
  参数4   4.5   30.87   30   16.03   100   6.24   0.00437   ×   ×
  参数5   4.5   30.87   65   7.4   100   13.51   0.00948   △   ○
  参数6   4.5   30.87   95   5.06   100   19.76   0.01385   ×   ×
  参数7   4.5   30.87   40   16.03   100   6.24   0.00583   ×   ×
  参数8   4.5   30.87   85   7.54   100   13.26   0.01239   ×   ×
  涂料2固形成分浓度19.9％   参数1   3.6   29.82   15   21.37   100   4.68   0.00181   ◎   ○
  参数2   3.6   29.82   35   9.16   100   10.92   0.00423   ○   ○
  参数3   3.6   29.82   50   6.41   100   15.60   0.00604   ○   ○
  参数4   3.6   29.82   50   9.62   100   10.40   0.00604   ○   ○
  参数5   3.6   29.82   74.8   6.41   100   15.60   0.00903   △   △
参数6 3.6 29.82 35 18.32 100 5.46 0.00423   ◎   ○
  参数7   3.6   29.82   64.7   9.86   100   10.14   0.00781   ○   ○
  参数8   3.6   29.82   100   6.41   100   15.60   0.01207   ×   ×
  参数9   3.6   29.82   45   14.25   100   7.02   0.00543   ◎   ○
  涂料3固形成分浓度16.4％   参数1   2.8   29.39   15   21.37   100   4.68   0.00145   ◎   ○
  参数2   2.8   29.39   45   7.12   100   14.04   0.00435   ◎   ○
  参数3   2.8   29.39   20   24.04   100   4.16   0.00193   ◎   ○
  参数4   2.8   29.39   40   12.02   100   8.32   0.00387   ◎   ○
  参数5   2.8   29.39   65   7.4   100   13.51   0.00628   ○   ○
  参数6   2.8   29.39   30   21.37   100   4.68   0.00290   ◎   ○
  参数7   2.8   29.39   55   11.66   100   8.58   0.00532   ◎   ○
  参数8   2.8   29.39   85   7.54   100   13.26   0.00821   △   ○
表2
  感光材料   粘度(mPa·s)   动态表面张力(mN/m)   涂敷速度(mm/sec)   液膜厚度(μm)   涂布间距(μm)   量纲为1的膜厚 Ca数   精加工Na灯反射   精加工白色透过
  涂料4固形成分浓度24％   参数1   6.9   32.27   38   20.31   100   4.92   0.00813   ◎   ○
  参数2   6.9   32.27   27   28.58   100   3.50   0.00578   ◎   ○
  参数3   6.9   32.27   53   20.38   100   4.91   0.01135   ○   ○
  参数4   6.9   32.27   45   24.01   100   4.17   0.00963   ◎   ○
  参数5   6.9   32.27   38   28.43   100   3.52   0.00813   ◎   ○
  参数6   6.9   32.27   69   20.13   100   4.97   0.01477   △   ○
  参数7   6.9   32.27   58   23.95   100   4.18   0.01242   ◎   ○
  参数8   6.9   32.27   49   28.34   100   3.53   0.01049   ○   ○
  参数9   6.9   32.27   35   13.74   40   2.91   0.00749   ◎   ○
  参数10   6.9   32.27   45   10.68   40   3.74   0.00963   ◎   ○
  参数11   6.9   32.27   60   7.40   40   5.41   0.01259   ◎   ○
  参数12   6.9   32.27   45   10.68   40   3.74   0.00963   ◎   ○
  参数13   6.9   32.27   60   7.40   200   27.04   0.01284   ×   ×
  参数14   6.9   32.27   60   7.40   100   13.52   0.01284   ×   ×
  参数15   6.9   32.27   75   10.68   40   3.74   0.01606   ◎   ○
  参数16   6.9   32.27   65   12.33   40   3.24   0.01391   ◎   ○
  参数17   6.9   32.27   90   14.98   80   5.34   0.01927   △   ○
  参数18   6.9   32.27   90   16.13   80   4.96   0.01927   △   ○
  参数19   6.9   32.27   90   17.29   80   4.63   0.01927   △   ○
  参数20   6.9   32.27   90   18.76   80   4.27   0.01927   △   ○
  参数21   6.9   32.27   90   20.13   80   3.97   0.01927   △   ○
  涂料5固形成分浓度34％   参数1   15.4   34.24   35   9.16   40   4.37   0.01573   △   ○
  参数2   15.4   34.24   35   9.16   100   10.92   0.01573   ×   ×
  参数3   15.4   34.24   40   8.01   100   12.48   0.01798   ◎   ○
  参数4   15.4   34.24   45   7.12   100   14.04   0.02022   ×   ×
  参数5   15.4   34.24   20   16.03   40   2.50   0.00899   ◎   ○
  参数6   15.4   34.24   20   16.03   100   6.24   0.00899   ◎   ○
  参数7   15.4   34.24   30   10.68   40   3.74   0.01348   ◎   ○
  涂料6固形成分浓度18.8％   参数1   3.8   29.60   90   10.90   80   7.34   0.01155   △   ○
  参数2   3.8   29.60   120   10.90   80   7.34   0.01541   △   ○
  参数3   3.8   29.60   180   10.90   50   4.59   0.02311   △   ○
  参数4   3.8   29.60   180   10.90   150   13.76   0.02311   ×   ×

Claims (2)

1.一种涂膜的制造方法，是使用设置有涂料喷出用的狭缝的狭缝金属型涂料机喷头，在基材表面涂布涂料而形成涂膜的涂膜的制造方法，其特征是，
当将所述涂料的动态粘度设为μ，将所述基材和所述喷头的相对速度设为V，将所述涂料的动态表面张力设为σ时，由下式(1)得到的毛细管数(Ca)
Ca＝μ·V/σ(1)和
将作为所述喷头的下端面和所述基材表面的间隔的涂布间隙设为T，将涂膜的涂布时的湿态膜厚设为t时，由T/t得到的量纲为1的膜厚(X)被按照满足下式(2)
Ca≤0.0651X-0.6669(2)
及下式(3)
Ca≤-0.0005Ln(X)+0.0108(3)
中的任意一个的方式设定而形成涂膜。
2.一种滤色片的制造方法，是在透明基板上至少形成着色层及遮光层而成的滤色片的制造方法，其特征是，将所述着色层及遮光层当中的至少一层使用上述权利要求1中所述的涂膜的制造方法形成。
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