WO2004011157A1

WO2004011157A1 - 塗膜の製造方法

Info

Publication number: WO2004011157A1
Application number: PCT/JP2003/009448
Authority: WO
Inventors: Tadashi Kaneko; Takashi Aoki; Hiroshi Yoshiba; Toyohiko Tanaka; Hideaki Yamagata; Yusuke Nakamura; Takeaki Tsuda
Original assignee: Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Priority date: 2002-07-26
Filing date: 2003-07-25
Publication date: 2004-02-05
Also published as: CN100377794C; JP4348134B2; KR20050026004A; KR100652154B1; JP5136520B2; TW590808B; JP2009262154A; CN1671482A; JP2004066232A; TW200402331A

Description

明細書塗膜の製造方法 [技術分野]

本発明は、カラーフィルタの着色層や半導体製造分野におけるレジスト塗工等の精密塗工において、液状の塗料を基材表面にダイコータを用いて塗布して塗膜を形成する塗膜の製造方法に関するものである。 [背景技術]

嫌より、才上に靈嫩る施として、スピンコータ法、バーコータ法、および口ールコータ濃が広く用レ、られてレヽる。

このうち、スピンコータを用いる方法は、体ウェハのフォトレジストに広く用いられてヽる方法であり、云する ¾¾Γί才喊面中央に'静斗をすることによって'薩¾ ^成することができる。そして、この方法により得られる漏剪ま^ |"^«をこの方法に適したものに設定することにより、ネ^ ¾才^ I涵にわたって)!解をかなり精度良く化できる。しかしながら、所定の II簿の麵を得るための^ f細量が著しく多済である。また、ネ ¾ΕΤ才のエッジ部や纏こ謝が付着したり、装置内に赚した謝がゲノ ^(喊いは固开^ ることがあり、工程の安定性、淸净附こ欠けるので、の品質低下の原因になつてしまう。

ロールコータを用レヽる去は、ローラを介して斷をネ^ Ef才^ $g写する雄であり、長尺

力 W ^らアプリケーションロール、ネ送られている隠系上、 '齢斗がに爆される Bt^が長く、ひいては、、疆の吸湿、謝匕による難が起こり易いのみならず、難の混入も発生い。そ果、 ¾¾¾の品質低下を招いてしまう。

また、ノーコータを用いる方法は、ロッドに、ワイヤを卷いたバーを用いてネ才に塗料を驗する ^去である。この;^去では口ッドに巻かれたワイヤカ鐘: 才に接するため鐘にス S入り易いという合がある。

このような ¾合を考慮して、 ¾¥、ダイコータを用レ、たダイコート法が験されてレ、る。そして、ダイコータをカラーフィルタの^ tに応用する^^特開平 5—1 1 1 0 5号公報、平 5 - 1 4 2 4 0 7 ^^報、平 6— 3 3 9 6 5 6 ^等においてなされてレヽる。ダイコータは、から購^ Xや、纖纖布する用途に広く擺されており、ダイコータを用いて纖: ¾ 莫¾^^|~る^^に ¾^匿嫌第 4， 2 3 0 , 7 9 3号、細 '餅第 4， 6 9 6, 8 8 5号、耀暢午第 2， 7 6 1, 7 9 1号に見られるようにカーテンフロー法、押出法、ビード法などの^ X方法が知られる。中でも上記ビード法は、ダイコータの口金に設けられたスリットから'謝を吐出して、口金と一定の間隔を保って相¾¾に走 ίΫΤるネ趟才との間に'聽斗ビードと呼〖ΐΗる'發斗溜り ¾ ^成し、この状態で才の走行に伴つて^ I·を引き出して謹 ¾¾¾ る。そして、纏新城により消費される量と同量の静斗をスリットから御^-ることにより謹 ¾¾¾に形)^るビード法を漏ば、形成された塗縢 ¾1醇の: ¾H "生を力、なり高精度に誠できる。また、 '發無ほとんどなく、また、スリットから B±mされるまで齡¾«§カ閉されているのであるから、霞、難の

¾Λを防止でき、得られる 1»品質を高く膽できる。

しかしながら、例えば、曰曰ディスプレイ用のカラーフィルタの S¾tにおいて ¾Γされる膜の多くは酵で 1 0 _β mOTの潮莫であり、このようなより難ヽ'藤を ¾rしょうとした^ \塗料ビードの繊 f J、さくなるため、 »ビード喊定性が損なわれる可能 l¾s高い。その結果、■厳面に口金の衝ラに対して直角加に生じる、レヽゎゆる横スジムラが発生する可能 14^高くなる。

このようなスジムラ力面に発生した aiiiま、カラ一フィルタにおける等の精度の高い用途においては用いること力 Sできないため、このようなスジムラ (^生の少ない^ « 方法がまれてい; fco

[発明の開示]

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、基材表面にダイコータを用いて塗膜を形成する塗膜の製造方法において、スジムラの発生が極めて少なく、均一な塗膜表面が得られる塗膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。 · 上記目的を達成するために、本発明は、塗料吐出用のスリットを設けたスリツトダイコータ口金を用いて基材表面に塗料を塗布し、塗膜を形成する塗膜の製造方法において、

上記塗料の動的粘度を μ、上記基材と上記口金との相対速度を V、上記塗料の動的表面張力を σとした際に、下記式（1 ) で得られるキヤピラリー数（C a ) と、

上記口金の下端面と上記基材表面との間隔である塗布ギャップを Τとし、塗膜の塗布時のウエット膜厚を tとした際に、 T tで得られる無次元膜厚（X) と力下記式（2 )

C a≤0 . 0 6 5 1 χ- °· ^{6 6 6 9} ( 2 )

および、下記式（3 )

C a≤- 0 . 0 0 0 5 L n (X) + 0 . 0 1 0 8 ( 3 )

のいずれかを満足するように設定されて塗膜が形成されることを特徴とする塗膜の製造方法を提供する。

本発明においては、上述したような条件下でダイコータを用いて塗膜を形成するものであるので、塗料ビードが安定的に形成され、その結果塗料ビードの乱れによる横スジムラ、すなわちダイコータの進行方向に対して直角な方向に生じるスジムラの発生を抑えることが可能となり、これにより表面が極めて平滑な塗膜を歩留り良く製造することが可能となる。

—方、本発明はまた、透明基板上に、少なくとも着色層および遮光層が形成されてなるカラーフィルタの製造方法であって、上記着色層および上記遮光層のうちの少なくとも一層が上記記載の塗膜の製造方法を用いて形成されていることを特徴とするカラ一フィルタの製造方法を提供する。

本発明のカラ一フィルタの製造方法は、上記塗膜の製造方法を利用するものであるので、例えば着色層を上記塗膜の製造方法を用いて製造した場合は、着色層表面にスジムラが少ない、極めて均一な表面状態を有する高品質な着色層を有するカラーフィルタを歩留り良く製造することができるという利点を有する。

[図面の簡単な説明]

図 1は、本発明における塗膜の製造方法の一例を示す概略断面図である。図 2は、本発明の塗膜の製造方法におけるパラメータと表面状態との関係を示すグラフである。

図 3は、本発明の塗膜の製造方法におけるパラメータと表面状態との関係を示すグラフである。

図 4は、動的粘度を測定する装置を示す概略斜視図である。

図 5は、動的表面張力を測定する装置を示す概略正面図である。

[発明を実施するための最良の形態] ' 以下、本発明の塗膜の製造方法およびそれを用いたカラーフィルタの製造方法について、それぞれ説明する。

A. 塗膜の製造方法

本発明者等は、ダイコータ口金の下端面と基材表面に形成される塗料ビードを安定化させることにより、塗膜表面に発生する横スジムラを大幅に低減させることができる点に着目し、塗料ビードを安定化させるための条件を種々検討した結果、塗料の動的粘度、塗料の動的表面張力、およぴ基材とダイコータとの相対速度により決定するキヤビラリ一数と、ダイコータの下端面と基材との間の距離である塗布ギヤップ、およぴ塗膜のウエット膜厚により決定する無次元膜厚とを所定の範囲とすることにより、大幅に横スジムラを低減させることができることを見いだし、本究明を完成するに至ったものである。

以下、本発明の塗膜の製造方法について、図面を用いて詳細に説明する。

図 1は、本発明の塗膜の製造方法により塗膜を製造している状態の一例を示すものであり、塗料吐出用スリット 1を設けたスリットダイコータ口金 2を用いて、基材 3上に塗膜 4を形成している状態を示すものである。この例に示すように、塗膜形成時に口金 2の下端面 5と基材 3表面との間に、スリツト 1から供給される塗料からなる塗料ビード 6が形成される。この状態で口金 2と基材 3とを相対的に移動させることにより、基材 3表面に塗膜 4が形成されるのであるが、この塗膜 4の形成時に上記塗料ビード 6の形状が不安定であると、形成される塗膜 4 の形状が不安定となり、その結果塗膜 4の膜厚も不均一となる。このため、塗膜表面に上述したような横スジムラが発生する。したがって、上記塗料ビード 6の形状を安定化させることが必要となるのである。

本発明においては、このような塗料ビードの安定化のためのパラメータとして、まずキヤピラリー数（C a ) に着目する。

キヤピラリー数（C a ) は、下記式（1 ) で示されるものである。

C a = μ · V/ σ ( 1 )

ここで、 μは塗料の動的粘度を示し、 Vは基材と口金との相対速度を示し、 σ は塗料の動的表面張力を示すものである。一般的には、塗料ビードの安定化の観点からは、塗料の動的粘度 uは低く、かつ塗料の動的表面張力 σは高い方が、塗料ビードの形状を維持するうえで好ましいといえる。また、基材と口金の相対速度 Vは、遅いほうが塗料ビードの形状の安定性の面で好ましい。したがって、一般的には、キヤビラリー数（C a ) は低い方が塗料ビードの安定性の面では好ましいといえる。

また、他のパラメータとして、無次元膜厚 ( X) に着目する。この無次元膜厚 (X) は、下記式（4 ) で示されるものである。

X = T/ 1 ( 4 )

ここで、 Tはスリットダイコータロ金の下端面と基材表面との間隔である塗布ギャップであり、 tは塗膜のウエット膜厚である。

図 1に示すように、 T〉 tであり、かつその差が小さい程、液切れ等の問題が少なく、かつ塗料ビードの形状を維持する上で好ましい。したがって、無次元膜厚（X) の値も、一般的には低い方が好ましいといえる。

そして、このキヤピラリー数（C a ) を縦軸にとり、無次元膜厚 (X) を横軸として、各種のパラメータを変化させて塗膜を形成し、評価した結果をまとめたのが、図 2である。なお、図 2中〇は横スジムラが生じなかったもの、 △は横スジムラがやや生じたもの、 Xは横スジムラが生じたもの、 *は液切れのあったものを示す。横スジムラの有無は、塗膜表面に N aランプを照射し、その反射光を目視にて判断したものである。

上述したように、左下、すなわちキヤピラリー数も無次元膜厚も低いものほど結果が良好であり、図 2中に示す二つの直線より左下側が好適な範囲であるといえる。これを式にあらわしたのが、下記式（2 ) および（3 ) であり、この二つの式のいずれかの条件を満足するキヤビラリ一数おょぴ無次元膜厚とすることにより、横スジムラを大幅に削減することができるのである。

C a≤0. 065 1 X一⁰' ⁶⁶⁶⁹ ( 2 )

C a≤- 0. 0005 Ln (X) +0. 0108 (3)

また、図 3はさらに好適な範囲を表したものであり、図 3に示す二つの直線より左下側がさらに好適な範囲であるといえる。これを式にあらわしたのが、下記式（5) および（6) であり、この二つの式のいずれかの条件を満足するキヤピラリ一数およぴ無次元膜厚とすることにより、横スジムラをより完全に削減することができるのである。

C a≤ 0. 0403 Χ~°· ⁶³⁰¹ (5 )

C a≤-0. 0006 Ln (X) +0. 008 (6)

1. 各種パラメータ

次に、このキヤピラリー数（Ca) およぴ無次元膜厚（X) を算出するための各種パラメータについて説明する。

(キヤピラリー数）

まず、キヤピラリー数を得るためには、塗料の動的粘度 μ、塗料の動的表面張力び、および基材と口金との相対速度を定める必要がある。以下、これらについて説明する。

a. 塗料の動的粘度 μ

本発明における塗料の動的粘度は、二重円筒方式レオメータ（レオメトリック - サイエンティフィック社製、商品名： ARES) を用い、シェアレートが 100 S一¹、 23°C、液量 10 c cで測定した値を用いる。二重円筒方式レオメータの概略を図 4に示す。

本発明の塗膜の製造方法に用いることができる塗料としては、その動的粘度の上限値が 20 m P a · s以下、好ましくは 10 m P a · s以下であり、下限値が ImP a ' s以上、好ましくは 1. 5以上である塗料である。本発明においては、上記範囲内の動的粘度を有する塗料を用いた際に、横スジムラを有効に抑制することができるからである。

b. 塗料の動的表面張力 σ 本発明における塗料の動的表面張力は、バブルプレツシャ一動的表面張力計（商品名： BP— 2、 KRUSS社製）を用いて測定した値を用いる。測定条件は以下の通りである。

キヤビラリ径： Φ 0. 228 mm

測定温度： 23°C

液量： 60 c c

表面寿命： 10m s

キヤビラリ浸漬深さ： 1 Omm

設定密度： 1. 00 g/cm³

バブルプレッシャー動的表面張力計の概略を図 5に示す。

本発明の塗膜の製造方法に用いることができる塗料としては、その動的表面張力の上限値が、 72 mN/m以下、好ましくは 50 mN/m以下であり、下限値が 27mN/m以上、好ましくは 30 mN/m以上である塗料が好ましい。本発明においては、上記範囲内の動的表面張力を有する塗料を用いた際に、横スジムラを有効に抑制することができるからである。

c 塗布速度 V

本発明における塗布速度とは、スリツトダイコータ口金と基材との相対速度を意味するものである。本発明の塗膜の製造方法に適用することができる塗布速度としては、 0. 0 1mZs e c〜0. 50 m/ s e cの範囲内、特に 0. 05m ノ s e c〜0. 20 m/ s e cの範囲内とすることが好ましい。上記範囲より塗布速度を遅くすると生産効率の面で問題が生じる可能性があることから好ましくなく、上記範囲より早いものは生産装置として現実的でないからである。

(無次元膜厚）

本発明において用いられる無次元膜厚（X) は、上述したように、塗布ギヤップ Tとゥエツト膜厚 tにより算出されるパラメータである。

a. 塗布ギャップ T

本発明において用いられる塗布ギャップ Tとは、スリツトダイコータ口金の下端面から基材表面までの距離をいう。

本発明においては、塗料ビードの安定性等の観点からこの塗布ギャップ Tは、後述するゥエツト膜厚 tより大きな値とする必要がある。

本発明における塗布ギャップ Tの具体的な範囲としては、 5 0〜3 0 0 μ πιの範囲内であり、特に 7 0〜2 0 0 mの範囲内とすることが好ましい。上記範囲を超える場合は、通常塗料ビードの形状を安定させることが困難であり、上記範囲に満たない場合は機械の精度の問題から採用することが困難であるからである。 b . ゥエツト膜厚 t

本発明において用いられるゥヱット膜厚 tとは、基材上に塗工された塗料吐出量ノ塗工面積の形で表され、塗工直後の塗料中の溶剤が揮発する前の状態で存在する際の固液界面と気液界面間の距離である。

本発明におけるウエット膜厚 tの具体的な範囲としては、 5 111〜5 0 111の範囲内、その中でも特に、 6 ; m〜 3 0 / mの範囲内であることが好ましい。上記範囲に満たない場合は、表面を均一な状態で成膜することは困難であり、上記範囲を超える膜厚の場合は、通常表面の均一性がこれほど高精度で求められる用途が想定できないからである。

(その他のパラメータ)

本発明においては、上述したようにキヤピラリー数と無次元膜厚とが所定の関係を有するように、塗料の材料を選択し、力つ装置のパラメータを調整することにより、横スジムラの発生が抑えられた塗膜を得ることができる。したがって、上述したキヤピラリー数と無次元膜厚に関連するパラメータを主として考慮すればよいのであるが、その他のパラメータであっても数値が大幅に異なる場合は、スジムラの発生等に影響を及ぼす可能性を有するものもある。以下このようなパラメータについて説明する。

a . 吐出量

口金から吐出する塗料の吐出量は、結果的に上述したゥエツト膜厚 tに影響するものであることから、この吐出量も所定の範囲内である場合に、横スジムラを抑制することができるといえる。

具体的には、単位長さ当り、すなわち口金の長さ方向の長さが 1 c m当りの吐出量が、 0 . 1 c c /m i n〜； L 0 c c /m i nの範囲内、特に 0 . 1 c c /m i n〜l 0 c c Zm i nの範囲内である場合に、本発明の塗膜の製造方法は好適に作用し、横スジムラの発生が抑えられた塗膜を製造することができる。なお、上記数値は、スリット幅（スリットギヤップ） 1 3 0〜 1 5◦ μ mの範囲内であり、スリツトギャップの寸法のばらつきが 1 0 %以内である場合に適用される。 b . 塗膜のドライ膜厚

これも、上記ウエット膜厚 tに影響するパラメータであり、固形分濃度とゥェット膜厚 tとの関係で決定するパラメータである。具体的には、 0 . 5 ^ 111〜5 μ ιηの範囲内、その中でも特に 1 m〜 3 mの範囲内であり、基材中央部と、塗膜端部から 5 0 mm内側の領域との膜厚差が土 5 %以内であることが好ましい。上記範囲内の塗膜の製造に際して、本発明の横スジムラ抑制作用が効果的に得られるからである。

2 . 塗膜の製造方法

本発明は、上記パラメータを所定の関係を満たすように調整して用いることにより、特に横スジムラの少ない塗膜を製造するものであるが、この塗膜の製造方法は、具体的には、ダイコータによりなされるものであり、塗料吐出用のスリツトを設けたスリットダイコータ口金を用いて基材表面に塗料を塗布し、塗膜を形成することによりなされる。

a . スリットダイコータ口金

本発明に用いられるスリットダイコータ口金は、その形状や材質等に特に限定はなく、高精度に吐出量を制御することができる口金であればいかなる種類もしくは形状のものであっても用いることができる。

具体的には、例えば図 1に示すように、フロントリップ 7とリアリップ 8とから構成され、その間にスリット 1が形成されているもの等を挙げることができる。この場合、塗料は図示略のポンプからマ二ホーノレド 9に供給され、スリット 1を経て基材 3表面に吐出される。

また、このようなスリットダイコータ口金に塗料を供給するポンプとしては、ダブルダイヤフラムポンプやチューブフラムポンプ、シリンジポンプ等の通常ダイコータ法に用いられるポンプであれば用いることができ、特に限定されるものではない。

b . 基材本発明において塗膜が形成される基材としては、枚葉式で供給され、表面に一定の平滑性を有するものであれば特に限定されるものではなく、用途に応じてガラス基板、透明樹脂基板等の基材が選択されて用いられる。本発明に用いられる塗料に関しても、上記パラメータに関する関係を満足することが可能な塗料であれば特に限定されるものではない。一般的には、溶媒に固形分が溶解されてなるものであるが、これに限定されるものではなく、モノマー成分を多く含み、塗布後重合させて硬化させるようなタイプの塗料であってもよレ、。

具体的には、後述するカラーフィルタの着色層形成用塗料や、各種レジスト用塗料等を挙げることができる。

d . その他

本発明の塗膜の製造方法においては、塗膜端部の平滑化のために、ダイコータ法による塗布終了後に、 5 0 0 r p m以下の低速スピンをかけるようにしてもよい。また同様に塗膜端部の平滑化のために、最適化したサックバックを行うようにしてもよい。

B . カラーフィルタの製造方法

本発明のカラーフィルタの製造方法は、透明基板上に、少なくとも着色層およぴ遮光層が形成されてなるカラーフィルタの製造方法であって、上記着色層および上記遮光層のうちの少なくとも一層が上述した塗膜の製造方法を用いて形成されていることを特徴とするものである。

通常、カラーフィルタは、透明基板上に、ブラックマトリックスと称される遮光層と、この遮光層の開口部を着色画素とし、赤色（R ) 、緑色（G) 、青色（B ) の 3原色の着色画素を有する着色層と、必要に応じて設けられる保護層を有するものである。この、着色層および遮光層を形成する際に上述した塗膜の製造方法を用いることにより、例えば表面平滑性が極めて良好な着色層を有するカラーフィルタを歩留り良く形成することができる。なお、本発明においては、上記必要に応じて設けられる保護層に関しても上記塗膜の製造方法により形成することが好ましく、表面状態が均一な保護層を得ることができる。そして、本発明のカラーフィルタの製造方法により得られるカラーフィルタは、上述したような塗膜の製造方法により得られる着色層、遮光層、もしくは保護層を有するものであるので、材料面での無駄をはぶくことができ、かつスジムラの発生が大幅に抑えられた高品質なものとなる。

本発明のカラーフィルタの製造方法に用いられる透明基材に関しては、通常のカラーフィルタに用いられるものであれば特に限定されるものではない。また、上記塗膜の製造方法により着色層あるいは遮光層を形成する場合の塗料の組成としては、上記各種パラメータの範囲内であれば、通常用いられるいかなる材料をも用いることが可能である。その他、カラーフィルタに形成される透明電極等の他の部材に関しても、一般的なカラーフィルタに形成されているものであれば特に限定されるものではなく、用途等に応じて種々の部材が用いられる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。 [実施例]

以下に実施例を示し、本発明をさらに説明する。

基材サイズが 5 5 OmmX 65 OmmX 0. 7 mmの無アルカリガラス（日電ガラス OA-10)を用い、また、定量ポンプとしてダイヤフラムポンプを使用した。また、スリツト先端の吐出口の渡り方向の幅を 54 Ommとした。

ガラス基板端部より 1 Ommの位置に口金先端の中央部を停止させ、クリアランスを 40 / mとし、 0. 01〜0. 03 L/m i nの吐出レートで塗料を 0. 3〜1. 0 s e c間吐出し、塗料ビードを形成した。なお、塗料の組成に関しては、以下の通りである。

次に、基板搬送速度を 15 mm/ s e c〜 180 mm/ s e c, 吐出レートを 0. 01〜0. 03 L/m i nの間で任意に設定し、塗料吐出装置を Z軸方向に上昇させ、塗布ギャップが 40 ！〜 200 / mとなる点で上昇を停止して定常塗工状態とした。

さらに、塗工終了側の基板端部より 10 mmの位置にて、塗料の吐出を停止させ、同時に塗料吐出装置を Z軸方向に上昇させ塗工を終了した。

得られた塗工基板をケミカルドライポンプにて減圧チャンバ一内圧が 93 P a を示すまで仮乾燥させた後、ホットプレートにて 80°Cで 30分間焼成を行い、塗膜を得た。

ここで、塗料側のパラメータおよび装置側のパラメータを変化させて、図 2に示すように、種々のキヤビラリ一数および無次元膜厚の値に対応するデータを得た。

具体的には塗料側では、塗料の固形分濃度 16. 4質量％、 18. 8質量％、 1 9. 9質量％、 24質量％、 24. 8質量。/。、 29. 6質量％、および 34質量％の 6水準で変化させることにより、動的粘度および動的表面張力を 6 準で変化させた。また、装置側のパラメータとしては、塗工速度は 1 SmmZs e c 〜 18 OmmZ s e cの範囲内、ウエット膜厚は 5. 06 μ π！〜 28. 58 m の範囲内、塗布ギャップは 40 μπ！〜 200 μπιの範囲内（40 zm、 80 μ m、 100 μιη_Ν 150 μ m、および 200 mの 5水準）で変化させた。

塗料の組成を以下に示す。

<塗料組成 1 ：固形分濃度 24. 8質量％ >

, プロピレングリコールモノメチルエーテルァセタート： 35. 62重量部 ■ 3—メトキシプチルァセタート : 39. 39重量部

•顔料： 6. 2重量部

(ピグメントレッド 254、ピグメントイェロー 1 38)

- アル力リ可溶性ァクリル系ポリマー： 7. 8重量部

(平均分子量： 10000, 酸価： 60)

'光重合性モノマー： 5. 2重量部

(ジペンタエリスリトールペンタァクリレート）

•光重合開始剤： 2. 5重量部

(2 -メチル- ;L - [4 -（メチルチオ)フエエル]- 2-モンフォリノフ。ロハ。ノン -1) + (シ、、ェチルアミハ、、ンフエノン） •顔料分散剤： 3. 1重量部 (ビッグケミー株式会社製、 Disperbykl6l)

<塗料組成 2 ：固形分濃度 19. 9質量％ >

■プロピレングリコールモノメチルエーテルァセタート： 38. 04重量部 ■ 3—メトキシプチルァセタート： 42. 06重量部

·顔料： 5. 0重量部

(ビグメントレツド 254、ピグメントイェロー 138)

•アル力リ可溶性ァクリル系ポリマー： 6.

(平均分子量： 10000，酸価： 60)

-光重合性モノマー： 4. 2重量部

(ジペンタエリスリトールペンタアタリレート）

•光重合開台剤： 2. 0重量部

(2—メチル— 1— [4— (メチルチオ）フエニル]一 2 -モンフオリノフ。ロハ。ノン—1) + (シ、 'ェチルアミハ、'ンソ'フ ■顔料分散剤： 2. 5重量部

(ビッグケミ一株式会社製、 Disperbykl6l)

<塗料組成 3 :固形分濃度 16. 4質量％>

•プロピレングリコールモノメチルエーテクレアセタート： 39. 70重量部 • 3—メトキシプチルァセタート： 43. 90重量部

-顔料： 4. 1重量部

(ビグメントレッド 254、ビグメントイエロー 138 )

■アル力リ可溶性ァクリル系ポリマー： 5. 2重量部

(平均分子量： 10000, 酸価： 60)

■光重合性モノマー： 3. 4重量部

(ジペンタエリスリトールペンタァクリレート）

•光重合開始剤： 1. 7重量部

(2-メチル -1- [4- (メチルチオ）フヱ-ル]- 2-モンフォリノフ。。ハ。ノン- 1) + (シ、、ェチルアミハ、'ンソ、、フヱノン）

■顔料分散剤： 2. 1重量部

(ビッグケミ一株式会社製、 Disperbykl61)

<塗料組成 4 ：固形分濃度 24質量。/。 >

'プロピレングリコールモノメチルエーテルァセタート： 36. 09重量部 • 3—メトキシブチルァセタ一ト： 39. 91重量部

■顔料： 6. 0重量部

(ビグメントレッド 254、ピグメントイェロー 138)

-アル力リ可溶性ァクリル系ポリマー： 7. 5重量部

(平均分子量： 10000, 酸価： 60)

•光重合性モノマー： 5. 0重量部

(ジペンタエリスリトールペンタァクリレート）

•光重合開始剤： 2. 4重量部

(2-メチル -1- [4 -（メチルチオ）フエニル] - 2 -モンフォリノフ。ロハ。ノン- 1) + (シ、、ェチルアミハ、、ンフヱノン） ■顔料分散剤： 3. 0重量部

(ビッダケミ一株式会社製、 Dis_Perbykl61)

<塗料組成 5 ：固形分濃度 34質量％ >

'プロピレングリコールモノメチルエーテルァセタート： 31. 34重量部 ■ 3—メトキシブチルァセタート： 34. 66重量部

'顔料： 8. 5重量部

(ビグメントレッド 254、ピグメントイェロー 1 38)

•アル力リ可溶性ァクリル系ポリマー： 10. Ί重量部

(平均分子量： 10000, 酸価： 60)

•光重合性モノマー： 7. 1重量部

(ジペンタエリスリトールペンタアタリレート）

-光重合開始剤： 3. 4重量部

(2 -メチル -1- [4- (メチルチオ）フヱ::ル]- 2-モンフォリノフ。ロハ。ノン- 1) + (シ、、ェチルアミハ、、ンソ、、フエノン） -顔料分散剤： 4. 2重量部

(ビッグケミ一株式会社製、 Disperbykl6l)

<塗料組成 6 :固形分濃度 18. 8質量％>

'プロピレングリコーノレモノメチノレエーテゾレアセタート： 38. ]

• 3—メトキシブチルァセタート： 43. 06重量部

•顔料： 4. 7重量部

(ビグメントレッド 254、ピグメントイエロー 138) ■アル力リ可溶性ァクリル系ポリマー： 6. 3重量部

(平均分子量： 10000，酸価： 60)

-光重合性モノマー： 3. 9重量部

(ジペンタエリスリトーノレペンタァクリレート）

•光重合開始剤： 1. 6重量部

(2 -メチル- 1- [4- (メチルチオ)フエ二ル]- 2-モンフォリノフ。口ハ°ノン -1) + (シ、、ェチルアミハ、、ンソ、 'フエノン） -顔料分散剤： 2. 4重量部

(ビッグケミ一株式会社製、 Disperbykl6l)

このように種々のキヤビラリ一数と無次元膜厚の値に対応する塗膜表面の横スジムラの状態を、上述した評価方法、すなわち目視により横スジムラが生じなかつたものを〇、横スジムラがやや生じたものを△、横スジムラが生じたものを X、液切れのあったものを *として評価した。

結果を、表 1、表 2および図 2に示す。

粘度動的表面張塗工速度塗布ギャップ仕上り仕上り感材液膜厚（ m) 無次元膜厚 Ca数 *¾

nPa 's) 力 (mN/m) (mm/secj l xn) Naフノフ te 臼色透過

/、ラメ一タ 1 4.5 30.87 20 16.03 100 6.24 0.00292 ◎ 〇

/ \フメ一 2 4.5 30.87 40 8.01 100 12.48 0.00583 〇塗料 1 ノラメ一タ 3 4.5 30.87 65 4.93 100 20.28 0.00948 X X 固形分ゾ、フメータ 4 4.5 30.87 30 16.03 100 6.24 0.00437 X X

；辰 ί¾ /ヽフメ一タ 4.5 30.87 65 7.4 100 13.51 0.00948 八 O

24.8% / \フメ一タ 6 4.5 30.87 95 5.06 100 19.76 0.01385 X X ゾ、フメ——タフ 4.5 30.87 40 16.03 100 6.24 0.00583 X X

/ヽフメータ 8 4.5 30.87 85 7.54 100 13.26 0.01239 X X ノラメ一タ 1 3.6 29.82 15 21.37 100 4.68 ' 0.00181 ◎ 〇

/ヽフメータ 2 3.6 29.82 35 9.1 6 100 10.92 0.00423 o o

/ ラメータ 3 3.6 29.82 50 6.41 100 15.60 0.00604 〇〇塗料 2

―タ 4 3.6 29.82 50 9.62 100 10.40 0.00604 〇〇固形分

/、フメ——タ 5 3.6 29.82 74.8 6.41 100 15.60 0.00903 Δ

19.9% ゾヽフメータ 6 3.6 29.82 35 18.32 100 5.46 0.00423

ゾ、フメ一タ 7 ◎

3.6 29.82 64.7 9.86 100 10.14 0.00781 〇

ノゝフ一 j

メ——タ 8 3.6 29.82 100 6.41 100 15.60 0.01207 X X パラメ一タ 9 3.6 29.82 45 14.25 100 7.02 0.00543 ◎ 〇パラメータ 1 2.8 29.39 15 21.37 100 4.68 0.001 5 ◎ 〇パラメータ 2 2.8 29.39 45 7.12 100 14.04 0.00435 ◎ 〇塗料 3 パラメ一タ 3 2.8 29.39 20 24.04 100 4.16 0.001 93 ◎ 〇固形分パラメータ 4 2.8 29.39 40 12.02 100 8.32 0.00387 ◎ 〇

7辰/ パラメータ 5 2.8 29.39 65 7.4 100 13.51 0.00628 〇〇

1 6.4% パラメータ 6 2.8 29.39 30 21 .37 100 4.68 0.00290 ◎ 〇パラメータ 7 2.8 29.39 55 1 1 .66 100 8.58 0.00532 ◎ 〇パラメータ 8 2.8 29.39 85 7.54 100 1 3.26 0.00821 Δ 〇

表 2

動的表面張塗工速度塗布ギヤ、ソプ仕上り仕上り感材液膜厚（j«m) 無次元膜厚 Ga数

力（mN/m) (mm/ sec; (Urn) Naランプ反身 T 白色透過バラメータ 1 6.9 32.27 38 20.31 100 4.92 0.00813 ◎ 〇ノ《ラメ一タ 2 6.9 32.2フ 2フ 28.58 100 3.50 0.00578 ◎ 〇ノラメ一タ 3 6.9 32.27 53 20.38 100 4.91 0.01135 o 〇パラメ一タ 4 6.9 32.27 45 24.01 100 4.17 0.00963 ◎ 〇パラメータ 5 6.9 32.27 38 28.43 100 3.52 0.00813 ◎ 〇パラメ一タ 6 6.9 32.27 69 20.13 100 4.97 0.01477 Δ O パラメ一タ 7 6.9 32.27 58 23.95 100 4.18 0.01242 © 〇パラメ一タ 8 6.9 32.27 49 ■ 28.34 100 3.53 0.01049 O 〇パラメータ 9 6.9 32.27 35 13.74 40 2.91 0.00749

塗料 4 ◎ 〇パラメータ 10 6.9 32.27 45 10.68 40 3.74 0.00963

固形分 ◎ 〇 .

ノ《ラメ一夕 11 6.9 32.27 60 7.40 40 5.41 0.01259 ◎ 〇ゾ

24% ラメ一タ 12 6.9 32.27 45 10.68 40 3J 0.00963 ◎ 〇ゾ《ラメータ 13 6.9 32.27 60 7.40 200 27.04 0.01284 X X パラメータ 14 6.9 32.27 60 7.40 100 13.52 0.01284 X X

/ ラメータ 16 6.9 32.27 65 12.33 40 3.24 0.01391 © 〇パラメータ 17 6.9 32.27 90 14.98 80 5.34 0.01927 △ 〇パラメ一タ 18 6.9 32.27 90 16.13 80 4.96 0.01927 厶〇ノラメータ 19 6.9 32.27 90 17.29 80 4.63 0.01927 厶〇パラメータ 20 6.9 32.27 90 18.76 80 4.27 0.01927 厶〇

/ ラメータ 21 6.9 32.27 90 20.13 80 3.97 0.01927 厶〇パラメータ 1 15.4 34.24 35 9.16 40 4.37 0.01573 厶〇パラメータ 2 15.4 34.24 35 9.16 100 10.92 0.01573 X X 塗料 5

/ ラメ一夕 3 15.4 34.24 40 8.01 100 12.48 0.01798 ◎ 〇固形分

パラメータ 4 15.4 34.24 45 7.12 100 14.04 0.02022 X X 34% パラメータ 5 15.4 34.24 20 16.03 40 2.50 0.00899 ◎ 〇パラメ一タ 6 15.4 34.24 20 16.03 100 6.24 0.00899 ◎ 〇パラメータ 7 15.4 34.24 30 10.68 40 3.74 0.01348 ◎ 〇塗料 6 パラメータ 1 3.8 29.60 90 10.90 80 7.34 0.01155 Δ 〇固形分パラメータ 2 3.8 29.60 120 10.90 80 7.34 0.01541 Δ 〇パラメータ 3 3.8 29.60 180 10.90 50 4.59 0.02311 厶〇

18.8% パラメータ 4 3.8 29.60 180 10.90 150 13.76 0.02311 X X

3 009448

18 なお、表中の N aランプ反射の評価、および白色透過の評価は、以下の基準で行った。

(N aランプ反射）

◎：良好

〇：若干スジ有り

△：スジ有り

X：塗布不良発生

(白色透過）

〇：良好

△：若干スジ有り

X ：塗布不良発生

Claims

請求の範囲

1. 塗料吐出用のスリットを設けたスリットダイコータ口'金を用いて基材表面に塗料を塗布し、塗膜を形成する塗膜の製造方法において、

前記塗料の動的粘度を、前記基材と前記口金との相対速度を V、前記塗料の動的表面張力を σとした際に、下記式（1) で得られるキヤピラリー数（C a) と、

C a = · V/ σ (1)

前記口金の下端面と前記基材表面との間隔である塗布ギヤップを Τとし、塗膜の塗布時のウエット膜厚を tとした際に、 TZtで得られる無次元膜厚（X) と力下記式（2)

C a≤0. 0651 X—⁰· ⁶⁶⁶⁹ ( 2)

および、下記式（3)

C a≤- 0. 0005 Ln (X) +0. 0108 (3)

の、ずれか満足するように設定されて塗膜が形成されることを特徴とする塗膜の製造方法。

2. 透明基板上に、少なくとも着色層および遮光層が形成されてなるカラーフィ /レタの製造方法であって、前記着色層おょぴ前記遮光層のうちの少なくとも一層が前記請求の範囲第 1項に記載の塗膜の製造方法を用いて形成されていることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。