JP2016182576A - スリットノズル、塗布方法、及び塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】塗布膜の幅方向両端部に存在する膜厚不良部長さを短くして、膜厚が均一な製品領域を拡大することができるスリットノズルを提供する。【解決手段】本発明のスリットノズル１０は、塗布液が供給される供給口１６と、供給口から供給された塗布液を長手方向に分散させるマニホールド１３と、マニホールドに接続して吐出口１７に塗布液を誘導する流路部１４とを備え、吐出口と略面一となる吐出口面２０と、吐出口面の長手方向両端の縁部にそれぞれ連なってマニホールド側に延びる一対の切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒとを有し、流路部のマニホールドとの接続位置における長手方向長さをＷｅ、吐出口の長手方向長さをＷｄとしたとき、Ｗｅ＞Ｗｄである。【選択図】図４

Description

本発明は、スリット状の吐出口から塗布液を吐出して、被塗布部材上に塗布膜を形成するためのスリットノズル、このスリットノズルを用いて、被塗布部材上に塗布膜を形成する塗布方法、及びこのスリットノズルを用いて、被塗布部材上に塗布膜を形成する塗布装置に関する。

ガラス基板やフィルム等の被塗布部材上に、塗布液を塗布して、塗布膜を形成する塗布器として、スリット状の吐出口から塗布液を吐出するスリットノズルが知られている。スリットノズルは、塗布液が供給される供給口と、供給口に流体的に連通して塗布液をスリットノズルの長手方向に拡幅するマニホールドと、マニホールドに接続して塗布液が通過する吐出スリット（流路部）と、吐出スリットの出口で塗布液が吐出される吐出口を有している。供給口からマニホールドに流入した塗布液は、マニホールドで長手方向に拡幅され、マニホールド内で一旦充満した状態になってから、吐出スリットを通過して、吐出口から一定の間隔（ギャップ）離れた被塗布部材上に吐出される。この際に、スリットノズルを被塗布部材に相対的に移動させると、塗布液は、吐出口の長手方向全長に亘って一様に吐出されるため、被塗布部材に均一な膜厚の塗布膜を形成することができる。特許文献１には、上記のマニホールドの断面形状や吐出スリットのスリット幅を最適化して、スリットノズルの長手方向である塗布膜幅方向に均一な塗布膜を形成するようにしたスリットノズルが開示されている。

しかしながら、塗布液の特性（粘性や濡れ性など）や塗布条件（塗布速度、ギャップ、吐出圧力など）によっては、図６（ａ）に示されるように、長手方向の長さＷｄの吐出口１７から被塗布部材Ｗ上に吐出された塗布液は、吐出口１７の両端から長手方向両側に広がり、長さＷｄよりも大きな長さＷｃが塗布幅となって、被塗布部材Ｗ上に塗布膜が形成される。このように形成される塗布膜の膜厚に関しては、図６（ｂ）に示されるように、中央部は所定の膜厚ｔ０で均一となるが、塗布膜幅方向両端部では上記の塗布液の局部的な広がりの影響を受けて、膜厚ｔ０よりも小さくなってしまう。その結果、膜厚が一定の基準内に収まらない膜厚不良部が、塗布膜幅方向両端部に相当の長さ範囲にわたって発生し、製品として使用できる均一膜厚の領域が著しく減少してしまう。

特開２０１０−５６１６号公報

上記の問題の根本原因となる塗布液の局部的な広がりは、特許文献１に示されるマニホールドの断面形状や吐出スリットのスリット幅を最適化して全体的に均一に塗布液を吐出する手段では、全く抑制することができないので、塗布膜幅方向両端部の膜厚減少をなくすことはできない。

本発明は、上記課題に鑑みなされたもので、その主な目的は、いかなる特性の塗布液や塗布条件であっても、塗布膜幅方向両端部で所定膜厚より減少している膜厚不良部の領域を小さくして、所定膜厚で均一な製品領域を拡大することができるスリットノズルと、このスリットノズルを用いて全領域にわたって膜厚が均一で高品位な塗布膜を形成することができる塗布方法及び塗布装置を提供することにある。

本発明に係るスリットノズルは、スリット状の吐出口から塗布液を吐出するスリットノズルであって、塗布液が供給される供給口と、供給口から供給された塗布液を長手方向に分散させるマニホールドと、マニホールドに接続して吐出口に塗布液を誘導する流路部とを備え、さらに吐出口と略面一となる吐出口面と、吐出口面の長手方向両端の縁部にそれぞれ連なってマニホールド側に延びる一対の切り上げ面とを備えているとともに、流路部のマニホールドとの接続位置における長手方向長さをＷｅ、吐出口の長手方向長さをＷｄとしたとき、Ｗｅ＞Ｗｄであることを特徴する。

本発明に係る塗布方法は、上記スリットノズルを被塗布部材に対して相対的に移動させながら、吐出口から塗布液を吐出して、被塗布部材の表面に塗布液を塗布して塗布膜を形成することを特徴とする。

本発明に係る塗布装置は、上記スリットノズルと、スリットノズルに塗布液を供給する供給手段と、被塗布部材を支持する支持手段と、スリットノズルを支持手段に支持された被塗布部材に対して相対的に移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする。

本発明のスリットノズルによれば、吐出口の長手方向両端部で塗布液の局部的な広がりが発生して、吐出口の長手方向長さよりも大きな塗布幅で塗布されても、吐出口の長手方向両端部で、塗布液の広がりに応じて局部的に塗布液を増量して吐出するので、塗布膜幅方向両端部の膜厚減少を大幅に減じることができる。その結果、塗布膜幅方向両端部で所定膜厚より減少している膜厚不良部の領域を極めて小さくできるので、所定膜厚で均一な製品領域を著しく拡大することができる。

本発明の塗布方法及び塗布装置によれば、上記の優れたスリットノズルを用いて被塗布部材に塗布液を塗布するのであるから、塗布膜のほぼ全領域にわたって膜厚が均一で高品位な塗布膜を形成することができる。

本発明の一実施形態におけるスリットノズルの構成を模式的に示した側面断面図である。 本発明の一実施形態におけるスリットノズルを備えた塗布装置の構成を模式的に示した斜視図である。 本発明の一実施形態におけるスリットノズルの分解斜視図である。 本発明の一実施形態におけるスリットノズルの長手方向に沿った正面断面図である。 （ａ）は、スリットノズルの塗布状況を示す正面断面図、（ｂ）は、スリットノズルの長手方向に沿った塗布膜の膜厚分布図である。 （ａ）は、従来のスリットノズルの塗布状況を示す正面断面図、（ｂ）は、スリットノズルの長手方向に沿った塗布膜の膜厚分布図である。 は、本発明のスリットノズルで塗布した時の一例となる、長手方向に沿った塗布膜の膜厚分布図である。 （ａ）は、本発明の他の実施形態におけるスリットノズルの長手方向に沿った正面断面図、（ｂ）は、同じスリットノズルの側面断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本発明の効果を奏する範囲を逸脱しない範囲で、適宜変更は可能である。

図１は、本発明の一実施形態におけるスリットノズル１０の構成を模式的に示した側面断面図、図２は、本実施形態におけるスリットノズル１０を備えた塗布装置１の構成を模式的に示した斜視図である。

図１に示すように、本実施形態におけるスリットノズル１０は、塗布液が供給される供給口１６と、供給口１６から供給された塗布液を長手方向に分散させるマニホールド１３と、マニホールド１３に接続して吐出口１７に塗布液を誘導する流路部（吐出スリット）１４とを備えている。供給口１６とマニホールド１３は第１のブロック１１内に設けられている。そして、第１のブロック１１の内面３１と第２のブロック１２の内面３２とでシム１５を間に挟み込んで、第１のブロック１１と第２のブロック１２とを互い一体的に結合している。これによって、流路部１４に設けられる内面３１と内面３２間のＸ方向の間隔が、スリット間隔Ｌｐとなる。従って、シム１５の厚さがスリット間隔Ｌｐに等しくなる。また、吐出口１７と略面一となる第１のブロック１１と第２のブロック１２の最下端面が、吐出口面２０となる。吐出口面２０は、紙面に垂直な長手方向（Ｙ方向）に延びている。

このスリットノズル１０を用いて塗布を行う時は、流路部１４の出口である吐出口１７と、被塗布部材Ｗとの間を、一定の間隔（ギャップ）Ｇに保ち、スリットノズル１０を、Ｘ方向に移動させながら、スリット状の吐出口１７から塗布液を吐出する。これによって、塗布液は吐出口１７から吐出口面２０を伝わってＸ方向に広がってから被塗布部材Ｗに達し、被塗布部材Ｗ上に塗布膜Ｍが形成される。

図２に示すように、本実施形態における塗布装置１は、ガラス基板等の被塗布部材Ｗを支持するステージ（支持手段）２と、このステージ２上の被塗布部材Ｗに対して、塗布液を吐出するスリットノズル１０と、塗布液を溜めるタンク６と、タンク６内の塗布液をスリットノズル１０に供給するポンプ（供給手段）５と、スリットノズル１０を、ステージ２に支持された被塗布部材Ｗに対して、Ｘ方向に相対的に移動させる移動手段３とを備えている。タンク６内の塗布液は、ポンプ５により配管４を通じて、スリットノズル１０に供給される。また、塗布装置１は、図示されていない、スリットノズル１０を上下方向であるＺ方向に自在に移動させるＺ方向移動手段も備えている。これにより、スリットノズル１０の吐出口１７と被塗布部材Ｗとの間を、Ｚ方向に一定の間隔（ギャップ）Ｇに設定することができる。

スリットノズル１０では、図３に示すように、第１のブロック１１、第２のブロック１２、マニホールド１３、及び吐出口面２０は、長手方向であるＹ方向に延びている。吐出口面２０は、長手方向中央部では、第１のブロック１１と第２のブロック１２の上下方向（Ｚ方向）の最下端面で構成されているが、長手方向両端部では、さらにシム１５の最下端面も加えて構成されている。いずれにせよ、吐出口１７と略面一となるものが、すべて吐出口面２０となる。
また、図３では、吐出口面２０の長手方向の両端となる縁部３３Ｌ、３３Ｒと、縁部３３Ｌ、３３Ｒから吐出口面２０とは反対側に長手方向に傾斜して延びている切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒが、示されている。縁部３３Ｌ、３３Ｒと、切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒは、吐出口面２０と同様に、第１のブロック１１と第２のブロック１２とシム１５の、該当部分が合わさって構成されている。すなわち、縁部３３Ｌ、３３Ｒは、第１のブロック１１と第２のブロック１２とシム１５の該当線分が略一直線状になって構成されている。一方、切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒは、第１のブロック１１と第２のブロック１２とシム１５の該当する傾斜面が、略面一になって構成されている。

次に、スリットノズル１０の長手方向に沿った正面断面図である図４を見ると、スリットノズル１０は、吐出口１７と略面一となる吐出口面２０と、吐出口面２０の長手方向両端の縁部３３Ｌ、３３Ｒにそれぞれ連なって、マニホールド１３側に延びる一対の切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒとを備えている。切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒは、上記したように、吐出口面２０と同様に、第１のブロック１１、第２のブロック１２、シム１５の該当する位置での傾斜面から構成されている。なお、図４では、吐出口面２０の長手方向両端にある縁部３３Ｌと３３Ｒ間の長手方向長さはＷｐとしている。

また、図４に示すように、スリットノズル１０は、流路部１４が占める領域（コの字状の凹部）を形成するシム１５を内部に備える。ここで、流路部１４を形成するために、シム１５のマニホールド１３側の長手方向両端には、第１の内壁１５ａＬ、１５ａＲが、長手方向に一定長さとなるように形成され、反対の吐出口１７側の長手方向両端には、第２の内壁１５ｂＬ、１５ｂＲが、吐出方向の傾斜長さＬの範囲にわたって、吐出口１７に向かって中央側に傾斜するように設けられている。なお、吐出方向はＺ方向となる。これにより、流路部１４は、マニホールド１３から吐出口１７に至る経路の途中から、マニホールド１３側から吐出口１７側に向けて、長手方向長さが、吐出方向の傾斜長さＬの範囲にわたって、漸減するように形成されている。その帰結として、流路部１４のマニホールド１３との接続位置Ｃ−Ｃにおける長手方向の長さをＷｅ、吐出口１７の長手方向の長さをＷｄとしたとき、Ｗｅ＞Ｗｄとなるように形成されている。

次に、図５を用いて、図４に示す構成のスリットノズル１０に塗布液を供給して、被塗布部材Ｗ上に塗布膜を形成する時の作用について説明する。図５（ａ）は、スリットノズル１０の塗布状況を示す正面断面図、図５（ｂ）は、長手方向に沿った塗布膜の膜厚分布図である。

まず、図５（ａ）を見ると、図４に示す構成のスリットノズル１０に塗布液を供給して、被塗布部材Ｗ上に長手方向の長さＷｃで塗布している状況が、正面断面図として示されている。スリットノズル１０の供給口１６にポンプ５から流量Ｑで塗布液を供給すると、塗布液はマニホールド１３に充満した後に、接続位置Ｃ−Ｃで流路部１４に押し出される。塗布液が接続位置Ｃ−Ｃから吐出口１７に向かう時の長手方向長さが一定の領域（第１の内壁１５ａＬ、１５ａＲで規定された領域）では、塗布液は、長手方向の長さＷｅの全域に亘って、単位長さあたりの流量である単位流量ｑ０で一様に通過する。なお、ｑ０×Ｗｅ＝Ｑである。長手方向の長さが一定の領域に続く長手方向の長さがＷｅからＷｄに漸減する領域（第２の内壁１５ｂＬ、１５ｂＲで規定された領域）では、流路部１４の長手方向両端部近傍を流れる塗布液は、第２の内壁１５ｂＬ、１５ｂＲに案内されて、中央側にある吐出口１７の長手方向両端部に向かい、長手方向の長さＷ１の範囲に集束する。その結果、吐出口１７から吐出される塗布液は、中央部では長手方向の長さＷ０にわたって単位流量ｑ０で吐出される一方、吐出口１７の長手方向両端部から長さＷ１の範囲では、流路部１４の長手方向両端部近傍から塗布液が向けられた分だけ単位流量ｑ０より増量した単位流量ｑ１で、吐出される。なお、ｑ０×Ｗ０＋２×ｑ１×Ｗ１＝Ｑである。従って、長手方向の長さＷｄの吐出口１７から吐出される塗布液が、吐出口１７の長手方向両端から広がって、長さＷｄよりも大きな長さＷｃで被塗布部材Ｗ上に塗布されても、単位流量ｑ０からｑ１への増量分が、吐出口１７の長手方向両端からの塗布液広がりによる膜厚減少分を補うことができる。その結果、図５（ｂ）に示すように、吐出口１７の長さＷｄよりも大きな長手方向の長さＷｆの範囲にわたって、中央部の膜厚ｔ０で均一にすることができる。なお、スリットノズル１０のＸ方向の移動速度をＶ０とすると、ｔ０＝ｑ０／Ｖ０である。

また、図５（ａ）で、塗布膜の塗布幅となる長手方向の長さＷｃは、吐出口面２０の長手方向両端にある縁部３３Ｌ、３３Ｒ間の長手方向の長さＷｐよりも少し大きな値となる。これは、縁部３３Ｌ、３３Ｒに長手方向に一対の切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒが接続して形成されているため、吐出口１７の両端部からの塗布液の広がりが、縁部３３Ｌ、３３Ｒを越えた１対の切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒで制限されることによる。

以上説明した作用により、本実施形態におけるスリットノズル１０を用いて塗布膜を形成すると、吐出口１７の長手方向両端から局部的に増量した塗布液を吐出するとともに、吐出された塗布液の広がりを制限して塗布膜の塗布幅（長さＷｃ）も制約するので、スリットノズル１０の長手方向、すなわち塗布膜幅方向の両端部の領域で膜厚が小さくなるのを防止して、中央部の膜厚と略同一にすることができる。これにより、塗布膜の幅方向両端部における膜厚不良部の長さを小さくして、膜厚が均一な製品領域を拡大することができる。

以上の作用効果は、吐出口１７の長手方向両端からの塗布液の広がり量が大きく、塗布幅である長さＷｃが１対の縁部３３Ｌ、３３Ｒ間の長さＷｐ以上となるＷｃ≧Ｗｐの場合に特に発揮され、この時は、Ｗｅ＞Ｗｄになるように、より好ましくは、Ｗｅ≧Ｗｐとなるようにスリットノズル１０を構成する。また、吐出口１７の両端部からの塗布液の広がり量が小さく、Ｗｃ＜Ｗｐの場合は、Ｗｅ＞Ｗｄであれば、長手方向両端部の領域で膜厚が小さくなるのを防止して、中央部の膜厚と略同一にすることができる。

なお、比較例として、Ｗｅ、Ｗｄ、Ｗｐが好ましくない条件で、スリットノズル１０が構成されている場合、すなわち、従来のスリットノズルで塗布する場合の膜厚分布を次に示す。図６（ａ）は、Ｗｅ、Ｗｄ、Ｗｐが好ましくない条件で構成されているスリットノズル１０の塗布状況を示す図５（ａ）に対応した正面断面図、図６（ｂ）は、その時のスリットノズル１０の長手方向に沿った塗布膜の膜厚分布図である。

図６（ａ）を見ると、スリットノズル１０は、Ｗｐ＞Ｗｅ＝Ｗｄ＝Ｗｍとなるように構成され、長さＷｐよりも大きな長さＷｃを塗布幅として被塗布部材上に塗布膜を形成している。なお、長さＷｍは、マニホールド１３の長手方向の長さである。

まず、供給口１６から流量Ｑで塗布液を供給すると、マニホールド１３からは接続位置Ｃ−Ｃにて、長さＷｅの範囲にわたって単位流量ｑ０で一様に塗布液が流路部１４に押し出されるとともに、同じ単位流量ｑ０で長さＷｄの範囲にわたって一様に吐出口１７から塗布液が吐出される。その後、塗布液は長さＷｃまで広がって被塗布部材上に塗布される。このようにして形成される塗布膜の長手方向の膜厚分布を図６（ｂ）で見ると、中央部の膜厚ｔ０に対して、吐出口１７の長手方向の長さＷｄから塗布膜の塗布幅である長さＷｃまで塗布液が広がっているので、塗布膜の両端部にいくほど、膜厚は膜厚ｔ０より小さくなる。さらに、塗布液が吐出口１７の長手方向両端から長手方向（塗布膜の幅方向）に広がる時に、長さＷｄの吐出口１７の長手方向両端部の近傍から塗布液を随伴で持ち出すため、膜厚ｔ０となる領域の長手方向長さは、吐出口１７の長さＷｄよりも小さい長さＷｆとなる。

以上より、膜厚が所定値ｔ０で均一な製品領域を吐出口１７の長さＷｄ以上に拡大して、塗布膜の塗布幅である長さＷｃに近づけるには、上記の好ましい条件、すなわち、Ｗｅ＞Ｗｄ、さらには、より好ましい条件、すなわち、Ｗｅ＞Ｗｐにて、スリットノズル１０を構成する必要がある。

本実施形態において、流路部１４の長手方向の長さの漸減率（Ｗｅ−Ｗｄ）／Ｌは、塗布液の特性（粘性や濡れ性など）や、塗布条件（塗布速度や吐出圧力など）によって、適宜決めればよい。さらには、塗布膜の幅方向両端部での膜厚の減少程度に応じて定めてもよい。ただし、漸減率に関わる傾斜長さＬは、好ましくは２０ｍｍ以下とする。これであれば、吐出口１７の長手方向両端部で局部的に塗布液の吐出流量が増量し、増量分が吐出口１７の長さＷｄの全長にわたって平均化されることはない。

また、本実施形態では、流路部１４の長手方向両端部を流れる塗布液を、中央側に向けるように、第２の内壁１５ｂＬ、１５ｂＲを、直線的な傾斜面で形成したが、これに限定されず、例えば、円弧状や曲線状の傾斜面であってもよい。

また、本実施形態では、流路部１４を形成する領域は、スリットノズル１０内に配置されたシム１５によって規定されるため、スリットノズル１０内に備えるシム１５を異なるものに交換して、流路部１４の長手方向の長さの漸減率を調整することができる。

通常、形成する塗布膜の塗布幅やスリットノズル１０の構成に応じて、吐出口１７の長手方向の長さＷｄが定められるため、流路部１４の長手方向の長さの漸減率の調整は、流路部１４のマニホールド１３との接続位置Ｃ−Ｃにおける長手方向の長さＷｅや、傾斜長さＬを調整すればよい。

なお、図４に示すように、マニホールド１３の長手方向の長さＷｍについては、常にＷｍ≧Ｗｅとなるように、予め大きめにしておくことが好ましい。これにより、長さＷｅが大きく異なるシム１５に交換しても、常に、マニホールド１３から塗布液を、接続位置Ｃ−Ｃで流路部１４に、長手方向の長さＷｅに亘って同じ単位流量ｑ０で一様に押し出すことができる。

また、図４に示す本実施形態において、吐出口１７の長手方向の両端から縁部３３Ｌ、３３Ｒまでの長手方向の長さは長さＷｇで示されている。この長さＷｇが小さいと吐出口１７の両端からの塗布液の広がり量が小さくなるので、Ｗｇは１ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、塗布膜の幅方向両端部における膜厚不良部の長さを、容易に小さくすることができる。

次に、表面張力が高い塗布液をスリットノズル１０で塗布する時の膜厚形状の改善作用について、図７を用いて説明する。図７は、上記の実施形態のスリットノズル１０で塗布した時の一例となる、長手方向に沿った塗布膜の膜厚分布図である。図７で、従来のスリットノズル（例えばＷｅ＝Ｗｄ＜Ｗｐ）で塗布すると、破線で示すように、塗布膜の幅方向両端部に表面張力により近傍から塗布液が引き寄せられて、塗布膜両端部の膜厚が中央部の膜厚ｔ０よりも相当大きくなる一方、塗布液を引き寄せにより持ち出された塗布膜両端部近傍の膜厚は、逆に中央部の膜厚ｔ０よりも相当小さくなる。この場合、本発明の一実施形態におけるスリットノズル１０を用いれば、Ｗｅ≧ＷｐおよびＷｅ＞Ｗｄとなっているので、吐出口１７の長手方向両端部にのみ局部的に塗布液の吐出流量が増量し、その増量分が、塗布液が引き寄せにより持ち出された塗布膜の幅方向両端部近傍に補充されて、実線で示すように、塗布膜両端部近傍でも中央部の膜厚ｔ０からの減少をなくして、同じ膜厚ｔ０を維持することが可能となる。これにより、吐出口１７の長さＷｄより大きな長さＷｆの範囲にわたって均一な膜厚ｔ０を維持することができる。この結果、表面張力が高い塗布液を塗布する時でも、膜厚不良部の長さを小さくして、膜厚が均一な製品領域を拡大することができる。

以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、もちろん、種々の改変が可能である。

例えば、上記実施形態において、シム１５は、その外殻形状を、第１のブロック１１及び第２のブロック１２の外殻形状に揃えて形成して配置した。これに対して、例えば、図８に示す形態にしてもよい。ここで、図８（ａ）は、他の実施形態のスリットノズル１０の長手方向に沿った正面断面図、図８（ｂ）は、同じスリットノズル１０の側面断面図である。図８（ａ）を見ると、流路部１４を形成する領域にのみ、１対のシム１５Ｌ、１５Ｒを配置する形態にしている。この場合、図８（ｂ）に示すように、第１のブロック１１の内面３１Ａがシム１５のかわりに第２のブロック１２の内面３２に押し付けられ、内面３１Ａと内面３１Ｂとの間で段差を作り、その段差量がスリット間隔Ｌｐとなるようにしている。

また、その他、上記実施形態では、切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒを、吐出口面２０からマニホールド１３側に延びる直線的な傾斜面としたが、これに限定されず、例えば、円弧状や曲線状の傾斜面であってもよい。また、切り上げ面２１Ｌ、２１Ｒの吐出口面２０に対する傾斜角も特に制限されないが、例えば、１〜７５°の範囲で設定することが好ましい。

なお、本発明の塗布方法であるが、塗布装置１を用い、上記に説明した好ましい実施形態のスリットノズル１０を被塗布部材Ｗに対してＸ方向に相対的に移動させながら、吐出口１７から塗布液を吐出して、被塗布部材Ｗの表面に塗布液を塗布して塗布膜を形成する。さらに、スリットノズル１０内に備えるシム１５を交換して、異なる長さＷｅに調整して塗布液を吐出する、ことをしてもよい。より具体的には、以下のステップ（１）〜（３）で行うことができる。
（１）塗布装置１で、スリットノズル１０を被塗布部材Ｗの塗布開始位置まで移動させてから、図示しないＺ方向移動手段により、スリットノズル１０を下降させて、吐出口１７と被塗布部材Ｗの表面との間のＺ方向の間隔（ギャップ）Ｇが所定値になるようにする。
（２）続いて、スリットノズル１０をＸ方向に速度Ｖ０で移動開始するとともに、ポンプ５から流量Ｑでスリットノズル１０に塗布液を供給する。これによって吐出口１７からＸ方向に相対的に移動する被塗布部材Ｗに向かって塗布液が吐出され、被塗布部材Ｗの表面に塗布液が塗布されて塗布膜を形成する。
（３）被塗布部材の塗布終了位置までスリットノズル１０が移動したら、ポンプ５からの塗布液供給を停止するとともに、図示しないＺ方向移動手段を駆動してスリットノズル１０を上昇させて、塗布を終了する。塗布膜が形成された被塗布部材Ｗは、乾燥等の次工程に移動させる。

なお、形成した塗布膜の幅方向（スリットノズル１０長手方向）の膜厚分布から、長さＷｅが異なるシム１５に置き換えて、以上の塗布方法を実施してもよい。これによって、膜厚分布が調整、改善されて、中央部の膜厚で均一である製品領域を拡大することができる。

１ 塗布装置
２ ステージ（支持手段）
３ 移動手段
４ 配管
５ ポンプ（供給手段）
６ タンク
１０ スリットノズル
１１ 第１のブロック
１２ 第２のブロック
１３ マニホールド
１４ 流路部（吐出スリット）
１５ シム
１５ａＬ、１５ａＲ 第１の内壁
１５ｂＬ、１５ｂＲ 第２の内壁
１６ 供給口
１７ 吐出口
２０ 吐出口面
２１Ｌ、２１Ｒ 切り上げ面
３１ 内面
３２ 内面
３３Ｌ、３３Ｒ 縁部

Claims (8)

1. スリット状の吐出口から塗布液を吐出するスリットノズルであって、
   塗布液が供給される供給口と、
   前記供給口から供給された塗布液を長手方向に分散させるマニホールドと、
   前記マニホールドに接続して前記吐出口に塗布液を誘導する流路部と、
   を備え、
   さらに前記吐出口と略面一となる吐出口面と、該吐出口面の長手方向両端の縁部にそれぞれ連なって前記マニホールド側に延びる一対の切り上げ面とを備えているとともに、
   前記流路部の前記マニホールドとの接続位置における長手方向長さをＷｅ、前記吐出口の長手方向長さをＷｄとしたとき、Ｗｅ＞Ｗｄである、スリットノズル。
2. 前記吐出口面の長手方向両端にある縁部間の長手方向長さをＷｐとしたとき、Ｗｅ≧Ｗｐである、請求項１に記載のスリットノズル。
3. 前記マニホールドの長手方向長さをＷｍとしたとき、Ｗｍ≧Ｗｅである、請求項１または２に記載のスリットノズル。
4. 前記流路部が占める領域を形成するシムを内部に備える、請求項１〜３の何れかに記載のスリットノズル。
5. 前記流路部は、前記マニホールド側から前記吐出口側に向けて、長手方向長さが漸減するように形成されている、請求項１〜４のいずれかに記載のスリットノズル。
6. 請求項１〜５の何れかに記載のスリットノズルを前記被塗布部材に対して相対的に移動させながら、前記吐出口から塗布液を吐出して、被塗布部材の表面に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布方法。
7. さらに、前記スリットノズル内に備えるシムを交換して、異なる長さ（Ｗｅ）に調整して塗布液を吐出する、請求項６に記載の塗布方法。
8. 請求項１〜５の何れかに記載のスリットノズルと、
   前記スリットノズルに塗布液を供給する供給手段と、
   被塗布部材を支持する支持手段と、
   前記スリットノズルを前記支持手段に支持された被塗布部材に対して相対的に移動させる移動手段と、
   を備えた、塗布装置。

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