JPH05309309A - 塗布ノズルの洗浄装置 - Google Patents
塗布ノズルの洗浄装置Info
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- JPH05309309A JPH05309309A JP4117350A JP11735092A JPH05309309A JP H05309309 A JPH05309309 A JP H05309309A JP 4117350 A JP4117350 A JP 4117350A JP 11735092 A JP11735092 A JP 11735092A JP H05309309 A JPH05309309 A JP H05309309A
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- air
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
- B05B15/52—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter for removal of clogging particles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids
- B05B15/555—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids discharged by cleaning nozzles
Abstract
(57)【要約】
【目的】 塗布ノズルの先端部分（特に外周面部）に付
着残留した接着剤等の粘性流体が再吐出時の吐出不良の
原因となっている。そこで、付着している粘性流体をノ
ズル外周面部も含めて全体的に確実に除去するようにす
る。 【構成】 塗布ノズル１に対して洗浄液を吹き付ける洗
浄液ノズル２３ａ，２３ｂをその軸線延長線が塗布ノズ
ル１に向かうように設けるとともに、塗布ノズル１に対
して乾燥用のエアーを吹き付けるエアーノズル２４をそ
の軸線延長線が塗布ノズル１に向かうように設ける。洗
浄液のバルブ３２とエアーのバルブ３０との開閉弁動作
を切り換えるように構成する。 【効果】 洗浄液の吹き付けにより外周面部を含めて塗
布ノズルに付着している粘性流体を確実に除去すること
ができるとともに、エアーの吹き付けにより洗浄液で濡
れた塗布ノズルを短時間で乾燥させることができる。
着残留した接着剤等の粘性流体が再吐出時の吐出不良の
原因となっている。そこで、付着している粘性流体をノ
ズル外周面部も含めて全体的に確実に除去するようにす
る。 【構成】 塗布ノズル１に対して洗浄液を吹き付ける洗
浄液ノズル２３ａ，２３ｂをその軸線延長線が塗布ノズ
ル１に向かうように設けるとともに、塗布ノズル１に対
して乾燥用のエアーを吹き付けるエアーノズル２４をそ
の軸線延長線が塗布ノズル１に向かうように設ける。洗
浄液のバルブ３２とエアーのバルブ３０との開閉弁動作
を切り換えるように構成する。 【効果】 洗浄液の吹き付けにより外周面部を含めて塗
布ノズルに付着している粘性流体を確実に除去すること
ができるとともに、エアーの吹き付けにより洗浄液で濡
れた塗布ノズルを短時間で乾燥させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高い粘性を有する流
体（接着剤、塗料、グリースなど）を吐出する塗布ノズ
ルの洗浄装置に関するものである。
体（接着剤、塗料、グリースなど）を吐出する塗布ノズ
ルの洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は公開技報９０−２７９１に掲載さ
れた従来の塗布ノズルのクリーニング装置を示す。
れた従来の塗布ノズルのクリーニング装置を示す。
【０００３】図において、１は塗布ノズル、２は塗布ノ
ズル１を装着しているシリンジ（射出器）、３はシリン
ジ２を保持するホルダー、４はホルダー３とともにシリ
ンジ２および塗布ノズル１を前後、左右、上下に移動さ
せるロボット、５はクリーニング糸、６ａはクリーニン
グ糸５を巻き付けている給糸ドラム、６ｂは給糸ドラム
６ａから繰り出されたクリーニング糸５を巻き取る巻取
ドラム、７は繰り出されたクリーニング糸５に張力を与
えるために給糸ドラム６ａの回転軸を押圧する板バネ、
８は巻取ドラム６ｂを回転させることによりそれにクリ
ーニング糸５を巻き取らせるモータ、９は給糸ドラム６
ａを軸支する軸受支柱、１０は巻取ドラム６ｂを軸支す
るとともにモータ８を取り付けているブラケット、１１
は被塗布物である。
ズル１を装着しているシリンジ（射出器）、３はシリン
ジ２を保持するホルダー、４はホルダー３とともにシリ
ンジ２および塗布ノズル１を前後、左右、上下に移動さ
せるロボット、５はクリーニング糸、６ａはクリーニン
グ糸５を巻き付けている給糸ドラム、６ｂは給糸ドラム
６ａから繰り出されたクリーニング糸５を巻き取る巻取
ドラム、７は繰り出されたクリーニング糸５に張力を与
えるために給糸ドラム６ａの回転軸を押圧する板バネ、
８は巻取ドラム６ｂを回転させることによりそれにクリ
ーニング糸５を巻き取らせるモータ、９は給糸ドラム６
ａを軸支する軸受支柱、１０は巻取ドラム６ｂを軸支す
るとともにモータ８を取り付けているブラケット、１１
は被塗布物である。
【０００４】次に、動作について説明する。塗布ノズル
１は、被塗布物１１に対して塗布を行った後、ロボット
４によって退避位置まで移動される。このとき塗布ノズ
ル１はクリーニング糸５に対して直角に移動しその先端
がクリーニング糸５に接触するため、塗布ノズル１の先
端に付着している粘性流体がクリーニング糸５に掻き取
られて除去され、塗布ノズル１の先端がクリーニングさ
れる。モータ８は適時に駆動され、巻取ドラム６ｂの回
転により給糸ドラム６ａから新しいクリーニング糸５を
繰り出す。つまり、塗布ノズル１の先端は、常に新しい
クリーニング糸５によってクリーニングされる。
１は、被塗布物１１に対して塗布を行った後、ロボット
４によって退避位置まで移動される。このとき塗布ノズ
ル１はクリーニング糸５に対して直角に移動しその先端
がクリーニング糸５に接触するため、塗布ノズル１の先
端に付着している粘性流体がクリーニング糸５に掻き取
られて除去され、塗布ノズル１の先端がクリーニングさ
れる。モータ８は適時に駆動され、巻取ドラム６ｂの回
転により給糸ドラム６ａから新しいクリーニング糸５を
繰り出す。つまり、塗布ノズル１の先端は、常に新しい
クリーニング糸５によってクリーニングされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の塗布ノ
ズルのクリーニング装置においては、クリーニング糸５
との接触により塗布ノズル１の先端に残っている粘性流
体を掻き取るように構成してあるので、塗布ノズル１の
先端から垂れている粘性流体は除去できても、塗布ノズ
ル１の外周面部に付着している粘性流体を充分に除去す
ることがむずかしい。それだけでなく、塗布ノズル１の
先端から垂れている粘性流体がクリーニング糸５で掻き
取られるときに、塗布ノズル１の外周面部に回り込んで
却って付着してしまうという不都合な事態を起こす可能
性もある。そして、このように塗布ノズル１に粘性流体
が残ってしまった場合には、その残った粘性流体が次回
の塗布の際に吐出不良を招く原因となっていた。特に、
粘性流体が接着剤などの硬化性のあるものでは、塗布ノ
ズル１の先端で硬化して先端断面積を増加させるため、
吐出量に不安定要素をもたらすという問題があった。
ズルのクリーニング装置においては、クリーニング糸５
との接触により塗布ノズル１の先端に残っている粘性流
体を掻き取るように構成してあるので、塗布ノズル１の
先端から垂れている粘性流体は除去できても、塗布ノズ
ル１の外周面部に付着している粘性流体を充分に除去す
ることがむずかしい。それだけでなく、塗布ノズル１の
先端から垂れている粘性流体がクリーニング糸５で掻き
取られるときに、塗布ノズル１の外周面部に回り込んで
却って付着してしまうという不都合な事態を起こす可能
性もある。そして、このように塗布ノズル１に粘性流体
が残ってしまった場合には、その残った粘性流体が次回
の塗布の際に吐出不良を招く原因となっていた。特に、
粘性流体が接着剤などの硬化性のあるものでは、塗布ノ
ズル１の先端で硬化して先端断面積を増加させるため、
吐出量に不安定要素をもたらすという問題があった。
【０００６】この発明は、上記のような問題点を解消す
るために創案されたものであって、塗布ノズルの先端に
付着している粘性流体をノズル外周面部も含めて全体的
に確実に除去することができる塗布ノズルの洗浄装置を
得ることを目的とする。
るために創案されたものであって、塗布ノズルの先端に
付着している粘性流体をノズル外周面部も含めて全体的
に確実に除去することができる塗布ノズルの洗浄装置を
得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る第１の塗
布ノズルの洗浄装置は、粘性流体を吐出する塗布ノズル
に対して洗浄液を吹き付ける洗浄液ノズルと、前記塗布
ノズルに対して乾燥用のエアーを吹き付けるエアーノズ
ルと、前記洗浄液ノズルからの洗浄液吹き付け状態と前
記エアーノズルからのエアー吹き付け状態とを切り換え
る手段とを備えたことを特徴とするものである。
布ノズルの洗浄装置は、粘性流体を吐出する塗布ノズル
に対して洗浄液を吹き付ける洗浄液ノズルと、前記塗布
ノズルに対して乾燥用のエアーを吹き付けるエアーノズ
ルと、前記洗浄液ノズルからの洗浄液吹き付け状態と前
記エアーノズルからのエアー吹き付け状態とを切り換え
る手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００８】また、この発明に係る第２の塗布ノズルの
洗浄装置は、粘性流体を吐出する塗布ノズルに対して吹
き付け方向が向けられたノズルと、このノズルに洗浄液
を供給する洗浄液供給手段と、前記と同じノズルに乾燥
用のエアーを供給するエアー供給手段と、前記洗浄液供
給手段の動作と前記エアー供給手段の動作とを切り換え
る手段とを備えたことを特徴とするものである。
洗浄装置は、粘性流体を吐出する塗布ノズルに対して吹
き付け方向が向けられたノズルと、このノズルに洗浄液
を供給する洗浄液供給手段と、前記と同じノズルに乾燥
用のエアーを供給するエアー供給手段と、前記洗浄液供
給手段の動作と前記エアー供給手段の動作とを切り換え
る手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】第１の塗布ノズルの洗浄装置によれば、塗布ノ
ズルに対して洗浄液ノズルから洗浄液を吹き付け、その
洗浄液の勢いによって塗布ノズルの先端部分を洗い流す
から、塗布ノズルの外周面部を含めて塗布ノズル先端部
に付着している粘性流体を確実に除去する。そして、洗
浄液の吹き付けを止めた後、塗布ノズルに対してエアー
ノズルからエアーを吹き付けることにより、洗浄液で濡
れた塗布ノズルを短時間で乾燥する。
ズルに対して洗浄液ノズルから洗浄液を吹き付け、その
洗浄液の勢いによって塗布ノズルの先端部分を洗い流す
から、塗布ノズルの外周面部を含めて塗布ノズル先端部
に付着している粘性流体を確実に除去する。そして、洗
浄液の吹き付けを止めた後、塗布ノズルに対してエアー
ノズルからエアーを吹き付けることにより、洗浄液で濡
れた塗布ノズルを短時間で乾燥する。
【００１０】また、第２の塗布ノズルの洗浄装置によれ
ば、吹き付け方向が塗布ノズルに向かうノズルから塗布
ノズルに対して洗浄液を吹き付けた後、エアーを吹き付
けるから、上記と同様に塗布ノズルを外周面部を含めて
全体的に確実に洗浄するとともに短時間で乾燥し、しか
も、洗浄液のノズルとエアーのノズルとを兼用化してあ
るので、装置の構成が簡素化される。
ば、吹き付け方向が塗布ノズルに向かうノズルから塗布
ノズルに対して洗浄液を吹き付けた後、エアーを吹き付
けるから、上記と同様に塗布ノズルを外周面部を含めて
全体的に確実に洗浄するとともに短時間で乾燥し、しか
も、洗浄液のノズルとエアーのノズルとを兼用化してあ
るので、装置の構成が簡素化される。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１２】実施例１．図１は、この発明の第１の実施
例に係る塗布ノズルの洗浄装置の垂直断面図である。
例に係る塗布ノズルの洗浄装置の垂直断面図である。
【００１３】同図において、２０は容器上型、２１は容
器下型、２２はゴムシート、２３ａ，２３ｂは洗浄液ノ
ズル、２４はエアーノズル、２５は排水ドレイン、４０
は円錐開口部である。容器上型２０と容器下型２１とは
互いに螺合されて１つの密閉空間を形成する構造をなし
ている。容器上型２０の上端に上広がりの円錐状の開口
部が形成され、この開口部に一定厚みのゴムシート２２
が円錐状に貼り付けられ、そのゴムシート２２によって
円錐開口部４０が形成されている。この円錐開口部４０
から塗布ノズルおよびシリンジ下端部を挿入するように
なっている（図２参照）。容器上型２０の斜面部におい
て、周方向で１８０°隔てた２箇所に一対の洗浄液ノズ
ル２３ａ，２３ｂが螺着され、両者から９０°隔てた箇
所にエアーノズル２４が螺着されている。洗浄液ノズル
２３ａ，２３ｂの軸線の延長線とエアーノズル２４の軸
線の延長線とは密閉容器の内部でその軸線上の１点でほ
ぼ交わるように構成されている。排水ドレイン２５は容
器下型２１の底部中央に螺着されている。
器下型、２２はゴムシート、２３ａ，２３ｂは洗浄液ノ
ズル、２４はエアーノズル、２５は排水ドレイン、４０
は円錐開口部である。容器上型２０と容器下型２１とは
互いに螺合されて１つの密閉空間を形成する構造をなし
ている。容器上型２０の上端に上広がりの円錐状の開口
部が形成され、この開口部に一定厚みのゴムシート２２
が円錐状に貼り付けられ、そのゴムシート２２によって
円錐開口部４０が形成されている。この円錐開口部４０
から塗布ノズルおよびシリンジ下端部を挿入するように
なっている（図２参照）。容器上型２０の斜面部におい
て、周方向で１８０°隔てた２箇所に一対の洗浄液ノズ
ル２３ａ，２３ｂが螺着され、両者から９０°隔てた箇
所にエアーノズル２４が螺着されている。洗浄液ノズル
２３ａ，２３ｂの軸線の延長線とエアーノズル２４の軸
線の延長線とは密閉容器の内部でその軸線上の１点でほ
ぼ交わるように構成されている。排水ドレイン２５は容
器下型２１の底部中央に螺着されている。
【００１４】図２は、上記構成の洗浄装置に塗布ノズル
１をセットした状態を示す。塗布ノズル１は、接着剤、
塗料、グリースなどの粘性流体のシリンジ（射出器）２
の下端に装着されている。そのシリンジ２は、従来例の
図５と同様にホルダー３を介してロボット４に取り付け
られている。塗布ノズル１およびシリンジ２は、洗浄装
置の真上で一旦停止された後、真下に降ろされ、ゴムシ
ート２２の円錐開口部４０から内部に挿入される。シリ
ンジ２の下端部の円錐部分はゴムシート２２に密着され
るようになっている。
１をセットした状態を示す。塗布ノズル１は、接着剤、
塗料、グリースなどの粘性流体のシリンジ（射出器）２
の下端に装着されている。そのシリンジ２は、従来例の
図５と同様にホルダー３を介してロボット４に取り付け
られている。塗布ノズル１およびシリンジ２は、洗浄装
置の真上で一旦停止された後、真下に降ろされ、ゴムシ
ート２２の円錐開口部４０から内部に挿入される。シリ
ンジ２の下端部の円錐部分はゴムシート２２に密着され
るようになっている。
【００１５】図３は、配管系を含めた洗浄装置全体の概
略構成を示す配管系統図である。
略構成を示す配管系統図である。
【００１６】同図において、３０はエアーの流動／遮断
を行うバルブ、３１ａ，３１ｂは、上記の構成の洗浄装
置３４におけるエアーノズル２４に連通接続されたホー
ス、３２は洗浄液の流動／遮断を行うバルブ、３３ａ，
３３ｂは洗浄装置３４における洗浄液ノズル２３ａ，２
３ｂに連通接続されたホース、３５は洗浄装置３４にお
ける排水ドレイン２５に接続されたドレインホース、３
６は排水の回収タンクである。
を行うバルブ、３１ａ，３１ｂは、上記の構成の洗浄装
置３４におけるエアーノズル２４に連通接続されたホー
ス、３２は洗浄液の流動／遮断を行うバルブ、３３ａ，
３３ｂは洗浄装置３４における洗浄液ノズル２３ａ，２
３ｂに連通接続されたホース、３５は洗浄装置３４にお
ける排水ドレイン２５に接続されたドレインホース、３
６は排水の回収タンクである。
【００１７】次に、動作を説明する。被塗布物に対する
塗布作業が終了した塗布ノズル１およびシリンジ２は、
ロボット４によって洗浄装置３４の真上まで移動された
後、下降されて図２に示すように密閉容器の内部に挿入
される。このとき、シリンジ２の下端の円錐部分がゴム
シート２２によって衝撃緩和されるとともに、密着して
密閉容器を気密・水密化する。この状態で、洗浄液ノズ
ル２３ａ，２３ｂおよびエアーノズル２４の各軸線の延
長線は塗布ノズル１を通る。
塗布作業が終了した塗布ノズル１およびシリンジ２は、
ロボット４によって洗浄装置３４の真上まで移動された
後、下降されて図２に示すように密閉容器の内部に挿入
される。このとき、シリンジ２の下端の円錐部分がゴム
シート２２によって衝撃緩和されるとともに、密着して
密閉容器を気密・水密化する。この状態で、洗浄液ノズ
ル２３ａ，２３ｂおよびエアーノズル２４の各軸線の延
長線は塗布ノズル１を通る。
【００１８】シリンジ２のセットが完了すると、洗浄液
のバルブ３２を開弁し、ホース３３ａ，３３ｂを介して
洗浄液を洗浄液ノズル２３ａ，２３ｂに供給することに
より、洗浄液ノズル２３ａ，２３ｂから塗布ノズル１に
対して洗浄液を吹き付ける。
のバルブ３２を開弁し、ホース３３ａ，３３ｂを介して
洗浄液を洗浄液ノズル２３ａ，２３ｂに供給することに
より、洗浄液ノズル２３ａ，２３ｂから塗布ノズル１に
対して洗浄液を吹き付ける。
【００１９】この洗浄液の吹き付けにより、塗布ノズル
１の外周面部を含めて塗布ノズル１の先端部分に付着し
ている粘性流体を洗い流す。粘性流体の除去を従来例の
ようにクリーニング糸５の接触に伴う掻き取りによるの
ではなく、洗浄液の勢いよい吹き付けによって塗布ノズ
ル１全体にわたって強力に洗い流すので、粘性流体が外
周面部を含めて塗布ノズル１に残留することなく、その
すべてを確実に除去することができる。洗浄液は排水ド
レイン２５からドレインホース３５を通り、回収タンク
３６に回収される。
１の外周面部を含めて塗布ノズル１の先端部分に付着し
ている粘性流体を洗い流す。粘性流体の除去を従来例の
ようにクリーニング糸５の接触に伴う掻き取りによるの
ではなく、洗浄液の勢いよい吹き付けによって塗布ノズ
ル１全体にわたって強力に洗い流すので、粘性流体が外
周面部を含めて塗布ノズル１に残留することなく、その
すべてを確実に除去することができる。洗浄液は排水ド
レイン２５からドレインホース３５を通り、回収タンク
３６に回収される。
【００２０】塗布ノズル１からの粘性流体の洗い流しが
完了すると、洗浄液のバルブ３２を閉弁して洗浄液の供
給を停止した後、エアーのバルブ３０を開弁し、ホース
３１ａ，３１ｂを介して乾燥したエアーをエアーノズル
２４に供給することにより、エアーノズル２４から塗布
ノズル１に対して乾燥用のエアーを勢いよく吹き付け
る。これにより、洗浄液で濡れた塗布ノズル１から洗浄
液を吹き飛ばすとともに乾燥する。また、容器上型２０
と容器下型２１とによる密閉容器内には洗浄液が一部残
留付着しているが、吹き付けたエアーの圧力によりその
洗浄液を排水ドレイン２５より強制排出し、ドレインホ
ース３５を介して回収タンク３６に回収させる。エアー
による乾燥が終了すると、エアーのバルブ３０を閉弁し
て塗布ノズル１の洗浄・乾燥を終了する。エアーの吹き
付けによる強制乾燥を行うので、塗布ノズル１の乾燥を
短時間で行うことができる。
完了すると、洗浄液のバルブ３２を閉弁して洗浄液の供
給を停止した後、エアーのバルブ３０を開弁し、ホース
３１ａ，３１ｂを介して乾燥したエアーをエアーノズル
２４に供給することにより、エアーノズル２４から塗布
ノズル１に対して乾燥用のエアーを勢いよく吹き付け
る。これにより、洗浄液で濡れた塗布ノズル１から洗浄
液を吹き飛ばすとともに乾燥する。また、容器上型２０
と容器下型２１とによる密閉容器内には洗浄液が一部残
留付着しているが、吹き付けたエアーの圧力によりその
洗浄液を排水ドレイン２５より強制排出し、ドレインホ
ース３５を介して回収タンク３６に回収させる。エアー
による乾燥が終了すると、エアーのバルブ３０を閉弁し
て塗布ノズル１の洗浄・乾燥を終了する。エアーの吹き
付けによる強制乾燥を行うので、塗布ノズル１の乾燥を
短時間で行うことができる。
【００２１】以上のようにして、外周面部を含めて塗布
ノズル１の全体から粘性流体を除去することができるの
で、次回の塗布において粘性流体の吐出量が安定したも
のとなり、塗布作業を連続して良好に行うことができ
る。また、洗浄・乾燥を素早く行えるので、自動化ライ
ンへの適用が可能となる。
ノズル１の全体から粘性流体を除去することができるの
で、次回の塗布において粘性流体の吐出量が安定したも
のとなり、塗布作業を連続して良好に行うことができ
る。また、洗浄・乾燥を素早く行えるので、自動化ライ
ンへの適用が可能となる。
【００２２】この実施例においては、洗浄液のバルブ３
２とエアーのバルブ３０とが洗浄液吹き付け状態とエア
ー吹き付け状態とを切り換える手段を構成している。
２とエアーのバルブ３０とが洗浄液吹き付け状態とエア
ー吹き付け状態とを切り換える手段を構成している。
【００２３】なお、洗浄液ノズル２３ａ，２３ｂを１８
０°隔てて２つ設けたが、この発明はこれに限定するも
のではなく、洗浄液ノズルの数は１つでもまた３つ以上
でもよい。エアーノズルの数も限定するものではない。
０°隔てて２つ設けたが、この発明はこれに限定するも
のではなく、洗浄液ノズルの数は１つでもまた３つ以上
でもよい。エアーノズルの数も限定するものではない。
【００２４】実施例２．次に、この発明の第２の実施例
を図４に基づいて説明する。図４は、配管系を含めた洗
浄装置全体の概略構成を示す配管系統図である。同図に
おいて、３４は図１，図２に示す洗浄装置である。ただ
し、この実施例の場合、エアーノズル２４が省略され、
一対の洗浄液ノズル２３ａ，２３ｂがエアーノズルをも
兼ねている。そこで、２３ａ，２３ｂで示されるノズル
を洗浄液エアー兼用ノズルと称することにする。３０は
エアーのバルブ、３１ａ，３１ｂはエアーのホース、３
２は洗浄液のバルブ、３３ａ，３３ｂは洗浄液のホー
ス、３５はドレインホース、３６は回収タンクである。
この実施例においては、エアーのホース３１ｂと洗浄液
のホース３３ｂとが１本のホース３７に合流接続され、
この合流ホース３７が一対の洗浄液エアー兼用ノズル２
３ａ，２３ｂに連通接続されている。
を図４に基づいて説明する。図４は、配管系を含めた洗
浄装置全体の概略構成を示す配管系統図である。同図に
おいて、３４は図１，図２に示す洗浄装置である。ただ
し、この実施例の場合、エアーノズル２４が省略され、
一対の洗浄液ノズル２３ａ，２３ｂがエアーノズルをも
兼ねている。そこで、２３ａ，２３ｂで示されるノズル
を洗浄液エアー兼用ノズルと称することにする。３０は
エアーのバルブ、３１ａ，３１ｂはエアーのホース、３
２は洗浄液のバルブ、３３ａ，３３ｂは洗浄液のホー
ス、３５はドレインホース、３６は回収タンクである。
この実施例においては、エアーのホース３１ｂと洗浄液
のホース３３ｂとが１本のホース３７に合流接続され、
この合流ホース３７が一対の洗浄液エアー兼用ノズル２
３ａ，２３ｂに連通接続されている。
【００２５】洗浄液のバルブ３２とホース３３ａ，３３
ｂと合流ホース３７とが洗浄液エアー兼用ノズル２３
ａ，２３ｂに洗浄液を供給する洗浄液供給手段を構成
し、エアーのバルブ３０とホース３１ａ，３１ｂと合流
ホース３７とが洗浄液エアー兼用ノズル２３ａ，２３ｂ
に乾燥用のエアーを供給するエアー供給手段を構成し、
バルブ３２，３０が洗浄液供給手段の動作とエアー供給
手段の動作とを切り換える手段を構成している。
ｂと合流ホース３７とが洗浄液エアー兼用ノズル２３
ａ，２３ｂに洗浄液を供給する洗浄液供給手段を構成
し、エアーのバルブ３０とホース３１ａ，３１ｂと合流
ホース３７とが洗浄液エアー兼用ノズル２３ａ，２３ｂ
に乾燥用のエアーを供給するエアー供給手段を構成し、
バルブ３２，３０が洗浄液供給手段の動作とエアー供給
手段の動作とを切り換える手段を構成している。
【００２６】次に、動作を説明する。前述同様に塗布ノ
ズル１およびシリンジ２を洗浄装置３４にセットした
後、洗浄液のバルブ３２を開弁し、ホース３３ａ，３３
ｂおよび合流ホース３７を介して洗浄液を洗浄液エアー
兼用ノズル２３ａ，２３ｂに供給し、このノズル２３
ａ，２３ｂから塗布ノズル１に対して洗浄液を吹き付け
ることにより、外周面部を含めて塗布ノズル１の先端部
分に付着している粘性流体を洗い流す。その洗い流しが
完了すると、洗浄液のバルブ３２を閉弁して洗浄液の供
給を停止した後、エアーのバルブ３０を開弁し、ホース
３１ａ，３１ｂおよび合流ホース３７を介して乾燥した
エアーを洗浄液エアー兼用ノズル２３ａ，２３ｂに供給
し、このノズル２３ａ，２３ｂから塗布ノズル１に対し
て乾燥用のエアーを吹き付けることにより、洗浄液で濡
れた塗布ノズル１を短時間のうちに強制乾燥させる。乾
燥が終了すると、エアーのバルブ３０を閉弁して塗布ノ
ズル１の洗浄・乾燥を終了する。
ズル１およびシリンジ２を洗浄装置３４にセットした
後、洗浄液のバルブ３２を開弁し、ホース３３ａ，３３
ｂおよび合流ホース３７を介して洗浄液を洗浄液エアー
兼用ノズル２３ａ，２３ｂに供給し、このノズル２３
ａ，２３ｂから塗布ノズル１に対して洗浄液を吹き付け
ることにより、外周面部を含めて塗布ノズル１の先端部
分に付着している粘性流体を洗い流す。その洗い流しが
完了すると、洗浄液のバルブ３２を閉弁して洗浄液の供
給を停止した後、エアーのバルブ３０を開弁し、ホース
３１ａ，３１ｂおよび合流ホース３７を介して乾燥した
エアーを洗浄液エアー兼用ノズル２３ａ，２３ｂに供給
し、このノズル２３ａ，２３ｂから塗布ノズル１に対し
て乾燥用のエアーを吹き付けることにより、洗浄液で濡
れた塗布ノズル１を短時間のうちに強制乾燥させる。乾
燥が終了すると、エアーのバルブ３０を閉弁して塗布ノ
ズル１の洗浄・乾燥を終了する。
【００２７】この第２の実施例の場合、上記した第１の
実施例と同様の効果に加えて、ノズル２３ａ，２３ｂを
洗浄液のノズルとエアーのノズルとに兼用させたので、
洗浄装置３４の構成を簡素化でき、コストダウンを図る
ことができる。
実施例と同様の効果に加えて、ノズル２３ａ，２３ｂを
洗浄液のノズルとエアーのノズルとに兼用させたので、
洗浄装置３４の構成を簡素化でき、コストダウンを図る
ことができる。
【００２８】実施例３．上記２つの実施例においては、
容器上型２０と容器下型２１とで密閉容器を構成した
が、洗浄液が温水や石鹸水などの害のないものであれ
ば、特に密閉構造にする必要はなく、そのように構成さ
れたものもこの発明の実施例である。
容器上型２０と容器下型２１とで密閉容器を構成した
が、洗浄液が温水や石鹸水などの害のないものであれ
ば、特に密閉構造にする必要はなく、そのように構成さ
れたものもこの発明の実施例である。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、この発明に係る第１の塗
布ノズルの洗浄装置によれば、洗浄液ノズルから吹き付
けた洗浄液によって塗布ノズルを洗い流すから、外周面
部を含めて塗布ノズルの先端部分に付着している粘性流
体を確実に除去することができるとともに、洗浄液の吹
き付け後にエアーノズルからエアーを吹き付けるので洗
浄液で濡れた塗布ノズルを短時間で乾燥させることがで
きる。その結果、次回の塗布において粘性流体の吐出量
が安定したものとなるため、良好な塗布作業の実現にと
って有利となり、また、自動化ラインへの適用も可能と
なる。
布ノズルの洗浄装置によれば、洗浄液ノズルから吹き付
けた洗浄液によって塗布ノズルを洗い流すから、外周面
部を含めて塗布ノズルの先端部分に付着している粘性流
体を確実に除去することができるとともに、洗浄液の吹
き付け後にエアーノズルからエアーを吹き付けるので洗
浄液で濡れた塗布ノズルを短時間で乾燥させることがで
きる。その結果、次回の塗布において粘性流体の吐出量
が安定したものとなるため、良好な塗布作業の実現にと
って有利となり、また、自動化ラインへの適用も可能と
なる。
【００３０】また、この発明に係る第２の塗布ノズルの
洗浄装置によれば、上記第１の洗浄装置と同様の効果に
加えて、洗浄液吹き付け用のノズルとエアー吹き付け用
のノズルとを兼用化したので、装置構成を簡素化するこ
とができるという効果を奏する。
洗浄装置によれば、上記第１の洗浄装置と同様の効果に
加えて、洗浄液吹き付け用のノズルとエアー吹き付け用
のノズルとを兼用化したので、装置構成を簡素化するこ
とができるという効果を奏する。
【図１】この発明の第１の実施例に係る塗布ノズルの洗
浄装置を示す垂直断面図である。
浄装置を示す垂直断面図である。
【図２】第１の実施例において塗布ノズルおよびシリン
ジをセットした状態を示す垂直断面図である。
ジをセットした状態を示す垂直断面図である。
【図３】第１の実施例で配管系を含めた洗浄装置全体の
概略構成を示す配管系統図である。
概略構成を示す配管系統図である。
【図４】この発明の第２の実施例に係る配管系を含めた
洗浄装置全体の概略構成を示す配管系統図である。
洗浄装置全体の概略構成を示す配管系統図である。
【図５】従来例の塗布ノズルのクリーニング装置の構成
図である。
図である。
１ 塗布ノズル ２ シリンジ ２０ 容器上型 ２１ 容器下型 ２２ ゴムシート ２３ａ，２３ｂ 洗浄液ノズル（洗浄液エアー兼用ノ
ズル） ２４ エアーノズル ２５ 排水ドレイン ３０ エアーのバルブ ３１ａ，３１ｂ エアーのホース ３２ 洗浄液のバルブ ３３ａ，３３ｂ 洗浄液のホース ３４ 洗浄装置 ３５ ドレインホース ３６ 回収タンク ３７ 合流ホース ４０ 円錐開口部
ズル） ２４ エアーノズル ２５ 排水ドレイン ３０ エアーのバルブ ３１ａ，３１ｂ エアーのホース ３２ 洗浄液のバルブ ３３ａ，３３ｂ 洗浄液のホース ３４ 洗浄装置 ３５ ドレインホース ３６ 回収タンク ３７ 合流ホース ４０ 円錐開口部
【手続補正書】
【提出日】平成４年１０月２０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の塗布ノ
ズルのクリーニング装置においては、クリーニング糸５
との接触により塗布ノズル１の先端に残っている粘性流
体を掻き取るように構成してあるので、塗布ノズル１の
先端から垂れている粘性流体は除去できても、塗布ノズ
ル１の外周面部に付着している粘性流体を充分に除去す
ることがむずかしい。それだけでなく、塗布ノズル１の
先端から垂れている粘性流体がクリーニング糸５で掻き
取られるときに、塗布ノズル１の外周面部に回り込んで
却って付着してしまうという不都合な事態を起こす可能
性もある。そして、このように塗布ノズル１に粘性流体
が残ってしまった場合には、その残った粘性流体が次回
の塗布の際に吐出不良を招く原因となっていた。特に、
粘性流体が接着剤などの硬化性のあるものでは、塗布ノ
ズル１の先端で硬化して先端断面積を変化させるため、
吐出量に不安定要素をもたらすという問題があった。
ズルのクリーニング装置においては、クリーニング糸５
との接触により塗布ノズル１の先端に残っている粘性流
体を掻き取るように構成してあるので、塗布ノズル１の
先端から垂れている粘性流体は除去できても、塗布ノズ
ル１の外周面部に付着している粘性流体を充分に除去す
ることがむずかしい。それだけでなく、塗布ノズル１の
先端から垂れている粘性流体がクリーニング糸５で掻き
取られるときに、塗布ノズル１の外周面部に回り込んで
却って付着してしまうという不都合な事態を起こす可能
性もある。そして、このように塗布ノズル１に粘性流体
が残ってしまった場合には、その残った粘性流体が次回
の塗布の際に吐出不良を招く原因となっていた。特に、
粘性流体が接着剤などの硬化性のあるものでは、塗布ノ
ズル１の先端で硬化して先端断面積を変化させるため、
吐出量に不安定要素をもたらすという問題があった。
Claims (2)
- 【請求項１】 粘性流体を吐出する塗布ノズルに対して
洗浄液を吹き付ける洗浄液ノズルと、前記塗布ノズルに
対して乾燥用のエアーを吹き付けるエアーノズルと、前
記洗浄液ノズルからの洗浄液吹き付け状態と前記エアー
ノズルからのエアー吹き付け状態とを切り換える手段と
を備えたことを特徴とする塗布ノズルの洗浄装置。 - 【請求項２】 粘性流体を吐出する塗布ノズルに対して
吹き付け方向が向けられたノズルと、このノズルに洗浄
液を供給する洗浄液供給手段と、前記と同じノズルに乾
燥用のエアーを供給するエアー供給手段と、前記洗浄液
供給手段の動作と前記エアー供給手段の動作とを切り換
える手段とを備えたことを特徴とする塗布ノズルの洗浄
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4117350A JPH05309309A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 塗布ノズルの洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4117350A JPH05309309A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 塗布ノズルの洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05309309A true JPH05309309A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=14709521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4117350A Pending JPH05309309A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 塗布ノズルの洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05309309A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007317706A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Tokyo Electron Ltd | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、ノズル洗浄プログラム、及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| JP2010062352A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Tokyo Electron Ltd | 液処理におけるノズル洗浄、処理液乾燥防止方法及びその装置 |
| JP2012235132A (ja) * | 2012-06-19 | 2012-11-29 | Tokyo Electron Ltd | 液処理におけるノズル洗浄、処理液乾燥防止方法及びその装置 |
| CN103949427A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-07-30 | 上海华力微电子有限公司 | 一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构及其应用 |
-
1992
- 1992-05-11 JP JP4117350A patent/JPH05309309A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007317706A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Tokyo Electron Ltd | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、ノズル洗浄プログラム、及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| JP4582654B2 (ja) * | 2006-05-23 | 2010-11-17 | 東京エレクトロン株式会社 | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、ノズル洗浄プログラム、及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| US7891365B2 (en) | 2006-05-23 | 2011-02-22 | Tokyo Electron Limited | Nozzle cleaning apparatus, nozzle cleaning method, and a computer-readable storage medium storing nozzle cleaning program |
| KR101139202B1 (ko) * | 2006-05-23 | 2012-04-26 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 노즐 세정 장치, 노즐 세정 방법 및 노즐 세정 프로그램을기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 |
| US8562753B2 (en) | 2006-05-23 | 2013-10-22 | Tokyo Electron Limited | Nozzle cleaning method and a computer-readable storage medium storing nozzle cleaning program |
| JP2010062352A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Tokyo Electron Ltd | 液処理におけるノズル洗浄、処理液乾燥防止方法及びその装置 |
| JP2012235132A (ja) * | 2012-06-19 | 2012-11-29 | Tokyo Electron Ltd | 液処理におけるノズル洗浄、処理液乾燥防止方法及びその装置 |
| CN103949427A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-07-30 | 上海华力微电子有限公司 | 一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构及其应用 |
| CN103949427B (zh) * | 2014-04-28 | 2016-03-02 | 上海华力微电子有限公司 | 一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构及其应用 |
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