KR101055186B1 - 포토레지스트 코팅장치 및 이의 구동방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 모든 부분에 균일한 두께의 포토레지스트를 도포할 수 있는 포토레지스트 코팅장치에 관한 것으로, 액정표시장치의 기판에 포토레지스트를 도포하기 위한 포토레지스트 코팅장치에 있어서, 포토레지스트가 공급되는 공급관과 상기 공급관의 단부에 좌우 경사를 가지고 연결되고, 하부에 상기 경사를 따라 형성되는 슬릿으로 가지며, 상기 공급관으로부터 전달된 포토레지스트를 좌우 경사를 따라 이동시킴과 동시에 상기 슬릿을 통하여 기판상에 상기 포토레지스트를 도포하는 전달관을 포함하여 구성되는 노즐부와; 상기 노즐부에 구성된 전달관의 좌우 단부에 연결되어, 상기 전달관의 경사를 따라 이동하는 포토레지스트의 일부를 외부로 배출하는 배출관을 포함하여 구성되는 것이다.

포토레지스트 코팅장치, 포토레지스트, 노즐부, 공급관, 전달관, 슬릿, 배출관

Description

포토레지스트 코팅장치 및 이의 구동방법{The device for coating photoresist and the method for driving the same}

도 1은 일반적인 액정표시장치를 도시한 분해 사시도

도 2는 종래의 포토레지스트 코팅장치의 사시도

도 3은 도 2의 노즐부의 구성요소에 대한 사시도

도 4는 도 3의 단면도

도 5는 종래의 포토레지스트 코팅장치에 의한 포토레지스트 도포시, 기판의 각 부분에 형성되는 포토레지스트의 두께를 나타낸 그래프

도 6은 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치의 사시도

도 7은 도 6의 단면도

도 8은 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치에 의한 포토레지스트 도포시, 기판의 각 부분에 형성되는 포토레지스트의 두께를 나타낸 그래프

도 9는 조절수단이 구비된 배출관의 단면도이다.

＊도면의 주요부에 대한 부호 설명

61 : 노즐부 61a : 공급관

61b : 전달관 63 : 슬릿

64 : 배출관

본 발명은 포토레지스트 코팅장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치에 사용되는 기판의 모든 부분에 균일한 두께의 포토레지스트를 도포할 수 있는 포토레지스트 코팅장치 및 이의 구동방법에 대한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.

여기서, 상기 제 1유리 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.

그리고, 제 2 유리 기판(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R, G, B 컬러필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다.

이와 같은 상기 제 1, 제 2 유리 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 시일재(sealant)에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정이 형성된다.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 일반적인 액정표시장치의 구조를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 일반적인 액정표시장치를 도시한 분해 사시도이다.

액정표시장치는, 도 1에 도시한 바와 같이 상기 일정 공간을 갖고 합착된 제 1 기판(1) 및 제 2 기판(2)과, 상기 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성되어 있다.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 제 1 기판(1)에는 화소영역(P)을 정의하기 위하여 일정한 간격을 갖고 일방향으로 복수개의 게이트 라인(4)이 배열되고, 상기 게이트 라인(4)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 라인(5)이 배열되며, 상기 각 화소영역(P)에는 화소전극(6)이 형성되고, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 부분에는 상기 게이트 라인(4)의 구동신호에 따라 온/오프되어 상기 데이터 라인(5)의 영상신호를 각 화소전극(6)에 인가하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.

그리고 상기 제 2 기판(2)에는 상기 화소영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙매트릭스층(7)과 상기 각 화소영역(P)에 대응되어 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라필터층(R, G, B)과, 화상을 구현하기 위한 공통전극(9)이 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 제 1, 제 2 기판(1,2)의 서로 마주보는 면에 각각 배향막(도면에 도시되지 않음)이 형성되고 액정층(3)을 배향시키기 위해 러빙처리된다.

여기서, 상기 박막 트랜지스터(T)는 상기 게이트 라인(4)으로부터 돌출된 게이트 전극과, 전면에 형성된 게이트 절연막(도면에는 도시되지 않음)과 상기 게이트 전극 상측의 게이트 절연막위에 형성된 액티브층과, 상기 데이터 라인(5)으로부터 돌출된 소오스 전극과, 상기 소오스 전극에 대향되는 드레인 전극을 구비하여 구성된다.

상기 화소전극(6)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성 금속을 사용한다.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제 1, 제 2 기판에 형성된 상기 게이트 라인, 데이터 라인 및 블랙매트릭스 등의 패턴들은 포토 및 식각 공정에 의해서 패터닝되는데, 이 때, 상기 기판상에는 상기와 같은 패턴을 형성하기 위하여 포토레지 스트가 코팅되게 된다.

즉, 상기 포토레지스트는 양성 및 음성 감광막을 사용할 수 있으며, 상기 양성 감광막은 광을 조사받은 부분이 나중에 제거되어 패턴을 형성하고, 상기 음성 감광막은, 반대로, 상기 광을 받은 부분이 그대로 남게 되어 패턴을 형성하게 된다.

따라서, 이와 같이 패터닝된 포토레지스트를 마스크로 하여 식각공정을 진행함으로써, 상기 기판상에 원하는 패턴(예를 들어, 상술한 바와 같은, 게이트 라인, 데이터 라인 및 블랙매트릭스 등)을 형성할 수 있다.

여기서, 상기 포토레지스트를 도포함에 있어서, 스핀 코팅방식이라고 불리는 방법을 사용하는 것이 일반적이었다.

이 스핀 코팅방식에서는, 상기 기판을 고속회전시켜 이 회전중심의 근방에 포토레지스트를 적하하고, 상기 기판의 원심력에 의해 상기 기판 전체를 도포함과 동시에, 불필요한 포토레지스트를 원심력에 의해 떨어뜨려 제거함과 동시에 박막화시키는 방법이다.

이 스핀 코팅방식에 의하면, 비교적 단순한 구조의 포토레지스트 코팅장치를 가지고 도포가 가능하다고 하는 이점이 있으나, 기판이 대면적화됨에 따라 상기와 같은 스핀 코팅방식으로는 한계가 있었다.

또한, 기판상에 형성되는 반도체소자의 집적도 증대에 따라 포토레지스트 의 박막화가 요청되고 있으나, 스핀 코팅방식에서는 포토레지스트의 막두께가 적하되는 포토레지스트의 점도와 기판의 회전속도에 의해 결정되기 때문에, 박막화에 있 어서는 그 자체가 한계를 가지고 있다.

따라서, 기판을 회전시키지 않고, 기판상에 처음부터 원하는 두께의 포토레지스트를 코팅할 수 있는 포토레지스트 코팅장치가 개발되었다.

이하, 도면을 참조하여 종래의 포토레지스트 코팅장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 종래의 포토레지스트 코팅장치의 사시도이고, 도 3은 도 2의 노즐부의 분해사시도이며, 도 4는 도 3의 단면도이다.

종래의 포토레지스트 코팅장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 크게 기판(43)이 안착되는 스테이지(45)와 상기 스테이지(45)에 안착된 기판(43)의 전면에 포토레지스트를 분사하는 노즐부(44)로 구성되어 있다.

보다 구체적으로, 상기 노즐부(44)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 포토레지스트가 공급되는 공급관(21a)과, 상기 공급관(21a)의 단부에 좌우 경사를 가지고 연결되고, 하부에 상기 경사를 따라 형성되는 슬릿(23)을 가지며, 상기 공급관(21a)으로부터 전달된 포토레지스트를 좌우 경사를 따라 이동시킴과 동시에 상기 슬릿(23)을 통하여 기판(45)상에 상기 포토레지스트를 도포하는 전달관(21b)으로 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 포토레지스트 코팅장치의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 공급관(21a)으로 포토레지스트를 주입하면, 상기 포토레지스트는 공급관(21a)을 통하여 전달관(21b)으로 이동하고, 상기 전달관(21b)의 경사를 따라 상 기 전달관(21b)의 좌우 단부(24)까지 이동하게 된다.

이 때, 상기 포토레지스트는 상기 전달관(21b)의 경사를 따라 이동하면서, 동시에 상기 전달관(21b)의 하부에 형성된 슬릿(23)을 통하여 기판(43)상에 도포된다.

여기서, 상기 기판(43)이 안착된 스테이지(45)가 화살표 방향(42)으로 이동함에 따라 상기 기판(43)의 모든 부분에 포토레지스트가 도포되게 된다.

그러나, 종래의 포토레지스트 코팅장치에는 다음과 같은 문제점이 있다.

도 5는 종래의 포토레지스트 코팅장치에 의한 포토레지스트 도포시, 기판의 각 부분에 형성되는 포토레지스트의 두께를 나타낸 그래프이다.

종래의 포토레지스트 코팅장치는, 공급관(21a)을 통하여 공급되는 포토레지스트가 각 전달관(21b)의 경사를 따라 이동하게 되는데, 이 때, 상기 전달관(21b)의 단부(24)에 다다른 포토레지스트는 더 이상 이동하지 못하고 상기 단부(24)에 누적되게 된다.

따라서, 상기 전달관(21b)의 단부(24)에 누적된 필요 이상의 포토레지스트에 의해, 상기 전달관(21b)의 하부에 형성된 슬릿(23)의 단부에도 필요 이상의 포토레지스트가 누적되게 되므로, 상기 단부쪽의 슬릿(23)을 통하여 기판(43)에 도포되는 포토레지스트의 두께가 다른 부분에 비해 상대적으로 두껍게 도포된다.

즉, 상기 슬릿(23)의 단부에 대응하여 포토레지스트가 도포되는 기판(43)의 에지(41)부분에, 도 5에 도시된 바와 같이, 다른 부분에 비하여 더 높은 두께의 포 토레지스트가 형성되는 문제점이 있다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 각 전달관의 단부에 상기 포토레지스트의 잔여분을 외부로 배출할 수 있는 배출관을 구비하여 기판의 모든 부분에 균일한 두께의 포토레지스트를 형성할 수 있는 포토레지스트 코팅장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치는, 액정표시장치의 기판에 포토레지스트를 도포하기 위한 포토레지스트 코팅장치에 있어서, 상기 포토레지스트가 공급되는 공급관과, 상기 공급관의 단부에 좌우 경사를 가지고 연결되고, 하부에 상기 경사를 따라 형성되는 슬릿으로 가지며, 상기 공급관으로부터 전달된 포토레지스트를 좌우 경사를 따라 이동시킴과 동시에 상기 슬릿을 통하여 기판상에 상기 포토레지스트를 도포하는 전달관을 포함하여 구성되는 노즐부와; 상기 노즐부에 구성된 전달관의 좌우 단부에 연결되어, 상기 전달관의 경사를 따라 이동하는 포토레지스트의 일부를 외부로 배출하는 배출관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 배출관을 통하여 배출된 포토레지스트는 상기 공급관으로 회귀되는 것을 특징으로 한다.

상기 외부로 배출되는 포토레지스트의 양은 0.5 내지 2cc 인 것을 특징으로 한다.

상기 배출관에 구성되어, 외부로 배출되는 포토레지스트의 양을 조절할 수 있는 조절수단을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 기판이 안착되는 스테이지를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 이와 같이 구성된 포토레지스트 코팅장치의 구동방법은, 포토레지스트를 공급관으로 공급하는 단계와; 상기 공급관에 제공된 포토레지스트를 전달관으로 공급하는 단계와; 상기 전달관에 공급된 포토레지스트를 슬릿으로 전달하여 기판상에 포토레지스트를 도포함과 동시에, 배출관을 통하여 상기 포토레지스트의 일부를 외부로 배출하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 그 특징으로 한다.

여기서, 상기 배출된 포토레지스트를 상기 공급관으로 회귀시키는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 도면을 첨부하여 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 6은 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치의 사시도이고, 도 7은 도 6의 단면도이다.

본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치는, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 포토레지스트가 공급되는 공급관(61a)과, 상기 공급관(61a)의 단부에 좌우 경사를 가지고 연결되고, 하부에 상기 경사를 따라 형성되는 슬릿(63)으로 가지며, 상기 공급관(61a)으로부터 전달된 포토레지스트를 좌우 경사를 따라 이동시킴과 동시에 상기 슬릿(63)을 통하여 기판(도시도지 않음)상에 상기 포토레지스트를 도포하는 전달관(61b)을 포함하여 구성되는 노즐부(61)와; 상기 노즐부(61)에 구성된 전달관(61b)의 좌우 단부에 연결되어, 상기 전달관(61b)의 경사를 따라 이동하는 포토레지스트의 일부를 외부로 배출하는 배출관(64)을 포함하여 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 포토레지스트 코팅장치의 구동방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 8은 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치에 의한 공정시, 기판의 각 부분에 형성되는 포토레지스트의 두께를 나타낸 그래프이다.

먼저, 상기 노즐부(61)의 공급관(61a)을 통하여 포토레지스트를 주입한다.

그러면, 상기 포토레지스트는, 상기 공급관(61a)을 따라 상기 공급관(61a)에 연결되어 있는 전달관(61b)으로 이동한다.

상기 전달관(61b)은 가운데를 중심으로 하여 양쪽으로 구부러져 좌우로 경사를 가지고 있으며, 하부에는 좁은 통로인 슬릿(63)이 형성되어 있다.

여기서, 상기 전달관(61b)은 중력방향으로 경사가 형성되어 있으므로, 상기 공급관(61a)을 통하여 공급된 포토레지스트는, 상기 전달관(61b)의 경사를 따라 상기 전달관(61b)의 단부까지 이동하게 되고, 상기 전달관(61b)의 단부에 다다른 포토레지스트의 일부는, 상기 전달관(61b)의 단부에 구성된 배출관(64)을 통해 외부로 배출되게 된다.

따라서, 상기 배출관(64)에 의해서 상기 포토레지스트가 상기 전달관(64)의 단부에서 누적되는 현상이 발생하지 않게 된다.

또한, 상기 포토레지스트는, 전달관(61b)의 경사를 따라 이동하면서, 동시에 상기 전달관(61b)의 하부에 형성된 슬릿(63)을 통하여 기판상에 도포된다.

여기서, 상기 전달관(61b)의 양 단부는, 상기 전달관(61b)의 하부에 형성된 슬릿(63)의 양 단부에 각각 대응하며, 상기 슬릿(63)의 양 단부는 각각 기판의 각 에지 부분과 대응된다.

이에 따라, 상기 전달관(61b)의 하부에 위치하여 상기 포토레지스트를 전달받는 슬릿(63)의 양쪽 단부에도 균일한 양의 포토레지스트가 전달되고, 상기 슬릿(63)의 양 단부에 대응되는 기판의 에지 부분도, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 기판의 다른 부분과 거의 동일한 두께의 포토레지스트가 형성되게 된다.

그리고, 상기 배출관(64)을 통하여 외부로 배출된 포토레지스트는 상기 공급관(61a)으로 회귀시켜, 상술한 과정을 따라 재 사용할 수 있으므로, 상기 포토레지스트의 불필요한 낭비를 줄일 수 있다.

또한, 이와 같이 구성된 포토레지스트 코팅장치의 배출관(64)에 상기 포토레지스트의 배출되는 양을 제어하기 위하여 조절수단을 구비할 수도 있다.

도 9는 조절수단이 구비된 배출관의 단면도이다.

도 9에 도시된 바와 같이, 상기 배출관(64)에는 상기 배출관(64)에서 배출되는 포토레지스트의 양을 조절하기 위한 조절수단(65)이 구비되어 있다.

상기 조절수단(65)을 사용하여 상기 배출관(64)의 구경을 조절함으로써, 상기 배출관(64)을 통하여 배출되는 포토레지스트의 양을 조절할 수 있다.

따라서, 상기 배출관(64)을 통하여 배출되는 포토레지스트의 양을 적절히 조절하여, 상기 기판의 양 에지 부분에 도포되는 포토레지스트의 양을 더욱 정확하게 조절할 수 있으므로, 기판 전체에 대한 포토레지스트의 두께를 더욱 균일하게 맞출 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 포토레지스트 코팅장치 및 이의 구동방법에는 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 전달관의 경사를 따라 이동되는 포토레지스트의 일부를 배출관을 통하여 외부로 배출함으로써, 상기 전달관의 단부에 포토레지스트가 누적되는 것을 방지함으로써, 기판의 모든 부분에 균일한 두께의 포토레지스트를 형성할 수 있다.

둘째, 상기 배출관을 통하여 외부로 배출된 포토레지스트를 공급관으로 회귀시켜 재 사용할 수 있으므로, 포토레지스트의 불필요한 낭비를 줄이고 이에 따른 비용을 줄일 수 있다.

셋째, 상기 배출관에 구비된 조절수단에 의해 외부로 배출되는 포토레지스트의 적절하게 조절할 수 있으므로, 상기 기판에 형성되는 포토레지스트의 두께를 더욱 정확하게 조절할 수 있다.

Claims (7)

1. 액정표시장치의 기판에 포토레지스트를 도포하기 위한 포토레지스트 코팅장치에 있어서,

   포토레지스트가 공급되는 공급관과 상기 공급관의 단부에 좌우 경사를 가지고 연결되고, 하부에 상기 경사를 따라 형성되는 슬릿을 가지며, 상기 공급관으로부터 전달된 포토레지스트를 좌우 경사를 따라 이동시킴과 동시에 상기 슬릿을 통하여 기판상에 상기 포토레지스트를 도포하는 전달관을 포함하여 구성되는 노즐부와;

   상기 노즐부에 구성된 전달관의 좌우 단부에 연결되어, 상기 전달관의 경사를 따라 이동하는 포토레지스트의 일부를 외부로 배출하는 배출관을 포함하며;

   상기 배출관을 통하여 배출된 포토레지스트는 상기 공급관으로 회귀되며;

   상기 배출관을 통해 배출되는 포토레지스트가 중력방향으로 배출되며;

   상기 배출관의 배출구가 중력방향을 향하도록, 상기 배출관이 'ㄱ'자 형태로 구부러진 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 외부로 배출되는 포토레지스트의 양은 0.5 내지 2cc 인 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 배출관에 구성되어, 외부로 배출되는 포토레지스트의 양을 조절할 수 있는 조절수단을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 기판이 안착되는 스테이지를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치.
6. 포토레지스트가 공급되는 공급관과 상기 공급관의 단부에 좌우 경사를 가지고 연결되고, 하부에 상기 경사를 따라 형성되는 슬릿을 가지며, 상기 공급관으로부터 전달된 포토레지스트를 좌우 경사를 따라 이동시킴과 동시에 상기 슬릿을 통하여 기판상에 상기 포토레지스트를 도포하는 전달관을 포함하여 구성되는 노즐부와; 상기 노즐부에 구성된 전달관의 좌우 단부에 연결되어, 상기 전달관의 경사를 따라 이동하는 포토레지스트의 일부를 외부로 배출하는 배출관을 포함하는 포토레지스트 코팅장치의 구동방법에 있어서,

   포토레지스트를 공급관으로 공급하는 단계와;

   상기 공급관에 제공된 포토레지스트를 전달관으로 공급하는 단계와;

   상기 전달관에 공급된 포토레지스트를 슬릿으로 전달하여 기판상에 포토레지스트를 도포함과 동시에, 배출관을 통하여 상기 포토레지스트의 일부를 외부로 배출하는 단계와;

   상기 배출된 포토레지스트를 상기 공급관으로 회귀시키는 단계를 포함하여 이루어지며;

   상기 배출관을 통해 배출되는 포토레지스트가 중력방향으로 배출되며;

   상기 배출관의 배출구가 중력방향을 향하도록, 상기 배출관이 'ㄱ'자 형태로 구부러진 것을 특징으로 하는 포토레지스트 코팅장치의 구동방법.
7. 삭제

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