JP3442930B2 - 液晶表示パネルの洗浄方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
洗浄方法及び洗浄装置に関するものであり、特に、液晶
表示パネルに偏光板を貼り付ける前に行う液晶表示パネ
ルの洗浄方法及び液晶表示パネル用洗浄装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの製造工程は、透明電極
パターン形成、配向膜形成、配向処理、貼り合わせ、セ
ル化分断、液晶材料注入、液晶材料注入口封止、偏光板
貼り付け等の工程を有することが一般的である。これら
の工程の他に、例えば、カラー表示を行う液晶表示パネ
ルであればカラーフィルターの形成工程が、ＴＦＴ方式
の液晶表示パネルであればＴＦＴの形成工程が追加され
ていくことになる。

【０００３】また、液晶表示パネルの製造工程における
静電気対策として、ショートリングを形成している場合
には、液晶材料注入口封止後、ショートリングを除去す
るために面取りを行う必要がある。

【０００４】前述した液晶表示パネルのほとんどの製造
工程では、純水、超音波、紫外線、アルカリ性溶液、ア
ルコール系溶液等による洗浄を行っている。これらの洗
浄方法だけでは、汚れ及び付着物を完全に除去すること
は困難であるため、ブラシを使用した洗浄方法も用いら
れている。

【０００５】このブラシを使用した洗浄方法の洗浄効果
を向上させる洗浄装置として、特開平６−１７０３４０
号公報に記載されているように、被洗浄物の進行方向に
対してブラシを斜めに配置し、被洗浄物の段差に応じて
ブラシの角度を調節することができ、さらに、被洗浄物
の段差に応じてブラシの毛足の押し込み量を調節するこ
とができる洗浄装置が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】液晶材料注入口封止の
後の液晶表示パネルの洗浄は、紫外線を用いた洗浄方法
では、配向膜及び液晶材料が劣化し、表示むらとなるた
め、好ましいものではない。また、アルカリ性溶液また
はアルコール系溶液を用いた洗浄方法では、シール材料
及び液晶材料注入口封止樹脂が劣化し、信頼性が悪くな
るため、好ましいものではない。

【０００７】これらの問題を回避するため、液晶材料注
入口封止の後の液晶表示パネルの洗浄は、洗剤を用いて
超音波またはブラシにより洗浄を行っているが、超音波
を用いると液晶表示パネル内のスペーサーが移動し、セ
ルギャップにばらつきが生じることから、表示色むらと
なり、好ましいものではない。そこで、洗剤とブラシを
併用した洗浄方法が主流となっており、この方法によれ
ば、液晶表示パネル表面に付着した液晶材料を含む有機
物を問題なく除去することができる。

【０００８】しかし、偏光板を貼り付ける直前の液晶表
示パネルの表面には、液晶材料を含む有機物だけではな
く、セル化分断及びショートリングを除去するための面
取り作業の際に発生するガラスの微小な破片が付着して
いる。この液晶表示パネルの表面に付着したガラスの微
小な破片は、通常の状態であれば、前述した洗剤とブラ
シを併用した洗浄方法で除去できるのだが、ガラスの微
小な破片の平面部分と液晶表示パネルの平面部分とが密
着していた場合、両者の間は真空状態となっているた
め、洗剤とブラシを併用した洗浄方法では除去が困難で
ある。

【０００９】液晶表示パネルの表面に、ガラスの微小な
破片が付着した状態で偏光板を貼り付けると、ガラスの
微小な破片が付着した部分では、液晶表示パネルと偏光
板との間に気泡が混入してしまい、不良品となる。

【００１０】液晶表示パネルと偏光板との間に気泡が混
入した場合、偏光板の貼り直しも可能であるが、液晶表
示パネルから剥がした偏光板は、再度貼り付けて使用す
ることができないため、新たな偏光板が必要となり、コ
ストアップとなる。また、液晶表示パネルから偏光板を
剥がす際に、シール剥がれが発生したり、液晶表示パネ
ル内のスペーサーが移動し、表示色むらが発生する場合
があり、これらの場合には完全な不良品となり、良品率
を下げてしまうことになる。

【００１１】本発明は、前述した従来の問題点に鑑みな
されたものであって、液晶材料注入後の液晶表示パネル
表面への付着物を除去し、偏光板を液晶表示パネルへ貼
り付けた後の良品率を向上させることができる液晶表示
パネルの洗浄方法を提供することを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明にかかる液晶表示パネルの洗浄方法は、
液晶表示パネル内に液晶材料を注入し、液晶材料注入口
を封止した後、偏光板を貼り付ける前に行う液晶表示パ
ネルの洗浄方法において、刃物を前記液晶表示パネルに
接触させ、摺動させることにより、前記液晶表示パネル
への付着物を除去した後、前記刃物を、清掃手段内に移
動させて清掃することを特徴としている。

【００１３】本発明の液晶表示パネルの洗浄方法は、上
記の液晶表示パネルの洗浄方法において、前記液晶表示
パネルへの付着物を除去する際に、前記液晶表示パネル
にイオン化した空気を吹き付けることを特徴としてい
る。

【００１４】本発明の液晶表示パネルの洗浄方法は、上
記の液晶表示パネルの洗浄方法において、前記液晶表示
パネルへの付着物の除去を水中で行うことを特徴として
いる。

【００１５】液晶表示パネル用洗浄装置は、液晶表示パ
ネル内に液晶材料を注入し、液晶材料注入口を封止した
後、偏光板を貼り付ける前に洗浄を行うための液晶表示
パネル用洗浄装置において、前記液晶表示パネルに接触
させ、摺動させることにより、前記液晶表示パネルへの
付着物を除去する刃物が取り付けられた付着物除去手段
を有している構成である。

【００１６】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記付着物除去手段が
回転することにより、前記液晶表示パネルへの付着物を
除去する構成である。

【００１７】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記付着物除去手段
は、一般公差の真直度を有する第１の刃物と、前記第１
の刃物より高精度の真直度を有する第２の刃物とを有し
ている構成である。

【００１８】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記付着物除去手段
は、サスペンション機構を有している構成である。

【００１９】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記付着物除去手段
は、空気噴出口を有している構成である。

【００２０】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記液晶表示パネルへ
の付着物を除去する際に、イオン化した空気を前記液晶
表示パネルに吹き付けて静電気を除去する除電手段を有
している構成である。

【００２１】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記空気噴出口より、
イオン化した空気を前記液晶表示パネルに吹き付ける構
成である。

【００２２】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記液晶表示パネルへ
の付着物の除去を水中で行うことができる水槽を有して
いる構成である。

【００２３】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記水槽内の水を流動
させることができる構成である。

【００２４】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記付着物除去手段を
清掃するための清掃手段を有している構成である。

【００２５】液晶表示パネル用洗浄装置は、上記の液晶
表示パネル用洗浄装置において、前記液晶表示パネルへ
の付着物を除去した後、前記液晶表示パネルの外観不良
を検査する検査手段を有している構成である。

【００２６】本発明の液晶表示パネルの洗浄方法によれ
ば、セル化分断及びショートリングの面取り時に発生し
たガラスの微小な破片の平面部分が、液晶表示パネルの
平面部分に密着して付着し、両者の間が真空状態となっ
て、ガラスの微小な破片が液晶表示パネルに強固に付着
している場合であっても、刃物を液晶表示パネルに接触
させ、摺動させることにより、液晶表示パネルへの付着
物を削り取るように除去するので、液晶表示パネルに強
固に付着しているガラスの微小な破片も除去することが
できる。

【００２７】また、液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、イオン化した空気を液晶表示パネルに吹き付け
ることにより、付着物除去時に発生する静電気を除電す
ることができ、ＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電
することにより発生する表示不良等の静電気に起因する
問題を防止することができる。

【００２８】また、液晶表示パネルへの付着物の除去を
水中で行うことにより、付着物除去時に静電気を発生さ
せることがなく、ＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯
電することにより発生する表示不良等の静電気に起因す
る問題を防止することができるとともに、空気中に除去
した付着物を飛散させることがないため、クリーンルー
ム内のクリーン度を悪化させることがない。

【００２９】上記の液晶表示パネル用洗浄装置によれ
ば、セル化分断及びショートリングの面取り時に発生し
たガラスの微小な破片の平面部分が、液晶表示パネルの
平面部分に密着して付着し、両者の間が真空状態となっ
て、ガラスの微小な破片が液晶表示パネルに強固に付着
している場合であっても、刃物が取り付けられた付着物
除去手段を液晶表示パネルに接触させ、摺動させること
により、液晶表示パネルへの付着物を削り取るように除
去するので、液晶表示パネルに強固に付着しているガラ
スの微小な破片も除去することができる。

【００３０】さらに、液晶表示パネル上に円を描くよう
に、刃物が取り付けられた付着物除去手段を回転させて
液晶表示パネルへの付着物を除去することにより、短時
間に液晶表示パネルへの付着物を除去することができる
とともに、同一の付着物に対して、付着物除去手段に取
り付けられた刃物を短時間により多く接触させることが
でき、液晶表示パネルへの付着物を除去できる確率を高
めることができる。

【００３１】さらに、付着物除去手段は、一般公差の真
直度を有する第１の刃物と、第１の刃物より高精度の真
直度を有する第２の刃物とを有していることにより、第
１の刃物で比較的大きな液晶表示パネルへの付着物を除
去し、第２の刃物では第１の刃物で除去できない微小な
液晶表示パネルへの付着物を除去するため、効率良く液
晶表示パネルへの付着物を除去することができるととも
に、高精度の真直度を有する第２の刃物が液晶表示パネ
ルへの付着物に接触した際の衝撃を弱めることができ、
刃物の寿命を長くすることができる。

【００３２】さらに、付着物除去手段がサスペンション
機構を有していることにより、付着物除去手段が液晶表
示パネルと接触した際に、付着物除去手段が破損するこ
とを防止できるとともに、液晶表示パネルが破損するこ
とを防止できる。

【００３３】さらに、付着物除去手段が空気噴出口を有
していることにより、液晶表示パネルへの付着物を除去
する際に、空気噴出口より、液晶表示パネルに空気を吹
き付けることができ、除去したガラスの微小な破片等の
付着物を吹き飛ばし、液晶表示パネルに再付着すること
を防止することができる。

【００３４】また、液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、除電手段により、イオン化した空気を液晶表示
パネルに吹き付けて静電気を除去することにより、付着
物除去時に発生する静電気によるＴＦＴの破壊、透明電
極に静電気が帯電することにより発生する表示不良等の
静電気に起因する問題を防止することができる。

【００３５】さらに、付着物除去手段に設けた空気噴出
口より、イオン化した空気を液晶表示パネルに吹き付け
て静電気を除去することにより、付着物除去時に発生す
る静電気によるＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電
することにより発生する表示不良等の静電気に起因する
問題を防止することができるとともに、除去したガラス
の微小な破片等の付着物を吹き飛ばし、液晶表示パネル
に再付着することを防止することができる。

【００３６】また、液晶表示パネルへの付着物の除去を
水中で行うことができる水槽を有していることにより、
水中での液晶表示パネルへの付着物の除去を行うことが
できるため、付着物除去時に静電気を発生させることが
なく、ＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電すること
により発生する表示不良等の静電気に起因する問題を防
止することができるとともに、空気中に除去した付着物
を飛散させることがないため、クリーンルーム内のクリ
ーン度を悪化させることがない。

【００３７】さらに、水槽内の水を流動させることによ
り、除去した付着物が液晶表示パネルに再付着すること
を防止することができる。

【００３８】また、付着物除去手段を清掃するための清
掃手段を有していることにより、液晶表示パネルから除
去したガラスの微小な破片等の付着物が付着物除去手段
に付着した場合であっても、別の液晶表示パネルに、付
着物除去手段に付着したガラスの微小な破片等を付着さ
せてしまうことを防止することができる。

【００３９】また、付着物除去手段により液晶表示パネ
ルへの付着物を除去した後に、液晶表示パネルの外観不
良を検査する検査手段を有していることにより、不良品
を後工程へ流すことがなくなり、偏光板及び駆動回路等
の部材を不良品に取り付けてしまうことがないため、こ
れらの部材を節約することができるとともに、これらの
部材の取り付けにかかる時間と労力を節約することがで
きる。

【００４０】

【発明の実施の形態】図１乃至図１０を用いて本発明の
実施の形態について説明する。

【００４１】（実施の形態１） 本発明の実施の形態に係わる液晶表示パネル用洗浄装置
を図１及び図２に示す。図１は本発明の実施の形態に係
わる液晶表示パネル用洗浄装置の平面図、図２は本発明
の実施の形態に係わる液晶表示パネル用洗浄装置の側面
図である。

【００４２】ローダー部１には、液晶表示パネル収納用
カセット２が複数個セットされている。この液晶表示パ
ネル収納用カセット２から液晶表示パネル３を順次１組
ずつ取り出す際に、液晶表示パネル収納用カセット２の
支柱と液晶表示パネル３の端子部とが接触することによ
り、静電気が発生し、ＴＦＴが静電気破壊しないよう
に、液晶表示パネル収納用カセット２の中心と液晶表示
パネル３の中心とが一致するように位置決めされてい
る。

【００４３】液晶表示パネル３は、取り出しアーム４に
吸着固定され、液晶表示パネル収納用カセット２から取
り出され、取り出しアーム４の上方に設けられた供給ア
ーム５に吸着固定され、上面洗浄ステージ６に供給され
る。

【００４４】上面洗浄ステージ６に供給された液晶表示
パネル３は、上面洗浄ステージ６に吸着固定され、上方
から複数の刃物７が取り付けられた付着物除去手段８が
回転しながら下降して液晶表示パネル３と接触し、液晶
表示パネル３に付着しているガラスの微小な破片の除去
を行う。

【００４５】液晶表示パネル３上面の全面についてガラ
スの微小な破片を除去するため、上面洗浄ステージ６が
移動することにより、液晶表示パネル３上面の全面の洗
浄を行う。全面の洗浄を行うためには、付着物除去手段
８が移動するように構成されていても構わないし、付着
物除去手段８と上面洗浄ステージ６との両方が移動する
ように構成されていても構わない。

【００４６】液晶表示パネル３上面の洗浄が終了する
と、付着物除去手段８は回転しながら上昇し、上昇して
いく途中で回転を停止してから上昇を終了する。上昇を
終了した付着物除去手段８は、刃物７に付着したガラス
の微小な破片の除去を行うため、清掃手段９に移動し、
清掃手段９内へ下降して回転する。

【００４７】清掃手段９では、イオン化した空気を回転
している付着物除去手段８へ吹き付け、ガラスの微小な
破片を吹き飛ばして除去するとともに、付着物除去手段
８に帯電している静電気を除電する。清掃が終了する
と、付着物除去手段８は回転を停止して上昇し、次の液
晶表示パネル３が上面洗浄ステージ６に供給されるまで
待機する。

【００４８】液晶表示パネル３上面の洗浄が終了する
と、液晶表示パネル３は上面洗浄ステージ６への吸着固
定が解除され、上面洗浄ステージ６内部にある突き上げ
ピン１０が上昇し、液晶表示パネル３は突き上げピン１
０に突き上げられた状態で、突き上げピン１０に吸着固
定される。この状態を保持し、反転アーム１１のある位
置まで上面洗浄ステージ６が移動した後、突き上げピン
１０が下降し、液晶表示パネル３が突き上げピン１０へ
の吸着固定を解除され、反転アーム１１に移載される。
上面洗浄ステージ６は、元の位置に戻って次の液晶表示
パネル３が供給されるまで待機する。

【００４９】反転アーム１１は液晶表示パネル３の上下
面を反転させ、下面洗浄ステージ１２が反転アーム１１
のある位置まで移動する。下面洗浄ステージ１２内部に
ある突き上げピン１０が上昇し、液晶表示パネル３は反
転アーム１１への吸着固定を解除され、突き上げピン１
０に吸着固定される。下面洗浄ステージ１２が元の位置
まで移動し、突き上げピン１０が下降して、液晶表示パ
ネル３は突き上げピン１０への吸着固定を解除され、下
面洗浄ステージ１２に吸着固定される。

【００５０】液晶表示パネル３下面に付着したガラスの
微小な破片の除去については、前述した液晶表示パネル
３上面と同様に行い、液晶表示パネル３下面の洗浄を終
了する。

【００５１】液晶表示パネル３からガラスの微小な破片
を除去する際に発生する静電気を除電するため、液晶表
示パネル３上面及び下面ともに、ガラスの微小な破片を
除去する際に、除電手段１３によりイオン化した空気を
液晶表示パネル３に吹き付けることにより、発生した静
電気を除電している。

【００５２】液晶表示パネル３下面の洗浄が終了する
と、液晶表示パネル３は下面洗浄ステージ１２への吸着
固定が解除され、下面洗浄ステージ１２内部にある突き
上げピン１０が上昇し、液晶表示パネル３は突き上げピ
ン１０に突き上げられた状態で、突き上げピン１０に吸
着固定される。この状態を保持し、移載アーム１４のあ
る位置まで下面洗浄ステージ１２が移動した後、突き上
げピン１０が下降し、液晶表示パネル３が突き上げピン
１０への吸着固定を解除され、移載アーム１４に移載さ
れる。下面洗浄ステージ１２は、元の位置に戻って次の
液晶表示パネル３が供給されるまで待機する。

【００５３】液晶表示パネル３は、移載アーム１４によ
り、ウェット洗浄部１５へ移載される。ウェット洗浄部
１５では、液晶表示パネル３は、搬送コンベア１６によ
り搬送されながら、液晶表示パネル３の上下に設置され
たシャワーノズル１７及びブラシ１８により、両面に純
水を吹き付けられながらブラッシングされた後、乾燥ブ
ロアー１９により、付着した水滴を吹き飛ばされてウェ
ット洗浄を終了し、本工程における洗浄を完了する。

【００５４】洗浄を完了した液晶表示パネル３は、液晶
表示パネル３を上下から撮像できるように設置したライ
ンセンサーカメラ２０により、全体を撮像され、その画
像を２値化処理することにより、液晶表示パネル３表面
のキズ及び液晶表示パネル３周縁部のカケの有無につい
て自動検査が行われ、良否判定をされながら搬送コンベ
ア１６により搬送される。

【００５５】ラインセンサーカメラ２０付近に設置され
た画像モニター２１には、ラインセンサーカメラ２０に
よって撮像された液晶表示パネル３上下面の画像が表示
され、目視によっても外観不良検査及び良否判定を行え
るようになっている。

【００５６】外観検査が終了した液晶表示パネル３は、
液晶表示パネル収納用カセット２の支柱と液晶表示パネ
ル３の端子部とが接触することにより、静電気が発生
し、ＴＦＴが静電気破壊しないように、液晶表示パネル
収納用カセット２の中心と液晶表示パネル３の中心とが
一致するように、位置決めピン２２によって位置決めさ
れる。位置決めされた液晶表示パネル３は、搬出アーム
２３に吸着固定され、収納アーム２４上に供給される。

【００５７】収納アーム２４は、アンローダー部２５に
セットされている複数の液晶表示パネル収納用カセット
２に、外観検査での判定結果に基づき、良品と不良品の
区別をして液晶表示パネル３を収納し、本工程を完了す
る。

【００５８】図３乃至図５を用いて付着物除去手段８に
ついて説明する。図３は付着物除去手段８の一例を示す
斜視図、図４はサスペンション機構２６及び空気噴出口
２７を有する付着物除去手段８の一例を示す説明図、図
５は空気噴出口２７の他の例を示す断面図である。

【００５９】図３に示すように、２枚の刃物７は、モー
ター２８によって回転しながらガラスの微小な破片を除
去するため、互いに刃先を逆方向に向けて取り付けられ
ている。刃物７の材質については、セラミックまたは金
属等を用いることができ、特に限定されるものではな
く、取り付ける刃物７の数についても、特に限定される
ものではない。

【００６０】この刃物７の刃先角は、２５〜３５°が望
ましく、さらに望ましいのは３０°である。刃先角が２
５°より鋭角になった場合、刃物の強度が弱くなり、３
５°より鈍角になった場合、ガラスの微小な破片を充分
に除去することができない。

【００６１】また、液晶表示パネル３（図３には図示せ
ず）と刃物７との接触角は、２５〜３５°が望ましく、
さらに望ましいのは３０°である。液晶表示パネル３と
刃物７との接触角が２５°より鋭角になった場合、刃物
７によって液晶表示パネル３に加える圧力が弱くなり、
ガラスの微小な破片を充分に除去することができなくな
り、液晶表示パネル３と刃物７との接触角が３５°より
鈍角になった場合、刃物７によって液晶表示パネル３に
加える圧力が強くなり、液晶表示パネル３の表面にキズ
が付いてしまうとともに、刃物７の寿命が著しく短くな
る。

【００６２】また、刃物７の回転数は、８０〜１４０ｒ
ｐｍが望ましく、さらに望ましいのは１００〜１２０ｒ
ｐｍである。刃物７の回転数が８０ｒｐｍより低い場
合、ガラスの微小な破片の液晶表示パネル３への密着力
に刃物７が負けて浮いてしまい、再度液晶表示パネル３
へ接触した際に液晶表示パネル３の表面にキズが付いて
しまい、１４０ｒｐｍより高い場合、刃物７がガラスの
微小な破片に接触した際の衝撃力が強まるため、刃物７
の寿命が著しく短くなる。

【００６３】尚、本発明の刃物は、ナイフの刃等のよう
に、紙または木等を切断または切削できるものでも構わ
ないし、定規等のように、紙または木等を切断または切
削することが困難なものでも構わない。

【００６４】図４に示すように、バネを用いたサスペン
ション機構２６は、刃物７とモーター２８との間に設け
られ、空気噴出口２７は、モーター２８付近の回転しな
い箇所に設けられている。

【００６５】このバネの反発力によって刃物７が液晶表
示パネル３（図４には図示せず）に加える荷重は、８０
０〜１２００ｇが望ましく、さらに望ましいのは９００
〜１１００ｇである。刃物７が液晶表示パネル３に加え
る荷重が８００ｇより小さい場合、ガラスの微小な破片
の液晶表示パネル３への密着力に刃物７が負けて浮いて
しまい、再度液晶表示パネル３に接触した際に液晶表示
パネル３の表面にキズが付いてしまい、１２００ｇより
大きい場合、刃物７にかかるストレスが大きくなり、刃
物７の寿命が著しく短くなる。

【００６６】また、空気噴出口２７には、空気またはイ
オン化した空気を供給するための管（図示せず）が接続
されている。この空気噴出口２７からの空気またはイオ
ン化した空気の噴出速度は、１２〜１６ｍ／ｓｅｃが望
ましい。この噴出速度でイオン化した空気を液晶表示パ
ネル３に吹き付けた場合、液晶表示パネル３から除去し
たガラスの微小な破片を吹き飛ばすことができるととも
に、液晶表示パネル３の表面に１０００Ｖ以上帯電して
いる静電気を５０Ｖ以下まで除電することができる。

【００６７】図５に示すように、空気噴出口２７を刃物
７に設け、管２９を接続して空気またはイオン化した空
気を空気噴出口２７へ供給することもできる。この場
合、刃物７を回転させてガラスの微小な破片を除去する
ときには不向きであるが、刃物７を直線的に動かしてガ
ラスの微小な破片を除去するときには有効である。

【００６８】図６を用いて清掃手段９について説明す
る。図６は清掃手段９の一例を示す斜視図である。付着
物除去手段８（図６には図示せず）を中心の凹部に入
れ、排気管３０から排気を行いながら、複数のエアーノ
ズル３１より空気またはイオン化した空気を付着物除去
手段８に吹き付けることによって清掃を行う。エアーノ
ズル３１には、空気またはイオン化した空気を供給する
ための管（図示せず）が接続されている。

【００６９】図７を用いて検査手段について説明する。
図７は検査手段の一例を示す説明図である。液晶表示パ
ネル３をラインセンサーカメラ２０の撮像視野内に入れ
るために、ガイドピン３２が液晶表示パネル３の両側に
設けられている。このガイドピン３２は、液晶表示パネ
ル３の搬送コンベア１６による進行方向に対して負荷が
かからないように、ベアリング（図示せず）を介して取
り付けられている。

【００７０】また、液晶表示パネル３を撮像するための
ラインセンサーカメラ２０及びライン型光源３３は、液
晶表示パネル３の上下面を同時に検査するため、液晶表
示パネル３を上下から挟み込むような位置に設置されて
いる。このラインセンサーカメラ２０によって撮像され
た画像は、画像処理部（図示せず）及び判定部（図示せ
ず）よって２値化され、良否判定が行われるとともに、
上面、下面用の画像モニター２１に画像が表示され、作
業者が目視による確認を行うこともできる。

【００７１】また、良否判定によって不良を検出した場
合、パトライト（図示せず）等で作業者に知らせること
により、刃物７（図７には図示せず）の交換時期を確実
なものにすることができる。

【００７２】（実施の形態２） 図８乃至図１０を用いて、本発明の他の実施の形態につ
いて説明する。図８は本発明の他の実施の形態に係わる
液晶表示パネル用洗浄装置の側面図、図９は付着物除去
手段８の他の例を示す説明図、図１０は水槽内部を示す
説明図である。

【００７３】ローダー部１にセットされている液晶表示
パネル収納用カセット２から、液晶表示パネル３を取り
出しアーム４よって取り出し、供給アーム５によって上
面洗浄ステージ６に供給する。

【００７４】上面洗浄ステージ６に供給された液晶表示
パネル３は、上面洗浄ステージ６に吸着固定され、上面
洗浄ステージ６が上面洗浄用水槽３４内に下降し、図９
に示すような第１の刃物３５及び第２の刃物３６が取り
付けられた付着物除去手段８を液晶表示パネル３と接触
させながらＡ方向に平行移動させ、液晶表示パネル３に
付着しているガラスの微小な破片の除去を行う。

【００７５】液晶表示パネル３上面の洗浄が終了する
と、反転アーム１１によって液晶表示パネル３の上下面
を反転させ、移載アーム１４によって下面洗浄ステージ
１２に液晶表示パネル３が供給される。

【００７６】液晶表示パネル３下面に付着したガラスの
微小な破片の除去については、前述した液晶表示パネル
３上面と同様に下面洗浄用水槽３７内で行い、液晶表示
パネル３下面の洗浄を終了する。

【００７７】液晶表示パネル３下面の洗浄が終了する
と、液晶表示パネル３は移載アーム１４によってウェッ
ト洗浄部１５へ移載される。ウェット洗浄部１５でウェ
ット洗浄を終了し、本工程における洗浄を完了する。

【００７８】洗浄を完了した液晶表示パネル３は、搬出
アーム２３によって収納アーム２４上に供給され、アン
ローダー部２５にセットされている液晶表示パネル収納
用カセット２に収納され、本工程を完了する。

【００７９】ここで、図９に示した付着物除去手段８に
ついて説明する。

【００８０】第１の刃物３５及び第２の刃物３６の刃先
角は２５〜３５°が望ましく、さらに望ましいのは３０
°である。刃先角が２５°より鋭角になった場合、刃物
の強度が弱くなり、３５°より鈍角になった場合、ガラ
スの微小な破片を充分に除去することができない。

【００８１】また、液晶表示パネル３と第１の刃物３５
及び第２の刃物３６との接触角は２５〜３５°が望まし
く、さらに望ましいのは３０°である。液晶表示パネル
３と第１の刃物３５及び第２の刃物３６との接触角が２
５°より鋭角になった場合、第１の刃物３５及び第２の
刃物３６によって液晶表示パネル３に加える圧力が弱く
なり、ガラスの微小な破片を充分に除去することができ
なくなり、液晶表示パネル３と第１の刃物３５及び第２
の刃物３６との接触角が３５°より鈍角になった場合、
第１の刃物３５及び第２の刃物３６によって液晶表示パ
ネル３に加える圧力が強くなり、液晶表示パネル３の表
面にキズが付いてしまうとともに、第１の刃物３５及び
第２の刃物３６の寿命が著しく短くなる。

【００８２】また、第１の刃物３５及び第２の刃物３６
の真直度は、例えば第１の刃物３５の真直度が０．１ｍ
ｍの場合、第２の刃物３６の真直度は０．０１ｍｍが望
ましい。このように、第１の刃物３５及び第２の刃物３
６の真直度を異ならせ、付着物除去手段８の移動方向で
あるＡ方向の前側にある第１の刃物３５で比較的大きな
付着物の除去を行い、後側にある第２の刃物３６で微小
な付着物の除去を行うことにより、第２の刃物３６が付
着物と接触した際の衝撃を弱めることができ、高精度の
真直度を有する第２の刃物３６の寿命を延ばすことがで
きる。

【００８３】また、バネを用いたサスペンション機構２
６を用いた場合、このバネの反発力によって第１の刃物
３５及び第２の刃物３６が液晶表示パネル３に加える荷
重は、水中で付着物の除去を行うときには、空気中より
も付着物が除去しやすくなるため、３００〜６００ｇが
望ましく、さらに望ましいのは４００〜５００ｇであ
る。第１の刃物３５及び第２の刃物３６が液晶表示パネ
ル３に加える荷重が３００ｇより小さい場合、ガラスの
微小な破片の液晶表示パネル３への密着力に第１の刃物
３５及び第２の刃物３６が負けて浮いてしまい、再度液
晶表示パネル３に接触した際に液晶表示パネル３の表面
にキズが付いてしまい、６００ｇより大きい場合、第１
の刃物３５及び第２の刃物３６にかかるストレスが大き
くなり、第１の刃物３５及び第２の刃物３６の寿命が著
しく短くなる。

【００８４】ここで、図１０を用いて上面洗浄用水槽３
４及び下面洗浄用水槽３７について説明する。

【００８５】上面洗浄用水槽３４及び下面洗浄用水槽３
７は同じ構造でよく、給水口３８及び排水口３９を有
し、付着物除去手段８の移動方向であるＡ方向と同じ方
向であるＢ方向に水４０が流動するようにすることが望
ましい。このようにすることで、液晶表示パネル３から
除去された付着物が液晶表示パネル３に再付着したり、
上面洗浄ステージ６または下面洗浄ステージ１２に付着
することを防止することができる。

【００８６】水４０の流速は５〜１０ｍ／ｍｉｎが望ま
しく、この流速の場合に、液晶表示パネル３から除去し
た付着物が効率よく排水口３９に流動していくため、液
晶表示パネル３から除去した付着物の液晶表示パネル３
への再付着及び上面洗浄ステージ６または下面洗浄ステ
ージ１２への付着を防止することができる。

【００８７】

【発明の効果】以上の説明のように、本発明の液晶表示
パネルの洗浄方法によれば、刃物を液晶表示パネルに接
触させ、摺動させることにより、液晶表示パネルに強固
に付着しているガラスの微小な破片も除去することがで
き、偏光板を液晶表示パネルに貼り付ける際に、偏光板
と液晶表示パネルの間に気泡が混入することを防止する
ことができるため、良品率を向上させることができる。

【００８８】また、液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、イオン化した空気を液晶表示パネルに吹き付け
て静電気を除去することにより、静電気によるＴＦＴの
破壊、透明電極に静電気が帯電することにより発生する
表示不良等の静電気に起因する問題を防止することがで
きる。

【００８９】また、液晶表示パネルへの付着物の除去を
水中で行うことにより、静電気によるＴＦＴの破壊、透
明電極に静電気が帯電することにより発生する表示不良
等の静電気に起因する問題を防止することができるとと
もに、クリーンルーム内のクリーン度を悪化させること
がない。

【００９０】上記の液晶表示パネル用洗浄装置によれ
ば、刃物が取り付けられた付着物除去手段を液晶表示パ
ネルに接触させ、摺動させることにより、液晶表示パネ
ルに強固に付着しているガラスの微小な破片も除去する
ことができ、偏光板を液晶表示パネルに貼り付ける際
に、偏光板と液晶表示パネルの間に気泡が混入すること
を防止することができるため、良品率を向上させること
ができる。

【００９１】さらに、液晶表示パネル上に円を描くよう
に、付着物除去手段を回転させて液晶表示パネルへの付
着物を除去することにより、短時間に液晶表示パネルへ
の付着物を除去することができるとともに、液晶表示パ
ネルへの付着物を除去できる確率を高めることができ
る。

【００９２】さらに、付着物除去手段は、一般公差の真
直度を有する第１の刃物と、第１の刃物より高精度の真
直度を有する第２の刃物とを有していることにより、効
率良く液晶表示パネルへの付着物を除去することができ
るとともに、刃物の寿命を長くすることができる。

【００９３】さらに、付着物除去手段がサスペンション
機構を有していることにより、付着物除去手段が破損す
ることを防止できるとともに、液晶表示パネルが破損す
ることを防止できる。

【００９４】さらに、付着物除去手段が空気噴出口から
液晶表示パネルに空気を吹き付けることができ、除去し
たガラスの微小な破片等の付着物が、液晶表示パネルに
再付着することを防止することができる。

【００９５】また、液晶表示パネルへの付着物を除去す
る際に、除電手段により、イオン化した空気を液晶表示
パネルに吹き付けて静電気を除去することにより、静電
気によるＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電するこ
とにより発生する表示不良等の静電気に起因する問題を
防止することができる。

【００９６】さらに、付着物除去手段に設けた空気噴出
口より、イオン化した空気を液晶表示パネルに吹き付け
て静電気を除去することにより、静電気によるＴＦＴの
破壊、透明電極に静電気が帯電することにより発生する
表示不良等の静電気に起因する問題を防止することがで
きるとともに、除去したガラスの微小な破片等の付着物
が液晶表示パネルに再付着することを防止することがで
きる。

【００９７】また、液晶表示パネルへの付着物の除去を
水中で行うことができる水槽を有していることにより、
静電気によるＴＦＴの破壊、透明電極に静電気が帯電す
ることにより発生する表示不良等の静電気に起因する問
題を防止することができるとともに、クリーンルーム内
のクリーン度を悪化させることがない。

【００９８】さらに、水槽内の水を流動させることによ
り、除去した付着物が液晶表示パネルに再付着すること
を防止することができる。

【００９９】また、清掃手段により、付着物除去手段を
清掃することによって、液晶表示パネルから除去したガ
ラスの微小な破片等の付着物が付着物除去手段に付着し
た場合であっても、別の液晶表示パネルに、付着物除去
手段に付着したガラスの微小な破片等を付着させてしま
うことを防止することができる。

【０１００】また、付着物除去手段により液晶表示パネ
ルへの付着物を除去した後に、検査手段により、液晶表
示パネルの外観不良を検査することによって、不良品を
後工程へ流すことがなくなり、偏光板及び駆動回路等の
部材を不良品に取り付けてしまうことがないため、これ
らの部材を節約することができるとともに、これらの部
材の取り付けにかかる時間と労力を節約することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係わる液晶表示パネル用
洗浄装置の平面図である。

【図２】本発明の実施の形態に係わる液晶表示パネル用
洗浄装置の側面図である。

【図３】付着物除去手段の一例を示す斜視図である。

【図４】サスペンション機構及び空気噴出口を有する付
着物除去手段を示す説明図である。

【図５】空気噴出口の他の例を示す断面図である。

【図６】清掃手段の一例を示す斜視図である。

【図７】検査手段の一例を示す説明図である。

【図８】本発明の他の実施の形態に係わる液晶表示パネ
ル用洗浄装置の側面図である。

【図９】付着物除去手段の他の例を示す説明図である。

【図１０】水槽内部を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ローダー部 ２ 液晶表示パネル収納用カセット ３ 液晶表示パネル ４ 取り出しアーム ５ 供給アーム ６ 上面洗浄ステージ ７ 刃物 ８ 付着物除去手段 ９ 清掃手段 １０ 突き上げピン １１ 反転アーム １２ 下面洗浄ステージ １３ 除電手段 １４ 移載アーム １５ ウェット洗浄部 １６ 搬送コンベア １７ シャワーノズル １８ ブラシ １９ 乾燥ブロアー ２０ ラインセンサーカメラ ２１ 画像モニター ２２ 位置決めピン ２３ 搬出アーム ２４ 収納アーム ２５ アンローダー部 ２６ サスペンション機構 ２７ 空気噴出口 ２８ モーター ２９ 管 ３０ 排気管 ３１ エアーノズル ３２ ガイドピン ３３ ライン型光源 ３４ 上面洗浄用水槽 ３５ 第１の刃物 ３６ 第２の刃物 ３７ 下面洗浄用水槽 ３８ 給水口 ３９ 排水口 ４０ 水

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−328447（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−2144（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−335601（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−335607（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−161676（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−14810（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−99159（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−167485（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−56466（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−137492（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−79282（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B08B 1/00 - 1/04 B08B 5/00 - 13/00

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液晶表示パネル内に液晶材料を注入し、液
   晶材料注入口を封止した後、偏光板を貼り付ける前に行
   う液晶表示パネルの洗浄方法において、刃物を前記液晶
   表示パネルに接触させながら摺動させるとともに、液晶
   表示パネル上に円を描くように回転させ、かつ前記液晶
   表示パネルにイオン化した空気を吹き付けることによ
   り、前記液晶表示パネルへの付着物を除去した後、 前記刃物を、清掃手段内に移動させて、前記刃物を回転
   させるとともに、前記刃物にイオン化した空気を吹き付
   けて清掃することを特徴とする液晶表示パネルの洗浄方
   法。
2. 【請求項２】前記刃物を上方から回転させながら下降さ
   せて、前記液晶表示パネルへの付着物を除去した後、前
   記刃物を回転させながら上昇させることを特徴とする請
   求項１記載の液晶表示パネルの洗浄方法。
3. 【請求項３】前記刃物の回転数は、８０〜１４０ｒｐｍ
   であることを特徴とする請求項１または２記載の液晶表
   示パネルの洗浄方法。
4. 【請求項４】前記清掃手段は、排気を行いながら清掃す
   ることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか記
   載の液晶パネルの洗浄方法。
5. 【請求項５】前記刃物を液晶表示パネルにサスペンショ
   ン機構により８００〜１２００ｇの荷重で密着させるこ
   とを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか記載の
   液晶表示パネルの洗浄方法。
6. 【請求項６】前記液晶表示パネルへの付着物の除去を水
   中で行うことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいず
   れか記載の液晶表示パネルの洗浄方法。
7. 【請求項７】前記刃物を液晶表示パネルにサスペンショ
   ン機構により３００〜６００ｇの荷重で密着させること
   を特徴とする請求項６記載の液晶表示パネルの洗浄方
   法。