JP2001259541A - カラーフィルタの洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
カラーフィルタの洗浄方法及び洗浄装置Info
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 切断加工後のカラーフィルタの膜面を損傷す
ることなく歩留まりよく洗浄し、カレットを除去する。 【解決手段】 カラーフィルタ１０の着色層１２が配置
する表面側に接するロールブラシ１３ａよりも、カラー
フィルタ１０の透明基板１１が配置する裏面側に接する
ロールブラシ１３ｂについて、押し当て量、押し当て圧
力、回転数を大とするか、或いは、固い素材、線径の太
いブラシ、毛足の短いブラシ、毛の密度の高いブラシを
用いる。
ることなく歩留まりよく洗浄し、カレットを除去する。 【解決手段】 カラーフィルタ１０の着色層１２が配置
する表面側に接するロールブラシ１３ａよりも、カラー
フィルタ１０の透明基板１１が配置する裏面側に接する
ロールブラシ１３ｂについて、押し当て量、押し当て圧
力、回転数を大とするか、或いは、固い素材、線径の太
いブラシ、毛足の短いブラシ、毛の密度の高いブラシを
用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビやパ
ーソナルコンピュータ等に使用されるカラー液晶ディス
プレイ等に用いられるカラーフィルタの洗浄方法及び洗
浄装置に関する。
ーソナルコンピュータ等に使用されるカラー液晶ディス
プレイ等に用いられるカラーフィルタの洗浄方法及び洗
浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要が増
加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及のため
には、コストダウンが必要である。
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要が増
加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及のため
には、コストダウンが必要である。
【０００３】液晶ディスプレイのコストダウンを図るた
め、近年、製造工程で用いられる基板サイズは拡大の一
途を辿っており、基板面積が増大すると共に、基板１枚
当たりの取り個数が増大し、対向する基板を貼り合わせ
る際に必要な位置合わせ精度を確保することが困難にな
りつつある。
め、近年、製造工程で用いられる基板サイズは拡大の一
途を辿っており、基板面積が増大すると共に、基板１枚
当たりの取り個数が増大し、対向する基板を貼り合わせ
る際に必要な位置合わせ精度を確保することが困難にな
りつつある。
【０００４】そこで、特に、アクティブマトリクス駆動
の液晶ディスプレイにおいては、アクティブマトリクス
基板に対向するカラーフィルタ側基板を複数枚に切断し
た上で位置合わせを行い、貼り合わせる方法が採られて
いる。そのため、事前にカラーフィルタを所望の大きさ
に切断加工する必要があった。
の液晶ディスプレイにおいては、アクティブマトリクス
基板に対向するカラーフィルタ側基板を複数枚に切断し
た上で位置合わせを行い、貼り合わせる方法が採られて
いる。そのため、事前にカラーフィルタを所望の大きさ
に切断加工する必要があった。
【０００５】しかしながら、対向基板と貼り合わせたセ
ルに液晶を注入封止した後のセルの切断とは異なり、カ
ラーフィルタを切断加工する場合、カラーフィルタの着
色層や保護層、或いはその上に成膜されたＩＴＯ膜等の
膜面が露出している状態で加工しなければならない。こ
の切断加工には、カラーフィルタのスクライブ、分断、
面取りの各作業が含まれ、各作業課程で発生するカレッ
ト（ガラスくず）がカラーフィルタに付着するのは避け
られない。そのため、加工工程終了後にはカラーフィル
タを洗浄して該カレットを除去する必要があった。
ルに液晶を注入封止した後のセルの切断とは異なり、カ
ラーフィルタを切断加工する場合、カラーフィルタの着
色層や保護層、或いはその上に成膜されたＩＴＯ膜等の
膜面が露出している状態で加工しなければならない。こ
の切断加工には、カラーフィルタのスクライブ、分断、
面取りの各作業が含まれ、各作業課程で発生するカレッ
ト（ガラスくず）がカラーフィルタに付着するのは避け
られない。そのため、加工工程終了後にはカラーフィル
タを洗浄して該カレットを除去する必要があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のカラーフィルタ
の洗浄工程は、カラーフィルタの着色層や保護層、ＩＴ
Ｏ膜等が露出した状態で行うため、これらの膜を傷つけ
てしまう恐れがあった。特に、カレットを確実に除去す
るためにブラシ類を用いてカラーフィルタから掻き落と
す場合などに膜表面を傷つける可能性が高かった。
の洗浄工程は、カラーフィルタの着色層や保護層、ＩＴ
Ｏ膜等が露出した状態で行うため、これらの膜を傷つけ
てしまう恐れがあった。特に、カレットを確実に除去す
るためにブラシ類を用いてカラーフィルタから掻き落と
す場合などに膜表面を傷つける可能性が高かった。
【０００７】本発明の課題は、上記問題点を解決し、カ
ラーフィルタの切断工程後の洗浄工程において、カラー
フィルタ表面側に形成された膜を傷つけることなく、カ
レットを除去して歩留まりよく液晶ディスプレイの製造
工程にカラーフィルタを提供することにある。
ラーフィルタの切断工程後の洗浄工程において、カラー
フィルタ表面側に形成された膜を傷つけることなく、カ
レットを除去して歩留まりよく液晶ディスプレイの製造
工程にカラーフィルタを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第一は、透明基
板上に少なくとも着色層を備えたカラーフィルタの洗浄
方法であって、複数の洗浄工程を有し、洗浄処理条件が
カラーフィルタの着色層が配置する表面側と透明基板が
配置する裏面側とで異なるように設定された洗浄工程を
含むことを特徴とするカラーフィルタの洗浄方法であ
る。
板上に少なくとも着色層を備えたカラーフィルタの洗浄
方法であって、複数の洗浄工程を有し、洗浄処理条件が
カラーフィルタの着色層が配置する表面側と透明基板が
配置する裏面側とで異なるように設定された洗浄工程を
含むことを特徴とするカラーフィルタの洗浄方法であ
る。
【０００９】上記本発明は、上記洗浄工程において、ブ
ラシ或いはスポンジを用い、カラーフィルタの表面側と
裏面側とで異なる設定が、ブラシ或いはスポンジのカラ
ーフィルタへの押し当て圧力、押し当て量、回転数、回
転方向、ブラシの毛の材質、線径、長さ、密度、スポン
ジの材質、厚み、のいずれか或いは複数の組み合わせで
あることを好ましい態様として含むものである。さらに
は、ブラシ或いはスポンジの押し当て圧力、押し当て
量、回転数が、カラーフィルタの表面側より裏面側が大
きくなるように設定する、カラーフィルタの表面側より
裏面側に接触する方が固い材質のブラシ或いはスポンジ
を使用する、カラーフィルタの表面側より裏面側に接触
する方が線径の太い、或いは、毛足の短い、もしくは、
毛の密度が密なブラシを使用すること、或いは、カラー
フィルタの表面側より裏面側に接触する方が厚みの薄い
スポンジを使用すること、を好ましい態様として含むも
のである。
ラシ或いはスポンジを用い、カラーフィルタの表面側と
裏面側とで異なる設定が、ブラシ或いはスポンジのカラ
ーフィルタへの押し当て圧力、押し当て量、回転数、回
転方向、ブラシの毛の材質、線径、長さ、密度、スポン
ジの材質、厚み、のいずれか或いは複数の組み合わせで
あることを好ましい態様として含むものである。さらに
は、ブラシ或いはスポンジの押し当て圧力、押し当て
量、回転数が、カラーフィルタの表面側より裏面側が大
きくなるように設定する、カラーフィルタの表面側より
裏面側に接触する方が固い材質のブラシ或いはスポンジ
を使用する、カラーフィルタの表面側より裏面側に接触
する方が線径の太い、或いは、毛足の短い、もしくは、
毛の密度が密なブラシを使用すること、或いは、カラー
フィルタの表面側より裏面側に接触する方が厚みの薄い
スポンジを使用すること、を好ましい態様として含むも
のである。
【００１０】本発明の第二は、透明基板上に少なくとも
着色層を備えたカラーフィルタの洗浄装置であって、複
数の洗浄工程を有し、洗浄処理条件がカラーフィルタの
着色層が配置する表面側と透明基板が配置する裏面側と
で異なるように設定された洗浄工程を備えたことを特徴
とする洗浄装置である。
着色層を備えたカラーフィルタの洗浄装置であって、複
数の洗浄工程を有し、洗浄処理条件がカラーフィルタの
着色層が配置する表面側と透明基板が配置する裏面側と
で異なるように設定された洗浄工程を備えたことを特徴
とする洗浄装置である。
【００１１】上記本発明は、上記洗浄工程において、ブ
ラシ或いはスポンジを用い、カラーフィルタの表面側と
裏面側とで異なる設定が、ブラシ或いはスポンジのカラ
ーフィルタへの押し当て圧力、押し当て量、回転数、回
転方向、ブラシの毛の材質、線径、長さ、密度、スポン
ジの材質、厚み、のいずれか或いは複数の組み合わせで
あることを好ましい態様として含むものである。
ラシ或いはスポンジを用い、カラーフィルタの表面側と
裏面側とで異なる設定が、ブラシ或いはスポンジのカラ
ーフィルタへの押し当て圧力、押し当て量、回転数、回
転方向、ブラシの毛の材質、線径、長さ、密度、スポン
ジの材質、厚み、のいずれか或いは複数の組み合わせで
あることを好ましい態様として含むものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明においては、カラーフィル
タの着色層が配置する表面側と透明基板が配置する裏面
側とで、洗浄処理条件が異なるように設定した工程を含
めることによって、それぞれに適した洗浄処理を行い、
カラーフィルタの表面の損傷を防止すると同時に両面に
付着したカレットを全て除去して良好な状態でカラーフ
ィルタを提供するものである。
タの着色層が配置する表面側と透明基板が配置する裏面
側とで、洗浄処理条件が異なるように設定した工程を含
めることによって、それぞれに適した洗浄処理を行い、
カラーフィルタの表面の損傷を防止すると同時に両面に
付着したカレットを全て除去して良好な状態でカラーフ
ィルタを提供するものである。
【００１３】本発明の洗浄対象となるカラーフィルタ
は、透明基板上に少なくとも着色層を備えており、該着
色層の形成された側を表面側とする。通常、着色層上に
は保護層が形成され、さらには、液晶ディスプレイを構
成した際に液晶を駆動する電極となるＩＴＯ膜が成膜さ
れている場合もある。
は、透明基板上に少なくとも着色層を備えており、該着
色層の形成された側を表面側とする。通常、着色層上に
は保護層が形成され、さらには、液晶ディスプレイを構
成した際に液晶を駆動する電極となるＩＴＯ膜が成膜さ
れている場合もある。
【００１４】本発明において、カラーフィルタの表面側
と裏面側とで異なるように設定する洗浄処理条件として
は、当該洗浄工程において、ブラシ或いはスポンジを用
い、ブラシ或いはスポンジのカラーフィルタへの押し当
て圧力、押し当て量、回転数、回転方向、ブラシの毛の
材質、線径、長さ、密度、スポンジの材質、厚み、のい
ずれか或いは複数の組み合わせが挙げられる。以下に実
施形態を挙げて具体的に説明する。
と裏面側とで異なるように設定する洗浄処理条件として
は、当該洗浄工程において、ブラシ或いはスポンジを用
い、ブラシ或いはスポンジのカラーフィルタへの押し当
て圧力、押し当て量、回転数、回転方向、ブラシの毛の
材質、線径、長さ、密度、スポンジの材質、厚み、のい
ずれか或いは複数の組み合わせが挙げられる。以下に実
施形態を挙げて具体的に説明する。
【００１５】〔実施形態１〕図１は、本発明のカラーフ
ィルタの洗浄方法を実施する洗浄装置において、カラー
フィルタの表面側と裏面側で条件を変えた洗浄工程の一
実施形態を示す模式図である。図中、１０はカラーフィ
ルタで、透明基板１１上に着色層１２を備えている。１
３ａ，１３ｂはロールブラシ、１４はシャワーノズル、
１５は搬送ローラーである。
ィルタの洗浄方法を実施する洗浄装置において、カラー
フィルタの表面側と裏面側で条件を変えた洗浄工程の一
実施形態を示す模式図である。図中、１０はカラーフィ
ルタで、透明基板１１上に着色層１２を備えている。１
３ａ，１３ｂはロールブラシ、１４はシャワーノズル、
１５は搬送ローラーである。
【００１６】本実施形態はブラシを用いて洗浄する工程
であり、カラーフィルタ１０がロールブラシ１３ａ，１
３ｂ間を表面側（着色層１２側）を上面として矢印方向
に通過する際に、両面をロールブラシ１３ａ，１３ｂに
より擦られることでカレットが除去される。カラーフィ
ルタ１０には、シャワーノズル１４よりシャワーがかけ
られ、裏面に配設された搬送ローラー１５により矢印方
向に搬送される間に洗浄が行われる。
であり、カラーフィルタ１０がロールブラシ１３ａ，１
３ｂ間を表面側（着色層１２側）を上面として矢印方向
に通過する際に、両面をロールブラシ１３ａ，１３ｂに
より擦られることでカレットが除去される。カラーフィ
ルタ１０には、シャワーノズル１４よりシャワーがかけ
られ、裏面に配設された搬送ローラー１５により矢印方
向に搬送される間に洗浄が行われる。
【００１７】本実施形態では、カラーフィルタ１０の表
面側に接するロールブラシ１３ａよりも、裏面側に接す
るロールブラシ１３ｂの押し当て量が大となるように設
定する。これにより、軟らかく、傷つきやすい表面側に
対してはブラシの当たりが弱く、ガラス面である裏面に
はブラシが強く当たるようになり、カラーフィルタ膜面
へのダメージを最小限に低減することができる。尚、カ
レットの除去性能に関しては、膜の素材が樹脂或いはＩ
ＴＯであるカラーフィルタ表面側に付着したカレット
は、ガラス同士である裏面に付着したカレットのように
強固に付着していないため、比較的穏和な条件でも十分
に除去することができる。また、裏面においては、強固
に付着しているカレットを十分に強く擦り落とすことが
できる。
面側に接するロールブラシ１３ａよりも、裏面側に接す
るロールブラシ１３ｂの押し当て量が大となるように設
定する。これにより、軟らかく、傷つきやすい表面側に
対してはブラシの当たりが弱く、ガラス面である裏面に
はブラシが強く当たるようになり、カラーフィルタ膜面
へのダメージを最小限に低減することができる。尚、カ
レットの除去性能に関しては、膜の素材が樹脂或いはＩ
ＴＯであるカラーフィルタ表面側に付着したカレット
は、ガラス同士である裏面に付着したカレットのように
強固に付着していないため、比較的穏和な条件でも十分
に除去することができる。また、裏面においては、強固
に付着しているカレットを十分に強く擦り落とすことが
できる。
【００１８】また、図１の構成において、ロールブラシ
１３ｂの押し当て圧力や回転数をロールブラシ１３ａよ
りも大きく設定することにより同様の効果が得られる。
１３ｂの押し当て圧力や回転数をロールブラシ１３ａよ
りも大きく設定することにより同様の効果が得られる。
【００１９】さらに、ロールブラシ１３ｂの毛の材質を
ロールブラシ１３ａよりも固くしたり、線径の太いもの
を用いたり、毛足の短いものを用いたり、或いは密度を
高くすることで同様の効果が得られる。また、ロールブ
ラシ１３ａをカラーフィルタ１０の搬送方向に沿って回
転させ、１３ｂは逆方向に回転させることでも同様の効
果が得られる。
ロールブラシ１３ａよりも固くしたり、線径の太いもの
を用いたり、毛足の短いものを用いたり、或いは密度を
高くすることで同様の効果が得られる。また、ロールブ
ラシ１３ａをカラーフィルタ１０の搬送方向に沿って回
転させ、１３ｂは逆方向に回転させることでも同様の効
果が得られる。
【００２０】〔実施形態２〕図２は、本発明のカラーフ
ィルタの洗浄方法を実施する洗浄装置において、カラー
フィルタの表面側と裏面側で条件を変えた洗浄工程の他
の実施形態を示す模式図である。図中、２１ａ，２１ｂ
はディスクブラシであり、図１と同じ部材には同じ符号
を付した。
ィルタの洗浄方法を実施する洗浄装置において、カラー
フィルタの表面側と裏面側で条件を変えた洗浄工程の他
の実施形態を示す模式図である。図中、２１ａ，２１ｂ
はディスクブラシであり、図１と同じ部材には同じ符号
を付した。
【００２１】本実施形態においても、実施形態１と同様
に、カラーフィルタ１０がディスクブラシ２１ａ，２１
ｂ間を表面側（着色層１２側）を上面として矢印方向に
通過する際に、両面をディスクブラシ２１ａ，２１ｂに
より擦られることでカレットが除去される。カラーフィ
ルタ１０には、シャワーノズル１４よりシャワーがかけ
られ、裏面に配設された搬送ローラー１５により矢印方
向に搬送される間に洗浄が行われる。
に、カラーフィルタ１０がディスクブラシ２１ａ，２１
ｂ間を表面側（着色層１２側）を上面として矢印方向に
通過する際に、両面をディスクブラシ２１ａ，２１ｂに
より擦られることでカレットが除去される。カラーフィ
ルタ１０には、シャワーノズル１４よりシャワーがかけ
られ、裏面に配設された搬送ローラー１５により矢印方
向に搬送される間に洗浄が行われる。
【００２２】本実施形態は、用いたブラシの形態が実施
形態１とは異なるだけで、実施形態１と同様に条件を設
定することにより、同様の効果を得ることができる。即
ち、ディスクブラシ２１ｂを２１ａより、大きい押し当
て量、大きい押し当て圧力、高回転数とすることによ
り、もしくは、ディスクブラシ２１ｂの毛の材質をディ
スクブラシ２１ａよりも固くしたり、線径の太いものを
用いたり、毛足の短いものを用いたり、或いは密度を高
くすることで、カラーフィルタ１０の表面側はより穏和
な条件で洗浄し、裏面側は厳しい条件で洗浄し、カラー
フィルタ１０の着色層や保護層、ＩＴＯ膜などの膜面の
損傷を防止した上で、十分な洗浄効果を得ることができ
る。
形態１とは異なるだけで、実施形態１と同様に条件を設
定することにより、同様の効果を得ることができる。即
ち、ディスクブラシ２１ｂを２１ａより、大きい押し当
て量、大きい押し当て圧力、高回転数とすることによ
り、もしくは、ディスクブラシ２１ｂの毛の材質をディ
スクブラシ２１ａよりも固くしたり、線径の太いものを
用いたり、毛足の短いものを用いたり、或いは密度を高
くすることで、カラーフィルタ１０の表面側はより穏和
な条件で洗浄し、裏面側は厳しい条件で洗浄し、カラー
フィルタ１０の着色層や保護層、ＩＴＯ膜などの膜面の
損傷を防止した上で、十分な洗浄効果を得ることができ
る。
【００２３】〔実施形態３〕図３は、本発明のカラーフ
ィルタの洗浄方法を実施する洗浄装置において、カラー
フィルタの表面側と裏面側で条件を変えた洗浄工程の他
の実施形態を示す模式図である。図中、３１ａ，３１ｂ
はディスクスポンジである。
ィルタの洗浄方法を実施する洗浄装置において、カラー
フィルタの表面側と裏面側で条件を変えた洗浄工程の他
の実施形態を示す模式図である。図中、３１ａ，３１ｂ
はディスクスポンジである。
【００２４】本実施形態においても、実施形態１と同様
に、カラーフィルタ１０がディスクスポンジ３１ａ，３
１ｂ間を表面側（着色層１２側）を上面として矢印方向
に通過する際に、両面をディスクスポンジ３１ａ，３１
ｂにより擦られることでカレットが除去される。カラー
フィルタ１０には、シャワーノズル１４よりシャワーが
かけられ、裏面に配設された搬送ローラー１５により矢
印方向に搬送される間に洗浄が行われる。
に、カラーフィルタ１０がディスクスポンジ３１ａ，３
１ｂ間を表面側（着色層１２側）を上面として矢印方向
に通過する際に、両面をディスクスポンジ３１ａ，３１
ｂにより擦られることでカレットが除去される。カラー
フィルタ１０には、シャワーノズル１４よりシャワーが
かけられ、裏面に配設された搬送ローラー１５により矢
印方向に搬送される間に洗浄が行われる。
【００２５】本実施形態においても、実施形態１や２と
同様に、ディスクスポンジ３１ａ，３１ｂのカラーフィ
ルタ１０への押し当て量、押し当て圧力、回転数、回転
方向を設定することにより、同様の効果を得ることがで
きる。即ち、ディスクブラシ２１ｂを２１ａより、大き
い押し当て量、大きい押し当て圧力、高回転数とするこ
とにより、カラーフィルタ１０の表面側はより穏和な条
件で洗浄し、裏面側は厳しい条件で洗浄し、カラーフィ
ルタ１０の着色層や保護層、ＩＴＯ膜などの膜面の損傷
を防止した上で、十分な洗浄効果を得ることができる。
また、ディスクスポンジ３１ｂの素材を３１ａよりも固
い素材を用いることにより、同様の効果が得られる。具
体的には、ディスクスポンジ３１ａとして比較的軟らか
いウレタン系スポンジ（例えば、商品名「ルビセル」）
を、ディスクスポンジ３１ｂとして比較的固いＰＶＡス
ポンジ（例えば、商品名「ベルクリン」）をそれぞれ用
いることができる。また、同じ素材のスポンジを用い、
３１ｂを厚くして用いることでも同様の効果を得ること
ができる。
同様に、ディスクスポンジ３１ａ，３１ｂのカラーフィ
ルタ１０への押し当て量、押し当て圧力、回転数、回転
方向を設定することにより、同様の効果を得ることがで
きる。即ち、ディスクブラシ２１ｂを２１ａより、大き
い押し当て量、大きい押し当て圧力、高回転数とするこ
とにより、カラーフィルタ１０の表面側はより穏和な条
件で洗浄し、裏面側は厳しい条件で洗浄し、カラーフィ
ルタ１０の着色層や保護層、ＩＴＯ膜などの膜面の損傷
を防止した上で、十分な洗浄効果を得ることができる。
また、ディスクスポンジ３１ｂの素材を３１ａよりも固
い素材を用いることにより、同様の効果が得られる。具
体的には、ディスクスポンジ３１ａとして比較的軟らか
いウレタン系スポンジ（例えば、商品名「ルビセル」）
を、ディスクスポンジ３１ｂとして比較的固いＰＶＡス
ポンジ（例えば、商品名「ベルクリン」）をそれぞれ用
いることができる。また、同じ素材のスポンジを用い、
３１ｂを厚くして用いることでも同様の効果を得ること
ができる。
【００２６】上記実施形態においては、洗浄処理条件の
一つについて、カラーフィルタの表面側と裏面側とで異
なる設定とする例を挙げたが、本発明がこれに限定され
るものではなく、複数の条件についてそれぞれ異なる設
定を行っても良い。
一つについて、カラーフィルタの表面側と裏面側とで異
なる設定とする例を挙げたが、本発明がこれに限定され
るものではなく、複数の条件についてそれぞれ異なる設
定を行っても良い。
【００２７】また、上記実施形態においては、ブラシや
スポンジを用いた工程のみを示したが、本発明の洗浄方
法及び洗浄装置は、当該工程に限定されるものではな
く、装置全体としては、シャワー、ハイプレッシャーシ
ャワー、メガソニックシャワー、超音波シャワー、パル
スジェット、二流体シャワー、超音波槽、その他の洗浄
ユニットと併用することができ、また、エアーナイフや
スピンドライヤー及び赤外線槽等の乾燥ユニットや紫外
線槽等のユニットとも併用して装置を構成することがで
きる。また、ウエット洗浄ユニットについては、有機溶
剤、界面活性剤、電気分解水、ヒドロキシラジカル水な
ども使用することができる。
スポンジを用いた工程のみを示したが、本発明の洗浄方
法及び洗浄装置は、当該工程に限定されるものではな
く、装置全体としては、シャワー、ハイプレッシャーシ
ャワー、メガソニックシャワー、超音波シャワー、パル
スジェット、二流体シャワー、超音波槽、その他の洗浄
ユニットと併用することができ、また、エアーナイフや
スピンドライヤー及び赤外線槽等の乾燥ユニットや紫外
線槽等のユニットとも併用して装置を構成することがで
きる。また、ウエット洗浄ユニットについては、有機溶
剤、界面活性剤、電気分解水、ヒドロキシラジカル水な
ども使用することができる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、カラーフィルタの表面
側と裏面側とで異なる条件で洗浄を行うため、軟らかく
傷つきやすい表面側においては、着色層や保護層、ＩＴ
Ｏ膜の損傷を防止した上で、カレットを除去することが
でき、また、カレットが強固に付着している裏面側では
十分な洗浄力でカレットを除去することができる。よっ
て、カラーフィルタの切断加工後の洗浄工程において、
カラーフィルタの損傷を防止した上で十分な洗浄効果を
得ることができ、歩留まりよく、信頼性の高いカラーフ
ィルタを液晶ディスプレイの製造に提供することがで
き、カラーフィルタのコストダウン、ひいては液晶ディ
スプレイのコストダウンを図ることができる。
側と裏面側とで異なる条件で洗浄を行うため、軟らかく
傷つきやすい表面側においては、着色層や保護層、ＩＴ
Ｏ膜の損傷を防止した上で、カレットを除去することが
でき、また、カレットが強固に付着している裏面側では
十分な洗浄力でカレットを除去することができる。よっ
て、カラーフィルタの切断加工後の洗浄工程において、
カラーフィルタの損傷を防止した上で十分な洗浄効果を
得ることができ、歩留まりよく、信頼性の高いカラーフ
ィルタを液晶ディスプレイの製造に提供することがで
き、カラーフィルタのコストダウン、ひいては液晶ディ
スプレイのコストダウンを図ることができる。
【図１】本発明のカラーフィルタの洗浄方法を実施する
洗浄装置において、カラーフィルタの表面側と裏面側で
条件を変えた洗浄工程の一実施形態を示す模式図であ
る。
洗浄装置において、カラーフィルタの表面側と裏面側で
条件を変えた洗浄工程の一実施形態を示す模式図であ
る。
【図２】図１とは異なる洗浄工程の実施形態を示す模式
図である。
図である。
【図３】図１、図２とは異なる洗浄工程の実施形態を示
す模式図である。
す模式図である。
１０ カラーフィルタ １１ 透明基板 １２ 着色層 １３ａ，１３ｂ ロールブラシ １４ シャワーノズル １５ 搬送ローラー ２１ａ，２１ｂ ディスクブラシ ３１ａ，３１ｂ ディスクスポンジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ 1/1335 ５０５ 1/1335 ５０５ Ｆターム(参考） 2H048 BA11 BB42 2H088 FA21 FA30 HA12 MA20 2H091 FA02Y FC24 FC29 LA12 3B116 AA01 AB14 BA02 BA08 BA13 BA15 BB23 3B201 AA01 AB14 BA02 BA08 BA13 BA15 BB23 BB92 CB25
Claims (10)
- 【請求項１】 透明基板上に少なくとも着色層を備えた
カラーフィルタの洗浄方法であって、複数の洗浄工程を
有し、洗浄処理条件がカラーフィルタの着色層が配置す
る表面側と透明基板が配置する裏面側とで異なるように
設定された洗浄工程を含むことを特徴とするカラーフィ
ルタの洗浄方法。 - 【請求項２】 上記洗浄工程において、ブラシ或いはス
ポンジを用い、カラーフィルタの表面側と裏面側とで異
なる設定が、ブラシ或いはスポンジのカラーフィルタへ
の押し当て圧力、押し当て量、回転数、回転方向、ブラ
シの毛の材質、線径、長さ、密度、スポンジの材質、厚
み、のいずれか或いは複数の組み合わせである請求項１
に記載のカラーフィルタの洗浄方法。 - 【請求項３】 ブラシ或いはスポンジの押し当て圧力、
押し当て量、回転数が、カラーフィルタの表面側より裏
面側が大きくなるように設定する請求項２に記載のカラ
ーフィルタの洗浄方法。 - 【請求項４】 カラーフィルタの表面側より裏面側に接
触する方が固い材質のブラシ或いはスポンジを使用する
請求項２に記載のカラーフィルタの洗浄方法。 - 【請求項５】 カラーフィルタの表面側より裏面側に接
触する方が線径の太いブラシを使用する請求項２に記載
のカラーフィルタの洗浄方法。 - 【請求項６】 カラーフィルタの表面側より裏面側に接
触する方が毛足の短いブラシを使用する請求項２に記載
のカラーフィルタの洗浄方法。 - 【請求項７】 カラーフィルタの表面側より裏面側に接
触する方が毛の密度が密なブラシを使用する請求項２に
記載のカラーフィルタの洗浄方法。 - 【請求項８】 カラーフィルタの表面側より裏面側に接
触する方が厚みの薄いスポンジを使用する請求項２に記
載のカラーフィルタの洗浄方法。 - 【請求項９】 透明基板上に少なくとも着色層を備えた
カラーフィルタの洗浄装置であって、複数の洗浄工程を
有し、洗浄処理条件がカラーフィルタの着色層が配置す
る表面側と透明基板が配置する裏面側とで異なるように
設定された洗浄工程を備えたことを特徴とする洗浄装
置。 - 【請求項１０】 上記洗浄工程において、ブラシ或いは
スポンジを用い、カラーフィルタの表面側と裏面側とで
異なる設定が、ブラシ或いはスポンジのカラーフィルタ
への押し当て圧力、押し当て量、回転数、回転方向、ブ
ラシの毛の材質、線径、長さ、密度、スポンジの材質、
厚み、のいずれか或いは複数の組み合わせである請求項
９に記載のカラーフィルタの洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000083189A JP2001259541A (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | カラーフィルタの洗浄方法及び洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000083189A JP2001259541A (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | カラーフィルタの洗浄方法及び洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001259541A true JP2001259541A (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=18599871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000083189A Withdrawn JP2001259541A (ja) | 2000-03-24 | 2000-03-24 | カラーフィルタの洗浄方法及び洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001259541A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005249906A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP2006098636A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法 |
| JP2007293090A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
| KR101257932B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2013-04-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 세정 장치 |
| KR101261584B1 (ko) | 2011-02-15 | 2013-06-07 | (주) 탑엘이디 | 배광효율이 뛰어난 엘이디 조명등 |
| CN106001033A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-10-12 | 昆山市曙光照明器材有限公司 | 一种除尘装置 |
| CN110468488A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-19 | 杭州迪林网络科技有限公司 | 一种纺织机械导纱梳理装置 |
-
2000
- 2000-03-24 JP JP2000083189A patent/JP2001259541A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005249906A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶表示装置用カラーフィルタの洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP2006098636A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法 |
| JP4517805B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2010-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置の製造方法 |
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| KR101257932B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2013-04-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 세정 장치 |
| KR101261584B1 (ko) | 2011-02-15 | 2013-06-07 | (주) 탑엘이디 | 배광효율이 뛰어난 엘이디 조명등 |
| CN106001033A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-10-12 | 昆山市曙光照明器材有限公司 | 一种除尘装置 |
| CN110468488A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-19 | 杭州迪林网络科技有限公司 | 一种纺织机械导纱梳理装置 |
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| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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