JPH1159895A - 基板取り離し装置およびそれを用いた基板取り離し方法 - Google Patents
基板取り離し装置およびそれを用いた基板取り離し方法Info
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Abstract
ら機械的方法できずをつけず簡単に取り離す。 【解決手段】 基板1の長辺側の外周端部1aに相対向
してすくい上げブロック4を配設するとともに、すくい
上げブロック4に併設して加圧した気体を噴射する気体
噴射手段11を設ける。気体噴射手段11からパイプ1
2を通して加圧した気体を基板1の外周端部1aに噴射
して基板1の端部を浮上させた後、すくい上げブロック
4を基板1の下側に挿入する。その後すくい上げブロッ
ク4を上方に移動させて、支持基板2から基板1を取り
離す。
Description
よびそれを用いた基板取り離し方法、特に連続焼成炉で
焼成されたガラス基板を支持基板から取り離す装置、お
よびその装置を用いた基板の取り離し方法に関するもの
である。
れるガラス基板の製造工程では、図12に示すように、
耐熱性ガラスよりなる支持基板101の上に、表面に電
極となるペーストが印刷されたガラス製の基板100を
載置し、支持基板101と基板100とを連続焼成炉1
02に搬送して加熱、冷却を行い、基板100を焼成し
ていた。支持基板101上に基板100を載置する作業
と、基板100の焼成後に支持基板101から基板10
0を取り離す作業は手で行っていた。
板100を支持基板101から取り離す際、基板100
が支持基板101に密着しているので、基板100が支
持基板101から剥がれにくく、また基板100が薄い
ため、取り扱いにくいばかりでなく、基板100が破損
する場合があった。さらに、手作業では基板100を手
で触れるため、基板100にダストが付着し、基板にシ
ミが発生するおそれがあった。
なされたもので、焼成済みの基板を載置している支持基
板から手作業によらずに機械的方法で簡単に取り離すこ
とができ、ダスト付着がなく、基板にシミが発生しない
基板取り離し装置およびそれを用いた基板取り離し方法
を提供するものである。
置は、基板を載置するための支持手段と、前記基板の端
部に気体を噴射することにより、前記基板を前記支持手
段から浮かせるための気体噴射手段と、この浮いた基板
の下側に先端部を挿入することにより、前記基板をすく
い上げるための基板すくい上げ手段と、前記基板すくい
上げ手段を移動させることにより、前記基板を前記支持
手段から取り離すための駆動手段とを有するものであ
る。この構成により、気体噴射手段から噴射された気体
が基板端部の下面と支持手段との間に進入するため、基
板端部が支持手段から浮き上がり、すくい上げ手段を基
板下部に容易に進入させることができ、基板を支持基板
から取り離すことができる。
明の基板取り離し装置を使用し、気体噴射手段から基板
の端部に気体を噴射することにより、前記基板の端部を
支持手段から浮かせた後、基板すくい上げ手段の先端で
前記基板の下側を支持し、前記基板すくい上げ手段を移
動させて前記基板を前記支持手段から取り離す方法であ
る。この方法により、気体噴射手段により加圧した気体
を基板端部に噴射すると基板端部の下面と支持手段との
間に気体が進入するため、基板に生じる浮力が基板端部
を支持手段から浮き上がらせる作用を発生させる。基板
端部が支持手段から浮き上がることにより、すくい上げ
手段を基板下部に容易に進入させることができ、基板を
支持基板から取り離すことができる。
いて図面を参照しながら説明する。
図、図2は図1の平面図であり、取り付け基板14を省
略している。図1および図2は、支持手段である支持基
板2の上に載置されたガラス製の基板1が焼成されて搬
送用ローラ3によって連続焼成炉から搬送されて出てき
た時の状態を示している。図1および図2において、基
板1は例えば980mm×554mmの大きさで2.8
mmの厚さを有する平板状で長方形のものからなり、そ
の外周端部1aは外側に凸状の曲面形状になっている。
耐熱材料からなる支持基板2はガラス基板1より大きさ
が大きく平坦面を有している。
げブロック4を基板1の長辺側の外周端部1aの近傍、
例えば、この外周端部1aに相対向して4箇所設けてい
る。耐磨耗性金属からなるすくい上げブロック4は、ブ
ラケット6に固定されたエアシリンダー5によって矢印
Y方向へ移動自在に支持されている。ブラケット6は軸
受け9に支持された駆動ねじ7(7a、7b)によって
矢印X方向へ移動するようになっている。駆動ねじ7a
と駆動ねじ7bとはねじの巻方向を逆にしてある。この
ため、駆動ねじ7が駆動モータ8によって回転すると、
2個のブラケット6は互いに近づく方向に移動したり遠
ざかる方向に移動する。ブラケット6はガイド軸10に
よって安定に移動することができる。
噴射手段11は、各すくい上げブロック4の両側に回り
込むように配設された細管からなるパイプ12を有して
いる。パイプ12は基板1の外周端部1aまで延在し、
基板1の外周端部1aに対して斜め上方、あるいは水平
方向から高圧気体を噴射するようになっている。この高
圧気体の噴射によって基板1に浮力が発生し、支持基板
2から基板1を浮き上がらせることができる。パイプ1
2を基板1の端部近傍に配置すると、気体の圧力が低下
しない状態で基板端部に噴射できるため、気体噴射によ
る浮力発生を効果的に行うことができる。
す。図3に示すように、すくい上げブロック4の先端部
はくさび状に構成され、先端角度θは45度以下として
いる。すくい上げブロック4の先端部がくさび状に形成
されているので、基板1が支持基板2から浮上する量が
小さい場合でも、すくい上げブロック4の先端部を基板
1の下側に挿入することができる。
の両側に回り込むように配設したが、片側だけに配設し
てもよい。また図4に示すように、すくい上げブロック
4の内部をくりぬいて、噴射パイプを配設してもよい。
さらに気体噴射手段11はすくい上げブロック4とは独
立して配置してもよい。噴射する気体の圧力は約4〜5
kg/cm2であるが、圧力調整器13により調整可能
である。基板サイズが小さく軽い場合は噴射圧力を小さ
くすることにより、必要以上に基板を浮き上がらせるこ
とがなく、円滑な基板のすくい上げが可能となる。噴射
する気体は窒素、空気等を使用し、フィルター15を通
過させてクリーンな気体を噴射するように構成してい
る。
明する。図1に示すように支持基板2上のほぼ中央に基
板1が載置されている。すくい上げブロック4は、基板
1の外周端部1aの近傍において支持基板2に当接して
いる。この状態で気体噴射手段11から気体を噴射す
る。噴射した気体が図5に矢印17で示すように基板1
の外周端部1aにあたることによって、基板1の下面に
気体が進入し基板1に浮力を発生させる。このため、図
6に示すように基板1は支持基板2の上面から上方に1
〜2mm程度浮上する。このときの状態を基板取り離し
装置を含めて図7に示す。基板1の寸法が小さいとその
重量が軽いため基板1全体が浮上するが、基板1の寸法
が大きいと基板1の外周端部1aだけがたわむようにし
て浮上する。
駆動モータ8を回転させて、ブラケット6を移動させる
と、図8に示すようにすくい上げブロック4の先端部は
浮上した基板1の下側に進入する。すくい上げブロック
4の先端部を基板1の下側に容易に挿入させるために
は、基板1の外周端部1aが外側に凸状の曲面形状にな
っているのが好ましい。この場合、凸状曲面の下部に回
り込んだ気体の圧力により基板1の端部に浮力を発生さ
せることができる。ある程度進入した時点で気体の噴射
を停止することにより、気体の噴射時間が短くてすむの
で、基板1が噴射気体によって踊るような現象がなくな
る。
回転させると基板1はすくい上げブロック4の斜面を滑
りつつ上方に押し上げる分力により上方へ移動する。そ
の結果図9に示すように、基板1は相対向したすくい上
げブロック4間に保持される。この状態になった時、駆
動モータ8の回転を停止させる。次にエアシリンダー5
を作動させてすくい上げブロック4を上方へ移動させる
と、図10に示すように、基板1が支持基板2から完全
に取り離された状態になる。この状態になった後ロボッ
ト(図示せず)のアーム16を基板1の下へ移動させ、
アーム16を上方へ動かしアーム16上に基板1を載せ
ることにより、基板取り離し装置からロボットへ基板1
を受け渡すことができる。
明する。同一構成については同一符号を付し説明を省略
する。基板1の位置規制手段としてのブロック20は低
摩擦係数のプラスチックで形成されている。ブロック2
0はエアシリンダー21に固定されており、基板1の外
周端部1aに4個配設されている。図11に示す例では
4個配設した場合であるが、基板1のS方向の中央部に
左右2個設けた構成にしてもよい。図8のように浮上し
た基板1の下側にすくい上げブロック4が進入した後、
図11に示すようにエアシリンダー21を動作させてブ
ロック20を基板1に近づけて基板1を保持する。この
状態から基板1を上方へ移動させて取り離しを行うもの
である。これにより、基板1が浮上したときに、基板1
が矢印X方向に振動したり踊るような現象を防止するこ
とができるので、基板取り離しの安定性を向上すること
ができる。
離し装置は、基板を載置する支持手段と、基板すくい上
げ手段と、駆動手段により移動する気体噴射手段とを有
しており、支持手段に穴を開ける必要が無いため焼成時
において基板にしみが発生せず、基板取り離し時に人の
手が基板に触れることがないため、基板にきずが発生す
ることなく安定に取り離しができる。また、基板の位置
規制手段を設けることにより、基板浮上時の基板の踊り
をなくし安定した基板の取り離しができる。さらに、連
続焼成炉を用いての基板取り出しの自動化が可能にな
る。
を基板端部に噴射して基板端部を支持基板から浮かせ、
そこへ基板すくい上げ手段の先端を挿入して上方へ移動
することによって、基板にきずをつけることなく安定に
基板の取り離しができる。
面図
した平面図
面図
拡大図
取り離し装置の正面図
した時の正面図
正面図
移動させた時の正面図
の取り付け基板を省略した平面図
す斜視図
Claims (9)
- 【請求項1】 基板を載置するための支持手段と、前記
基板の端部に気体を噴射することにより、前記基板を前
記支持手段から浮かせるための気体噴射手段と、この浮
いた基板の下側に先端部を挿入することにより、前記基
板をすくい上げるための基板すくい上げ手段と、前記基
板すくい上げ手段を移動させることにより、前記基板を
前記支持手段から取り離すための駆動手段とを有するこ
とを特徴とする基板取り離し装置。 - 【請求項2】 気体噴射手段の先端部を細管で構成し、
この細管を、基板の外周端部近傍に配置したことを特徴
とする請求項1記載の基板取り離し装置。 - 【請求項3】 噴射する気体の圧力を調整するための圧
力調整手段をさらに設けたことを特徴とする請求項1ま
たは2記載の基板取り離し装置。 - 【請求項4】 基板すくい上げ手段の先端部がくさび状
に形成されたことを特徴とする請求項1ないし3のいず
れかに記載の基板取り離し装置。 - 【請求項5】 基板すくい上げ手段が当接すべき基板の
端部を支持規制する規制手段をさらに有することを特徴
とする請求項1ないし4のいずれかに記載の基板取り離
し装置。 - 【請求項6】 請求項1ないし5のいずれかに記載の基
板取り離し装置を使用し、気体噴射手段から基板の端部
に気体を噴射することにより、前記基板の端部を支持手
段から浮かせた後、基板すくい上げ手段の先端で前記基
板の下側を支持し、前記基板すくい上げ手段を移動させ
て前記基板を前記支持手段から取り離すことを特徴とす
る基板取り離し方法。 - 【請求項7】 請求項4に記載の基板取り離し装置を使
用し、気体噴射手段から基板の端部に気体を噴射するこ
とにより、前記基板の端部を支持手段から浮かせた後、
基板すくい上げ手段の先端で前記基板の下側を支持し、
前記基板をはさみこむように前記基板すくい上げ手段を
移動することにより、前記基板すくい上げ手段の先端部
の斜面に沿って前記基板を上方に滑らせた後、前記すく
い上げ手段を上方へ移動させて前記基板を前記支持手段
から取り離すことを特徴とする基板取り離し方法。 - 【請求項8】 請求項5に記載の基板取り離し装置を使
用し、気体噴射手段から基板の端部に気体を噴射するこ
とにより、前記基板の端部を支持手段から浮かせた後、
基板すくい上げ手段の先端で前記基板の下側を支持し、
前記基板をはさみこむように前記基板すくい上げ手段を
移動することにより、前記基板すくい上げ手段の先端部
の斜面に沿って前記基板を上方に滑らせた後、前記基板
すくい上げ手段が当接すべき前記基板の端部を規制手段
で支持し、前記すくい上げ手段を上方へ移動させて前記
基板を前記支持手段から取り離すことを特徴とする基板
取り離し方法。 - 【請求項9】 基板の外周端部が凸状の曲面に形成され
ており、前記基板の外周端部にすくい上げ手段が対向し
ていることを特徴とする請求項6ないし8のいずれかに
記載の基板取り離し方法。
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JP9230588A JPH1159895A (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 基板取り離し装置およびそれを用いた基板取り離し方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH1159895A true JPH1159895A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16910102
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JP9230588A Pending JPH1159895A (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 基板取り離し装置およびそれを用いた基板取り離し方法 |
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Country | Link |
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US (1) | US6074163A (ja) |
EP (1) | EP0899222B1 (ja) |
JP (1) | JPH1159895A (ja) |
KR (1) | KR100511072B1 (ja) |
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