JP2014018962A - 基板折割装置及び基板折割方法 - Google Patents
基板折割装置及び基板折割方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014018962A JP2014018962A JP2012156214A JP2012156214A JP2014018962A JP 2014018962 A JP2014018962 A JP 2014018962A JP 2012156214 A JP2012156214 A JP 2012156214A JP 2012156214 A JP2012156214 A JP 2012156214A JP 2014018962 A JP2014018962 A JP 2014018962A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- folding
- break bar
- split
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
【解決手段】ブレークバー59が基板Wの被折割部Waに接触する直前又は瞬間に、折割ヘッド49の移動方向を鉛直下方向からテーブル3に離反する斜め下方向に変更して、昇降電動サーボシリンダ43及び水平移動電動サーボシリンダ53の駆動により折割ヘッド49を斜め下方向に移動させて、基板Wの被折割部Waに曲げモーメントと引張力を付与すること。
【選択図】 図1
Description
各供給ファン13の駆動によって各チャンバー11の内部(換言すれば、各浮上ユニット15の内部)へエアを供給して、各浮上ユニット15のノズル17からエアを噴出させる。続いて、図5(a)に示すように、基板Wの被折割部Waがテーブル3の後方へはみ出した状態で、基板Wをテーブル3に非接触で水平に支持させる。そして、各回転モータ25の駆動により各搬送ローラ23をその軸心周りに回転させて、基板Wを右方向へ搬送することにより、基板Wの被折割部Waがブレークバー59の鉛直下方(真下)に位置するように基板Wをテーブル3に対して位置決めする。
基板支持工程の終了後に、上部クランプエアシリンダ69の駆動により上部昇降プレート65を下降させることにより、図5(b)に示すように、上部クランプバー73を上部クランプバー用待機位置(図5(b)において2点鎖線で示す位置)から上部昇降プレート65と一体的に下降させて、上部クランプバー73の接触子75を基板Wの被折割部Waの付近に接触させる。続いて、下部クランプエアシリンダ81の駆動により下部昇降プレート77を上昇させることにより、図6(a)に示すように、下部クランプバー85を下部クランプバー用待機位置(図6(a)において2点鎖線で示す位置)から下部昇降プレート77と一体的に下降させて、上部クランプバー73の接触子75と下部クランプバー85の接触子87との協働により基板Wの被折割部Waの周辺(手前側)を上下方向からクランプする。これにより、基板W(基板Wの被折割部Waの周辺)をテーブル3に対して固定することができる。
基板クランプ工程の終了後に、昇降電動サーボシリンダ43の駆動により折割ヘッド49を昇降体39と一体的に下降(鉛直下方向へ移動)させることにより、図6(b)に示すように、ブレークバー用待機位置(図6(b)において2点鎖線で示す位置)からブレークバー59を折割ヘッド49と一体的に下降させて、基板Wの被折割部Waに接近させる。
ブレークバー接近工程の終了後であって、ブレークバー59の接触子61が基板Wの被折割部Waに接触する直前又は瞬間に、昇降電動サーボシリンダ43及び水平移動電動サーボシリンダ53の駆動により折割ヘッド49の移動方向を鉛直下方向からテーブル3に離反する斜め下方向に変更して、折割ヘッド49を前記斜め下方向に移動させる。これにより、図7(a)(b)に示すように、ブレークバー59を折割ヘッド49と一体的に斜め下方へ移動させながら、ブレークバー59によって基板Wの被折割部Waを斜め下方向へ押圧して、基板Wの被折割部Waに曲げモーメントと引張力を付与することができる。よって、基板Wの亀裂線CLを基板Wの厚み方向に進展させて、基板Wの被折割部Waを折割することができる。なお、基板Wから分離された折割片Wa’は、回収ボックス89に回収される。
Wa 折割片
CL 亀裂線
1 基板折割装置
3 テーブル
5 テーブルベース
7 支持台
15 浮上ユニット
17 ノズル
19 搬送ローラユニット
27 折割部
29 支持フレーム
31 ベッド
33 支柱
35 連結ビーム
37 取付台
39 昇降体
43 昇降電動サーボシリンダ
49 折割ヘッド
53 水平移動電動サーボシリンダ
59 ブレークバー
61 接触子
63 クランプ機構
65 上部昇降プレート
69 上部クランプエアシリンダ
73 上部クランプバー
75 接触子
77 下部昇降プレート
81 下部クランプエアシリンダ
85 下部クランプバー
87 接触子
89 回収ボックス
Claims (7)
- 脆性材料からなる基板の表面に亀裂線を形成した後に、基板の被折割部に曲げモーメントと引張力を付与することにより、基板の亀裂線を基板の厚み方向に進展させて、基板の被折割部を折割する基板折割装置において、
基板の被折割部が側方へはみ出した状態で基板を水平に支持するテーブルと、
前記テーブルの側方に配設され、昇降アクチュエータの駆動により昇降可能でかつ水平移動アクチュエータの駆動により前記テーブルに接近離反する第1水平方向へ移動可能な折割ヘッドと、
前記折割ヘッドに設けられ、前記第1水平方向に対して直交する第2水平方向へ延びてあって、基板の被折割部を押圧するブレークバーと、を具備し、
前記折割ヘッドは、前記ブレークバーが基板の被折割部に接触する直前又は瞬間に、前記昇降アクチュエータ及び前記水平移動アクチュエータの駆動により鉛直下方向から前記テーブルに離反する斜め下方向に移動方向を変更するように構成されていることを特徴とする基板折割装置。 - 基板の被折割部の周辺を上下方向からクランプするクランプ機構と、を具備したことを特徴とする請求項1に記載の基板折割装置。
- 前記ブレークバーは、先端側に、弾性体からなりかつ基板の被折割部に接触可能な接触子を有していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板折割装置。
- 前記テーブルは、
テーブルベースと、
前記テーブルベースに配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を備えたことを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載の基板折割装置。 - 前記テーブルの側方に配設された支持フレームと、
前記支持フレームに昇降可能に設けられた昇降体と、を具備し、
前記折割ヘッドは、前記昇降体に前記第1水平方向へ移動可能に設けられ、前記昇降アクチュエータの駆動により前記昇降体と一体的に昇降可能になっていることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれかの請求項に記載の基板折割装置。 - 脆性材料からなる基板の表面に亀裂線を形成した後に、基板の被折割部に曲げモーメントと引張力を付与することにより、基板の亀裂線を基板の厚み方向に進展させて、基板の被折割部を折割するための基板折割方法において、
基板の被折割部がテーブルの側方へはみ出した状態で、基板を前記テーブルに水平に支持させる基板支持工程と、
基板支持工程の終了後に、前記テーブルの側方に配設されかつ昇降アクチュエータの駆動により昇降可能でかつ水平移動アクチュエータの駆動により前記テーブルに接近離反する第1水平方向へ移動可能な折割ヘッド、及び前記折割ヘッドに設けられかつ前記第1水平方向に直交する第2水平方向へ延びたブレークバーを用い、前記昇降アクチュエータの駆動により前記折割ヘッドを下降させることにより、前記ブレークバーを前記折割ヘッドと一体的に下降させて、基板の被折割部に接近させるブレークバー接近工程と、
前記ブレークバー接近工程の終了後であって、前記ブレークバーが基板の被折割部に接触する直前又は瞬間に、前記昇降アクチュエータ及び前記水平移動アクチュエータの駆動により前記折割ヘッドの移動方向を鉛直下方向から前記テーブルに離反する斜め下方向に変更して、前記折割ヘッドを前記斜め下方向に移動させることにより、前記ブレークバーを前記折割ヘッドと一体的に前記斜め下方へ移動させながら、前記ブレークバーによって基板の被折割部を前記斜め下方向へ押圧して、基板の被折割部に曲げモーメントと引張力を付与する基板押圧工程と、を具備したことを特徴とする基板折割方法。 - 基板支持工程の終了後であって前記ブレークバー接近工程の開始前に、クランプ機構によって基板の被折割部の周辺を上下方向からクランプすることにより、基板を前記テーブルに対して固定する基板クランプ工程と、を具備したことを特徴とする請求項6に記載の基板折割方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012156214A JP6035929B2 (ja) | 2012-07-12 | 2012-07-12 | 基板折割装置及び基板折割方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012156214A JP6035929B2 (ja) | 2012-07-12 | 2012-07-12 | 基板折割装置及び基板折割方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014018962A true JP2014018962A (ja) | 2014-02-03 |
JP6035929B2 JP6035929B2 (ja) | 2016-11-30 |
Family
ID=50194414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012156214A Active JP6035929B2 (ja) | 2012-07-12 | 2012-07-12 | 基板折割装置及び基板折割方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6035929B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104858296B (zh) * | 2015-05-27 | 2017-02-08 | 歌尔股份有限公司 | 一种弯折扳断装置 |
CN109226440A (zh) * | 2018-09-11 | 2019-01-18 | 石家庄金丰专用车有限公司 | 一种挂车专用钢模切断机 |
CN110526567A (zh) * | 2018-05-24 | 2019-12-03 | 塔工程有限公司 | 基板裂片装置 |
CN117590631A (zh) * | 2023-10-30 | 2024-02-23 | 四川省长江龙科技有限公司 | 显示屏裂片装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10770953B2 (en) | 2013-04-03 | 2020-09-08 | Lcdrives Corp. | Liquid cooled stator for high efficiency machine |
JP6326093B2 (ja) | 2016-06-17 | 2018-05-16 | ヤマハモーターエレクトロニクス株式会社 | 回転電機の固定子 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008132616A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-12 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 脆性材料の割断方法とその装置 |
JP2010045252A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Fuji Xerox Co Ltd | 劈開装置 |
JP2010208902A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 基板分割装置および基板分割装置の制御方法 |
JP2011031555A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板の分断方法および分断用テーブル |
WO2012131988A1 (ja) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | トヨタ自動車株式会社 | 割断方法、ロータ製造方法、及び割断装置 |
-
2012
- 2012-07-12 JP JP2012156214A patent/JP6035929B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008132616A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-06-12 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 脆性材料の割断方法とその装置 |
JP2010045252A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Fuji Xerox Co Ltd | 劈開装置 |
JP2010208902A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | 基板分割装置および基板分割装置の制御方法 |
JP2011031555A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板の分断方法および分断用テーブル |
WO2012131988A1 (ja) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | トヨタ自動車株式会社 | 割断方法、ロータ製造方法、及び割断装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104858296B (zh) * | 2015-05-27 | 2017-02-08 | 歌尔股份有限公司 | 一种弯折扳断装置 |
CN110526567A (zh) * | 2018-05-24 | 2019-12-03 | 塔工程有限公司 | 基板裂片装置 |
CN109226440A (zh) * | 2018-09-11 | 2019-01-18 | 石家庄金丰专用车有限公司 | 一种挂车专用钢模切断机 |
CN117590631A (zh) * | 2023-10-30 | 2024-02-23 | 四川省长江龙科技有限公司 | 显示屏裂片装置 |
CN117590631B (zh) * | 2023-10-30 | 2024-05-14 | 四川省长江龙科技有限公司 | 显示屏裂片装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6035929B2 (ja) | 2016-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6035929B2 (ja) | 基板折割装置及び基板折割方法 | |
JP5550107B2 (ja) | Lcdパネルuv硬化前基板のエッジカット加工装置 | |
JP4464961B2 (ja) | 基板分断システム、基板製造装置、基板スクライブ方法および基板分断方法 | |
US8621738B2 (en) | Glass cutting apparatus, glass-substrate disassembling apparatus, glass-substrate disassembling system, glass cutting method, and glass-substrate disassembling method | |
JP4996703B2 (ja) | 基板分断装置 | |
KR20090095281A (ko) | 스크라이빙 장치 및 이를 이용한 기판 절단 장치 및 방법 | |
JP5210408B2 (ja) | 脆性材料基板の分断装置 | |
TWI400203B (zh) | 切割裝置、及使用該切割裝置之基板切斷裝置與方法 | |
CN102097371B (zh) | 衬底划分设备 | |
JP2020037270A (ja) | 基板ブレイク装置 | |
JP2013010658A (ja) | 基板分断装置および基板分断方法 | |
JP2014019044A (ja) | 脆性材料基板のブレイク装置 | |
JP2003292332A (ja) | スクライブ方法及びスクライブ装置 | |
KR20130135531A (ko) | 기판 분리 장치 및 이를 이용한 기판 분리 방법 | |
JP5849606B2 (ja) | スクライブ装置 | |
CN108218212A (zh) | 基板切割设备 | |
JP4379807B2 (ja) | ガラス板の切断分離方法及びその装置 | |
CN108137374B (zh) | 玻璃板的制造方法及制造装置 | |
JP5409749B2 (ja) | ガラス加工装置 | |
JP5178814B2 (ja) | 平面表示パネル用マザー基板の分離装置及び分離方法 | |
JP2009026783A (ja) | 薄板移送装置、薄板処理移送システム、及び薄板移送方法 | |
JP3220338U (ja) | 基板の辺縁欠如部の分断装置 | |
JP2014217983A (ja) | ブレイク装置及びブレイク方法 | |
KR102353203B1 (ko) | 단재 제거 장치 | |
KR100934361B1 (ko) | 기판처리장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160421 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160608 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160705 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160822 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20160902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161017 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6035929 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |