KR100934361B1 - 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

기판처리장치는 시트를 공급하는 시트공급유닛; 그리고 기판이 놓여지는 지지부재를 포함하며, 상기 시트공급유닛으로부터 공급된 상기 시트를 상기 기판 상에 부착하는 시트부착유닛을 포함한다. 상기 시트공급유닛은 일면에 상기 시트가 기설정된 간격으로 부착된 테이프로 이루어진 롤이 설치되며, 회전에 의하여 상기 테이프를 공급하는 공급릴; 회전에 의하여 상기 공급릴에 감겨진 상기 테이프를 당기는 구동릴; 상기 공급릴로부터 공급된 상기 테이프로부터 상기 시트를 분리하는 분리기; 그리고 상기 시트가 분리된 상기 테이프를 회수하는 회수릴을 포함할 수 있다. 상기 시트부착유닛은 상기 테이프로부터 분리된 상기 시트를 일면에 흡착지지하며, 승강에 의하여 상기 시트를 상기 지지부재 상에 놓여진 상기 기판에 부착하는 헤드; 상기 일면과 대향되도록 배치되며, 송풍에 의해 상기 테이프로부터 분리된 상기 시트를 상기 일면을 향해 이동시키는 블로어를 더 포함할 수 있다.

시트, 기판, 헤드, 블로어, 롤러

Description

기판처리장치{substrate processing unit}

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 상에 시트를 부착하는 기판처리장치에 관한 것이다.

터치 패널은 하부 기판과 하부 기판에 부착된 탑 시트로 이루어지며, 하부 기판과 탑 시트는 절연 스페이서 층에 의해 분리되어 있다. 하부 기판은 하부 기판의 저항성 표면과 탑 시트의 저항성 표면 사이에 정상 간격을 유지하기 위해 투명한 스페이서 도트를 포함한다.

탑 시트는 수직 전압 경도를 발생시키고, 터치의 수직 위치를 측정하기 위해 사용되는 반면에, 하부 기판은 수평 전압 경도를 발생시키고, 터치의 수평 위치를 측정하기 위해 사용된다. 터치 패널은 수직 전압 경도 및 수평 전압 경도를 통해 터치의 수직 위치 및 수평 위치를 측정하며, 터치의 수직 위치 및 수평 위치에 따라 입력장치로 사용된다.

본 발명의 목적은 탑 시트를 하부 기판 상에 부착하는 기판처리장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 탑 시트를 하부 기판 상에 부착하는 공정을 신속하게 진행할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 탑 시트를 하부 기판 상에 신뢰성있게 부착할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부한 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.

본 발명에 의하면, 기판처리장치는 시트를 공급하는 시트공급유닛; 기판이 놓여지는 지지부재를 포함하며, 상기 시트공급유닛으로부터 공급된 상기 시트를 상기 기판 상에 부착하는 시트부착유닛을 포함한다.

상기 시트공급유닛은 일면에 상기 시트가 기설정된 간격으로 부착된 테이프로 이루어진 롤이 설치되며, 회전에 의하여 상기 테이프를 공급하는 공급릴; 회전에 의하여 상기 공급릴에 감겨진 상기 테이프를 당기는 구동릴; 상기 공급릴로부터 공급된 상기 테이프로부터 상기 시트를 분리하는 분리기; 그리고 상기 시트가 분리된 상기 테이프를 회수하는 회수릴을 포함할 수 있다.

상기 분리기는 상기 시트가 부착된 상기 테이프가 이동하는 일면; 상기 시트 가 분리된 상기 테이프가 이동하는 타면; 그리고 상기 일면과 타면을 연결하는 피크 형상의 단부를 포함할 수 있다.

상기 시트부착유닛은 상기 테이프로부터 분리된 상기 시트를 일면에 흡착지지하며, 승강에 의하여 상기 시트를 상기 지지부재 상에 놓여진 상기 기판에 부착하는 헤드; 상기 일면과 대향되도록 배치되며, 송풍에 의해 상기 테이프로부터 분리된 상기 시트를 상기 일면을 향해 이동시키는 블로어를 더 포함할 수 있다.

상기 시트부착유닛은 상기 헤드에 흡착지지된 상기 시트의 제1 변과 대체로 나란하게 배치되며, 상기 제1 변과 대체로 수직한 방향을 따라 이동하여 상기 제1 변을 상기 헤드 상에 정렬하는 제1 정렬바; 그리고 상기 제1 정렬바와 대체로 수직하게 배치되며, 상기 제1 변과 대체로 나란한 방향을 따라 이동하여 상기 제1 변과 대체로 수직한 상기 제2 변을 상기 헤드 상에 정렬하는 제2 정렬바를 포함할 수 있다.

상기 시트부착유닛은 상기 기판 상에 부착된 상기 시트의 제1 변을 따라 나란하게 이동하며, 상기 시트의 상부면과 접촉하는 가로롤러; 그리고 상기 제1 변과 대체로 수직한 상기 시트의 제2 변을 따라 나란하게 이동하며, 상기 시트의 상부면과 접촉하는 세로롤러를 더 포함할 수 있다.

상기 세로롤러는 제1 세로롤러; 그리고 상기 제1 변과 대체로 나란한 방향으로 이동가능한 제2 세로롤러를 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면 탑 시트를 하부 기판 상에 신속하게 부착할 수 있다. 또 한, 롤러를 이용하여 탑 시트를 하부 기판 상에 신뢰성있게 부착할 수 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 1 내지 도 8c를 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.

한편, 이하에서는 기판 상에 탑 시트를 부착하여 터치 패널을 제조하는 장치를 예로 들어 본 발명을 설명하고 있으나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않으며, 제1 기판과 제2 기판을 부착하는 모든 공정에 응용될 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 시트 공급유닛(10) 및 시트 부착유닛(20)을 나타내는 정면도이다. 도 2는 도 1의 공급릴(12)을 나타내는 도면이며, 도 3은 도 1의 분리기(15)를 나타내는 도면이다.

시트 공급유닛(10)은 공급릴(12), 분리기(15), 구동릴(16), 그리고 회수릴(18)을 포함하며, 시트 부착유닛(20)에 대해 시트(S)를 공급한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 공급릴(12)에는 시트(S)가 등간격으로 부착된 테이프(13)가 감겨 있으며, 테이프(13)는 공급릴(12)의 회전에 의해 공급릴(12)로부터 풀려 분리기(15)를 향해 공급된다. 앞서 살펴본 바와 같이, 시트(S)는 하부 기판(도시안됨) 상에 부착 되어 터치 패널(도시안됨)을 완성한다.

구동릴(16)은 구동모터(도시안됨)의 회전에 의해 회전되며, 구동릴(16)이 회전함에 따라 테이프(13)가 당겨지므로, 테이프(13)의 이동에 따라 공급릴(12)이 회전한다. 프리롤러(14)는 테이프(13)의 이동에 의하여 회전한다.

분리기(15)는 테이프(13)로부터 시트(S)를 분리한다. 분리기(15)는 헤드(22)를 향하는 일단이 피크(peak) 형상을 하며, 테이프(13)가 분리기(15)의 일단을 통과할 때 시트(S)는 테이프(13)로부터 자연스럽게 분리된다. 시트(S)가 분리되기 전의 테이프(13)는 분리기(15)의 상면을 통과하며, 시트(S)가 분리된 후의 테이프(13)는 분리기(15)의 하면을 통과한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 시트(S)는 테이프(13)로부터 분리되면서 테이프(13)로부터 분리되기 전의 이동방향과 동일한 방향으로 이동하며, 시트(S)가 분리된 테이프(13)는 프리롤러(14)를 통해 구동릴(16)을 향한다. 이후, 테이프(13)는 회수릴(18)에 감긴다.

도 4는 도 1의 헤드(22) 및 블로어(28)를 나타내는 도면이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 분리된 시트(S)는 헤드(22)의 하부로 이동한다. 이때, 헤드(22)는 진공에 의해 시트(S)를 흡착하며, 블로어(28)는 시트(S)의 하부에서 상부를 향하여 송풍하여 시트(S)가 헤드(22)에 흡착되는 것을 돕는다. 블로어(28)는 원래의 위치에서 전방으로 이동한 상태에서 시트(S)를 향하여 송풍하며, 송풍이 완료되면 다시 원래의 위치로 복귀한다.

도 5는 도 1의 제1 정렬바(24) 및 제2 정렬바(26)를 나타내는 도면이다. 시트(S)는 이동방향과 대체로 수직한 제1 변과, 제1 변과 대체로 수직한 제2 변을 가진다. 제1 정렬바(24)는 제1 변과 대체로 나란하게 배치되며, 제1 실린더(25)에 의해 제2 변에 나란한 방향으로 이동한다. 제2 정렬바(26)는 제2 변과 대체로 나란하게 배치되며, 제2 실린더(27)에 의해 제1 변에 나란한 방향으로 이동한다. 제1 정렬바(24)와 제2 정렬바(26)는 서로 대체로 수직하다.

제1 정렬바(24) 및 제2 정렬바(26)는 헤드(22) 상에 흡착지지된 시트(S)를 정렬한다. 제1 실린더(25)를 작동하여 제1 정렬바(24)를 이동하면 시트(S)를 제1 정렬바(24)와 함께 이동시킬 수 있으며, 시트(S)의 제1 변을 헤드(22)의 일변과 정렬시킬 수 있다. 마찬가지로, 제2 실린더(27)를 작동하여 제2 정렬바(26)를 이동하면 시트(S)를 제2 정렬바(26)와 함께 이동시킬 수 있으며, 시트(S)의 제2 변을 헤드(22)의 타변과 정렬시킬 수 있다.

시트(S)가 정렬된 이후에, 헤드(22)는 헤드(22)의 하부로 이동한 지지부재(40) 상에 놓여진 하부 기판으로 하강하며, 헤드(22)에 흡착지지된 시트(S)를 하부 기판 상에 부착한다.

도 6은 도 1의 시트 부착유닛(20)을 나타내는 측면도이다. 시트 공급유닛(10)과 헤드(22), 그리고 헤드(22)와 가로롤러(32) 및 세로롤러(34)의 배치는 서 로 수직을 이룬다. 즉, 시트(S)의 이동경로와 후술하는 지지부재(40)의 이동경로는 서로 수직하다.

지지부재(40)는 헤드(22)의 하부로부터 가로롤러(32) 및 세로롤러(34)의 하부로 이동가능하다. 앞서 설명한 바와 같이, 헤드(22)를 이용하여 시트(S)를 하부 기판 상에 부착하는 경우, 하부 기판이 놓여진 지지부재(40)는 헤드(22)의 하부로 이동한다. 시트(S)가 부착되면, 지지부재(40)는 가로롤러(32) 및 세로롤러(34)의 하부로 순차적으로 이동한다.

시트 부착유닛(20)은 가로롤러(32) 및 세로롤러(34)를 더 포함하며, 가로롤러(32) 및 세로롤러(34)는 하부 기판 상에 부착된 시트(S)를 더욱 견고하게 부착한다. 세로롤러(34)는 고정된 위치에 배치되는 제1 세로롤러(34a) 및 이동에 의하여 제1 세로롤러(34a)와의 거리를 조절할 수 있는 제2 세로롤러(34b)를 포함한다. 따라서, 제2 세로롤러(34b)를 이동하여 제1 세로롤러(34a)와의 거리를 조절함으로써, 다양한 크기의 하부 기판에 대한 공정을 수행할 수 있다. 세로롤러(34)와 마찬가지로, 가로롤러(32)도 제1 가로롤러(32a) 및 제2 가로롤러(32b)를 포함하며, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 7a 내지 도 7c는 도 6의 가로롤러 및 세로롤러를 이용하여 탑 시트를 하부 기판 상에 부착하는 과정을 나타내는 도면이며, 도 8a 내지 도 8c는 도 7a 내지 도 7c의 각 과정에 따른 시트의 부착상태를 나타내는 도면이다. 이하, 도 7a 내지 도 8c를 참고하여 탑 시트(S)를 하부 기판 상에 견고하게 부착하는 과정을 설명하기로 한다.

지지부재(40)가 가로롤러(32)의 하부에 위치하면, 가로롤러(32)가 하부로 이동하며, 가로롤러(32)는 시트(S)의 상부면과 접촉하며, 시트(S)의 상부면을 따라 회전하면서 시트(S)의 상부면에 압력을 가한다. 가로롤러(32)는 앞서 설명한 시트(S)의 제1 변을 따라 대체로 나란하게 이동하며, 기설정된 간격으로 이격된 양변에 압력을 가한다. 따라서, 시트(S)의 양변은 하부 기판 상에 견고하게 부착될 수 있다. 한편, 앞서 설명한 바와 같이, 제2 가로롤러(32b)는 이동에 의하여 제1 가로롤러(32a)와의 이격거리를 조절할 수 있으므로, 양변의 기설정된 이격거리에 따라 제2 가로롤러(32b)를 이동시킬 수 있다. 도 8b는 가로롤러(32)에 의해 하부 기판 상에 부착된 시트(S)의 모습을 나타내는 도면이다. 해칭된 부분은 가로롤러(32)에 의해 가압된 부분을 나타낸다.

다음, 지지부재(40)는 세로롤러(34)의 하부에 위치하며, 세로롤러(34)가 하부로 이동하여 시트(S)의 상부면과 접촉한다. 세로롤러(34)는 시트(S)의 상부면과 접촉하며, 시트(S)의 상부면을 따라 회전하면서 시트(S)의 상부면에 압력을 가한다. 세로롤러(34)는 앞서 설명한 시트(S)의 제2 변을 따라 대체로 나란하게 이동하며, 기설정된 간격으로 이격된 양변에 압력을 가한다. 따라서, 시트(S)의 양변은 하부 기판 상에 견고하게 부착될 수 있다. 마찬가지로, 제2 세로롤러(34b)는 이동 에 의하여 제2 세로롤러(34a)와의 이격거리를 조절할 수 있으므로, 양변의 기설정된 이격거리에 따라 제2 세로롤러(34b)를 이동시킬 수 있다. 도 8c는 세로롤러(34)에 의해 하부 기판 상에 부착된 시트(S)의 모습을 나타내는 도면이다. 해칭된 부분은 세로롤러(34)에 의해 가압된 부분을 나타낸다.

본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.

도 1은 본 발명에 따른 시트 공급유닛 및 시트 부착유닛을 나타내는 정면도이다.

도 2는 도 1의 공급릴을 나타내는 도면이다.

도 3은 도 1의 분리기를 나타내는 도면이다.

도 4는 도 1의 헤드 및 블로어를 나타내는 도면이다.

도 5는 도 1의 제1 정렬바 및 제2 정렬바를 나타내는 도면이다.

도 6은 도 1의 시트 부착유닛을 나타내는 측면도이다.

도 7a 내지 도 7c는 도 6의 가로롤러 및 세로롤러를 이용하여 탑 시트를 하부 기판 상에 부착하는 과정을 나타내는 도면이다.

도 8a 내지 도 8c는 도 7a 내지 도 7c의 각 과정에 따른 시트의 부착상태를 나타내는 도면이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

1 : 기판처리장치 10 : 시트공급유닛

12 : 공급릴 15 : 분리기

16 : 구동릴 18 : 회수릴

20 : 시트부착유닛 22 : 헤드

24 : 제1 정렬바 26 : 제2 정렬바

28 : 블로어 32 : 가로롤러

34 : 세로롤러 40 : 지지부재

Claims (7)

1. 삭제
2. 시트를 공급하는 시트공급유닛; 및

   기판이 놓여지는 지지부재를 포함하며, 상기 시트공급유닛으로부터 공급된 상기 시트를 상기 기판 상에 부착하는 시트부착유닛을 포함하며,

   상기 시트공급유닛은,

   일면에 상기 시트가 기설정된 간격으로 부착된 테이프로 이루어진 롤이 설치되며, 회전에 의하여 상기 테이프를 공급하는 공급릴;

   회전에 의하여 상기 공급릴에 감겨진 상기 테이프를 당기는 구동릴;

   상기 공급릴로부터 공급된 상기 테이프로부터 상기 시트를 분리하는 분리기; 및

   상기 시트가 분리된 상기 테이프를 회수하는 회수릴을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 분리기는,

   상기 시트가 부착된 상기 테이프가 이동하는 일면;

   상기 시트가 분리된 상기 테이프가 이동하는 타면; 및

   상기 일면과 타면을 연결하는 피크 형상의 단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,

   상기 시트부착유닛은,

   상기 테이프로부터 분리된 상기 시트를 일면에 흡착지지하며, 승강에 의하여 상기 시트를 상기 지지부재 상에 놓여진 상기 기판에 부착하는 헤드; 및

   상기 일면과 대향되도록 배치되며, 송풍에 의해 상기 테이프로부터 분리된 상기 시트를 상기 일면을 향해 이동시키는 블로어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 시트부착유닛은,

   상기 헤드에 흡착지지된 상기 시트의 제1 변과 나란하게 배치되며, 상기 제1 변과 수직한 방향을 따라 이동하여 상기 제1 변을 상기 헤드 상에 정렬하는 제1 정렬바; 및

   상기 제1 정렬바와 수직하게 배치되며, 상기 제1 변과 나란한 방향을 따라 이동하여 상기 제1 변과 수직한 제2 변을 상기 헤드 상에 정렬하는 제2 정렬바를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
6. 제2항 또는 제3항에 있어서,

   상기 시트부착유닛은,

   상기 기판 상에 부착된 상기 시트의 제1 변을 따라 나란하게 이동하며, 상기 시트의 상부면과 접촉하는 가로롤러; 및

   상기 제1 변과 수직한 상기 시트의 제2 변을 따라 나란하게 이동하며, 상기 시트의 상부면과 접촉하는 세로롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 세로롤러는,

   제1 세로롤러; 및

   상기 제1 변과 나란한 방향으로 이동가능한 제2 세로롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.

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