CN105966961B - 印刷机 - Google Patents

Abstract

本发明提供能在卷筒状的基材上高品质地形成图案的印刷机。印刷机(100)包括：放出辊(123)，放出基材(1)；吸引辊(125)，保持并输送从放出辊(123)放出的基材(1)；载物台(113)，配置在放出辊(123)和吸引辊(125)之间，在上表面支承基材(1)；吸引泵(128)，将基材(1)保持于载物台(113)的上表面；以及套准调整装置(114)，调整载物台(113)的位置，还包括控制装置(140)，以将基材(1)保持于载物台(113)的方式控制吸引泵(128)后，以将载物台(113)分别与放出辊(123)、吸引辊(125)之间的基材(1)的张力缓和的方式控制放出辊(123)和吸引辊(125)，然后以调整载物台(113)的位置的方式控制套准调整装置(114)。

Description

印刷机

技术领域

本发明涉及在卷筒状的基材上印刷油墨而形成图案的印刷机，尤其是根据印刷法在卷筒状的基材上形成高精细图案的功能性膜(导电膜)时，可以极为有效地应用。

背景技术

作为在卷筒状的基材上印刷油墨而形成图案的印刷机，例如下述专利文献1等所记载的那样，公知的印刷机通过凸版印刷在卷筒状的基材上印刷形成高精细图案的功能性膜(导电膜)，即，在薄膜上形成各种显示装置、电子部件、电子构件等。

作为所述显示装置的一例，有液晶显示器、有机EL显示器、PDP、FED等，作为所述电子部件和所述电子构件的一例，有滤色器、有源基板、存储器、RFID、IC、天线、布线、印刷电路基板等。

专利文献1：日本专利公开公报特开2010-023393号

在上述现有的印刷机中，将放出规定长度的卷筒状的基材吸附并保持在载物台上，以基材相对于印刷滚筒套准的方式调整上述载物台的位置之后，利用印刷滚筒在所述基材上印刷并形成图案。

在进行所述套准时，由于上述基材在施加有张力的状态下吸附并保持在上述载物台上，所以有时会产生皱纹。如果上述基材产生这种皱纹，则难以在所述基材上高品质地印刷油墨，从而难以形成高品质的图案。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种能在卷筒状的基材上高品质形成图案的印刷机。

用于解决上述问题的本发明的印刷机包括：基材放出机构，放出卷筒状的基材；输送机构，保持并输送从所述基材放出机构放出的基材；载物台，配置在所述基材放出机构和所述输送机构之间，在上表面支承基材；基材保持机构，将基材保持于所述载物台的上表面；载物台位置调整机构，调整所述载物台的位置；以及图案形成机构，对所述载物台上的基材印刷油墨而形成图案，其中，所述印刷机还包括控制机构，所述控制机构以将基材保持在所述载物台的上表面的方式控制所述基材保持机构之后，以使所述基材放出机构和所述载物台之间的基材的张力缓和的方式控制所述基材放出机构，并且以使所述载物台和所述输送机构之间的基材的张力缓和的方式控制所述输送机构，然后以通过调整所述载物台的位置而将所述载物台上的所述基材相对于所述图案形成机构套准的方式控制所述载物台位置调整机构。

此外，本发明的印刷机在上述印刷机的基础上，所述控制机构以调整所述载物台的位置的方式控制所述载物台位置调整机构之后，以对所述载物台上的基材印刷油墨而形成图案的方式控制所述图案形成机构。

此外，本发明的印刷机在上述印刷机的基础上，所述控制机构以对所述载物台上的基材印刷油墨而形成图案的方式控制所述图案形成机构之后，以使所述基材放出机构和所述载物台之间的基材的张力返回到缓和之前的大小的方式控制所述基材放出机构，并且以使所述载物台和所述输送机构之间的基材的张力返回到缓和之前的大小的方式控制所述输送机构。

此外，本发明的印刷机在上述印刷机的基础上，所述控制机构在使所述基材放出机构和所述载物台之间的基材的张力缓和时，以把基材从所述基材放出机构朝向所述载物台放出的方式控制所述基材放出机构，而在使所述基材放出机构和所述载物台之间的基材的张力返回到缓和之前的大小时，以把基材以与放出的长度相等的长度从所述载物台朝向所述基材放出机构卷回的方式控制所述基材放出机构，所述控制机构在使所述载物台和所述输送机构之间的基材的张力缓和时，以把基材从所述输送机构朝向所述载物台拉回的方式控制所述输送机构，在使所述载物台和所述输送机构之间的基材的张力返回到缓和之前的大小时，以把基材以与拉回的长度相等的长度从所述载物台朝向所述输送机构送出的方式控制所述输送机构。

按照本发明的印刷机，控制机构以将基材保持在载物台的上表面的方式控制基材保持机构之后，以使基材放出机构和载物台之间的基材的张力缓和的方式控制基材放出机构，并且以使载物台和输送机构之间的基材的张力缓和的方式控制输送机构，然后以调整载物台的位置的方式控制载物台位置调整机构，所以即使调整了载物台的位置，载物台上的基材也不会产生皱纹，因而能够在基材上高品质地印刷油墨，不论基材有无伸缩性都可以在各种基材上形成高品质的图案。

附图说明

图1是本发明的印刷机的主要实施方式的简要结构图。

图2是从图1的箭头II方向观察的图。

图3是图1的印刷机的控制框图。

图4是图1的印刷机的动作工序流程图。

附图标记说明

1 基材

100 印刷机

111 支承台

112 导轨

113 载物台

114 套准调整装置

115 滑动框架

115a 连接杆

116 致动器

117 支承块

118 挤压辊

119 粘附辊

120 支承框架

121 橡皮滚筒

122 印版滚筒

123 放出辊

124 卷绕辊

125 吸引辊

126 缓冲辊

127 引导辊

128、129 吸引泵

130 CCD相机

131 旋转编码器

132、133 张力传感器

140 控制装置

141 输入器

151～155 驱动电机

156 升降移动装置

157、158 往返移动装置

具体实施方式

以下根据附图说明本发明的印刷机的实施方式，但是本发明不限于根据附图说明的实施方式。

(主要实施方式)

以下根据图1～4说明本发明的印刷机的主要实施方式。

如图1、2所示，在支承台111上成对配置导轨112。在成对的所述导轨112之间的靠近所述导轨112的长边方向中央且位于所述支承台111上方的位置，配置有载物台113，所述载物台113在上表面形成有多个吸引孔且内部中空。

在所述支承台111和所述载物台113之间，设有作为载物台位置调整机构的套准调整装置114，所述套准调整装置114能分别在前后方向(X方向：图1中的左右方向)、左右方向(Y方向：图1中的垂直于纸面的方向)、扭转方向(θ方向：沿着X－Y平面的枢轴移动)调整所述载物台113的位置，所述套准调整装置114由滚珠丝杆、线性电机等驱动，能使上述载物台113在上表面维持水平的状态下沿水平方向移动。

如图1所示，在成对的所述导轨112上的靠近所述导轨112的长边方向一端(图1中靠左)的位置，成对配置有能沿所述导轨112滑动的支承框架120。外周面卷绕有橡皮布的橡皮滚筒121以能向上下方向移动的方式，能旋转地支承在成对的所述支承框架120之间的上方。

外周面安装有印版的印版滚筒122能旋转地配置在所述导轨112的长边方向一端侧(图1中的左侧)的上方位置，当所述支承框架120位于所述导轨112的长边方向一端侧(图1中的左侧)且所述橡皮滚筒121位于上方时，即所述橡皮滚筒121位于退避位置时，所述印版滚筒122处在能与所述橡皮滚筒121的外周面接触的位置。在所述印版滚筒122的附近，配置有向所述印版滚筒122供给油墨的未图示的油墨供给装置。

即，通过使所述橡皮滚筒121处于所述退避位置且使所述橡皮滚筒121和所述印版滚筒122旋转，能够将与所述印版滚筒122的印版的图案对应的油墨转印于所述橡皮滚筒121，并且通过使所述橡皮滚筒121处于下方的动作位置且使所述支承框架120沿所述导轨112滑动，同时使所述橡皮滚筒121旋转，可以使所述橡皮滚筒121在所述载物台113上滚动。

如图1、2所示，在成对的所述导轨112上的靠近所述导轨112的长边方向另一端(图1中靠右)的位置，成对配置有能沿所述导轨112滑动的滑动框架115。成对的所述滑动框架115之间由连接杆115a连接为一体。

致动器116配置成顶端侧朝向下方，致动器116的基端侧成对地安装在成对的所述滑动框架115的对置面的靠上方的位置。在成对的所述致动器116的顶端，成对地安装有支承块117。

作为皱纹延展辊的挤压辊118的表面由硅橡胶、聚酯橡胶或丁基橡胶等具有弹性的高分子材料构成，所述挤压辊118能旋转地支承在成对的所述支承块117之间的靠下方的位置。作为清扫辊的粘附辊119的表面具有粘附性，所述粘附辊119以抵接于所述挤压辊118的外周面的方式，能旋转地支承在成对的所述支承块117之间的靠上方的位置。

即，通过使所述致动器116动作，使所述挤压辊118和所述粘附辊119借助所述支承块117而位于上方的退避位置，由此可以使所述挤压辊118离开所述载物台113的上表面，并且通过使所述挤压辊118和所述粘附辊119位于下方的动作位置，由此可以使所述挤压辊118抵接于所述载物台113的上表面，此外，通过在所述挤压辊118和所述粘附辊119处于动作位置的状态下使所述滑动框架115沿所述导轨112滑动，由此可以使所述挤压辊118在所述载物台113上滚动，并且伴随所述挤压辊118的旋转，能够带动所述粘附辊119转动。

如图1所示，放出辊123用于放出卷筒状的基材1，所述基材1卷绕为卷轴状，所述放出辊123能旋转地配置在所述支承台111的比所述导轨112的长边方向一端更靠侧方的位置(图1中的左侧)。卷绕辊124把从所述放出辊123经由所述载物台113上方放出的所述基材1卷绕成卷轴状，所述卷绕辊124能旋转地配置在所述支承台111的比所述导轨112的长边方向另一端更靠侧方的位置(图1中的右侧)。

吸引辊125能旋转地配置在所述载物台113和所述卷绕辊124之间，所述吸引辊125在外周面形成有多个吸引孔且内部中空。在所述吸引辊125和所述卷绕辊124之间配置有缓冲辊126，所述缓冲辊126以使其与所述吸引辊125之间的所述基材1松弛的方式支承并引导所述基材1。另外，图1中表示了引导辊127。

作为基材保持机构的吸引泵128连接于所述载物台113。吸引泵129连接于所述吸引辊125。即，通过使所述吸引泵128动作，由此从所述载物台113的上表面的吸引孔吸引空气，能够在将所述基材1支承在所述载物台113的上表面的同时，能离合地吸引并保持所述基材1，并且通过使所述吸引泵129动作，由此从所述吸引辊125的吸引孔吸引空气，以使所述基材1在所述吸引辊125和所述放出辊123之间不松弛而是被赋予张力的方式，利用所述吸引辊125能离合地吸引并保持所述基材1，同时输送所述基材1。

如图1、2所示，作为基材位置检测机构的一对CCD相机130安装于所述滑动框架115的所述连接杆115a，所述CCD相机130用于拍摄所述载物台113上的所述基材1。

如图3所示，所述CCD相机130与作为控制机构的控制装置140的输入部电连接。所述控制装置140的输出部分别与下述装置电连接：所述套准调整装置114；所述致动器116；所述吸引泵128、129；使所述放出辊123正反旋转的驱动电机151；使所述卷绕辊124旋转的驱动电机152；使所述吸引辊125正反旋转的驱动电机153；使所述印版滚筒122旋转的驱动电机154；使所述橡皮滚筒121旋转的驱动电机155；使所述橡皮滚筒121升降移动的作为第二升降移动机构的升降移动装置156；使所述支承框架120沿所述导轨112往返移动的线性电机等往返移动装置157；使所述滑动框架115沿所述导轨112往返移动的线性电机等往返移动装置158。

此外，所述控制装置140的输入部分别与下述装置电连接：旋转编码器131，设置于所述驱动电机151，检测所述放出辊123的旋转相位；作为第一张力检测机构的张力传感器132，设置于所述驱动电机151，检测对所述放出辊123施加的所述基材1的张力；作为第二张力检测机构的张力传感器133，设置于所述驱动电机153，检测比所述吸引辊125更靠上游侧的所述基材1的张力；以及作为输入机构的输入器141，向所述控制装置140输入各种信息。

即，所述控制装置140根据来自所述CCD相机130的信息，控制所述套准调整装置114的动作，根据来自所述张力传感器132、133的信息，控制所述驱动电机151、153的动作，根据来自所述旋转编码器131的信息，控制所述致动器116、所述吸引泵128、所述驱动电机151～155、所述升降移动装置156、所述往返移动装置157、往返移动装置158等的动作，根据来自所述输入器141的信息，控制所述吸引泵128、吸引泵129、所述驱动电机151～155等的动作(具体后述)。

另外，在本实施方式中，由所述致动器116、所述支承块117等构成第一升降移动机构，由所述第一升降移动机构、所述支承台111、所述导轨112、所述滑动框架115、所述往返移动装置158等构成第一往返移动机构，由所述支承台111、所述导轨112、所述支承框架120、所述升降移动装置156、所述往返移动装置157等构成第二往返移动机构，由所述第二往返移动机构、所述橡皮滚筒121、所述印版滚筒122、所述驱动电机154、驱动电机155、所述油墨供给装置等构成图案形成机构，由所述放出辊123、所述驱动电机151等构成基材放出机构，由所述卷绕辊124、所述驱动电机152等构成基材卷绕机构，由所述吸引辊125、所述吸引泵129、所述驱动电机153等构成输送机构。

以下根据图4说明本实施方式的印刷机100的动作。

向所述输入器141输入表示开始运转的信息时，所述控制装置140首先根据来自所述输入器141的信息，以从所述吸引辊125的吸引孔向内部吸引空气的方式使所述吸引泵129动作，将所述基材1吸引并保持在所述吸引辊125的外周面。

接着，所述控制装置140根据来自所述旋转编码器131和所述张力传感器132、133的信息，控制所述驱动电机151～153的动作，使所述放出辊123、卷绕辊124和吸引辊125旋转，以便将所述基材1定位在所述载物台113上的规定位置(以上为基材定位工序S1)。

如此使所述基材1定位在所述载物台113上的规定位置时，所述控制装置140根据来自所述旋转编码器131和所述张力传感器132、133的信息，以从所述载物台113的吸引孔向内部吸引空气的方式使所述吸引泵128动作，将所述基材1吸引并保持在所述载物台113上，从而支承所述基材1(以上为基材保持工序S2)。

接着，所述控制装置140以将所述滑动框架115定位在开始位置的方式，控制所述往返移动装置158的动作，所述开始位置为所述载物台113的位于所述导轨112的长边方向另一侧(图1中的右侧)的端部附近，并且以使所述挤压辊118下降并抵接于所述载物台113上的所述基材1的方式，控制所述致动器116的动作，然后通过以使所述挤压辊118在所述载物台113的所述基材1上从所述导轨112的长边方向另一侧(图1中的右侧)朝向长边方向一侧(图1中的左侧)滚动的方式，控制所述往返移动装置158的动作，使所述滑动框架115沿所述导轨112滑动，即，沿着与所述载物台113的上表面的所述基材1的表面平行的方向移动。

而后，如果所述挤压辊118定位在所述载物台113的位于所述导轨112的长边方向一侧(图1中的左侧)的端部，则所述控制装置140以使所述挤压辊118上升并离开所述载物台113上的所述基材1的方式，控制所述致动器116的动作，并且以使所述滑动框架115返回最初的退避位置的方式，控制所述往返移动装置158的动作，使所述滑动框架115从所述导轨112的长边方向一侧(图1中的左侧)朝向长边方向另一侧(图1中的右侧)滑动，即，沿着与所述载物台113的上表面的所述基材1的表面平行的方向移动。

这样，被吸附保持并支承在所述载物台113上的基材1的皱纹被延展而消失，并且所述基材1上存在的灰尘等附着到所述挤压辊118的外周面，被从所述基材1除去，并附着在伴随所述挤压辊118的滚动而带动转动的所述粘附辊119的外周面，被所述粘附辊119回收，同时，所述CCD相机130伴随所述滑动框架115的滑动，以检测所述基材1相对于所述载物台113的位置的方式，边拍摄边与所述挤压辊118、所述粘附辊119一起移动，并向所述控制装置140提供所述载物台113上的所述基材1的套准位置信息(以上为基材皱纹延展和套准确认工序S3)。

此外，所述控制装置140根据来自所述张力传感器132的信息控制所述驱动电机151的动作，将所述基材1从所述放出辊123放出规定长度，以使所述放出辊123和所述载物台113之间的所述基材1的张力缓和，并且根据来自所述张力传感器133的信息控制所述驱动电机152的动作，在所述吸引辊125吸附并保持所述基材1的状态下使所述吸引辊125反转(图1中的逆时针方向)，将所述基材1抽回规定长度，以使所述吸引辊125和所述载物台113之间的所述基材1的张力缓和(以上为缓冲区域形成工序S4)。

接着，所述控制装置140根据预先输入的信息和来自所述CCD相机130的信息，以将所述载物台113上的所述基材1相对于所述橡皮滚筒121、所述印版滚筒122套准的方式，控制所述套准调整装置114的动作，分别调整所述载物台113的前后方向(X方向)、左右方向(Y方向)和扭转方向(θ方向)的位置。

此时，在所述放出辊123和所述载物台113之间以及所述吸引辊125和所述载物台113之间，所述基材1的张力缓和而使所述基材1松弛，所以即使调整所述载物台113的前后方向(X方向)、左右方向(Y方向)、扭转方向(θ方向)的位置，所述基材1也不会产生皱纹(以上为套准调整工序S5)。

接着，所述控制装置140以将与所述印版滚筒122的印版对应的油墨转印于所述橡皮滚筒121的方式，控制所述驱动电机154、155的动作，使所述橡皮滚筒121、所述印版滚筒122旋转，然后以将转印于所述橡皮滚筒121的油墨印刷于所述载物台113的所述基材1从而在所述基材1上形成图案的方式，控制所述升降移动装置156和所述往返移动装置157的动作，使所述橡皮滚筒121进行升降移动和往返移动(以上为印刷工序S6)。

如此对所述载物台113上的所述基材1实施印刷而形成图案后，所述控制装置140根据来自所述张力传感器132的信息控制所述驱动电机151的动作，将所述基材1以与放出的长度相等的长度即所述规定长度向所述放出辊123卷回，以使所述放出辊123和所述载物台113之间的所述基材1的张力返回到缓和之前的大小，并且所述控制装置140根据来自所述张力传感器133的信息控制所述驱动电机152的动作，在吸附并保持所述基材1的状态下使所述吸引辊125正转(图1中的顺时针方向)，将所述基材1以与抽回的长度相等的长度即所述规定长度送出，以使所述吸引辊125和所述载物台113之间的所述基材1的张力返回到缓和之前的大小(以上为缓冲区域消除工序S7)。

而后，所述控制装置140以停止从所述载物台113的吸引孔吸引空气的方式，控制所述吸引泵128的动作，以使所述基材1能离开所述载物台113的方式，将所述基材1从吸附保持状态释放(以上为基材释放工序S8)。

接着，所述控制装置140根据来自所述旋转编码器131和所述张力传感器132、133的信息，控制所述驱动电机151～153的动作，使所述放出辊123、卷绕辊124和吸引辊125旋转从而将所述基材1送出规定长度，以便更新所述载物台113上的基材1(以上为基材送出工序S9)。

以下，通过重复上述的工序S1～S9的动作，所述基材1在被所述卷绕辊124卷绕的同时，依次形成图案。

因此，按照本实施方式的印刷机100，可以得到以下的效果。

(1)由于所述挤压辊118相对于吸附并保持在所述载物台113上的基材1进行滚动，所述基材1的皱纹延展并消失，因此能够用所述橡皮滚筒121在所述基材1上高品质地印刷油墨，可以在所述基材1上形成高品质的图案。

(2)由于能借助所述挤压辊118向所述粘附辊119回收所述基材1上存在的尘埃等，所以能够在所述基材1上更高品质地印刷油墨，可以在所述基材1形成更高品质的图案。

(3)由于在使所述挤压辊118和所述粘附辊119往返移动的所述滑动框架115上一体设置所述CCD相机130，所以伴随所述滑动框架115的滑动，所述CCD相机130能够以检测所述基材1相对于所述载物台113的位置的方式，边拍摄边与所述挤压辊118和所述粘附辊119一起移动，所以能同时进行所述载物台113上的所述基材1的套准位置信息的获取(套准确认)和所述基材1的皱纹延展，可以提高作业效率。

(4)将所述基材1吸引并保持于所述载物台113之后，使所述放出辊123和所述载物台113之间的所述基材1的张力缓和，并且使所述吸引辊125和所述载物台113之间的所述基材1的张力缓和，然后套准所述基材1，所以即使调整所述载物台113的前后方向(X方向)、左右方向(Y方向)、扭转方向(θ方向)的位置，所述载物台113上的所述基材1也不会产生皱纹，因而能够用所述橡皮滚筒121在所述基材1上高品质地印刷油墨，可以在所述基材1上形成高品质的图案。

(其他实施方式)

另外，所述往返移动装置157、158除了前述线性电机以外，还可以采用齿轮齿条副、滚珠丝杆、无杆缸等。

此外，在前述的实施方式中，将所述挤压辊118和所述粘附辊119以始终抵接的方式能旋转地支承于所述支承块117，作为其他的实施方式，例如可以借助长边方向朝向上下方向的长孔，将所述挤压辊118轴支承于所述支承块117，通过使所述致动器116动作，使所述支承块117上升而使所述挤压辊118和所述粘附辊119位于所述退避位置时，所述挤压辊118能借助上述长孔相对于所述支承块117向下方移动从而离开所述粘附辊119，并且使所述支承块117下降而使所述挤压辊118和所述粘附辊119位于所述动作位置时，所述挤压辊118能借助上述长孔相对于所述支承块117向上方移动从而抵接于所述粘附辊119。

此外，在上述的实施方式中，使所述放出辊123正反旋转的所述驱动电机151设置有所述旋转编码器131和所述张力传感器132，并且使所述吸引辊125正反旋转的所述驱动电机153设置有所述张力传感器133，根据来自所述旋转编码器131的信息，检测所述基材1的放出量，并且根据来自所述张力传感器132、133的信息，检测所述放出辊123和所述载物台113之间以及所述吸引辊125和所述载物台113之间的所述基材1的张力，但是作为另一实施方式，例如可以省略所述张力传感器132、133，而是在所述驱动电机153上设置旋转编码器，基于来自该旋转编码器和所述旋转编码器131的信息，检测所述基材1的放出量，并且检测所述放出辊123和所述载物台113之间以及所述吸引辊125和所述载物台113之间的所述基材1的张力。

工业实用性

本发明的印刷机能够在基材上高品质地印刷油墨，不论基材有无伸缩性都可以在各种基材上形成高品质的图案，所以在工业上可以极为有益地应用。

Claims (3)

1.一种印刷机，包括：

基材放出机构，放出卷筒状的基材；

输送机构，保持并输送从所述基材放出机构放出的基材；

载物台，配置在所述基材放出机构和所述输送机构之间，在上表面支承基材；

基材保持机构，将基材保持于所述载物台的上表面；

载物台位置调整机构，调整所述载物台的位置；以及

图案形成机构，对所述载物台上的基材印刷油墨而形成图案，

所述印刷机的特征在于，

还包括控制机构，所述控制机构以将基材保持在所述载物台的上表面的方式控制所述基材保持机构之后，以使所述基材放出机构和所述载物台之间的基材的张力缓和的方式控制所述基材放出机构，并且以使所述载物台和所述输送机构之间的基材的张力缓和的方式控制所述输送机构，然后以通过调整所述载物台的位置而将所述载物台上的所述基材相对于所述图案形成机构套准的方式控制所述载物台位置调整机构，

所述控制机构以调整所述载物台的位置的方式控制所述载物台位置调整机构之后，以对所述载物台上的基材印刷油墨而形成图案的方式控制所述图案形成机构。

2.根据权利要求1所述的印刷机，其特征在于，所述控制机构以对所述载物台上的基材印刷油墨而形成图案的方式控制所述图案形成机构之后，以使所述基材放出机构和所述载物台之间的基材的张力返回到缓和之前的大小的方式控制所述基材放出机构，并且以使所述载物台和所述输送机构之间的基材的张力返回到缓和之前的大小的方式控制所述输送机构。

3.根据权利要求2所述的印刷机，其特征在于，

所述控制机构在使所述基材放出机构和所述载物台之间的基材的张力缓和时，以把基材从所述基材放出机构朝向所述载物台放出的方式控制所述基材放出机构，而在使所述基材放出机构和所述载物台之间的基材的张力返回到缓和之前的大小时，以把基材以与放出的长度相等的长度从所述载物台朝向所述基材放出机构卷回的方式控制所述基材放出机构，

所述控制机构在使所述载物台和所述输送机构之间的基材的张力缓和时，以把基材从所述输送机构朝向所述载物台拉回的方式控制所述输送机构，在使所述载物台和所述输送机构之间的基材的张力返回到缓和之前的大小时，以把基材以与拉回的长度相等的长度从所述载物台朝向所述输送机构送出的方式控制所述输送机构。

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