JP4680239B2 - 処理装置および搬送方法 - Google Patents

処理装置および搬送方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4680239B2
JP4680239B2 JP2007163764A JP2007163764A JP4680239B2 JP 4680239 B2 JP4680239 B2 JP 4680239B2 JP 2007163764 A JP2007163764 A JP 2007163764A JP 2007163764 A JP2007163764 A JP 2007163764A JP 4680239 B2 JP4680239 B2 JP 4680239B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flexible film
roller
processing
moving
processing unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007163764A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009001376A (ja
Inventor
拓男 川内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP2007163764A priority Critical patent/JP4680239B2/ja
Priority to TW097115071A priority patent/TW200911667A/zh
Priority to CN2008101102312A priority patent/CN101329994B/zh
Priority to KR1020080058092A priority patent/KR20080112969A/ko
Publication of JP2009001376A publication Critical patent/JP2009001376A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4680239B2 publication Critical patent/JP4680239B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2380/00—Specific applications
    • G09G2380/02—Flexible displays
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11—Device type
    • H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1204—Optical Diode
    • H01L2924/12044—OLED

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Advancing Webs (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Controlling Rewinding, Feeding, Winding, Or Abnormalities Of Webs (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)

Description

本発明は、例えばフレキシブルディスプレイ等に用いられるフレキシブルフィルムを連続的に搬送して複数の処理を順次行う処理装置およびそのような処理装置における搬送方法に関する。
フレキシブルディスプレイは、薄くかつ可撓性を有するので、曲面への設置が可能であり、また、従来のガラス基板上に形成されるフラットパネルディスプレイと比較して破損しにくいので、多岐に亘る用途への適用が期待されている。
このようなフレキシブルディスプレイとしては、有機発光層を有するものが知られており、そのような有機発光層を有するフレキシブルディスプレイに関する技術が例えば特許文献１、２に開示されている。
フレキシブルディスプレイを製造するに当たっては、連続的に搬送されるフレキシブルフィルムに複数の処理を順次施していく方法が考えられるが、処理の中には連続搬送しながら行われる処理と真空処理のように搬送を停止して行わざるを得ない処理とが混在し、また、各処理の時間（ＴＡＣＴ）が一定ではなく、理想的な流れ生産が成立しないので、ＴＡＴ（Turn Around Time；製品を仕上げるまでに要する時間）が長くなってしまうという問題がある。
フレキシブルディスプレイに限らず、フレキシブルフィルムを連続的に搬送しながら複数の処理を施す場合には同様の問題が生じる。
特開２０００−２６８９５４号公報 特開２００４−３６１７７４号公報
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、フレキシブルフィルムを連続的に搬送しながら行う複数の処理を短いＴＡＴをもって行うことが可能な処理装置およびそのような処理装置における搬送方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点では、連続的に搬送されるフレキシブルフィルムに複数の処理を順次行う処理装置であって、前記フレキシブルフィルムを連続的に搬送する搬送機構と、前記フレキシブルフィルムに第１の処理を施す第１の処理ユニットと、前記フレキシブルフィルムに第２の処理を施す第２の処理ユニットと、前記第１、第２の処理ユニットのいずれかが前記フレキシブルフィルムを停止して処理する場合、又は前記第１、第２の処理ユニットの処理時間が異なる場合に、前記第１の処理ユニットと前記第２の処理ユニットの間に生ずる前記フレキシブルフィルムの搬送速度差に応じて前記フレキシブルフィルムのバッファリングを行うバッファ機構とを具備し、前記バッファ機構は、搬送中の前記フレキシブルフィルムを巻き掛けて移動可能に設けられた移動ローラを有し、前記移動ローラは、第１ローラと第２ローラとを有し、前記第１ローラで前記フレキシブルフィルムをバッファリングした部分に、さらに前記第２ローラを挿入し、前記第１ローラと前記第２ローラとにより前記フレキシブルフィルムを２方向にバッファリングすることを特徴とする処理装置を提供する。
上記第１の観点において、前記バッファ機構としては、搬送中の前記フレキシブルフィルムを巻き掛けて移動可能に設けられた移動ローラを有し、この移動ローラの移動により前記フレキシブルフィルムのバッファリングを行う構成を採用することができる。
この場合には、前記移動ローラは、第１ローラと第２ローラとを有し、これらを移動させることにより前記フレキシブルフィルムを２方向にバッファリングするようにすることができる。
また、前記バッファ機構は、前記フレキシブルフィルムを前記移動ローラでバッファリングする際に前記フレキシブルフィルムを押さえる押さえ手段を有する構成とすることができる。前記押さえ手段は、前記移動ローラでバッファリングする際に前記フレキシブルフィルムが曲がる部分を押さえるように設けられた補助ロールを有するものとすることができ、また、前記移動ローラでバッファリングする際に前記フレキシブルフィルムが曲がる部分に気体を吹き付けるブロアーを有するものとすることもできる。
さらに、前記バッファ機構は、前記移動ローラを移動させるローラ移動機構と、前記ローラ移動機構を制御して前記フレキシブルフィルムのバッファ距離を制御する制御部とをさらに有するものとすることができる。
さらにまた、前記搬送機構は、搬送路に沿って複数設けられ、その上を前記フレキシブルフィルムが移動するコロと、前記コロのうち一つまたは複数を回転駆動させる駆動機構とを有する構成とすることができる。
本発明の第２の観点では、フレキシブルフィルムに第１の処理を施す第１の処理ユニットと、前記フレキシブルフィルムに第２の処理を施す第２の処理ユニットとを有し、連続的に搬送されるフレキシブルフィルムに前記第１の処理および前記第２の処理を連続して順次行う処理装置における搬送方法であって、前記第１、第２の処理ユニットのいずれかが前記フレキシブルフィルムを停止して処理する場合、又は前記第１、第２の処理ユニットの処理時間が異なる場合に、前記第１の処理ユニットと前記第２の処理ユニットの間に生ずる前記フレキシブルフィルムの搬送速度差に応じて前記フレキシブルフィルムのバッファリングを、搬送中の前記フレキシブルフィルムを巻き掛けて移動可能に設けられた、第１ローラと第２ローラとを有する移動ローラを用い、前記第１ローラで前記フレキシブルフィルムをバッファリングした部分に、さらに前記第２ローラを挿入し、前記第１ローラと前記第２ローラとにより前記フレキシブルフィルムを２方向にバッファリングすることを特徴とする搬送方法を提供する。
本発明によれば、バッファ機構を設けたことにより、第１の処理ユニットと第２の処理ユニットの間に生ずるフレキシブルフィルムの搬送速度差に応じてフレキシブルフィルムのバッファリングを行うことができるので、いずれかの処理装置が真空処理等で停止した状態で処理を行ったり、両処理ユニットの処理時間（ＴＡＣＴ）が異なる等の場合に、フレキシブルフィルムの搬送を停止する時間を極力少なくすることができ、ＴＡＴを短縮することができる。
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る処理装置の要部を示す側面図、図２〜４は、そのバッファ機構の動作を説明するための斜視図である。
この処理装置１００は、フレキシブルフィルム上に連続的に複数の処理を施すものであり、例えばフレキシブルディスプレイのためのパターン形成用塗布現像装置に適用可能である。
この処理装置１００は、フレキシブルフィルム１を連続的に搬送する搬送路１０を有しており、この搬送路１０を搬送されるフレキシブルフィルム１に所定の処理を施す第１の処理ユニット１１および第２の処理ユニット１２を隣接する処理ユニットとして備えている。また、搬送路１０に沿ってフレキシブルフィルム１を搬送するための搬送機構１３を備えている。さらに、第１の処理ユニット１１と第２の処理ユニット１２の間に、これらの間に生じるフレキシブルフィルム１の搬送速度差を調整するバッファ機構１４を備えている。
第１の処理ユニット１１および第２の処理ユニット１２は、例えば、レジスト塗布現像処理のための複数の処理ユニットのいずれかであり、フレキシブルフィルム１を連続搬送しながらレジスト塗布や加熱処理等を施す連続搬送処理を施すもの、または、フレキシブルフィルム１を一旦停止して減圧乾燥のような真空プロセス等を施すものを挙げることができる。
搬送機構１３は、搬送路１０に沿って設けられた複数のコロ１５と、コロ１５のうちの一つまたは幾つかを回転駆動する駆動機構１６とを有し、フレキシブルフィルム１を搬送方向Ａに沿って搬送するようになっている。
バッファ機構１４は、搬送ライン１０を搬送するフレキシブルフィルム１の下方に移動可能に設けられ、移動することにより搬送されているフレキシブルフィルム１をバッファリングする第１ローラ１７ａおよび第２ローラ１７ｂと、これらローラによるバッファリングの際にフレキシブルフィルム１の上面を抑える補助ローラ１８と、第１ローラ１７ａおよび第２ローラ１７ｂを移動させるローラ移動機構１９と、ローラ移動機構１９を制御してフレキシブルフィルム１のバッファリングを制御する制御部２０とを有している。なお、ローラ移動機構１９は、第１ローラ１７ａおよび第２ローラ１７ｂをフレキシブルフィルム１を搬送する方向に回転させる機能も有している。
バッファ機構１４の第１ローラ１７ａは図２にも示すように、バッファリングを行わない時には搬送路１０の下方に待機しており、第２ローラ１７ｂは図２では図示していないが搬送路１０の側方に待機している。そして、バッファリングの際には、図３に示すように、まず第１ローラ１７ａが上昇してフレキシブルフィルム１の上面の端部を補助ローラ１８で押さえた状態で搬送されているフレキシブルフィルム１を引き上げる。さらにバッファリング距離を長くしたい場合には、図４に示すように、フレキシブルフィルム１の引き上げられた部分に側方から第２ローラ１７ｂを挿入するとともに第１ローラ１７ａをフレキシブルフィルム１の搬送方向に沿って移動させる。これにより、上方向および搬送方向の２方向のバッファリングを行うことが可能であり、バッファリングの距離の調整代を多く取れるようになっている。そして、このようなバッファリングの距離は、第１の処理ユニット１１と第２の処理ユニット１２のフレキシブルフィルム１の搬送速度差に応じて制御部２０により制御される。
このようにフレキシブルフィルム１を引き上げるためには、フレキシブルフィルム１の上面を押さえて上方に曲げるための何らかの押さえ手段が必要であり、そのために補助ローラ１８が設けられている。ただし、フレキシブルフィルム１の上面は処理面であるため、補助ローラ１８はフレキシブルフィルム１の上面の端部に配置されている。
このような押さえ手段の他の例としては、図５に示すような空気や窒素ガス等の気体をフレキシブルフィルム１の全幅に亘って吹き付けるブロアー２１を用いることもできる。この場合にはフレキシブルフィルム１の上面に非接触であるから、フレキシブルフィルム１の上面に押さえる部分をとり難い場合に有効である。また、図６に示すように、補助ローラ１８とブロアー２１とを併用することもできる。これは、フレキシブルフィルム１の曲げをより確実にする場合に有効である。
次に、このように構成される処理装置１００のフレキシブルフィルム１の搬送動作について説明する。
繰り出し装置（図示せず）から繰り出されたフレキシブルフィルム１を搬送機構１３により搬送ライン１０に沿って搬送させ、第１の処理ユニット１１で所定の処理を行い、次いで第２の処理ユニット１２で他の所定の処理を行う。
第１の処理ユニット１１におけるフレキシブルフィルム１の搬送速度と第２の処理ユニット１２との搬送速度が同じ場合には、これらの処理ユニットで搬送速度を一定にして処理を行えるため、バッファ機構１４を動作させる必要はなく、図２の状態で処理を進行させることができる。
第１の処理ユニット１１の搬送速度が第２の処理ユニット１２の搬送速度より大きい場合には、制御部２０からの指令によりバッファ機構１４を動作させる。具体的には、第２の処理ユニット１２がフレキシブルフィルム１を停止して処理するような場合、図３に示すように、ローラ移動機構１９（図１参照）により第１ローラ１７ａを搬送ライン１０の下方から上方に向けて移動させ、搬送されているフレキシブルフィルム１を下方から持ち上げてフレキシブルフィルム１のバッファリングを行う。
第１ローラ１７ａによるバッファリング距離で不十分な場合には、ローラ移動機構１９（図１参照）が図４に示すように、第２ローラ１７ｂを側方から進入させ、第１ローラ１７ａをフレキシブルフィルム１の搬送方向に移動させて、２方向のバッファリングを行い、バッファリング距離を長くする。
第１の処理ユニット１１の搬送速度が第２の処理ユニット１２の搬送速度より小さい場合には、例えば、第１の処理ユニット１１での処理後、バッファ機構１４によりフレキシブルフィルム１を所定距離バッファリングしてから第２の処理ユニットでの処理を行う等の方法を採用することができる。
このようにして、バッファ機構１４により、第１の処理ユニット１１と第２の処理ユニット１２の間に生ずるフレキシブルフィルム１の搬送速度差に応じてフレキシブルフィルム１のバッファリングを行うので、いずれかの処理装置が真空処理等で停止した状態で処理を行ったり、両処理ユニットの処理時間（ＴＡＣＴ）が異なる等の場合に、フレキシブルフィルム１の搬送を停止する時間を極力少なくすることができ、ＴＡＴを短縮することができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、第１の処理ユニット１１および第２の処理ユニット１２と、その間に設けられたバッファ機構１４とを有する処理装置について説明したが、これは最低単位であり、３つ以上の処理ユニットを有する場合についても適用可能であることはいうまでもない。この場合には、各処理ユニットの間の一部または全部にバッファ機構を設け、各処理に応じてこれらバッファ機構のバッファ距離を適宜調整することにより、フレキシブルフィルムを理想的な状態で搬送してＴＡＴを極力短縮することが可能となる。
また、バッファ機構は、上述のようなローラを移動させるものに限らず、例えば搬送機構のコロの駆動を調整してフレキシブルフィルムをたるませるようなもの等、他の構成を採用することもできる。
さらに、上記実施形態では、搬送機構としてコロ搬送を用いたが、これに限らず、例えばエアによる浮上搬送やベルト搬送等、他の搬送機構を用いることもできる。
本発明は、フレキシブルディスプレイの製造過程等でフレキシブルフィルムに連続的に複数の処理を施す処理装置に有効である。
本発明の一実施形態に係る処理装置を示す概略側面図。 本発明の一実施形態に係る処理装置の動作を説明するための斜視図であり、バッファ機構を作動させていない状態を示す図。 本発明の一実施形態に係る処理装置の動作を説明するための斜視図であり、バッファ機構の第１ローラを作動した状態を示す図。 本発明の一実施形態に係る処理装置の動作を説明するための斜視図であり、バッファ機構の第１ローラおよび第２ローラを作動した状態を示す図。 バッファ機構に用いる押さえ手段の他の例を示す図。 バッファ機構に用いる押さえ手段のさらに他の例を示す図。
符号の説明
１；フレキシブルフィルム
１１；第１の処理ユニット
１２；第２の処理ユニット
１３；搬送機構
１４；バッファ機構
１５；コロ
１６；駆動機構
１７ａ；第１ローラ
１７ｂ；第２ローラ
１８；補助ローラ
１９；ローラ移動機構
２０；制御部
２１；ブロアー
１００；処理装置

Claims (8)

  1. 連続的に搬送されるフレキシブルフィルムに複数の処理を順次行う処理装置であって、
    前記フレキシブルフィルムを連続的に搬送する搬送機構と、
    前記フレキシブルフィルムに第１の処理を施す第１の処理ユニットと、
    前記フレキシブルフィルムに第２の処理を施す第２の処理ユニットと、
    前記第１、第２の処理ユニットのいずれかが前記フレキシブルフィルムを停止して処理する場合、又は前記第１、第２の処理ユニットの処理時間が異なる場合に、前記第１の処理ユニットと前記第２の処理ユニットの間に生ずる前記フレキシブルフィルムの搬送速度差に応じて前記フレキシブルフィルムのバッファリングを行うバッファ機構と
    を具備し、
    前記バッファ機構は、搬送中の前記フレキシブルフィルムを巻き掛けて移動可能に設けられた移動ローラを有し、
    前記移動ローラは、第１ローラと第２ローラとを有し、
    前記第１ローラで前記フレキシブルフィルムをバッファリングした部分に、さらに前記第２ローラを挿入し、前記第１ローラと前記第２ローラとにより前記フレキシブルフィルムを２方向にバッファリングすることを特徴とする処理装置。
  2. 前記第１ローラで前記フレキシブルフィルムを引き上げ、前記フレキシブルフィルムの引き上げられた部分に前記第２ローラを挿入するとともに、前記第１ローラを前記フレキシブルフィルムの搬送方向に移動させることにより前記フレキシブルフィルムを２方向にバッファリングすることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
  3. 前記バッファ機構は、前記フレキシブルフィルムを前記移動ローラでバッファリングする際に前記フレキシブルフィルムを押さえる押さえ手段を有することを特徴とする請求項２に記載の処理装置。
  4. 前記押さえ手段は、前記移動ローラでバッファリングする際に前記フレキシブルフィルムが曲がる部分を押さえるように設けられた補助ロールを有することを特徴とする請求項３に記載の処理装置。
  5. 前記押さえ手段は、前記移動ローラでバッファリングする際に前記フレキシブルフィルムが曲がる部分に気体を吹き付けるブロアーを有することを特徴とする請求項３または請求項４に記載の処理装置。
  6. 前記バッファ機構は、前記移動ローラを移動させるローラ移動機構と、前記ローラ移動機構を制御して前記フレキシブルフィルムのバッファ距離を制御する制御部とをさらに有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の処理装置。
  7. 前記搬送機構は、搬送路に沿って複数設けられ、その上を前記フレキシブルフィルムが移動するコロと、前記コロのうち一つまたは複数を回転駆動させる駆動機構とを有することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の処理装置。
  8. フレキシブルフィルムに第１の処理を施す第１の処理ユニットと、前記フレキシブルフィルムに第２の処理を施す第２の処理ユニットとを有し、連続的に搬送されるフレキシブルフィルムに前記第１の処理および前記第２の処理を連続して順次行う処理装置における搬送方法であって、
    前記第１、第２の処理ユニットのいずれかが前記フレキシブルフィルムを停止して処理する場合、又は前記第１、第２の処理ユニットの処理時間が異なる場合に、前記第１の処理ユニットと前記第２の処理ユニットの間に生ずる前記フレキシブルフィルムの搬送速度差に応じて前記フレキシブルフィルムのバッファリングを、搬送中の前記フレキシブルフィルムを巻き掛けて移動可能に設けられた、第１ローラと第２ローラとを有する移動ローラを用い、
    前記第１ローラで前記フレキシブルフィルムをバッファリングした部分に、さらに前記第２ローラを挿入し、前記第１ローラと前記第２ローラとにより前記フレキシブルフィルムを２方向にバッファリングすることを特徴とする搬送方法。
JP2007163764A 2007-06-21 2007-06-21 処理装置および搬送方法 Expired - Fee Related JP4680239B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007163764A JP4680239B2 (ja) 2007-06-21 2007-06-21 処理装置および搬送方法
TW097115071A TW200911667A (en) 2007-06-21 2008-04-24 Processing apparatus and conveying method
CN2008101102312A CN101329994B (zh) 2007-06-21 2008-06-18 处理装置和搬送方法
KR1020080058092A KR20080112969A (ko) 2007-06-21 2008-06-20 처리 장치 및 반송 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007163764A JP4680239B2 (ja) 2007-06-21 2007-06-21 処理装置および搬送方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009001376A JP2009001376A (ja) 2009-01-08
JP4680239B2 true JP4680239B2 (ja) 2011-05-11

Family

ID=40205730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007163764A Expired - Fee Related JP4680239B2 (ja) 2007-06-21 2007-06-21 処理装置および搬送方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4680239B2 (ja)
KR (1) KR20080112969A (ja)
CN (1) CN101329994B (ja)
TW (1) TW200911667A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110135405A1 (en) * 2009-12-04 2011-06-09 Akira Miyaji Roller apparatus and transportation apparatus

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002003035A (ja) * 2000-06-28 2002-01-09 Murata Mfg Co Ltd ウエブの蛇行制御装置およびこの蛇行制御装置を用いたセラミックグリーンシートの製造装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6265871A (ja) * 1985-09-17 1987-03-25 Fuji Photo Film Co Ltd 連続ウエブ送りと間欠ウエブ送りを接続する方法
JPH0774062B2 (ja) * 1987-09-09 1995-08-09 ウシオ電機株式会社 ロールフィルムフィーダ
JPH0342456A (ja) * 1989-07-05 1991-02-22 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 帯状物の非接触式ルーパー装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002003035A (ja) * 2000-06-28 2002-01-09 Murata Mfg Co Ltd ウエブの蛇行制御装置およびこの蛇行制御装置を用いたセラミックグリーンシートの製造装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW200911667A (en) 2009-03-16
KR20080112969A (ko) 2008-12-26
JP2009001376A (ja) 2009-01-08
CN101329994A (zh) 2008-12-24
CN101329994B (zh) 2011-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4495752B2 (ja) 基板処理装置及び塗布装置
KR102478040B1 (ko) 집적회로 소자 제조용 이송 장치
WO2018070207A1 (ja) ガラスフィルムの製造方法
JP2008031505A (ja) 成膜装置および成膜方法
KR20180093890A (ko) 열 처리로 및 열 처리 방법
JP4680239B2 (ja) 処理装置および搬送方法
TWI735753B (zh) 玻璃薄膜之製造方法
JP4972618B2 (ja) 基板搬送装置
WO2011016471A1 (ja) 薄膜積層体の製造装置
WO2009113160A1 (ja) 基板搬送装置及び基板搬送方法
JP5649220B2 (ja) 基板搬送装置及び基板搬送方法
KR102400552B1 (ko) 기판 이송 스테이지, 이를 포함하는 스크라이빙 장치 및 기판 이송 방법
KR101489270B1 (ko) 터치 스크린 패널용 기판이송장치
WO2015079746A1 (ja) 板ガラスの積層方法及びその積層装置
JP5426204B2 (ja) アニールコンベヤ
JP2008254858A (ja) 基板搬送装置
KR20160087947A (ko) 저열수축필름 제조장치 및 그 제조방법
WO2021140826A1 (ja) ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムの製造装置
KR101628339B1 (ko) 필름의 손실율을 개선한 레이저 무정지 연속 드릴링 장치
JP4185943B2 (ja) リードフレームの連続体の製造方法及びその加熱冷却処理装置
JP6728957B2 (ja) 転写装置
WO2022113885A1 (ja) ガラスロールの製造方法
KR20230078952A (ko) 유리 롤의 제조 방법
JP6173795B2 (ja) 基板把持装置
KR100596335B1 (ko) 평판표시소자 제조장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090206

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090703

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090811

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091006

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100323

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100519

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100824

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101022

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110125

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110202

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees