KR20180093890A - 열 처리로 및 열 처리 방법 - Google Patents

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KR20180093890A
KR20180093890A KR1020187013281A KR20187013281A KR20180093890A KR 20180093890 A KR20180093890 A KR 20180093890A KR 1020187013281 A KR1020187013281 A KR 1020187013281A KR 20187013281 A KR20187013281 A KR 20187013281A KR 20180093890 A KR20180093890 A KR 20180093890A
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다카히코 하시모토
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엔지케이 인슐레이터 엘티디
엔지케이 킬른 테크 가부시키가이샤
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Abstract

열 처리로(10)는 피처리물(12)을 반송하는 반송 장치(40)를 구비하고 있다. 피처리물(12)을 반송하는 반송 경로는, 제1 반송 구간(42)과, 제1 반송 구간(42)에 인접하여 마련된 제2 반송 구간(44)과, 제2 반송 구간(44)에 인접하여 마련된 제3 반송 구간(46)으로 구분되어 있다. 반송 장치(40)는 제1 구동 장치(54)의 구동력이 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 전달되는 제1 상태와, 제2 구동 장치(56)의 구동력이 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52) 및 제1 반송 구간(42) 내와 제3 반송 구간(46) 내에 배치된 반송 롤러(52) 중 적어도 일부에 전달되는 제2 상태로 전환하는 클러치 기구(70)를 가지고 있다.

Description

열 처리로 및 열 처리 방법
본 출원은 2015년 12월 14일에 출원된 일본국 특허 출원 제2015-243488호에 기초한 우선권을 주장한다. 그 출원의 모든 내용은 본 명세서 중에 참조에 의해 원용된다. 본 명세서에 개시된 기술은 피처리물을 열 처리하는 열 처리로 및 열 처리 방법에 관한 것이다. 상세하게는, 피처리물을 반송하는 반송 속도를 구간마다 변경 가능하게 하기 위한 기술에 관한 것이다.
열 처리로(예컨대, 롤러 하스 킬른 등)를 이용하여, 피처리물을 열 처리하는 것이 있다. 이 종류의 열 처리로에서는, 노체의 내부를 복수의 공간으로 분할하고, 이들 공간에 순서대로 피처리물이 반송된다. 노체 내부의 각 공간의 분위기 온도와, 피처리물이 각 공간을 통과하는 시간(각 공간에 있어서의 반송 속도)을 조정함으로써, 피처리물의 온도 프로파일이 조정된다. 예컨대, 일본 특허 공개 제2015-64189호 공보에 개시된 롤러 하스 킬른에서는, 제1 공간의 분위기 온도와 제2 공간의 분위기 온도의 온도차가 크게 설정되고, 제1 공간으로부터 제2 공간에 피처리물이 반송된다. 이 롤러 하스 킬른에서는, 제1 공간과 제2 공간 사이에 고속 반송 구간이 마련되고, 이 고속 반송 구간에 있어서 제1 공간 내 및 제2 공간 내보다 피처리물을 고속으로 반송한다. 이에 의해, 피처리물은 제1 공간으로부터 제2 공간까지 단시간에 반송되고, 급속하게 승온 또는 강온된다. 여기서, 반송 롤러를 배치하는 피치(간격)는 피처리물의 반송 방향의 치수에 대하여 짧게 설정되고, 피처리물은 복수의 반송 롤러에 의해 지지된다. 즉, 피처리물은 복수의 반송 롤러 상에 위치한다. 피처리물이 상이한 속도로 구동되는 반송 롤러 상에 배치되면, 피처리물이 반송 방향에 대하여 기우는 등의 문제가 생긴다. 이 때문에, 피처리물이 제1 공간으로부터 고속 반송 구간에 완전하게 반입될 때까지는, 제1 공간에 있어서의 반송 롤러와 동일한 속도(저속)로 고속 반송 구간의 반송 롤러가 구동된다. 피처리물이 고속 반송 구간에 완전하게 반입되면, 피처리물이 고속 반송 구간을 이동하는 동안만, 고속 반송 구간의 반송 롤러가 고속으로 구동된다. 그리고, 피처리물이 고속 반송 구간으로부터 제2 공간에 완전하게 반입될 때까지는, 제2 공간에 있어서의 반송 롤러와 동일한 속도(저속)로 고속 반송 구간의 반송 롤러가 구동된다. 따라서, 일본 특허 공개 제2015-64189호 공보에 개시된 롤러 하스 킬른에서는, 고속 반송 구간에 있어서는, 모터의 출력에 의해 회전 속도를 조정할 수 있는 가변속 반송 롤러를 설치하고, 피처리물의 위치에 따라 모터의 출력을 조정하고 있다.
전술한 롤러 하스 킬른의 고속 반송 구간에서는, 피처리물의 위치에 따라 모터의 출력을 조정하여, 반송 롤러의 회전 속도를 제어하지 않으면 안 된다. 그러나, 모터에의 제어 지령값을 변화시키고 나서 반송 롤러의 회전이 원하는 속도가 될 때까지는, 일정 응답 시간이 필요하고, 응답 시간을 고려하여 고속 반송 구간에 있어서의 피처리물의 반송 속도를 설정할 필요가 있다고 하는 문제가 있었다.
본 명세서는 복수의 반송 구간으로 구분된 반송로를 갖는 열 처리로에 있어서, 피처리물을 반송하는 반송 롤러의 회전 속도를 고속으로 전환할 수 있는 열 처리로 및 열 처리 방법을 개시한다.
본 명세서에 개시하는 열 처리로는 피처리물을 반송하는 반송 장치를 구비하고 있다. 피처리물을 반송하는 반송 경로는 제1 반송 구간과, 제1 반송 구간에 인접하여 마련된 제2 반송 구간과, 제2 반송 구간에 인접하여 마련된 제3 반송 구간으로 구분되어 있다. 피처리물은 제1 반송 구간으로부터 제2 반송 구간을 통하여 제3 반송 구간에 반송되도록 되어 있다. 반송 장치는 제1 반송 구간, 제2 반송 구간 및 제3 반송 구간에 설치되어, 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 반송 롤러와, 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러를, 제1 속도로 구동 가능한 제1 구동 장치와, 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러와, 제1 반송 구간 내와 제3 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러 중 적어도 일부를, 제1 속도와는 상이한 제2 속도로 구동 가능한 제2 구동 장치와, 제1 구동 장치의 구동력이 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러에 전달되는 제1 상태와, 제2 구동 장치의 구동력이 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러 및 제1 반송 구간 내와 제3 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러 중 적어도 일부에 전달되는 제2 상태로 전환하는 클러치 기구를 구비하고 있다.
상기 열 처리로에서는, 제1 구동 장치의 구동력이 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러에 전달되는 제1 상태와, 제2 구동 장치의 구동력이 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러 및 제1 반송 구간 내와 제3 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러 중 적어도 일부에 전달되는 제2 상태로 전환하는 클러치 기구를 가지고 있다. 이 때문에, 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러의 구동 속도는, 상기 클러치 기구를 제어함으로써 고속으로 전환할 수 있다. 이에 의해, 제1 구동 장치 및 제2 구동 장치의 회전 속도를 변화시킬 필요가 없기 때문에, 구동 장치의 회전 속도를 변화시키기 위한 응답 시간을 고려하는 일없이, 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러의 구동 속도를 설정할 수 있다. 또한, 제2 구동 장치로 구동 가능한 반송 롤러에는, 제1 반송 구간과 제3 반송 구간에 배치된 반송 롤러 중 적어도 일부가 포함된다. 이 때문에, 제1 반송 구간과 제3 반송 구간에 대해서는, 제2 구동 장치는 제1 반송 구간에 배치된 반송 롤러만을 구동 가능하게 하여도 좋고, 제3 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러만을 구동 가능하게 하여도 좋고, 제1 반송 구간 및 제3 반송 구간의 각각에 배치된 반송 롤러를 구동 가능하게 하여도 좋다.
본 명세서가 개시하는 제1 열 처리 방법은, 반송 경로를 따라 피처리물을 반송하는 반송 장치를 구비하는 열 처리로를 이용하여 피처리물을 열 처리한다. 반송 경로는 제1 반송 구간과, 제1 반송 구간에 인접하여 마련된 제2 반송 구간을 구비하고 있다. 피처리물은 제1 반송 구간으로부터 제2 반송 구간에 반송되도록 되어 있다. 반송 장치는 제1 반송 구간 및 제2 반송 구간에 설치되어, 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 반송 롤러와, 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러를, 제1 속도(v1)로 구동 가능한 제1 구동 장치와, 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러와, 제1 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러를, 제1 속도(v1)와는 상이한 제3 속도(v3)로 구동 가능한 제2 구동 장치와, 제1 구동 장치의 구동력이 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러에 전달되는 제1 상태와, 제2 구동 장치의 구동력이 제1 반송 구간 내와 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러에 전달되는 제2 상태로 전환하는 클러치 기구를 구비하고 있다. 클러치 기구를 제2 상태로 함으로써, 피처리물이 제1 반송 구간에서 반송되는 제1 반송 공정과, 제1 반송 공정 후에, 클러치 기구를 제2 상태로부터 제1 상태로 함으로써, 피처리물이 제2 반송 구간에서 반송되는 제2 반송 공정을 포함하고 있다.
상기 열 처리 방법에서는, 클러치 기구에 의해, 제1 반송 공정에 있어서의 피처리물의 반송 속도가 제2 반송 공정에 있어서의 피처리물의 반송 속도로 전환된다. 이 때문에, 피처리물의 반송 속도를 고속으로 전환할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 제2 열 처리 방법은 반송 경로를 따라 피처리물을 반송하는 반송 장치를 구비하는 열 처리로를 이용하여 피처리물을 열 처리한다. 반송 경로는 제1 반송 구간과, 제1 반송 구간에 인접하여 마련된 제2 반송 구간과, 제2 반송 구간에 인접하여 마련된 제3 반송 구간을 구비하고 있다. 피처리물은 제1 반송 구간으로부터 제2 반송 구간을 통하여 제3 반송 구간에 반송되도록 되어 있다. 반송 장치는 제1 반송 구간, 제2 반송 구간 및 제3 반송 구간에 설치되어, 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 반송 롤러와, 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러를, 제1 속도(v1)로 구동 가능한 제1 구동 장치와, 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러와, 제3 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러를, 제1 속도와는 상이한 제2 속도(v2)로 구동 가능한 제2 구동 장치와, 제1 구동 장치의 구동력이 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러에 전달되는 제1 상태와, 제2 구동 장치의 구동력이 제2 반송 구간 내와 제3 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러에 전달되는 제2 상태로 전환하는 클러치 기구를 구비하고 있다. 피처리물이 제1 반송 구간에서 반송되는 제1 반송 공정과, 제1 반송 공정 후에, 클러치 기구를 제1 상태로 함으로써, 피처리물이 제2 반송 구간에서 반송되는 제2 반송 공정과, 제2 반송 공정 후에, 클러치 기구를 제1 상태로부터 제2 상태로 함으로써, 피처리물이 제3 반송 구간에서 반송되는 제3 반송 공정을 구비하고 있다.
상기 열 처리 방법에서는, 클러치 기구에 의해, 제2 반송 공정에 있어서의 피처리물의 반송 속도가 제3 반송 공정에 있어서의 피처리물의 반송 속도로 전환된다. 이 때문에, 피처리물의 반송 속도를 고속으로 전환할 수 있다.
도 1은 실시예의 열 처리로의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 실시예의 열 처리로의 반송 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 실시예의 열 처리로의 클러치 기구의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 반송 롤러의 피치 및 반송 롤러의 직경을 나타내는 도면이다.
도 5는 실시예의 열 처리로에 있어서, 피처리물이 반송되는 양태의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 실시예의 열 처리로에 있어서, 피처리물이 반송되는 양태의 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 변형예의 격벽과 제1 센서 및 제2 센서의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
이하에 설명하는 실시예의 주요한 특징을 열기해 둔다. 또한, 이하에 기재하는 기술 요소는, 각각 독립된 기술 요소로서, 단독으로 혹은 각종 조합에 의해 기술적 유용성을 발휘하는 것이며, 출원 시 청구항에 기재된 조합에 한정되는 것이 아니다.
본 명세서가 개시하는 열 처리로에서는, 제2 구동 장치는 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러와, 제3 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러 중 적어도 일부를 구동 가능하게 되어 있어도 좋다. 반송 장치는 제1 반송 구간에 배치된 반송 롤러를 제3 속도로 구동시키는 제3 구동 장치를 더 구비하고 있어도 좋다. 그리고, 제3 구동 장치는 제1 구동 장치 및 제2 구동 장치로부터 독립적으로 구동 가능하게 되어 있어도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 제1 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러의 구동을 제2 반송 구간 내 및 제3 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러로부터 독립적으로 제어할 수 있다. 즉, 제1 반송 구간의 피처리물의 반송 속도를 제2 반송 구간 및 제3 반송 구간의 반송 속도로부터 독립적으로 제어하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 예컨대 피처리물의 사행이나 충돌과 같은 사태가 생길 가능성이 있는 경우에, 제1 반송 구간의 피처리물의 반송 속도를 변화시킴으로써, 이러한 가능성을 회피하는 것이 가능해진다.
본 명세서가 개시하는 열 처리로에서는, 반송 장치는 피처리물을 연속하여 반송 가능하게 구성되며, 제3 구동 장치를 제어하는 제어 장치를 더 구비하고 있어도 좋다. 그리고, 제어 장치는 클러치 기구에 의해 제1 상태가 되어 제2 반송 구간에서 피처리물이 반송되는 경우에, 그 피처리물의 상류에 위치하는 가장 가까운 다른 피처리물이 제2 반송 구간에 반송되지 않도록, 제3 구동 장치에 의해 제1 반송 구간에 배치된 반송 롤러의 구동 속도를 제어하여도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러가 제1 속도로 구동되는 경우에, 제1 반송 구간에서 반송되는 다른 피처리물이 제2 반송 구간 내에 배치된 반송 롤러 상에 반송되는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 피처리물을 적합하게 제1 반송 구간으로부터 제2 반송 구간에 반송할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리로에서는, 복수의 반송 롤러는 반송 방향으로 소정 피치(p)의 간격을 두고 배치되어 있어도 좋다. 클러치 기구에 의해 제1 상태가 되어 제2 반송 구간에서 피처리물이 반송되는 거리를 L로 하고, 제1 속도를 v1로 하고, 제3 속도를 v3으로 하면, 제어 장치는 클러치 기구에 의해 제1 상태가 되어 제2 반송 구간에 피처리물이 반송되는 경우로서, v3≥p×v1/2L이 성립할 때는, 제3 구동 장치의 동작을 정지하여도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 클러치 기구에 의해 제1 상태가 되어 제2 반송 구간에서 피처리물이 반송되는 거리(L)와, 제1 속도(v1)와, 제3 속도(v3)에 따라 적절하게 제3 구동 장치의 동작이 정지되어, 피처리물을 적합하게 제1 반송 구간으로부터 제2 반송 구간에 반송할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리 방법에서는, 피처리물이 제1 반송 구간과 제2 반송 구간의 경계에 설정한 제1 위치까지 반송된 것을 검지하는 제1 센서를 구비하고 있어도 좋다. 제1 센서에 의해 피처리물을 검지하였을 때에, 클러치 기구를 제2 상태로부터 제1 상태로 함으로써 제2 반송 공정이 실행되고 있어도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 피처리물이 제1 반송 구간으로부터 제2 반송 구간까지 반송된 것을 제1 센서에 의해 적절하게 검지할 수 있다. 이 때문에, 클러치 기구를 제2 상태로부터 제1 상태로 적절한 타이밍에 전환할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리 방법에서는, 제2 반송 공정은 클러치 기구를 제2 상태로부터 제1 상태로 하고 나서 소정 시간만큼 제1 상태를 유지함으로써 실행되어도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 피처리물이 제2 반송 구간에서 반송되는 소정 시간만큼, 클러치 기구를 제1 상태로 하여 피처리물을 반송할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리 방법에서는, 반송 경로는 제2 반송 구간에 인접하여 마련된 제3 반송 구간을 더 구비하고 있어도 좋다. 피처리물은 제1 반송 구간으로부터 제2 반송 구간을 통하여 더욱 제3 반송 구간에 반송되도록 되어 있어도 좋다. 반송 장치는 제3 반송 구간에 설치되어, 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 반송 롤러를 더 구비하고 있어도 좋다. 그리고, 제2 반송 공정 후에, 피처리물이 제3 반송 구간에서 반송되는 제3 반송 공정을 더 포함하고 있어도 좋다.
반송 경로가 제3 반송 구간을 구비하는 경우에 있어서, 열 처리로는 피처리물이 제2 반송 구간과 제3 반송 구간의 경계에 설정한 제2 위치까지 반송된 것을 검지하는 제2 센서를 구비하고 있어도 좋다. 제2 센서에 의해 피처리물을 검지하였을 때에, 클러치 기구를 제1 상태로부터 제2 상태로 하며, 제3 반송 공정이 실행되어도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 피처리물이 제2 반송 구간으로부터 제3 반송 구간까지 반송된 것을 제2 센서에 의해 적절하게 검지할 수 있다. 이 때문에, 제2 반송 공정 후에, 클러치 기구를 제1 상태로부터 제2 상태로 적절한 타이밍에 전환할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리 방법에서는, 열 처리로는 제1 반송 구간과 제3 반송 구간을 연통하는 연통 통로를 가지고, 제1 반송 구간측의 공간과 제3 반송 구간측의 공간을 격리하는 격벽을 구비하고 있어도 좋다. 제2 반송 구간은 연통 통로 내에 마련되어 있어도 좋다. 제1 센서가 격벽의 제1 반송 구간측의 벽면 근방에 마련되어 있어도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 격벽에 의해 제1 반송 구간측의 공간과 제3 반송 구간측의 공간을 적합하게 격리할 수 있다. 또한, 제1 센서를 격벽의 제1 반송 구간측의 벽면 근방에 마련함으로써, 피처리물이 제1 반송 구간측의 벽면 근방까지 반송된 것을 적절하게 검지할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리 방법에서는, 제2 반송 구간 내의 반송 롤러로부터 격벽까지의 거리를 H로 하고, 격벽의 제1 반송 구간측의 벽면으로부터 제3 반송 구간측의 벽면까지의 두께를 w로 하면, w＞2H가 성립하고 있어도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 제1 반송 구간측의 공간과 제3 반송 구간측의 공간을 보다 적합하게 격리할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리 방법에서는, 열 처리로는 제1 반송 구간과 제2 반송 구간의 경계에 마련된 제1 격벽과, 제2 반송 구간과 제3 반송 구간의 경계에 마련되고, 제1 격벽에 대하여 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치된 제2 격벽을 구비하고 있어도 좋다. 제1 센서는 제1 격벽의 제1 반송 구간측 또는 제1 격벽과 제2 격벽 사이에 배치되어 있어도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 제1 반송 구간측의 공간과 제3 반송 구간측의 공간을 2개의 격벽과, 이들 2개의 격벽 사이에 마련된 공간에 의해 격리할 수 있다. 이 때문에, 제1 센서는 제1 격벽의 제1 반송 구간측뿐만 아니라, 제1 격벽과 제2 격벽 사이에도 배치할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리 방법에서는, 열 처리로는 피처리물이 제2 반송 구간과 제3 반송 구간의 경계에 설정한 제2 위치까지 반송된 것을 검지하는 제2 센서를 구비하고 있어도 좋다. 제2 센서에 의해 피처리물을 검지하였을 때에, 클러치 기구를 제1 상태로부터 제2 상태로 하며, 제3 반송 공정이 실행되도록 되어 있어도 좋다. 제2 센서는 제2 격벽의 제3 반송 구간측 또는 제1 격벽과 제2 격벽 사이에 배치되어 있어도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 제2 센서는 제2 격벽의 제3 반송 구간측뿐만 아니라, 제1 격벽과 제2 격벽 사이에도 배치할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 열 처리 방법에서는, 복수의 반송 롤러는 반송 방향으로 소정 피치(p)의 간격을 두고 배치되어 있어도 좋다. 제2 반송 구간에서 제1 속도(v1)로 피처리물이 반송되는 거리를 L로 하면, 제1 반송 공정에서는, v3＜p×v1/2L이 성립할 때는, 제1 반송 구간에 배치된 반송 롤러를 제3 속도로 구동시키는 것을 계속하고, v3≥p×v1/2L이 성립할 때는, 제1 반송 구간에 배치된 반송 롤러의 구동을 일시적으로 정지하여도 좋다. 이러한 구성에 따르면, 제2 반송 구간에서 제1 속도(v1)로 피처리물이 반송되는 거리(L)와, 제1 속도(v1)와, 제3 속도(v3)에 따라, 제1 반송 구간에 배치된 반송 롤러의 구동이 계속되는 경우와 정지되는 경우를 적절하게 선택할 수 있다. 이 때문에, 피처리물을 적합하게 제1 반송 구간으로부터 제2 반송 구간에 반송하여, 열 처리할 수 있다.
실시예
이하, 도면을 참조하여 실시예에 따른 열 처리로(10)에 대해서 설명한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 열 처리로(10)는 노체(20)와, 피처리물(12)을 반송하는 반송 장치(40)를 구비하고 있다. 열 처리로(10)는 반송 장치(40)에 의해 피처리물(12)이 노체(20) 내에서 반송되는 동안에, 피처리물(12)을 열 처리한다.
노체(20)는 천장벽(20a)과, 바닥벽(20d)과, 격벽(20b, 20c)에 의해 둘러싸여 있고, 내부에 격벽(22, 23)을 구비하고 있다. 노체(20)의 내부 공간은 격벽(22, 23)에 의해, 제1 공간(30)과, 제2 공간(32)과, 제1 공간(30)과 제2 공간(32)을 연통시키는 연통 통로(36)로 분할되어 있다. 구체적으로는, 격벽(22)은 격벽(20b, 20c) 사이의 대략 중간의 위치에서 천장벽(20a)에 고정되어 있고, 천장벽(20a)으로부터 수직 하방으로 연장되어 있다. 격벽(23)은 격벽(22)에 대응하는 위치에서 바닥벽(20d)에 고정되어 있고, 바닥벽(20d)으로부터 수직 상방으로 연장되어 있다. 노체(20)의 내부는 격벽(22, 23)을 경계로 하여 제1 공간(30)과 제2 공간(32)으로 나뉘어져 있다. 격벽(22)과 격벽(23) 사이는 이격되어 있고, 이격된 사이의 공간에는 연통 통로(36)가 마련되어 있다. 노체(20)의 격벽(20b)에는 개구(24)가 형성되고, 격벽(20c)에는 개구(26)가 형성되어 있다. 피처리물(12)은 반송 장치(40)에 의해 개구(24)로부터 열 처리로(10) 내에 반송되고, 연통 통로(36)를 통하여, 개구(26)로부터 열 처리로(10)의 밖으로 반송된다. 즉, 개구(24)는 반입구로서 이용되고, 개구(26)는 반출구로서 이용된다.
노체(20) 내에 반송된 피처리물(12)은, 개구(24)로부터 개구(26)까지 반송되는 동안에 열 처리된다. 피처리물(12)로서는, 예컨대 세라믹스제의 유전체(기재)와 전극을 적층한 적층체를 들 수 있다. 피처리물(12)은, 예컨대 세터(14)[또한, 이하의 명세서에 있어서, 이것을 구별할 필요가 있을 때는 세터(14a, 14b)와 같이 뒤따르는 알파벳을 이용하여 기재하고, 구별할 필요가 없을 때는 단순히 세터(14)로 기재하는 경우가 있다. 또한, 다른 구성 요소에 대해서도 동일 구성에 대해서 구별할 필요가 없을 때는, 상기와 마찬가지로 뒤따르는 알파벳을 생략하고 단순히 숫자로 기재하는 경우가 있다.]에 배치하여 반송된다.
제1 공간(30)은 천장벽(20a)과, 바닥벽(20d)과, 격벽(20b)과, 격벽(22, 23)에 의해 둘러싸여 있다. 제1 공간(30)은 노체(20) 내에 있어서 격벽(22, 23)에 의해 제2 공간(32)과 차단됨으로써, 제2 공간(32)과는 상이한 분위기 온도를 유지할 수 있다. 제1 공간(30)은 격벽(20b)에 마련된 개구(24)에 의해 열 처리로(10)의 밖에 연통하고, 격벽(22, 23) 사이의 연통 통로(36)에 의해 제2 공간(32)에 연통하고 있다. 제1 공간(30)에는 복수의 반송 롤러(52)와, 복수의 히터(34a, 34b)가 배치되어 있다. 제1 공간(30)에는 제1 반송 구간(42)에 배치되는 반송 롤러(52)와, 제2 반송 구간(44)의 일부에 배치되는 반송 롤러(52)가 수용되어 있다. 히터(34a)는 반송 롤러(52)의 상방의 위치에 반송 방향으로 등간격으로 배치되고, 히터(34b)는 반송 롤러(52)의 하방의 위치에 반송 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 히터(34a, 34b)가 발열함으로써, 제1 공간(30) 내가 가열된다.
제2 공간(32)은 천장벽(20a)과, 바닥벽(20d)과, 격벽(20c)과, 격벽(22, 23)에 의해 둘러싸여 있다. 제2 공간(32)은 노체(20) 내에 있어서 격벽(22, 23)에 의해 제1 공간(30)과 차단됨으로써, 제1 공간(30)과는 상이한 분위기 온도를 유지할 수 있다. 제2 공간(32)은 격벽(20c)에 마련된 개구(26)에 의해 열 처리로(10)의 밖에 연통하고, 격벽(22, 23) 사이의 연통 통로(36)에 의해 제1 공간(30)에 연통하고 있다. 제2 공간(32)에는 복수의 반송 롤러(52)와, 복수의 히터(34c, 34d)가 배치되어 있다. 제2 공간(32)에는 제2 반송 구간(44)의 일부에 배치되는 반송 롤러(52)와, 제3 반송 구간(46)에 배치되는 반송 롤러(52)가 수용되어 있다. 히터(34c)는 반송 롤러(52)의 상방의 위치에 반송 방향으로 등간격으로 배치되고, 히터(34d)는 반송 롤러(52)의 하방의 위치에 반송 방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 히터(34c, 34d)가 발열함으로써, 제2 공간(32) 내가 가열된다.
연통 통로(36)는 격벽(22, 23)에 의해 그 상면과 하면의 경계가 획정되어 있다. 연통 통로(36)는 제1 공간(30)과 제2 공간(32)을 연통하고 있다. 연통 통로(36)에는 복수의 반송 롤러(52)가 배치되어 있다. 연통 통로(36)에는 제2 반송 구간(44)에 배치되는 반송 롤러(52)만이 수용되어 있다. 연통 통로(36)를 통하여, 제1 공간(30)으로부터 제2 공간(32)에 피처리물(12)을 반송할 수 있다. 여기서, 연통 통로(36) 내에 배치되는 반송 롤러(52)로부터 격벽(22)까지의 거리(높이)를 H로 하고, 격벽(22)의 제1 공간(30)측의 벽면으로부터 제2 공간(32)측의 벽면까지의 두께[도 1의 반송 방향의 격벽(22)의 길이]를 w로 한다. 이때, w＞2H가 성립하도록, 격벽(22)이 설치된다. 거리(H)가 클 때, 또는 두께(w)가 작을 때, 제1 공간(30)과 제2 공간(32) 사이에서 열이 연통 통로(36)를 통해 이동하기 쉬워진다. 상기 식이 성립하는 경우, 연통 통로(36)를 통한 제1 공간(30)과 제2 공간(32) 사이의 열의 이동을 억제할 수 있다. 이 때문에, 제1 공간(30)의 분위기 온도와 제2 공간(32)의 분위기 온도의 변화를 억제할 수 있다.
반송 장치(40)는 제1 공간(30)의 개구(24)측의 일단으로부터, 연통 통로(36)를 통해, 제2 공간(32)의 개구(26)측의 타단까지 피처리물(12)을 반송한다. 피처리물(12)은 세터(14)에 배치된 상태로 반송된다. 반송 장치(40)에 의한 피처리물(12)의 반송 경로는, 제1 반송 구간(42), 제2 반송 구간(44) 및 제3 반송 구간(46)으로 구분된다.
제1 반송 구간(42)은 제1 공간(30)의 개구(24)측의 일단으로부터, 제1 공간(30) 내의 제1 위치(48)까지 설정된다. 제1 위치(48)는 제1 공간(30) 내로서, 격벽(22, 23)의 근방에 설정된다. 제1 위치(48)는 인접하는 2개의 반송 롤러(52)의 중간 위치로 되어 있다. 도 5의 (a) 및 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제1 위치(48)의 근방으로서 격벽(22)에 인접하는 위치에는 제1 센서(16)가 배치된다. 상세하게는, 세터(14b)의 반송 방향(도 5 및 도 6의 우측)의 후단이 제1 위치(48)에 위치할 때에, 그 세터(14b)의 선단을 검지하는 위치에 제1 센서(16)가 배치된다. 제1 센서(16)는 세터(14)를 검지하기 위한 센서이다. 제1 센서(16)에는 예컨대, 광학식의 센서를 이용할 수 있고, 세터(14)가 광로를 가로막는지의 여부로 세터(14)를 검출할 수 있다. 제1 센서(16)가 세터(14)를 검출함으로써, 세터(14)의 후단이 제1 위치(48)에 위치하는지의 여부를 판단할 수 있다.
제2 반송 구간(44)은 제1 공간(30) 내에 설정된 제1 위치(48)로부터, 연통 통로(36)를 통하여, 제2 공간(32) 내에 설정된 제2 위치(50)까지 설정된다. 제2 위치(50)는 제2 공간(32) 내로서, 격벽(22, 23)의 근방에 설정된다. 도 5의 (b) 및 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제2 위치(50)의 근방으로서 격벽(22)에 인접하는 위치에는 제2 센서(17)가 배치된다. 상세하게는, 세터(14b)의 반송 방향(도 5 및 도 6의 우측)의 선단이 제2 위치(50)에 위치할 때에, 그 세터(14b)의 후단을 검지하는 위치에 제2 센서(17)가 배치된다. 제2 센서(17)는 제1 센서(16)와 동일한 구성을 채용할 수 있고, 세터(14)를 검지하기 위한 센서이다. 제2 센서(17)가 세터(14)의 후단을 검출함으로써, 세터(14)의 선단이 제2 위치(50)에 위치하는지의 여부를 판단할 수 있다.
제3 반송 구간(46)은 제2 공간(32) 내에 설정된 제2 위치(50)로부터 제2 공간(32)의 격벽(20c)측의 타단까지 설정된다.
세터(14)는 피처리물(12)을 배치한 상태로, 반송 롤러(52)에 의해 반송된다. 또한, 세터(14)는 본 실시예에서는 평판형이지만, 피처리물(12)을 배치한 상태로 반송 롤러(52)에 의해 반송되는 것이면 좋고, 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예컨대, 상자형의 세터를 이용할 수 있다. 또한, 세터(14)의 재료는 특별히 한정되지 않지만, 예컨대 알루미나, 멀라이트 또는 Si-SiC제로 할 수 있고, 고온 강도가 우수한 Si-SiC제로 하는 것이 바람직하다. Si-SiC는 다공질의 SiC에 금속 Si를 함침시켜 치밀화한 세라믹이다. Si-SiC를 이용함으로써, 고온 하에 있어서도 세터(14)가 변형되기 어려워, 반송 중에 세터(14)에 휘어짐이 생기는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 고온 하에 있어서도 세터(14)가 사행하는 것을 적합하게 방지할 수 있다. 또한, 급격한 온도 변화에 대하여도 세터(14)가 변형되기 어렵기 때문에, 분위기 온도가 상이한 공간에 적합하게 반송할 수 있다.
반송 장치(40)는 복수의 반송 롤러(52)와, 제1 구동 장치(54)와, 제2 구동 장치(56)와, 제3 구동 장치(58)와, 클러치 기구(70)를 구비하고 있다. 도 2를 참조하여, 반송 장치(40)의 구성을 설명한다.
반송 롤러(52)는 원통형이며, 제1 반송 구간(42), 제2 반송 구간(44) 및 제3 반송 구간(46)에 설치되고, 그 축선은 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 복수의 반송 롤러(52)는 모두 동일한 직경을 가지고 있고, 반송 방향으로 일정 피치(p)(도 4 참조)로 등간격으로 배치되어 있다. 반송 롤러(52)는 그 축선 둘레로 회전 가능하게 지지되어 있고, 구동 장치의 구동력이 전달됨으로써 회전한다. 반송 롤러(52)의 재료는 특별히 한정되지 않지만, 예컨대 고온 강도가 우수한 Si-SiC제로 하는 것이 바람직하다. Si-SiC를 이용함으로써, 고온 하에 있어서도 반송 롤러(52)의 변형이 억제되어, 복수의 반송 롤러(52)의 롤러 직경을 대략 균일하게 유지할 수 있어, 롤러의 휘어짐을 억제할 수 있다. 이 때문에, 고온 하에 있어서도 세터(14)가 사행하는 것을 방지할 수 있어, 세터(14)를 적절히 반송할 수 있다.
제1 구동 장치(54)는 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)를 구동시키는 구동 장치(예컨대, 모터)이다. 제1 구동 장치(54)는 동력 전달 기구 및 클러치 기구(70)를 통해, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 접속되어 있다. 본 실시예에서는, 동력 전달 기구로서, 스프로켓(72a, 72b)과 체인(76)과 구동축(84)이 이용되고 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 스프로켓(72a, 72b)은 반송 방향으로 간격을 두고 회전 가능하게 배치되어 있다. 스프로켓(72a, 72b)에는 체인(76)이 가설되어 있다. 스프로켓(72a)에는 제1 구동 장치(54)가 접속되어 있고, 제1 구동 장치(54)의 회전이 스프로켓(72a)에 전달된다. 체인(76)에는 클러치 기구(70)를 통해 구동축(84)이 접속되어 있다. 구동축(84)에는 하나의 반송 롤러(52c)가 접속되어 있다. 반송 롤러(52c)는 종동 기어(86b, 86c)에 의해 인접하는 반송 롤러(52b, 52d)에 접속되어 있다. 이하, 마찬가지로, 종동 기어(86a, 86d)에 의해 인접하는 반송 롤러(52a, 52e)가 접속되고, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)의 전부에 구동축(84)의 회전이 전달 가능하게 되어 있다. 제1 구동 장치(54)의 구동력이 동력 전달 기구를 통해 반송 롤러(52)[제2 반송 구간(44)에 배치]에 전달되면, 반송 롤러(52)는 제1 속도(v1)로 회전하도록 되어 있다. 또한, 제1 구동 장치(54)의 구동력은, 상세히 후술하는 클러치 기구(70)에 의해, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 전달되는 상태와, 전달되지 않는 상태로 전환된다. 제1 구동 장치(54)는 제어 장치(60)에 의해 제어되고 있다.
제2 구동 장치(56)는 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52) 및 제3 반송 구간(46) 내에 배치된 반송 롤러(52)를 구동시키는 구동 장치(예컨대, 모터)이다. 제2 구동 장치(56)는 동력 전달 기구 및 클러치 기구(70)[단, 제2 반송 구간(44)의 반송 롤러(52)만]를 통해, 제2 반송 구간(44) 및 제3 반송 구간(46)에 배치된 반송 롤러(52)에 접속되어 있다. 구체적으로는, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에는, 스프로켓(78a, 78b)과 체인(82)과 구동축(84)이 동력 전달 기구로서 이용된다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 스프로켓(78a, 78b)은 반송 방향으로 간격을 두고 회전 가능하게 배치되어 있다. 스프로켓(78a, 78b)에는 체인(82)이 가설되어 있다. 스프로켓(78a)에는 제2 구동 장치(56)가 접속되어 있고, 제2 구동 장치(56)의 회전이 스프로켓(78a)에 전달된다. 체인(82)에는 클러치 기구(70)를 통해 구동축(84)이 접속되어 있다. 클러치 기구(70)는 구동축(84)에 체인(76)의 회전이 전달되는 상태와, 체인(82)의 회전이 전달되는 상태로 전환한다. 또한, 체인(82)에는 제3 반송 구간(46)에 배치된 반송 롤러(52f~52j··)의 각각이 결합되어 있다. 따라서, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 대해서는, 클러치 기구(70)에 의해, 제2 구동 장치(56)의 구동력이 전달되는 상태와 전달되지 않는 상태로 전환된다. 한편, 제3 반송 구간(46) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 대해서는, 제2 구동 장치(56)의 구동력이 항상 전달된다. 제2 구동 장치(56)의 구동력이 반송 롤러(52)에 전달되면, 반송 롤러(52)는 제2 속도(v2)로 회전하도록 되어 있다. 제2 구동 장치(56)는 제어 장치(60)에 의해 제어되고 있다.
제3 구동 장치(58)는 제1 반송 구간(42) 내에 배치된 반송 롤러(52)를 구동시키는 구동 장치(예컨대, 모터)이다. 제3 구동 장치(58)는 동력 전달 기구를 통해, 제1 반송 구간(42) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 접속되어 있다. 동력 전달 기구로서는, 공지의 것을 이용할 수 있고, 본 실시예에서는, 스프로켓과 체인에 의한 기구[제3 반송 구간(46)에 배치된 반송 롤러(52)에 동력을 전달하는 기구와 동일한 기구]가 이용되고 있다. 제3 구동 장치(58)의 구동력이 동력 전달 기구를 통해 반송 롤러(52)[제1 반송 구간(42)에 배치]에 전달되면, 반송 롤러(52)는 제3 속도(v3)[본 실시예에서는, 제2 속도(v2)와 같음]로 회전하도록 되어 있다. 제3 구동 장치(58)는 제어 장치(60)에 의해 제어되고 있다. 제1 구동 장치(54)와 제2 구동 장치(56)와 제3 구동 장치(58)는, 제어 장치(60)에 의해, 서로 독립적으로 구동이 가능하게 되어 있다.
도 3을 참조하여, 클러치 기구(70)에 대해서 설명한다. 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52a~52e)는, 클러치 기구(70)에 의해 제1 구동 장치(54) 또는 제2 구동 장치(56)의 구동력이 선택적으로 전달된다.
전술한 바와 같이, 제1 구동 장치(54)의 구동력은 스프로켓(72a)에 전달되고, 스프로켓(72a)에 전달된 구동력은 체인(76)을 통해 스프로켓(72c)에 전달된다. 또한, 제2 구동 장치(56)의 구동력은 스프로켓(78a)에 전달되고, 스프로켓(78a)에 전달된 구동력은 체인(82)을 통해 스프로켓(78c)에 전달된다.
클러치 기구(70)는 제1 구동 장치(54)의 구동력을 전달하는 스프로켓(72b)과, 스프로켓(72b)에 인접하는 캠 클러치(74)와, 제2 구동 장치(56)의 구동력을 전달하는 스프로켓(78b)과, 스프로켓(78b)에 인접하는 캠 클러치(80)를 구비하고 있다. 스프로켓(72b)은 체인(76)에 결합되어 있고, 스프로켓(78b)은 체인(82)에 결합되어 있다. 체인(76)의 회전[즉, 제1 구동 장치(54)의 구동력]은 스프로켓(72b)에 전달되고, 체인(82)의 회전[즉, 제2 구동 장치(56)의 구동력]은 스프로켓(78b)에 전달된다.
캠 클러치(74, 80)는 링형의 부재이며, 외륜과 내륜을 가지고 있다. 캠 클러치(74)는 외륜에 있어서 스프로켓(72b)에 고정되어 있고, 내륜에 있어서 구동축(84)에 고정되어 있다. 캠 클러치(80)는 외륜에 있어서 스프로켓(78b)에 고정되어 있고, 내륜에 있어서 구동축(84)에 고정되어 있다. 캠 클러치(74, 80)는 외륜으로부터의 구동력을 내륜에 전달 가능하게 되는 한편, 내륜이 외륜에 대하여 공전함으로써 내륜으로부터의 구동력을 외륜에 전달하지 않는 구성으로 되어 있다. 즉, 캠 클러치(74, 80)는 그 외륜이 내륜을 압박함으로써, 스프로켓(72b, 78b)으로부터 구동축(84)에의 구동력의 전달이 가능해진다. 한편, 외륜을 내륜에 압박하는 힘을 해방하면, 내륜에 대하여 외륜이 공전하여, 스프로켓(72b, 78b)으로부터 구동축(84)[혹은, 구동축(84)으로부터 스프로켓(72b, 78b)]에의 구동력의 전달이 불능해진다. 따라서, 캠 클러치(74, 80) 중 어느 한쪽을 작동시킴으로써, 스프로켓(72b)으로부터 구동축(84)에 구동력이 전달되는 상태와, 스프로켓(78b)으로부터 구동축(84)에 구동력이 전달되는 상태로 전환된다. 구체적으로는, 캠 클러치(74)가 작동하여, 스프로켓(72b)의 구동력이 구동축(84)에 전달되는 경우에는, 캠 클러치(80)가 작동하지 않아, 스프로켓(78b)의 구동력은 구동축(84)으로부터 캠 클러치(80)의 내륜에 전달되지 않는다. 또한, 캠 클러치(80)가 작동하여, 스프로켓(78b)의 구동력이 구동축(84)에 전달되는 경우에는, 캠 클러치(74)가 작동하지 않아, 스프로켓(72b)의 구동력은 구동축(84)으로부터 캠 클러치(74)의 내륜에 전달되지 않는다. 따라서, 캠 클러치(74, 80)의 작동 상태를 전환함으로써, 구동축(84)에 전달되는 구동력을 선택할 수 있다. 즉, 캠 클러치(74)를 작동시키면, 스프로켓(72b)에 전달되는 구동력이 구동축(84)에 전달된다. 즉, 제1 구동 장치(54)의 구동력이 구동축(84)에 전달된다. 캠 클러치(80)를 작동시키면, 스프로켓(78b)에 전달되는 구동력이 구동축(84)에 전달된다. 즉, 제2 구동 장치(56)의 구동력이 구동축(84)에 전달된다.
이와 같이, 클러치 기구(70)에 의해 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52a~52e)의 구동 속도를 전환함으로써, 제1 구동 장치(54)와 제2 구동 장치(56)의 회전 속도를 변화시키는 일없이, 반송 롤러(52)의 회전 속도를 변경할 수 있다. 이 때문에, 반송 롤러(52)의 회전 속도를 고속으로 전환하는 것이 가능해진다.
다음에, 피처리물(12)을 열 처리할 때의 열 처리로(10)의 동작에 대해서 설명한다. 피처리물(12)을 열 처리하기 위해서는, 먼저, 히터(34a~34d)를 작동시켜, 제1 공간(30)과 제2 공간(32)의 분위기 온도를 설정한 온도로 한다. 다음에, 반송 롤러(52) 상에 피처리물(12)을 배치한 세터(14)를 놓는다. 반송 장치(40)[즉, 제1 구동 장치(54), 제2 구동 장치(56), 제3 구동 장치(58)]를 작동시켜, 열 처리로(10)의 개구(24)로부터, 제1 공간(30), 연통 통로(36) 및 제2 공간(32)을 통하여, 열 처리로(10)의 개구(26)까지 피처리물(12)을 반송한다. 이에 의해, 피처리물(12)이 열 처리된다. 본 실시예에서는, 제2 반송 구간(44)에 있어서의 피처리물(12)의 반송 속도(v1)는, 제1 반송 구간(42)과 제3 반송 구간(46)에 있어서의 피처리물(12)의 반송 속도[v2(=v3)]보다 크게 된다. 즉, 반송 장치(40)에 의해 세터(14)[피처리물(12)]의 반송이 개시되면, 제어 장치(60)는 제1 센서(16)의 출력 신호로부터, 제1 센서(16)가 세터(14)의 선단을 검지하였는지의 여부를 감시한다. 제1 센서(16)에 의해 세터(14)의 선단이 검지될 때까지는, 제어 장치(60)는 클러치 기구(70)를 제어하여, 제2 구동 장치(56)의 구동력이 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 전달되는 상태로 한다. 이 때문에, 반송 장치(40)의 모든 반송 롤러(52)는, 동일한 반송 속도[v2(=v3)]로 세터(14)[피처리물(12)]를 반송한다. 제1 센서(16)에 의해 세터(14)의 선단이 검지되면, 제어 장치(60)는 클러치 기구(70)를 제어하여, 제1 구동 장치(54)의 구동력이 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 전달되는 상태로 한다. 이에 의해, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 제1 구동 장치(54)의 구동력이 전달되고, 세터(14)[피처리물(12)]는 반송 속도(v1)[＞반송 속도(v2)]로 반송된다. 다음에, 제어 장치(60)는 제2 센서(17)의 출력 신호로부터, 제2 센서(17)가 세터(14)의 후단을 검지하였는지의 여부를 감시한다. 제2 센서(17)에 의해 세터(14)의 후단이 검지되면, 제어 장치(60)는 클러치 기구(70)를 제어하여, 제2 구동 장치(56)의 구동력이 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)에 전달되는 상태로 한다. 이에 의해, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)의 회전 속도가 전환되고, 세터(14)[피처리물(12)]는 반송 속도(v2)[＜반송 속도(v1)]로 열 처리로(10)의 개구(26)까지 반송된다.
전술한 설명으로부터 분명한 바와 같이, 본 실시예의 열 처리로(10)에서는, 제1 공간(30)의 분위기 온도에 대하여 제2 공간(32)의 분위기 온도가 높게 설정된다. 또한, 제2 반송 구간(44)에 있어서의 피처리물(12)의 반송 속도(v1)가, 제1 반송 구간(42)과 제3 반송 구간(46)에 있어서의 피처리물(12)의 반송 속도(v2)보다 크게 된다. 이에 의해, 피처리물(12)을, 제1 공간(30)의 분위기 온도로부터 제2 공간(32)의 분위기 온도까지 급속하게 승온시킬 수 있다. 예컨대, 본 실시예의 열 처리로(10)는 이하의 조건으로 운전을 행할 수 있다. 즉, 제1 공간(30)의 분위기 온도를 500℃로 하고, 제2 공간(32)의 분위기 온도를 1000℃로 한다. 이때, 제1 공간(30)과 제2 공간(32)의 온도차(ΔT)는 500℃가 된다. 또한, 제1 센서(16)와 제2 센서(17)의 거리(x)를 250 ㎜로 하고, 제1 속도(v1)를 3000 ㎜/분으로 한다. 여기서, 승온 속도는 온도차(ΔT)를, 피처리물(12)이 거리(x)를 제1 속도(v1)로 진행하는 시간(x/v1)으로 나눈 값, 즉 ΔT×v1/x로서 산출된다. 상기 조건으로 열 처리로(10)를 운전하면, 승온 속도는 약 6000℃/분이 되고, 피처리물(12)을, 제1 공간(30)의 분위기 온도로부터 제2 공간(32)의 분위기 온도까지 급속하게 승온시키는 것이 가능해진다. 상기 설명으로부터 분명한 바와 같이, 제1 속도(v1)를 빠르게 하면 할수록, 피처리물(12)의 승온 속도가 커진다. 또한, 상기 운전 조건은 일례이며, 이것에 한정되는 것이 아니다.
또한, 본 실시예의 열 처리로(10)에서는, 제1 센서(16)로 세터(14)의 선단을 검지할 때까지는, 제2 반송 구간(44) 내의 반송 롤러(52)는, 제1 반송 구간(42) 내의 반송 롤러(52)와 동일한 속도로 회전한다. 즉, 세터(14)가 완전하게 제2 반송 구간(44) 내에 반송될 때까지는, 제2 반송 구간(44) 내의 반송 롤러(52)의 회전 속도가 전환되는 일은 없다. 세터(14)가 상이한 회전 속도로 회전하는 반송 롤러(52) 상에 놓이면, 세터(14)가 반송 방향에 대하여 기울어, 세터(14)의 사행의 원인이 된다. 본 실시예에서는, 세터(14)가 제2 반송 구간(44)으로 완전하게 이동하고 나서, 제2 반송 구간(44) 내의 반송 롤러(52)의 회전 속도가 전환되기 때문에, 세터(14)가 사행하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 제1 반송 구간(42)에 있어서의 세터(14)의 반송 속도(v3)의 크기에 따라서는, 제2 반송 구간(44)에서 세터(14)를 고속 반송하는 동안에, 제1 반송 구간(42) 내를 반송되는 세터(14)의 일부가 제2 반송 구간(44) 내의 반송 롤러(52) 상으로 이동할 가능성이 있다. 즉, 본 실시예의 열 처리로(10)에서는, 세터(14)[피처리물(12)]를 반송 롤러(52) 상에 반송 방향으로 배열하여 배치하고, 반송 롤러(52)에 의해 복수의 세터(14)를 동시에 반송한다. 이 때문에, 제2 반송 구간(44)에서 세터(14)를 고속 반송하는 동안에, 제1 반송 구간(42) 내에서 반송되는 세터(14)[고속 반송되는 세터(14)의 직후에 반송되는 세터(14)]의 일부가 제2 반송 구간(44) 내의 반송 롤러(52) 상으로 이동할 가능성이 있다. 그래서, 본 실시예의 열 처리로(10)에서는, 제1 반송 구간(42)에 있어서의 세터(14)의 반송 속도(v3)에 따라, 제1 반송 구간(42) 내의 반송 롤러(52)를 구동시키는 제3 구동 장치(58)의 구동을 온-오프 제어한다. 이것을 도 4~도 6을 참조하여 설명한다.
먼저, 제2 반송 구간(44)에서 세터(14)를 반송 속도(v1)로 고속 반송하는 동안에, 제1 반송 구간(42) 내에서 반송되는 세터(14)[고속 반송되는 세터(14)의 직후에 반송되는 세터(14)]가 제2 반송 구간(44) 내의 반송 롤러(52) 상으로 이동하여 버리는 조건에 대해서 설명한다. 도 4는 제2 반송 구간(44)에 반송되어 고속 반송 개시 시의 세터(14a)와, 세터(14a)의 직후에 반송되고 있는 세터(14b)를 더불어 나타내는 도면이다. 세터(14a)는 제2 반송 구간(44)을 이동하는 동안, 반송 속도(v1)로 반송된다. 이 때문에, 세터(14a)가 반송 속도(v1)로 반송되는 시간(t)은 L/v1이 된다[L은 세터(14a)가 고속 반송되는 거리(도 5에 도시)]. 따라서, 세터(14a)가 고속 반송되는 동안에 세터(14b)가 이동하는 거리는 v3×L/v1이 된다. 여기서, 세터(14a)의 고속 반송 개시 시에 있어서의 세터(14b)의 위치는, 그 선단이 반송 롤러(52b2)와 반송 롤러(52a1)의 중간의 위치보다 개구(24)측의 위치가 된다. 즉, 세터(14a)와 세터(14b)가 반송 방향으로 간극없이 배치되어 개구(24)로부터 열 처리로(10)에 투입되는 경우, 세터(14a)의 고속 반송 개시 시에 있어서의 세터(14b)의 선단의 위치는 반송 롤러(52b2)와 반송 롤러(52a1)의 중간의 위치가 된다. 따라서, 전술한 세터(14b)의 이동 거리(v3×L/v1)가 p/2[p: 반송 롤러(52)의 간격(피치)]보다 작으면(즉, v3×L/v1＜p/2가 되면), 세터(14a)를 고속 반송하고 있는 동안에, 세터(14b)가 제2 반송 구간(44)의 반송 롤러(52a1) 상에 놓이는 일은 없다. 즉, v3<(p/2L)×v1이면, 세터(14b)를 반송 속도(v3)로 이어서 반송해도, 세터(14a)의 고속 반송 중에 세터(14b)가 반송 롤러(52a1) 상에 놓이는 일은 없다. 이 때문에, 본 실시예에서는, v3＜(p/2L)×v1이면, 제2 반송 구간(44) 내에서 세터(14)가 고속 반송되는 동안도, 제1 반송 구간(42) 내의 반송 롤러(52)의 반송 속도(v3)로의 구동을 계속한다. 한편, v3≥(p/2L)×v1이면, 제2 반송 구간(44) 내에서 세터(14)가 고속 반송되는 동안, 제1 반송 구간(42) 내의 반송 롤러(52)의 구동을 정지한다[반송 속도(v3)=0]. 이에 의해, 세터(14b)가 고속 회전하고 있는 반송 롤러(52a1) 상에 놓이는 것이 방지되어, 세터(14b)의 사행의 억제가 도모되고 있다.
먼저, 도 5를 참조하여, v3＜(p/2L)×v1이 되는 경우, 즉 제2 반송 구간(44)에서 세터(14)가 고속 반송되고 있는 동안도, 제1 반송 구간(42) 내에 배치된 반송 롤러(52)의 구동을 계속하는 경우에 있어서의, 피처리물(12)의 반송 상태에 대해서 설명한다. 도 5의 (a)는 클러치 기구(70)가 제2 상태로부터 제1 상태로 전환되는 시점을 나타내고 있고, 도 5의 (b)는 클러치 기구(70)가 제1 상태로부터 제2 상태로 전환되는 시점을 나타내고 있다. 즉, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)는, 도 5의 (a)의 상태가 될 때까지는 반송 속도[v2(=v3)]로 구동된다. 제1 센서(16)가 세터(14b)의 선단을 검지하면, 클러치 기구(70)가 작동하여, 세터(14b)는 반송 속도[v1(＞v2)]로 반송된다. 그리고, 제2 센서(17)가 세터(14b)의 후단을 검지하면, 클러치 기구(70)가 작동하여, 세터(14b)는 반송 속도(v2)로 반송되는 상태가 된다[도 5의 (b)의 상태]. 도 5에 있어서, 세터(14a~14c)는 연속하여 반송되는 세터(14)를 나타내고 있다.
세터(14b)가 제1 공간(30)에 투입되어 도 5의 (a)에 나타내는 상태가 될 때까지에 대해서 설명한다. 세터(14b)는 제1 반송 구간(42)으로부터 제2 반송 구간(44)을 향하여 반송된다. 이때, 제2 반송 구간(44) 내는, 클러치 기구(70)에 의해 제2 상태가 선택되어 있기 때문에, 세터(14b)는 반송 속도(v2)로 반송된다. 이 때문에, 제1 반송 구간(42) 내는 반송 속도[v3(=v2)]로 반송되기 때문에, 전체 구간(42, 44, 46)이 동일한 반송 속도(v2)로 반송되게 된다. 즉, 이 상태는 세터(14b)의 반송 방향(도 5의 우측 방향)의 선단이 제1 센서(16)에 검지될 때까지 유지된다.
세터(14a)는 세터(14b)의 가장 가까운 상류(도 5의 좌측)에 위치하고 있다. 세터(14a)는 제1 반송 구간(42) 내에서 세터(14b)에 이어서 반송 속도[v3(=v2)]로 반송된다. 세터(14b)가 제1 센서(16)에 검지될 때, 세터(14a)의 선단은 제1 위치(48)와 대략 일치한다.
세터(14c)는 세터(14b)의 가장 가까운 하류(도 5의 우측)에 위치하고 있다. 세터(14c)는 제2 반송 구간(44)으로부터 제3 반송 구간(46)에 반송되고 있다. 이때, 제2 반송 구간(44) 내는 제2 상태가 선택되어 있기 때문에, 세터(14c)는 반송 속도[v2(=v3)]로 반송된다. 세터(14b)가 제1 센서(16)에 검지될 때, 세터(14c)의 후단은 제2 위치(50)로부터 거리(l3) 상류에 위치한다.
다음에, 도 5의 (a)에 나타내는 상태로부터 도 5의 (b)에 나타내는 상태가 될 때까지에 대해서 설명한다. 세터(14b)는 제2 반송 구간(44) 내에서 반송 속도(v1)로 반송된다. 즉, 세터(14b)의 선단이 제1 센서(16)에 검지되면, 클러치 기구(70)가 제2 상태로부터 제1 상태로 전환되고, 세터(14b)는 반송 속도(v1)로 반송된다. 이 상태는 세터(14b)의 반송 방향의 후단이 제2 센서(17)에 검지될 때까지 유지된다[도 5의 (b)에 나타내는 상태]. 이때의 시간을 t로 하고, 세터(14b)의 반송 거리를 L로 하면, L=v1×t가 성립하게 된다.
한편, 세터(14a)는 제1 반송 구간(42) 내에서 반송 속도[v3(=v2)]로 반송되고, 그 반송 거리를 l1로 하면, l1=v3×t가 성립한다. 여기서, 거리(l1)가 피치(p)의 절반의 거리보다 큰 경우, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)가 반송 속도(v1)로 구동되고 있는 동안에, 세터(14a)가 제2 반송 구간(44) 내에 배치되어 있는 반송 롤러(52)에 접촉하게 된다. 그렇게 되면, 세터(14a)는 반송 속도(v1)로 구동되는 반송 롤러(52)와 반송 속도[v3(=v2)]로 구동되고 있는 반송 롤러(52)에 배치된 상태가 된다. 이 경우에는, 세터(14a)와 반송 롤러(52) 사이에 미끄럼이 생겨, 세터(14a)가 사행할 우려가 있다. 도 5에 나타내는 예에서는, v3＜(p/2L)×v1이기 때문에, l1＜p/2가 성립한다. 이 때문에, 세터(14a)의 반송 속도(v3)에서의 반송을 계속할 수 있다.
세터(14c)는 제3 반송 구간(46) 내에서 반송 속도[v2(=v3)]로 반송되고, 그 반송 거리를 l3으로 하면, l3=v2×t가 성립한다. 세터(14c)는 거리[l3(=l1)]를 반송되기 때문에, 세터(14c)와 세터(14b)의 간격은 유지된다. 이 때문에, 세터(14b)는 세터(14c)에 충돌하는 일없이 반송된다.
마지막으로, 도 5의 (b)에 나타내는 상태로부터 도 5의 (a)에 나타내는 상태가 될 때까지에 대해서 설명한다. 세터(14b)의 후단이 제2 센서(17)에 검지되면, 클러치 기구(70)가 제1 상태로부터 제2 상태로 전환되기 때문에, 제2 반송 구간(44) 내는 반송 속도[v2(=v3)]가 되고, 제1 반송 구간(42), 제2 반송 구간(44) 및 제3 반송 구간(46)은 전부 동일한 속도가 된다. 이 상태는 세터(14b)의 연속하는 가장 가까운 상류의 세터(14a)가 제1 센서(16)에 검지될 때까지 유지된다.
세터(14a)[도 5의 (b)에 나타내는 상태]는 제1 반송 구간(42)으로부터 제2 반송 구간(44)에 반송된다. 세터(14a)는 제1 반송 구간(42) 및 제2 반송 구간(44)에서 반송 속도[v3(=v2)]로 반송된다. 이 상태는 세터(14a)의 선단이 제1 센서(16)에 검지될 때까지 유지되기 때문에, 도 5의 (b)에 나타내는 세터(14a)는 도 5의 (a)에 나타내는 세터(14b)의 위치까지 반송되게 된다. 이때의 세터(14a)의 반송 거리는, 세터(14)의 1장분의 길이(반송 방향의 치수)보다 거리(l1) 짧아진다.
세터(14b)[도 5의 (b)에 나타내는 상태]는 반송 속도(v2)[즉, 반송 속도(v3)]로 제2 반송 구간(44)으로부터 제3 반송 구간(46)에 반송된다. 이때, 세터(14b)는 세터(14a)와 동일한 거리로 반송되기 때문에, 도 5의 (b)에 나타내는 세터(14b)는 도 5의 (a)의 세터(14c)의 위치까지 반송되게 된다.
도 5의 (b)에 나타내는 세터(14a)의 더욱 상류에는, 다음 세터(14)가 연속하여 반송된다. 이 세터(14)는 도 5의 (a)의 세터(14a)의 상태까지 반송된다. 이와 같이 하여, 도 5의 (b)에 나타내는 상태로부터, 도 5의 (a)에 나타내는 상태가 된다. 따라서, 반송 속도(v3)를 (p/2L)×v1보다 작아지도록 설정되는 경우, 제1 반송 구간(42)의 반송 롤러(52)의 구동을 정지하는 일없이 연속하여 피처리물(12)을 반송할 수 있다.
도 6을 참조하여, v3≥(p/2L)×v1이 되는 경우, 즉 클러치 기구(70)가 제1 상태를 선택하고 있을 때에, 제1 반송 구간(42) 내에 배치된 반송 롤러(52)의 구동을 정지하는 경우에 대해서 설명한다. 또한, 도 5를 이용하여 설명한 내용과 중복하는 설명에 대해서는 생략한다. 도 6의 (a)는 클러치 기구(70)가 제2 상태로부터 제1 상태로 전환되는 시점을 나타내고 있고, 도 6의 (b)는 클러치 기구(70)가 제1 상태로부터 제2 상태로 전환되는 시점을 나타내고 있다.
먼저, 세터(14b)가 제1 공간(30)에 투입되어 도 6의 (a)에 나타내는 상태가 될 때까지에 대해서 설명한다. 세터(14a, 14b)에 대해서는, 도 5의 (a)를 이용한 설명과 동일하기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 세터(14c)는 반송 속도(v2)[즉, 반송 속도(v3)]로 제2 반송 구간(44)으로부터 제3 반송 구간(46)에 반송되고, 세터(14b)가 제1 센서(16)에 검지될 때, 세터(14c)의 후단은 제2 위치(50)와 대략 일치한다.
다음에, 도 6의 (a)에 나타내는 상태로부터 도 6의 (b)에 나타내는 상태가 될 때까지에 대해서 설명한다. 세터(14b)는 도 5를 이용한 설명과 동일하기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.
세터(14a)는 v3≥p×v1/2L이 성립하는 경우, 클러치 기구(70)가 제1 상태를 선택하고 있는 동안, 도 6의 (a)에 나타내는 상태로 정지한다. 전술한 바와 같이, 제2 반송 구간(44) 내에 배치된 반송 롤러(52)가 구동 속도(v1)로 구동되는 시간(t) 동안, 세터(14a)가 반송 속도(v3)로 반송되는 거리(l1)가, 반송 롤러(52) 사이의 피치(p)의 절반의 거리보다 큰 경우, 세터(14a)가 제2 반송 구간(44) 내에 배치되는 반송 롤러(52)에 접촉하게 된다. 즉, v3≥p×v1/2L이 성립하는 경우, 세터(14a)가 사행하거나, 하류의 세터(14b)에 충돌하거나 할 가능성이 있다. 이 때문에, 상기 식 v3≥p×v1/2L이 성립하는 경우에는, 클러치 기구(70)가 제1 상태를 선택하고 있는 동안, 세터(14a)가 반송되지 않도록 제3 구동 장치(58)의 동작은 정지된다. 이로부터, 상기 가능성을 사전에 회피할 수 있다.
세터(14c)는 제3 반송 구간(46) 내에서 반송 속도(v2)[즉, 반송 속도(v3)]로 반송된다. 이 때문에, 세터(14c)는 제2 위치(50)로부터 거리(l3) 하류에 위치한다. 구체적으로는, 세터(14c)의 후단은 제2 위치(50)로부터 13(=v2×t)만큼 제3 반송 구간(46)측으로 떨어진 위치보다 더욱 제3 반송 구간(46)측에 위치하고 있다.
마지막으로, 도 6의 (b)에 나타내는 상태로부터 도 6의 (a)에 나타내는 상태가 될 때까지에 대해서 설명한다. 세터(14a)[도 6의 (b)에 나타내는 상태]는 제1 반송 구간(42)으로부터 제2 반송 구간(44)에 반송 속도(v3)로 반송된다. 이것은, 세터(14a)가 제1 센서(16)에 검지될 때까지 유지되기 때문에, 도 6의 (b)에 나타내는 세터(14a)는, 도 6의 (a)에 나타내는 세터(14b)의 위치까지 반송되게 된다. 이때의 세터(14a)의 반송 거리는, 세터(14)의 1장분의 길이(반송 방향의 치수)와 대략 동일해진다.
세터(14b)[도 6의 (b)에 나타내는 상태]는, 반송 속도(v2)[즉, 반송 속도(v3)]로 제2 반송 구간(44)으로부터 제3 반송 구간(46)에 반송된다. 이때, 세터(14b)는 세터(14a)와 동일한 거리를 반송되기 때문에, 도 6의 (b)에 나타내는 세터(14b)는 도 6의 (a)에 나타내는 세터(14c)의 위치까지 반송되게 된다.
도 6의 (b)에 나타내는 세터(14a)의 더욱 상류에는, 다음 세터(14)가 연속하여 반송되고 있다. 이 세터(14)는 도 6의 (a)에 나타내는 세터(14a)의 위치까지 반송된다. 이와 같이 하여, 도 6의 (b)에 나타내는 상태로부터, 도 6의 (a)에 나타내는 상태가 된다. 따라서, v3≥p×v1/2L이 성립하는 경우, 클러치 기구(70)가 제1 상태를 선택하고 있는 동안, 제3 구동 장치(58)의 동작을 정지함으로써, 세터(14)의 사행이나, 세터(14)끼리의 충돌을 회피할 수 있다. 이에 의해, 도 6의 (a)와 도 6의 (b)의 상태를 반복하여, 연속하여 피처리물(12)을 안전하게 열 처리할 수 있다.
또한, 전술한 실시예에서는, v3≥(p/2L)×v1이 되는 경우, 제2 반송 구간(44) 내에서 세터(14)가 고속 반송되는 동안, 제1 반송 구간(42) 내의 반송 롤러(52)의 구동을 정지하였지만, 이러한 형태에 한정되지 않는다. 예컨대, v3≥(p/2L)×v1이 되는 경우, 제2 반송 구간(44) 내에서 세터(14)가 고속 반송되는 동안, 제1 반송 구간(42) 내의 세터(14)의 반송 속도를 저하시켜 반송 롤러(52)의 구동을 계속하여도 좋다. 이러한 구성에 의해서도, 세터(14)의 반송 속도가 작게 억제되기 때문에, 세터(14)의 사행 등을 방지할 수 있다.
전술한 실시예에서는, 세터(14)가 제2 센서(17)에 검지된 후, 클러치 기구(70)를 제2 상태로 전환하였지만, 이러한 형태에 한정되지 않는다. 예컨대, 세터(14)의 선단이 제1 센서(16)에 검지되고, 클러치 기구(70)가 제1 상태로 전환된 후, 피처리물(12)이 제2 반송 구간(44)에서 반송되는 소정 시간만큼, 클러치 기구(70)가 제1 상태를 유지하고 있어도 좋다. 제2 반송 구간(44)의 거리(L)와 제1 속도(v1)로부터, 피처리물(12)이 제1 속도(v1)로 제2 반송 구간(44)에서 반송되는 시간(t)을 산출할 수 있다. 이 때문에, 세터(14)의 선단이 제1 센서(16)에 검지된 후, 시간(t) 동안만 클러치 기구(70)를 제1 상태로 유지하고, 시간(t) 경과 후, 클러치 기구(70)를 제2 상태로 전환할 수 있다. 이러한 구성에 따르면, 제2 센서(17)를 설치하는 일없이, 클러치 기구(70)가 제1 상태를 유지하는 시간을 제어함으로써, 클러치 기구(70)를 적절한 타이밍에 제1 상태로부터 제2 상태로 전환할 수 있다.
전술한 실시예에서는, 제1 반송 구간(42)의 반송 속도(v3)와 제3 반송 구간(46)의 반송 속도(v2)를 동일한 속도로 하였지만, 반송 속도(v3)와 반송 속도(v2)를 상이한 속도로 하여도 좋다. 이 경우, 세터(14)끼리가 충돌하지 않도록[즉, 세터(14)의 간격이 적절한 간격이 되도록], 제2 반송 구간(44)에 세터(14)가 반송되는 동안, 제1 반송 구간(42)의 세터(14)의 반송 속도(v3)를 적절하게 제어하면 좋다. 또한, 열 처리로(10) 내에 형성되는 공간은 2개의 공간(30, 32)에 한정되지 않고, 3 이상의 공간으로 분할되어 있어도 좋다. 또한, 피처리물(12)을 반송하는 반송 구간도 3개의 구간(42, 44, 46)에 한정되지 않고, 4 이상의 반송 구간으로 분할되어 있어도 좋다.
또한, 상기 실시예에서는, 제1 공간(30)과 제2 공간(32)을 격리하는 격벽이 하나의 격벽(22)에 의해 구성되어 있지만, 본 명세서에 개시된 기술은 이러한 형태에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 7의 (a)~(d)에 나타내는 바와 같이, 2개의 격벽(122a, 122b)에 의해 제1 공간(30)과 제2 공간(32)을 격리하여도 좋다. 제1 격벽(122a)은 제1 공간(30)측에 배치되어 있고, 제2 격벽(122b)은 제2 공간(32)측에 배치되어 있다. 제1 격벽(122a)은 연통 통로(36)의 제1 반송 구간(42)과 제2 반송 구간(44)의 경계를 획정하고 있다. 제2 격벽(122b)은 제2 반송 구간(44)과 제3 반송 구간(46)의 경계를 획정하고 있다.
제1 센서(116)는 제1 격벽(122a)의 근방에 배치된다. 구체적으로는, 제1 센서(116)는 제1 격벽(122a)의 제1 반송 구간(42)측[도 7의 (a) 및 (b)에 나타내는 위치]에 배치되어도 좋고, 제1 격벽(122a)과 제2 격벽(122b) 사이[도 7의 (c) 및 (d)에 나타내는 위치]에 배치되어도 좋다. 도 7의 (a)~(d) 중 어느 경우라도, 세터(14)의 반송 방향의 선단을 제1 센서(116)가 검지하였는지의 여부에 따라, 클러치 기구(70)의 상태를 전환할 수 있다.
제2 센서(117)는 제2 격벽(122b)의 근방에 배치된다. 구체적으로는, 제2 센서(117)는 제2 격벽(122b)의 제3 반송 구간(46)측[도 7의 (a) 및 (c)에 나타내는 위치]에 배치되어도 좋고, 제1 격벽(122a)과 제2 격벽(122b) 사이[도 7의 (b) 및 (d)에 나타내는 위치]에 배치되어도 좋다. 이러한 경우라도, 세터(14)의 반송 방향의 후단이 제2 센서(117)에 검지됨으로써, 클러치 기구(70)의 상태를 전환할 수 있다. 또한, 도 7에 나타내는 예에 있어서도, 제2 센서(117)를 설치하는 일없이, 제2 반송 구간(44)에 제1 속도(v1)로 반송되는 시간으로 제어함으로써, 클러치 기구(70)를 제1 상태로부터 제2 상태로 전환하여도 좋다.
이상, 본 명세서에 개시된 기술의 구체예를 상세하게 설명하였지만, 이들은 예시에 지나지 않고, 청구범위를 한정하는 것이 아니다. 청구범위에 기재된 기술에는, 이상에 예시한 구체예를 여러 가지로 변형, 변경한 것이 포함된다. 또한, 본 명세서 또는 도면에 설명한 기술 요소는, 단독으로 혹은 각종의 조합에 의해 기술적 유용성을 발휘하는 것으로, 출원 시 청구항에 기재된 조합에 한정되는 것이 아니다. 또한, 본 명세서 또는 도면에 예시한 기술은 복수 목적을 동시에 달성하는 것으로, 그 중 하나의 목적을 달성하는 것 자체로 기술적 유용성을 갖는 것이다.

Claims (15)

  1. 피처리물을 열 처리하는 열 처리로로서,
    상기 피처리물을 반송(搬送)하는 반송 장치를 구비하고,
    상기 피처리물을 반송하는 반송 경로는 제1 반송 구간과, 상기 제1 반송 구간에 인접하여 마련된 제2 반송 구간과, 상기 제2 반송 구간에 인접하여 마련된 제3 반송 구간으로 구분되어 있으며,
    상기 피처리물은 상기 제1 반송 구간으로부터 상기 제2 반송 구간을 통하여 상기 제3 반송 구간에 반송되도록 되어 있고,
    상기 반송 장치는,
    상기 제1 반송 구간, 상기 제2 반송 구간 및 상기 제3 반송 구간에 설치되어, 상기 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 반송 롤러와,
    상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러를, 제1 속도로 구동 가능한 제1 구동 장치와,
    상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러와, 상기 제1 반송 구간 내와 상기 제3 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러 중 적어도 일부를, 상기 제1 속도와는 상이한 제2 속도로 구동 가능한 제2 구동 장치와,
    상기 제1 구동 장치의 구동력이 상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러에 전달되는 제1 상태와, 상기 제2 구동 장치의 구동력이 상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러 및 상기 제1 반송 구간 내와 상기 제3 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러 중 적어도 일부에 전달되는 제2 상태로 전환하는 클러치 기구를 구비하는 것인 열 처리로.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 구동 장치는, 상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러와, 상기 제3 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러 중 적어도 일부를 구동 가능하게 되어 있고,
    상기 반송 장치는, 상기 제1 반송 구간에 배치된 상기 반송 롤러를 제3 속도로 구동시키는 제3 구동 장치를 더 구비하며,
    상기 제3 구동 장치는, 상기 제1 구동 장치 및 상기 제2 구동 장치로부터 독립하여 구동 가능하게 되어 있는 것인 열 처리로.
  3. 제2항에 있어서, 상기 반송 장치는, 상기 피처리물을 연속하여 반송 가능하게 구성되며, 상기 제3 구동 장치를 제어하는 제어 장치를 더 구비하고,
    상기 제어 장치는, 상기 클러치 기구에 의해 상기 제1 상태가 되어 상기 제2 반송 구간에서 상기 피처리물이 반송되는 경우에, 상기 피처리물의 상류에 위치하는 가장 가까운 다른 피처리물이 상기 제2 반송 구간에 반송되지 않도록, 상기 제3 구동 장치에 의해 상기 제1 반송 구간에 배치된 상기 반송 롤러의 구동 속도를 제어하는 것인 열 처리로.
  4. 제3항에 있어서, 상기 복수의 반송 롤러는 반송 방향으로 미리 정해진 피치(p)의 간격을 두고 배치되어 있고,
    상기 클러치 기구에 의해 상기 제1 상태가 되어 상기 제2 반송 구간에서 상기 피처리물이 반송되는 거리를 L로 하고, 상기 제1 속도를 v1로 하고, 상기 제3 속도를 v3으로 하면,
    상기 제어 장치는, 상기 클러치 기구에 의해 상기 제1 상태가 되어 상기 제2 반송 구간에서 상기 피처리물이 반송되는 경우로서, v3≥p×v1/2L이 성립할 때는, 상기 제3 구동 장치의 동작을 정지하는 것인 열 처리로.
  5. 반송 경로를 따라 피처리물을 반송하는 반송 장치를 구비하는 열 처리로로서,
    상기 반송 경로는, 제1 반송 구간과, 상기 제1 반송 구간에 인접하여 마련된 제2 반송 구간을 구비하고,
    상기 피처리물은, 상기 제1 반송 구간으로부터 상기 제2 반송 구간에 반송되도록 되어 있고,
    상기 반송 장치는,
    상기 제1 반송 구간 및 상기 제2 반송 구간에 설치되어, 상기 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 반송 롤러와,
    상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러를, 제1 속도(v1)로 구동 가능한 제1 구동 장치와,
    상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러와, 상기 제1 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러를, 상기 제1 속도(v1)와는 상이한 제3 속도(v3)로 구동 가능한 제2 구동 장치와,
    상기 제1 구동 장치의 구동력이 상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러에 전달되는 제1 상태와, 상기 제2 구동 장치의 구동력이 상기 제1 반송 구간 내와 상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러에 전달되는 제2 상태로 전환하는 클러치 기구를 구비하는 것인, 상기 열 처리로를 이용하여 상기 피처리물을 열 처리하는 방법으로서,
    상기 클러치 기구를 상기 제2 상태로 함으로써, 상기 피처리물이 상기 제1 반송 구간에서 반송되는 제1 반송 공정과,
    상기 제1 반송 공정 후에, 상기 클러치 기구를 상기 제2 상태로부터 상기 제1 상태로 함으로써, 상기 피처리물이 상기 제2 반송 구간에서 반송되는 제2 반송 공정
    을 포함하는 피처리물의 열 처리 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 열 처리로는 상기 피처리물이 상기 제1 반송 구간과 상기 제2 반송 구간의 경계에 설정한 제1 위치까지 반송된 것을 검지하는 제1 센서를 구비하고,
    상기 제1 센서에 의해 상기 피처리물을 검지하였을 때에, 상기 클러치 기구를 상기 제2 상태로부터 상기 제1 상태로 함으로써 상기 제2 반송 공정이 실행되는 것인 열 처리 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 반송 공정은, 상기 클러치 기구를 상기 제2 상태로부터 상기 제1 상태로 하고 나서 미리 정해진 시간만큼 제1 상태를 유지함으로써 실행되는 것인 열 처리 방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 반송 경로는, 상기 제2 반송 구간에 인접하여 마련된 제3 반송 구간을 더 구비하고,
    상기 피처리물은, 상기 제1 반송 구간으로부터 상기 제2 반송 구간을 통하여 더욱 상기 제3 반송 구간에 반송되도록 되어 있고,
    상기 반송 장치는, 상기 제3 반송 구간에 설치되어, 상기 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 반송 롤러를 더 구비하고,
    상기 제2 반송 공정 후에, 상기 피처리물이 상기 제3 반송 구간에서 반송되는 제3 반송 공정을 더 포함하는 것인 열 처리 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 열 처리로는, 상기 피처리물이 상기 제2 반송 구간과 상기 제3 반송 구간의 경계에 설정한 제2 위치까지 반송된 것을 검지하는 제2 센서를 구비하고,
    상기 제2 센서에 의해 상기 피처리물을 검지하였을 때에, 상기 클러치 기구를 상기 제1 상태로부터 상기 제2 상태로 하며, 상기 제3 반송 공정이 실행되는 것인 열 처리 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 열 처리로는, 상기 제1 반송 구간과 상기 제3 반송 구간을 연통하는 연통 통로를 가지고, 상기 제1 반송 구간측의 공간과 상기 제3 반송 구간측의 공간을 격리하는 격벽을 구비하며,
    상기 제2 반송 구간은 상기 연통 통로 내에 마련되어 있고,
    상기 제1 센서가 상기 격벽의 상기 제1 반송 구간측의 벽면 근방에 마련되어 있는 것인 열 처리 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제2 반송 구간 내의 반송 롤러로부터 상기 격벽까지의 거리를 H로 하고, 상기 격벽의 상기 제1 반송 구간측의 벽면으로부터 상기 제3 반송 구간측의 벽면까지의 두께를 w로 하면, w＞2H가 성립하는 것인 열 처리 방법.
  12. 제8항에 있어서, 상기 열 처리로는,
    상기 제1 반송 구간과 상기 제2 반송 구간의 경계에 마련된 제1 격벽과,
    상기 제2 반송 구간과 상기 제3 반송 구간의 경계에 마련되고, 상기 제1 격벽에 대하여 상기 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치된 제2 격벽을 구비하며,
    상기 제1 센서는 상기 제1 격벽의 상기 제1 반송 구간측 또는 상기 제1 격벽과 상기 제2 격벽 사이에 배치되어 있는 것인 열 처리 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 열 처리로는, 상기 피처리물이 상기 제2 반송 구간과 상기 제3 반송 구간의 경계에 설정한 제2 위치까지 반송된 것을 검지하는 제2 센서를 구비하고,
    상기 제2 센서에 의해 상기 피처리물을 검지하였을 때에, 상기 클러치 기구를 상기 제1 상태로부터 상기 제2 상태로 하며, 상기 제3 반송 공정이 실행되도록 되어 있고,
    상기 제2 센서는, 상기 제2 격벽의 상기 제3 반송 구간측 또는 상기 제1 격벽과 상기 제2 격벽 사이에 배치되어 있는 것인 열 처리 방법.
  14. 제5항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 반송 롤러는, 반송 방향으로 미리 정해진 피치(p)의 간격을 두고 배치되어 있고,
    상기 제2 반송 구간에서 상기 제1 속도(v1)로 상기 피처리물이 반송되는 거리를 L로 하면,
    상기 제1 반송 공정에서는, v3＜p×v1/2L이 성립할 때는, 상기 제1 반송 구간에 배치된 상기 반송 롤러를 제3 속도로 구동시키는 것을 계속하고, v3≥p×v1/2L이 성립할 때는, 상기 제1 반송 구간에 배치된 상기 반송 롤러의 구동을 일시적으로 정지하는 것인 열 처리 방법.
  15. 반송 경로를 따라 피처리물을 반송하는 반송 장치를 구비하는 열 처리로로서,
    상기 반송 경로는, 제1 반송 구간과, 상기 제1 반송 구간에 인접하여 마련된 제2 반송 구간과, 상기 제2 반송 구간에 인접하여 마련된 제3 반송 구간을 구비하고,
    상기 피처리물은, 상기 제1 반송 구간으로부터 상기 제2 반송 구간을 통하여 상기 제3 반송 구간에 반송되도록 되어 있고,
    상기 반송 장치는,
    상기 제1 반송 구간, 상기 제2 반송 구간 및 상기 제3 반송 구간에 마련되어, 상기 피처리물의 반송 방향으로 간격을 두고 배치되어 있는 복수의 반송 롤러와,
    상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러를, 제1 속도(v1)로 구동 가능한 제1 구동 장치와,
    상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러와, 상기 제3 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러를, 상기 제1 속도와는 상이한 제2 속도(v2)로 구동 가능한 제2 구동 장치와,
    상기 제1 구동 장치의 구동력이 상기 제2 반송 구간 내에 배치된 상기반송 롤러에 전달되는 제1 상태와, 상기 제2 구동 장치의 구동력이 상기 제2 반송 구간 내와 상기 제3 반송 구간 내에 배치된 상기 반송 롤러에 전달되는 제2 상태로 전환하는 클러치 기구를 구비하는 것인, 상기 열 처리로를 이용하여 상기 피처리물을 열 처리하는 방법으로서,
    상기 피처리물이 상기 제1 반송 구간에서 반송되는 제1 반송 공정과,
    상기 제1 반송 공정 후에, 상기 클러치 기구를 상기 제1 상태로 함으로써, 상기 피처리물이 상기 제2 반송 구간에서 반송되는 제2 반송 공정과,
    상기 제2 반송 공정 후에, 상기 클러치 기구를 상기 제1 상태로부터 상기 제2 상태로 함으로써, 상기 피처리물이 상기 제3 반송 구간에서 반송되는 제3 반송 공정을 포함하는, 피처리물의 열 처리 방법.
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