TWI793235B - 熱處理爐及其製造方法 - Google Patents

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Abstract

熱處理爐係對被處理物進行熱處理。熱處理爐係包括：熱處理部，係包括對被處理物進行熱處理的空間；及複數支搬運輥，係被配置於熱處理部，並搬運被處理物。其中將該等搬運輥在軸向分割成n個區域，n個區域中包括至少一個特定區域，該等搬運輥中在該至少一個特定區域中具有在軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置的任一個搬運輥為特定搬運輥；該特定搬運輥不配置成連續既定支數以上。

Description

熱處理爐及其製造方法
在本專利說明書所揭示之技術係有關於一種對被處理物進行熱處理之熱處理爐及其製造方法。
有時會使用熱處理爐(例如，輥底式爐等)，對被處理物進行熱處理。這種熱處理爐係包括複數支搬運輥，藉由將被處理物載置於搬運輥之狀態下使搬運輥轉動，來搬運被處理物。例如，在特開2015－64189號公報，係揭示熱處理爐之一例。
在這種熱處理爐中，為了提高生產力，有時會在搬運輥上在與搬運方向(以下亦稱為第1方向)垂直且水平之方向(以下稱為第2方向)排列並載置複數個被處理物，並同時搬運這些複數個被處理物。在這種情況，複數個被處理物係在第2方向排列之狀態下在熱處理爐內被搬運。可是，搬運輥有時會發生在製造時所產生之翹曲等的變形。因此，因在搬運輥所產生之變形，有時會傾斜地搬運被處理物。傾斜地搬運被處理物時，會發生妨礙在第2方向所排列並載置之其他之被處理物的搬運，或碰撞熱處理爐內之側壁的問題。此問題在被處理物之搬運距離長的熱處理爐中特別顯著。
本專利說明書係揭示一種抑制蛇行地搬運在水平且與搬運方向垂直之方向(第2方向)所排列並載置之複數個被處理物的技術。
在本專利說明書所揭示之熱處理爐係對被處理物進行熱處理。熱處理爐係包括：熱處理部，係包括對被處理物進行熱處理的空間；及複數支搬運輥，係被配置於熱處理部，並搬運被處理物。其中將該等搬運輥在軸向分割成n個區域，n個區域中包括至少一個特定區域，該等搬運輥中在該至少一個特定區域中具有在軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置的任一個搬運輥為特定搬運輥；該特定搬運輥不配置成連續既定支數以上。
本發明者們檢討後，得知當在熱處理部翹曲大之部位位於特定之區域(例如，同一端部側之區域)的搬運輥連續既定支數以上時，在該特定之區域的附近所載置之被處理物成為易蛇行。在上述之熱處理爐，係因為翹曲大之部位位於特定之區域之第i種類的搬運輥中之至少一個不連續既定支數以上，所以可抑制在該區域的附近所載置之被處理物的蛇行。
又，在本專利說明書所揭示之熱處理爐的製造方法係製造熱處理爐，該熱處理爐係包括：熱處理部，係包括對被處理物進行熱處理的空間；及複數支搬運輥，係被配置於熱處理部，並搬運被處理物；其中將該等搬運輥在軸向分割成n個區域，n個區域中包括至少一個特定區域，該等搬運輥中在該至少一個特定區域中具有在軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置的任一個搬運輥為特定搬運輥；該熱處理爐之製造方法係包括：測量步驟，係對在熱處理部所配置的複數支搬運輥之各支，在該搬運輥之在軸向的複數個測量位置的各個，測量該搬運輥之在軸直角方向之翹曲的大小；及設置步驟，係從在該測量步驟所得之測量結果，對該等搬運輥中之任一個翹曲之大小最大的部位存在於該特定區域中的作為該特定搬運輥，該特定搬運輥不配置成連續既定支數以 上。
在上述之熱處理爐的製造方法，係在熱處理部，將複數支搬運輥設置成將在相同的區域具有該搬運輥之在軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置之搬運輥中至少一個不配置成連續既定支數以上。因此，可抑制在該區域附近所載置之被處理物蛇行。
預先列舉以下所說明之實施例之主要特徵。此外，在以下所記載之技術要素係各自獨立的技術要素，是單獨或藉各種組合發揮技術上的有用性，不是被限定為申請專利時申請專利範圍所記載的組合。
(特徵1)亦可在本專利說明書所揭示之熱處理爐，係既定支數可以是在將被處理物之一載置於搬運輥時該被處理物所抵接的搬運輥之最大支數的一半。若依據這種構成，在未連續地配置既定支數以上之種類的搬運輥，在搬運翹曲大之部位所在之區域的附近所載置之被處理物時，可避免在該被處理物之與搬運輥接觸的部位中，與翹曲大之部位接觸的個數成為一半以上。因此，可適合地抑制被處理物之搬運方向傾斜。
[實施例]
以下，說明實施例之熱處理爐10。如圖1所示，熱處理爐10係包括熱處理部20、搬入部34、搬出部40以及搬運裝置50。熱處理爐10係在藉搬運裝置50在熱處理部20內搬運被處理物12之間，對被處理物12進行熱處理。
作為被處理物12，例如列舉由陶瓷製之電介質體(基材)與電極所積層的積層體、或者鋰離子電池之正極材料或負極材料等。在使用熱處理爐10對陶瓷製之積層體進行熱處理的情況，係可在將這些被處理物載置於平板狀的承載板下，在爐內搬運。又，在使用熱處理爐10對鋰離子電池之正極材料或負極材料進行熱處理的情況，係可在將這些被處理物收容於箱狀的匣鉢下，在爐內搬運。在本實施例之熱處理爐10中，係可在搬運輥52(後述)上在搬運方向排列複數片承載板或匣鉢之狀態下搬運。以下，在本實施例中，將由進行熱處理之物質、與已載置該進行熱處理之物質的承載板或收容該物質之匣鉢所合在一起的整體稱為「被處理物12」。又，在以下的說明中，有時會將搬運被處理物12之方向(與圖1之YZ平面垂直的方向)稱為「搬運方向」或「第1方向」，將水平且與第1方向垂直之方向(與圖1之XZ平面垂直的方向)稱為「第2方向」。
熱處理部20係包括大致長方形之箱型的爐體，在爐體之內部係設置以外壁22包圍周圍的空間24。在外壁22的前端面(圖1之－X側的端面)，係形成開口26，在外壁22的後端面(圖1之＋X側的端面)，係形成開口28。被處理物12係藉搬運裝置50從開口26被搬運至熱處理部20內，再從開口28向熱處理部20外被搬運。即，開口26係被用作熱處理部20的搬入口，開口28係被用作熱處理部20的搬出口。
在空間24中，配置複數支搬運輥52、與複數個加熱器30、32。加熱器30係在搬運方向以等間隔被配置於搬運輥52之上方的位置，加熱器32係在搬運方向以等間隔被配置於搬運輥52之下方的位置。加熱器30、32係藉由發熱，而使空間24內被加熱。此外，在本實施例，加熱器30、32係分別在搬運方向以等間隔所配置，但是不限定為這種構成。加熱器亦可係例如配合被處理物12之種類或熱處理部20之熱處理的條件等，適當地變更成所要之位置並配置。又，在本實施例中，係在空間24內配置加熱器30、32，但是不限定為這種構成。只要可在空間24內進行加熱即可，例如亦可在空間24內設置氣體燃燒器等。
如圖2所示，熱處理部20係在第2方向排列並搬運複數個被處理物12。本實施例係在熱處理部20(即熱處理爐10整體)中，在第2方向排列並搬運3個被處理物12。因此，在本實施例中，熱處理部20之在第2方向的尺寸係作成比在第2方向排列3個被處理物12的尺寸大，但是熱處理部20之在第2方向的尺寸係無特別的限定。熱處理部20之在第2方向的尺寸亦可係在第2方向排列並搬運比3個還多之被處理物12的大小。又，熱處理部20之在搬運方向的尺寸係比較大的，約100m，但是熱處理部20之在搬運方向的尺寸係無特別的限定。例如，熱處理部20之在搬運方向的尺寸係亦可比100m小，亦可是30m~100m，亦可比100m大。此外，在以下之說明，有時會將被處理物12在第2方向上複數排列的情況之第2方向的中央側稱為「內側」，對第2方向之中央將端部側(+Y方向及-Y方向)稱為「外側」。此外，被處理物12係隔著既定間隔地連續地被搬入熱處理部20。因此，被處理物12係被配置成不僅在第2方向排列，而且在搬運方向亦排列。
此外，如圖2所示，在本實施例，係在第2方向所排列並載置之3個被處理物12中，將在第2方向之+Y方向側所載置者當作被處理物12a，將在第2方向之中央(內側)所載置者當作被處理物12b，將在第2方向之-Y方向側所載置者當作被處理物12c，來加以區別。以下，關於其他的構成元件，有時亦會在需要區別該構成元件時，使用下標之字母來記載，而在不必區別該構成元件時，省略下標之字母，而只以數字來記載。
搬入部34係位於熱處理部20之上游側(即，搬運方向之上游側，在圖1係熱處理部20之－X方向)。搬入部34係接受從熱處理爐10之外部所搬運的被處理物12，再將所接受之被處理物12搬入熱處理部20的空間24內。在搬入部34中，設置搬運輥52，並藉搬運輥52搬運從熱處理爐10之外部所搬運之被處理物12。
搬出部40係位於熱處理部20之下游側(即，搬運方向之下游側，在圖1係熱處理部20之＋X方向)。搬出部40係從熱處理部20之空間24搬出被處理物12，再將所搬出之被處理物12交給熱處理爐10之外部。在搬出部40中，設置搬運輥52，並藉搬運輥52將被處理物12搬運至空間24外。
搬運裝置50係包括複數支搬運輥52、驅動裝置60以及控制裝置62。搬運裝置50係將被搬運至搬入部34之被處理物12從搬入部34經由開口26搬運至熱處理部20的空間24內。進而，搬運裝置50係在空間24內，將被處理物12從開口26搬運至開口28。而且，搬運裝置50係將被處理物12從空間24經由開口28搬運至搬出部40。被處理物12係藉搬運輥52從搬入部34搬運至搬出部40。
搬運輥52係圓筒狀，其軸線係在與搬運方向正交之方向延伸。複數支搬運輥52係全部具有相同的直徑，並在搬運方向上以固定間距被配置成等間隔。此外，在熱處理部20所設置之搬運輥的直徑亦可係與在搬入部34及搬出部40所設置之搬運輥的直徑相異。又，在熱處理部20所設置之搬運輥52亦可係以與在搬入部34及搬出部40所設置之搬運輥52相異的間距所配置。搬運輥52係在熱處理部20、搬入部34以及搬出部40被配置複數支。搬運輥52之軸線方向的尺寸係比熱處理部20之第2方向的尺寸大(參照圖2)。搬運輥52係被支撐成可繞其軸線轉動，藉由傳達驅動裝置60之驅動力而轉動。詳細地說明之，搬運輥52係軸線方向的一端(在圖2係＋Y方向側的端部)與驅動裝置60連接，而另一端(在圖2係－Y方向側的端部)成為自由端。在以下之說明中，在搬運輥52之軸線方向，有時會將搬運輥52之與驅動裝置60連接的端部側(即，＋Y方向側)稱為「驅動側」，有時會將搬運輥52之自由端側(即，－Y方向側)稱為「從動側」。
驅動裝置60(參照圖1)係驅動搬運輥52之驅動裝置(例如馬達)。驅動裝置60係經由動力傳達機構，與搬運輥52連接。驅動裝置60之驅動力經由動力傳達機構被傳達至搬運輥52時，搬運輥52係轉動。作為動力傳達機構，可使用周知者，例如，使用由鏈輪與鏈條所構成的機構(省略圖示)。驅動裝置60係將各支搬運輥52驅動成搬運輥52以大致相同的速度轉動。此外，本實施例係驅動裝置60將各支搬運輥52驅動成搬運輥52以大致相同的速度轉動，但是不限定為這種構成。例如，熱處理爐10亦可係包括驅動力相異的複數台驅動裝置，並藉複數台驅動裝置，構成為在熱處理部20所設置之搬運輥52以與在搬入部34及搬出部40所設置之搬運輥52相異的速度轉動。驅動裝置60係由控制裝置62所控制。
在本實施例，在熱處理部20所配置之複數支搬運輥52係根據翹曲量(軸直角方向之翹曲量)成為最大之位置(軸向之位置)被分類成複數個組。具體而言，各搬運輥52係在軸向被分割成複數個區域，在各區域設定測量翹曲量的測量點。而且，對各支搬運輥52，在各測量點測量翹曲量，並特定翹曲量成為最大之測量點。特定翹曲量成為最大之測量點後，根據設定該測量點的區域，將複數支搬運輥52分組。例如，將搬運輥52在軸向分割成n個區域Ri(i＝1~n)，並在各區域Ri設定一個測量點Pi(i＝1~n)。而且，將翹曲量成為最大之測量點屬於區域R1 者當作第1組，將翹曲量成為最大之測量點屬於區域R2 者當作第2組，以下一樣地被分組。在本實施例，將如在上述之舉例所示被分組的複數個組中屬於特定組的搬運輥稱為搬運輥52a、52b。因此，搬運輥52a、52b係可意指在將搬運輥52在軸向分割成複數個區域時，該搬運輥52之軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置成為所分割之區域中之特定的區域者。作為將搬運輥52在軸向分割成複數個區域的方法，係例如可將搬運輥52分割成驅動側之區域、中央附近之區域以及從動側之區域的3個區域。又，作為特定之區域，例如可當作在將搬運輥52在軸向分割成複數個時之搬運輥52之端部側的區域，即搬運輥52之驅動側的區域或從動側的區域。
使用圖3更具體地說明之。如圖3所示，在本實施例中，在搬運輥52於第2方向排列並載置3個被處理物12a~12c。因此，搬運輥52係將比在驅動側所載置之被處理物12a的中央附近靠近驅動側的區域當作第1區域54，將在驅動側所載置之被處理物12a的中央附近與在從動側所載置之被處理物12c的中央附近之間的區域當作第2區域56，比在從動側所載置之被處理物12c的中央附近靠近從動側的區域當作第3區域58。在第1區域54係設定一個測量點A，在第2區域56係設定3個測量點B、C、D，在第3區域58係設定一個測量點E。在本實施例中，係將搬運輥52之軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置存在於第1區域54者當作搬運輥52a(即，測量點A之翹曲量最大的搬運輥)，將搬運輥52之軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置存在於第3區域58者當作搬運輥52b(即，測量點E之翹曲量最大的搬運輥)。
搬運輥52a、52b係分別在熱處理部20被配置成不連續既定支數以上。在本實施例中，搬運輥52a、52b被配置成不連續載置一個被處理物12之搬運輥52之支數的一半以上。此處，在搬運被處理物12之間，載置一個被處理物12之搬運輥52之支數變動的情況，搬運輥52a、52b係被配置成不連續載置一個被處理物12之搬運輥52的支數成為最多時的一半以上。例如，在被處理物12是被載置於最多6支搬運輥52之尺寸(即，總是被載置於6支搬運輥52的尺寸，或者被載置於6支搬運輥52或被載置於5支搬運輥52的尺寸)的情況，係在熱處理部20將搬運輥52a、52b分別配置成不連續3支以上。或者，如圖1所示，在被處理物12是被載置於最多3支搬運輥52之尺寸的情況，係在熱處理部20將搬運輥52a、52b分別配置成不連續2支以上。例如，在與搬運輥52a鄰接的位置，係配置與搬運輥52a相異之搬運輥52b或搬運輥52c(此外，搬運輥52c係表示翹曲最大之位置位於特定之位置以外的搬運輥)。作為一例，如圖1所示，在與搬運輥52a鄰接的位置(下游側)，配置搬運輥52c。一樣地，在與搬運輥52b鄰接的位置(上游側)，配置搬運輥52c。依此方式，搬運輥52a、52b分別被配置成不連續2支以上。藉由依此方式配置，可抑制在端部側所載置之被處理物12a、12c的蛇行。
其次，參照圖3，說明熱處理爐10之製造方法。此外，在本實施例中，在測量搬運輥52之翹曲之大小的步驟、及在熱處理部20配置包含搬運輥52a、52b之搬運輥52的步驟具有特徵，關於其他的步驟，係可使用以往周知的步驟。因此，以下僅說明本實施例之特徵部分，關於其他的步驟則省略說明。
本實施例之熱處理爐10的製造方法係包括：測量步驟，係在搬運輥52之在軸向的複數個測量位置(測量點A~E)的各個，測量搬運輥52之在軸直角方向之翹曲的大小；及配置步驟，係從在測量步驟所得之測量結果特定搬運輥52a、52b，並在熱處理部20將搬運輥52不配置成連續地配置既定支數以上的搬運輥52a、52b。
首先，藉測量步驟，在搬運輥52之在軸向的複數個測量位置(測量點A~E)的各個，測量搬運輥52之在軸直角方向之翹曲的大小。測量步驟係按照以下之程序所實施。首先，將搬運輥52之兩端支撐成可轉動。例如，使用2個V字塊來支撐搬運輥52之兩端。
接著，使用例如度盤規之測量器來測量搬運輥52之在軸向的複數個部位(測量點A~E)之翹曲的大小。作為搬運輥52之在軸向的複數個部位，例如，可採用搬運輥52之中心附近的部位、及在搬運輥52於第2方向排列並載置複數個被處理物12時搬運輥52之與各被處理物12之第2方向的端部接觸的部位之附近的部位。在本實施例中，如圖3所示，因為在搬運輥52於第2方向排列並載置3個被處理物12a~12c，所以將被處理物12a之端部側(＋Y方向側)的端部附近當作部位A，將被處理物12a與被處理物12b之邊界附近當作部位B，將搬運輥52之軸向的中央附近當作部位C，將被處理物12b與被處理物12c之邊界附近當作部位D，將被處理物12c之端部側(－Y方向側)的端部附近當作部位E。因此，在測量步驟中，測量搬運輥52之在軸向的各部位A~E(測量點A~E)之翹曲的大小。具體而言，在部位A設置度盤規，使搬運輥52繞軸線轉動一圈，測量搬運輥52位於最上方時與在搬運輥52無翹曲之狀態的差(以下亦稱為翹曲的大小)。對部位B~E，亦進行與上述相同之測量。
測量複數支搬運輥52之在軸向的各部位A~E之翹曲的大小後，藉設置步驟，在熱處理部20設置包含搬運輥52a、52b之複數支搬運輥52。配置步驟係按照以下之程序來實施。首先，從在測量步驟所得之測量結果，對各搬運輥52，判定在測量步驟所測量之各部位A~E之翹曲的大小中哪一個部位之翹曲的大小最大。而且，將翹曲之大小最大的部位存在於第1區域54的搬運輥52特定為搬運輥52a，並將翹曲之大小最大的部位存在於第3區域58的搬運輥52特定為搬運輥52b。
如上述所示，在搬運輥52於第2方向排列並載置3個被處理物12a~12c時，將比在驅動側所載置之被處理物12a的中央附近靠近驅動側的區域當作第1區域54。因此，如圖3所示，第1區域54係在各部位A~E中僅包含部位A。因此，將部位A之翹曲之大小最大的搬運輥52特定為搬運輥52a。又，因為將比在從動側所載置之被處理物12c的中央附近靠近從動側的區域當作第3區域58，所以第3區域58係在各部位A~E中僅包含部位E。因此，將部位E之翹曲之大小最大的搬運輥52特定為搬運輥52b。另一方面，因為將在驅動側所載置之被處理物12a的中央附近與在從動側所載置之被處理物12c的中央附近之間的區域當作第2區域56，所以第2區域56係在各部位A~E中包含部位B、C、D。因此，對部位B、C、D之任一個部位之翹曲之大小最大的搬運輥52，係不被特定為搬運輥52a、52b。依此方式，從複數支搬運輥52中特定搬運輥52a、52b。
接著，將搬運輥52a設置成不連續既定支數以上，且將搬運輥52b設置成不連續既定支數以上。例如，在進行熱處理之被處理物12成為被載置於最多6支搬運輥52之尺寸的情況，作成搬運輥52a不連續3支以上，且作成搬運輥52b不連續3支以上。此外，在本實施例中，具有將搬運輥52a、52b分別設置成不連續既定支數以上之特徵，關於設置步驟之其他的程序，因為可使用以往周知的方法，所以省略關於設置步驟之其他的程序之詳細的說明。
其次，說明對被處理物12進行熱處理時之熱處理爐10的動作。為了對被處理物12進行熱處理，首先，使加熱器30、32動作，將空間24之環境氣體溫度設定成所設定之溫度。接著，使3個被處理物12分別從熱處理爐10之外部移至在搬入部34所設置之搬運輥52上。在此時，被處理物12係在第2方向被排列並載置3個。接著，使驅動裝置60動作，將在第2方向所排列之3個被處理物12從搬入部34經由開口26，搬運至熱處理部20的空間24內。被搬運至空間24內的被處理物12係在空間24內從開口26被搬運至開口28。藉此，被處理物12係被進行熱處理。然後，已被進行熱處理之被處理物12係通過開口28，被搬運至搬出部40，再從搬出部40被搬出。
被處理物12係為了提高生產力，而在第2方向所排列並載置。搬運輥52係因為在製造時發生翹曲或變形，所以無法將在熱處理爐10所設置之全部的搬運輥52作成完全相同的形狀。又，連續地配置在搬運輥52之軸向的同一端部側(即，驅動側或從動側)所發生之翹曲大的搬運輥52a、52b時，易傾斜地搬運在搬運輥52之外側所載置的被處理物12a、12c。朝向內側傾斜地搬運被處理物12a、12c時，可能妨礙在第2方向所排列並載置之其他的被處理物12b(即，中央之被處理物12b)的搬運。又，朝向外側傾斜地搬運被處理物12a、12c時，可能碰撞熱處理部20之爐體的側壁。尤其，因為本實施例之熱處理爐10係熱處理部20之搬運方向的尺寸比較長，所以在搬運輥52之外側所載置之被處理物12的傾斜容易在熱處理部20搬運之間變大。
在本實施例中，將搬運輥52a設置成不連續既定支數以上，且將搬運輥52b設置成不連續既定支數以上。藉由將搬運輥52a設置成不連續既定支數以上，可抑制在驅動側所載置之被處理物12a的蛇行。又，藉由將搬運輥52b設置成不連續既定支數以上，可抑制在從動側所載置之被處理物12c的蛇行。因此，可避免在搬運輥52之外側所載置的被處理物12a、12c妨礙在搬運輥52之內側所載置之被處理物12b的搬運，而可避免使藉熱處理爐10之熱處理停止。又，可避免被處理物12a、12c與爐體的側面接觸，而可抑制爐體之側壁的損傷。
此外，在本實施例中，搬運輥52係以以下之方式被分割成3個區域，第1區域54係在各部位A~E中僅包含部位A，第2區域56係在各部位A~E中包含部位B、C、D，第3區域58係在各部位A~E中僅包含部位E，但是不限定為這種構成。鄰接之區域之邊界的位置係不是被限定為上述的例子，例如亦可以第1區域在各部位A~E中包含部位A、B、第2區域僅包含部位C、第3區域包含部位D、E的方式將搬運輥52在軸向分割成3個區域。又，在本實施例，搬運輥52在軸向被分割成3個區域，但是亦可將搬運輥52分割成比3個多的區域。
又，本實施例係將搬運輥52之翹曲的大小最大之部位存在於最靠近端部側之區域的搬運輥52特定為搬運輥52a、52b，但是不限定為這種構成。只要搬運輥52之翹曲的大小最大之部位存在於特定區域的搬運輥被配置成不連續既定支數以上即可，亦可將在軸向分割搬運輥52時之任一個區域當作「特定的區域」。即使將最靠近端部側之區域以外的區域設定成「特定的區域」，亦可抑制在該「特定的區域」附近所載置之被處理物12蛇行。
又，本實施例係測量搬運輥52之在軸向之5個部位A~E之翹曲的大小，但是不限定為這種構成。測量搬運輥52之翹曲之大小的部位係亦可採用比5個多的部位。又，本實施例係根據在第2方向所排列並載置之被處理物12的 位置來決定測量部位。
又，本實施例係在熱處理部20所設置之全部的搬運輥52中，將搬運輥52a、52b分別配置成不連續，但是不限定為這種構成。例如，亦可在熱處理部20所設置之搬運輥52中的一部分(例如搬入口側之區域)，將搬運輥52a、52b分別配置成不連續。
以上，詳細地說明了在本專利說明書所揭示之技術的具體例，但是這些係只不過是舉例表示，不是限定申請專利範圍者。在申請專利範圍所記載之技術，係包含對以上所舉例表示之具體例進行各種的變形、變更者。又，在本專利說明書或圖面所說明之技術要素係單獨或藉各種的組合發揮技術上的有用性者，不是被限定為申請專利時請求項所記載之組合。
10:熱處理爐
12:被處理物
20:熱處理部
22:外壁
24:空間
26:開口
28:開口
30:加熱器
32:加熱器
34:搬入部
40:搬出部
50:搬運裝置
52、52a、52b、52c:搬運輥
60:驅動裝置
62:控制裝置
[圖1]係表示實施例之熱處理爐之示意構成的圖，係在與被處理物之搬運方向平行的平面剖開熱處理爐時的縱向剖面圖。
[圖2]係在圖1之Ⅱ-Ⅱ線的剖面圖。
[圖3]係表示測量搬運輥之翹曲之大小的部位、與將搬運輥在軸向分割成複數個之各區域的圖。
12a、12b、12c:被處理物
52:搬運輥
54:第1區域
56:第2區域
58:第3區域
A、B、C、D、E:測量點

Claims (3)

  1. 一種熱處理爐，係對被處理物進行熱處理的熱處理爐，其係包括：熱處理部，係包括對該被處理物進行熱處理的空間；及複數支搬運輥，係被配置於該熱處理部，並搬運該被處理物；其中將該等搬運輥在軸向分割成n個區域，n個區域中包括至少一個特定區域，該等搬運輥中在該至少一個特定區域中具有在軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置的任一個搬運輥為特定搬運輥；該特定搬運輥不配置成連續既定支數以上。
  2. 如申請專利範圍第1項之熱處理爐，其中該既定支數係在將該被處理物之一載置於該等搬運輥時，該等搬運輥中與該被處理物所抵接的最多的支數之一半。
  3. 一種熱處理爐之製造方法，該熱處理爐係包括：熱處理部，係包括對該被處理物進行熱處理的空間；及複數支搬運輥，係被配置於該熱處理部，並搬運該被處理物；其中將該等搬運輥在軸向分割成n個區域，n個區域中包括至少一個特定區域，該等搬運輥中在該至少一個特定區域中具有在軸直角方向之翹曲的大小成為最大之位置的任一個搬運輥為特定搬運輥；該製造方法係包括：測量步驟，係對在該熱處理部所配置的該等搬運輥之各支的在軸向的複數個測量位置的各個，測量在軸直角方向之翹曲的大小；及設置步驟，係從在該測量步驟所得之測量結果，對該等搬運輥中之任一個翹曲之大小最大的部位存在於該特定區域中的作為該特定搬運輥，該特定搬運 輥不配置成連續既定支數以上。
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