JPH1038465A - 熱処理炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱処理空間１１内における雰囲気ガスの分
布、および温度分布を均一化することができ、被熱処理
物を均一に熱処理することができる熱処理炉を提供す
る。 【解決手段】 第１のガス供給管１４に設けられた一端
側ガス噴出口１４ａから雰囲気ガスを噴出させるときに
は、第２のガス供給管１５に設けられた他端側ガス噴出
口１５ｂから雰囲気ガスを噴出させ、第１のガス供給管
１４に設けられた他端側ガス噴出口１４ｂから雰囲気ガ
スを噴出させるときには、第２のガス供給管１５に設け
られた一端側ガス噴出口１５ａから雰囲気ガスを噴出さ
せるように、各ガス供給管１４（１５）に設けられた２
つのガス噴出口１４ａ、１４ｂ（１５ａ、１５ｂ）か
ら、雰囲気ガスを交互に噴出させるガス制御手段１６を
備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理炉に関し、
より詳しくは熱処理空間において雰囲気ガスの旋回流を
発生させることができる熱処理炉に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、セラミック電子部品などの被熱処
理物を熱処理するには、図４に示すような熱処理炉が用
いられていた。

【０００３】この熱処理炉は、メッシュベルト式連続炉
と呼ばれるもので、炉本体１と、炉本体１の内部に熱処
理空間２を形成し、熱処理空間２への外気の侵入を遮断
するマッフル３と、被熱処理物を加熱するヒータ（図示
せず）と、被熱処理物を搬送するメッシュベルト４と、
マッフル３内の熱処理空間２に雰囲気ガスを供給するガ
ス供給管５とからなる。

【０００４】この熱処理炉によると、炉本体１の長手方
向の一端側に設けられた搬入口から、メッシュベルト４
により熱処理空間２内に搬入された被熱処理物は、所定
の雰囲気ガス濃度に設定された熱処理空間２内において
ヒータ（図示せず）により加熱され、熱処理の終了した
被熱処理物は、メッシュベルト４により、炉本体１の長
手方向の他端側にある搬出口（図示せず）から熱処理空
間２外へ搬出される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図４に示すように、従
来の熱処理炉においては、ガス供給管５は、その長手方
向を水平にした状態で、マッフル３内の熱処理空間２の
幅方向における一方の端部に設けられていた。そして、
ガス供給管５の長手方向に沿って、ガス供給管５に設け
られた複数のガス噴出口５ａから、雰囲気ガスを熱処理
空間２の幅方向における他方の端部へ向けて噴出してい
た。

【０００６】このため、従来の熱処理炉においては、熱
処理空間２内における雰囲気ガスの流れは一方向であっ
た。

【０００７】したがって、従来の熱処理炉においては、
熱処理空間２内の雰囲気ガスに偏りが生じ、雰囲気ガス
の濃度分布や温度分布が不均一となった。

【０００８】よって、本発明の目的は、熱処理空間内に
おける雰囲気ガスの分布、および温度分布を均一化する
ことができ、被熱処理物を均一に熱処理することができ
る熱処理炉を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の熱処理炉は、内
部に被熱処理物を収容する熱処理空間を有する炉本体
と、被熱処理物を加熱する加熱手段と、前記熱処理空間
に雰囲気ガスを供給する第１のガス供給管と、前記第１
のガス供給管に対して、前記熱処理空間を隔てて対向す
る位置にあって、前記熱処理空間に雰囲気ガスを供給す
る第２のガス供給管と、第１のガス供給管および第２の
ガス供給管から供給される雰囲気ガスを制御するガス制
御手段とを備え、第１のガス供給管および第２のガス供
給管は、それぞれ、前記熱処理空間にある各ガス供給管
の長手方向における一端側に位置し、前記熱処理空間へ
向けて雰囲気ガスを噴出する一端側ガス噴出口と、前記
熱処理空間にある各ガス供給管の長手方向における他端
側に位置し、前記熱処理空間へ向けて雰囲気ガスを噴出
する他端側ガス噴出口とを有し、前記ガス制御手段は、
第１のガス供給管に設けられた一端側ガス噴出口から雰
囲気ガスを噴出させるときには、第２のガス供給管に設
けられた他端側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴出させ、
第１のガス供給管に設けられた他端側ガス噴出口から雰
囲気ガスを噴出させるときには、第２のガス供給管に設
けられた一端側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴出させる
ように、各ガス供給管に設けられた２つのガス噴出口か
ら、雰囲気ガスを交互に噴出させることを特徴とするも
のである。

【００１０】本発明の熱処理炉によれば、第１のガス供
給管に設けられた一端側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴
出させるときには、第２のガス供給管に設けられた他端
側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴出させ、第１のガス供
給管に設けられた他端側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴
出させるときには、第２のガス供給管に設けられた一端
側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴出させるように、各ガ
ス供給管に設けられた２つのガス噴出口から、雰囲気ガ
スを交互に噴出させるガス制御手段を備えることによ
り、熱処理空間において、雰囲気ガスの旋回流を発生さ
せることができるとともに、この雰囲気ガスの旋回流の
旋回方向を反転させることができる。

【００１１】また、本発明の熱処理炉は、前記第１のガ
ス供給管および第２のガス供給管は、それぞれ、その長
手方向が略垂直になるように設けられ、前記一端側ガス
噴出口は、前記熱処理空間における各ガス供給管の上端
側に設けられ、前記他端側ガス噴出口は、前記熱処理空
間における各ガス供給管の下端側に設けられていること
を特徴とするものである。

【００１２】この場合には、熱処理空間内における雰囲
気ガスの旋回方向は垂直方向となる。

【００１３】また、本発明の熱処理炉は、前記熱処理空
間の長手方向に沿って前記被熱処理物を搬送する搬送ベ
ルトを備え、前記第１のガス供給管および前記第２のガ
ス供給管は、前記熱処理空間の幅方向において互いに対
向する位置に設けられ、前記ガス制御手段は、第１のガ
ス供給管および第２のガス供給管の周囲に回転可能に設
けられた回転管と、回転管と前記搬送ベルトとを係合さ
せ、前記回転管を前記搬送ベルトの移動に連動させて回
転させる係合手段とからなり、前記回転管は、回転管の
上下方向における上端側に位置する上端側通気口と、回
転管の上下方向における下端側に位置する下端側通気口
とを有し、上端側通気口および下端側通気口の上下方向
における位置は、それぞれ、各ガス供給管に設けられた
一端側ガス噴出口および他端側ガス噴出口の上下方向に
おける位置に等しく、上端側通気口および下端側通気口
の周方向における位置は、互いに異なることを特徴とす
るものである。

【００１４】この場合には、搬送ベルトの移動に連動さ
せて、ガス制御手段を駆動させることができる。

【００１５】また、本発明の熱処理炉は、前記第１のガ
ス供給管および前記第２のガス供給管は、それぞれ前記
熱処理空間の長手方向に沿って複数本が設けられている
ことを特徴とするものである。

【００１６】この場合には、旋回方向を垂直方向とする
雰囲気ガスの旋回流が熱処理空間の長手方向に沿って発
生する。また、この雰囲気ガスの旋回流の旋回方向を反
転させることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る熱処理炉の一
実施例につき、添付図面を参照して説明する。

【００１８】図１は、本発明の一実施例である熱処理炉
を示す断面図であり、図１（ａ）は垂直断面図であり、
図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線における水平断面図
である。

【００１９】この熱処理炉は、内部に熱処理空間１１を
有する炉本体１２と、被熱処理物を加熱する加熱手段で
あるヒータ（図示せず）と、熱処理空間１１の長手方向
に沿って被熱処理物を搬送する搬送ベルトであるメッシ
ュベルト１３と、熱処理空間１１に雰囲気ガスを供給す
る第１のガス供給管１４と、第１のガス供給管１４に対
して、熱処理空間１１を隔てて対向する位置にあって、
熱処理空間１１に雰囲気ガスを供給する第２のガス供給
管１５と、第１のガス供給管１４および第２のガス供給
管１５から供給される雰囲気ガスを制御するガス制御手
段１６とを備えるメッシュベルト式連続炉である。

【００２０】炉本体１２は、断熱材等からなり、内部に
は、炉本体１２をその長手方向に貫通するようにマッフ
ル１７が設けられている。また、マッフル１７内部に熱
処理空間１１が形成されている。

【００２１】図２に示すように、メッシュベルト１３
は、耐熱金属製の力骨１３ａとら線１３ｂとが網目状に
組み合され、全体として無端ベルト状となっている。ま
た、メッシュベルト１３の幅方向における両端部には、
それぞれメッシュベルト１３の幅方向に向けて突出する
突起部１８が設けられている。

【００２２】また、メッシュベルト１３の長手方向にお
ける両端部には、それぞれメッシュベルト１３の内周面
に接するように、メッシュベルト１３を回転可能に支持
する支持手段（図示せず）が設けられ、支持手段の少な
くとも一方には、支持手段を駆動させメッシュベルト１
３を回転させる駆動手段（図示せず）が設けられてい
る。

【００２３】また、メッシュベルト１３は、支持手段の
上側に位置する部分であって、メッシュベルト１３の長
手方向における中央部が、熱処理空間１１に位置するよ
うに配置されている。

【００２４】図１に示すように、第１のガス供給管１４
および第２のガス供給管１５は、その長手方向を略垂直
として、熱処理空間１１の幅方向において互いに対向す
る位置に設けられ、熱処理空間１１の長手方向に沿って
複数本が設けられている。

【００２５】また、第１のガス供給管１４および第２の
ガス供給管１５の上端はマッフル１７の上面に支持さ
れ、第１のガス供給管１４および第２のガス供給管１５
の下端はマッフル１７の下面に支持され、炉本体１２の
外部へ突出している。炉本体１２の外部へ突出した第１
のガス供給管１４は、熱処理空間１１の幅方向において
互いに対向する位置に設けられた第２のガス供給管１５
と連結され、雰囲気ガス供給源（図示せず）に連通して
いる。

【００２６】また、第１のガス供給管１４および第２の
ガス供給管１５は、それぞれ、熱処理空間１１にある各
ガス供給管１４、１５の長手方向における上端側に位置
し、熱処理空間１１へ向けて雰囲気ガスを噴出する一端
側ガス噴出口１４ａ、１５ａと、熱処理空間１１にある
各ガス供給管１４、１５の長手方向における下端側に位
置し、熱処理空間１１へ向けて雰囲気ガスを噴出する他
端側ガス噴出口１４ｂ、１５ｂとを有している。

【００２７】ガス制御手段１６は、各ガス供給管１４、
１５の周囲に回転可能に設けられた回転管１９と、回転
管１９とメッシュベルト１３とを係合させ、回転管１９
をメッシュベルト１３の移動に連動させて回転させる係
合手段とからなる。

【００２８】各回転管１９は、回転管１９の上下方向に
おける上端側に位置する上端側通気口１９ａと、回転管
１９の上下方向における下端側に位置する下端側通気口
１９ｂとを有している。

【００２９】上端側通気口１９ａおよび下端側通気口１
９ｂの上下方向における位置は、それぞれ、各ガス供給
管１４、１５に設けられた一端側ガス噴出口１４ａ、１
５ａおよび他端側ガス噴出口１４ｂ、１５ｂの上下方向
における位置に略等しく、上端側通気口１９ａおよび下
端側通気口１９ｂの周方向における位置は、互いに異な
っている。

【００３０】図１（ｂ）に示すように、係合手段は、上
述のメッシュベルト１３の幅方向における両端に設けら
れた突起部１８と、各ガス供給管１４、１５の周囲にお
いて各回転管１９とともに回転可能な状態で各回転管１
９の下端に固定されたスプロケット２０とからなる。ス
プロケット２０の外周面には、メッシュベルト１３に設
けられた突起部１８に係合する溝部２０ａが形成されて
いる。

【００３１】次に、本発明の一実施例である熱処理炉の
動作について説明する。

【００３２】まず、メッシュベルト１３の長手方向にお
ける一端側に載置された被熱処理物は、メッシュベルト
１３の回転により、炉本体１１の長手方向における一端
側に設けられたマッフル１７の開口部（図示せず）よ
り、熱処理空間１１に搬入される。

【００３３】熱処理空間１１に搬入された被熱処理物
は、ヒータ（図示せず）からの熱により加熱される。こ
のとき、熱処理空間１１は、ガス供給管１４、１５から
供給された雰囲気ガスにより所定の雰囲気ガス濃度に設
定されている。

【００３４】ここで、ガス制御手段の動作について説明
する。

【００３５】まず、第１のガス供給管１４の上端側に設
けられた一端側ガス噴出口１４ａと、回転管１９の上端
側に設けられた上端側通気口１９ａとが一致し、熱処理
空間１１の幅方向において第１のガス供給管１４に対し
対向する位置に設けられた第２のガス供給管１５の下端
側に設けられた他端側ガス噴出口１５ｂと、回転管１９
の下端側に設けられた下端側通気口１９ｂとが一致した
ときには、雰囲気ガスの旋回流の旋回方向は、図３
（ａ）に示すように、被熱処理物の進行方向に向って右
回転となる。

【００３６】このとき、第１のガス供給管１４に設けら
れた一端側ガス噴出口１４ａと、回転管１９に設けられ
た上端側通気口１９ａとが一致するときと、第２のガス
供給管１５に設けられた他端側ガス噴出口１５ｂと、回
転管１９に設けられた下端側通気口１９ｂとが一致する
ときとが、同時になるように設定しても良いし、多少ず
れせるように設定しても良い。この設定は、ガス供給管
１４、１５に対する回転管１９の位置合わせにより設定
できる。

【００３７】被熱処理物を搬送するためメッシュベルト
１３は回転しており、メッシュベルト１３に設けられた
突起部１８とスプロケット２０とは係合しているので、
メッシュベルト１３の回転に連動して回転管１９が回転
する。

【００３８】次に、第１のガス供給管１４の下端側に設
けられた他端側ガス噴出口１４ｂと、回転管１９の下端
側に設けられた下端側通気口１９ｂとが一致し、熱処理
空間１１の幅方向において第１のガス供給管１４に対し
対向する位置に設けられた第２のガス供給管１５の上端
側に設けられた一端側ガス噴出口１５ａと、回転管１９
の上端側に設けられた上端側通気口１９ａとが一致した
ときには、雰囲気ガスの旋回流の旋回方向は、図３
（ｂ）に示すように、被熱処理物の進行方向に向って左
回転となる。

【００３９】このとき、第１のガス供給管１４に設けら
れた他端側ガス噴出口１４ｂと、回転管１９に設けられ
た下端側通気口１９ｂとが一致するときと、第２のガス
供給管１５に設けられた一端側ガス噴出口１５ａと、回
転管１９に設けられた上端側通気口１９ａとが一致する
ときとが、同時になるように設定しても良いし、多少ず
れせるように設定しても良い。この設定は、ガス供給管
１４、１５に対する回転管１９の位置合わせにより設定
できる。

【００４０】このようにして、熱処理空間１１の幅方向
において互いに対向する位置に設けられた第１のガス供
給管１４および第２のガス供給管１５から供給される雰
囲気ガスの旋回流の旋回方向は、ガス制御手段１６によ
り、メッシュベルト１３の回転に連動して反転を繰り返
すこととなる。

【００４１】また、熱処理空間１１の幅方向において互
いに対向する位置に設けられた第１のガス供給管１４お
よび第２のガス供給管１５は、熱処理空間１１の長手方
向に沿って複数本が設けられているので、熱処理空間１
１の長手方向に沿って、雰囲気ガスの旋回流が発生し、
この旋回流の旋回方向は反転を繰り返すこととなる。

【００４２】このとき、熱処理空間１１の長手方向にお
いて互に隣接する位置にある第１のガス供給管１４や、
第２のガス供給管１５から噴出する雰囲気ガスの噴出時
期を、同時になるように設定しても良いし、多少ずれせ
るように設定しても良い。この設定は、互に隣接する位
置にある第１のガス供給管１４や、第２のガス供給管１
５に対する回転管１９の位置合わせにより設定できる。

【００４３】このようにして、熱処理の完了した被熱処
理物は、メッシュベルト１３の回転により、炉本体１２
の長手方向における他端側に設けられたマッフル１７の
開口部（図示せず）より、熱処理空間１１から搬出され
る。

【００４４】以上の通り、本発明の熱処理炉について、
一実施例に基づき説明したが、本発明は上記実施例に限
定されるものではなく、この発明の要旨の範囲内で種々
の変更が可能である。

【００４５】例えば、上記実施例においては、熱処理炉
として、メッシュベルト式連続炉を用いて説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、バッチ炉やロ
ーラーハース炉やプッシャー炉など種々の熱処理炉に適
用可能である。

【００４６】また、上記実施例においては、ガス制御手
段１６の係合手段として、メッシュベルト１３に設けた
突起部１８と、突起部１８に係合する溝部２０ａを有す
るスプロケット２０を採用したが、本発明はこれに限定
されるものではなく、例えばメッシュベルトの幅方向に
おける両端部に溝部を設け、スプロケットに、この溝部
に係合する突起部を設けても良い。

【００４７】その他、炉本体やガス供給管や搬送ベルト
の形状や材質が変更可能であることは勿論である。

【００４８】

【発明の効果】以上のように、本発明の熱処理炉によれ
ば、第１のガス供給管に設けられた一端側ガス噴出口か
ら雰囲気ガスを噴出させるときには、第２のガス供給管
に設けられた他端側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴出さ
せ、第１のガス供給管に設けられた他端側ガス噴出口か
ら雰囲気ガスを噴出させるときには、第２のガス供給管
に設けられた一端側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴出さ
せるように、各ガス供給管に設けられた２つのガス噴出
口から、雰囲気ガスを交互に噴出させるガス制御手段を
備えることにより、熱処理空間において、雰囲気ガスの
旋回流を発生させることができるとともに、この雰囲気
ガスの旋回流の旋回方向を反転させることができる。

【００４９】したがって、本発明の熱処理炉によれば、
熱処理空間において雰囲気ガスを撹拌させることがで
き、雰囲気ガスの濃度分布および温度分布が均一化す
る。これにより被熱処理物を均一に熱処理することが可
能となる。

【００５０】また、本発明の熱処理炉によれば、熱処理
空間へ雰囲気ガスを噴出させる位置やタイミングを任意
に設定できるので、被熱処理物の変更に容易に対応する
ことができる。

【００５１】また、本発明の熱処理炉において、前記第
１のガス供給管および第２のガス供給管は、それぞれ、
その長手方向が略垂直になるように設けられ、前記一端
側ガス噴出口は、前記熱処理空間における各ガス供給管
の上端側に設けられ、前記他端側ガス噴出口は、前記熱
処理空間における各ガス供給管の下端側に設けられてい
る場合には、熱処理空間内における雰囲気ガスの旋回方
向は垂直方向となる。したがって、この場合には、熱処
理空間の上下方向における雰囲気ガスの濃度分布および
温度分布の均一化を図る上で有効である。

【００５２】また、本発明の熱処理炉は、前記熱処理空
間の長手方向に沿って前記被熱処理物を搬送する搬送ベ
ルトを備え、前記第１のガス供給管および前記第２のガ
ス供給管は、前記熱処理空間の幅方向において互いに対
向する位置に設けられ、前記ガス制御手段は、第１のガ
ス供給管および第２のガス供給管の周囲に回転可能に設
けられた回転管と、回転管と前記搬送ベルトとを係合さ
せ、前記回転管を前記搬送ベルトの移動に連動させて回
転させる係合手段とからなり、前記回転管は、回転管の
上下方向における上端側に位置する上端側通気口と、回
転管の上下方向における下端側に位置する下端側通気口
とを有し、上端側通気口および下端側通気口の上下方向
における位置は、それぞれ、各ガス供給管に設けられた
一端側ガス噴出口および他端側ガス噴出口の上下方向に
おける位置に等しく、上端側通気口および下端側通気口
の周方向における位置は、互いに異なることを特徴とす
るものである。

【００５３】この場合には、搬送ベルトの移動に連動さ
せて、ガス制御手段を駆動させることができる。

【００５４】したがって、この場合には、ガス制御手段
を駆動させる駆動装置を別に設ける必要がないので、小
型化および低コスト化が可能となる。

【００５５】また、この場合には、搬送ベルトが係合手
段に係合し、係合手段により位置決めされるので、搬送
ベルトが蛇行することを防止できる。

【００５６】また、本発明の熱処理炉において、前記第
１のガス供給管および前記第２のガス供給管は、それぞ
れ前記熱処理空間の長手方向に沿って複数本が設けられ
ている場合には、旋回方向を垂直方向とする雰囲気ガス
の旋回流が熱処理空間の長手方向に沿って発生する。ま
た、この雰囲気ガスの旋回流の旋回方向を反転させるこ
とができる。

【００５７】したがって、この場合には、熱処理空間の
上下方向および水平方向における雰囲気ガスの濃度分布
および温度分布が均一化する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である熱処理炉を示す断面図
であり、図１（ａ）は垂直断面図であり、図１（ｂ）は
図１（ａ）のＡ−Ａ線における水平断面図である。

【図２】本発明の一実施例である熱処理炉に用いられる
メッシュベルトを示す一部拡大平面図である。

【図３】本発明の一実施例である熱処理炉の動作を示す
垂直断面図である。

【図４】従来の熱処理炉を示す一部切り欠き斜視図であ
る。

【符号の説明】

１１ 熱処理空間 １２ 炉本体 １３ メッシュベルト（搬送ベルト） １４ 第１のガス供給管 １４ａ 一端側ガス噴出口 １４ｂ 他端側ガス噴出口 １５ 第２のガス供給管 １５ａ 一端側ガス噴出口 １５ｂ 他端側ガス噴出口 １６ ガス制御手段 １８ 突起部（係合手段） １９ 回転管 １９ａ 上端側通気孔 １９ｂ 下端側通気孔 ２０ スプロケット（係合手段）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に被熱処理物を収容する熱処理空間
   を有する炉本体と、 被熱処理物を加熱する加熱手段と、 前記熱処理空間に雰囲気ガスを供給する第１のガス供給
   管と、 前記第１のガス供給管に対して、前記熱処理空間を隔て
   て対向する位置にあって、前記熱処理空間に雰囲気ガス
   を供給する第２のガス供給管と、 第１のガス供給管および第２のガス供給管から供給され
   る雰囲気ガスを制御するガス制御手段とを備え、 第１のガス供給管および第２のガス供給管は、それぞ
   れ、前記熱処理空間にある各ガス供給管の長手方向にお
   ける一端側に位置し、前記熱処理空間へ向けて雰囲気ガ
   スを噴出する一端側ガス噴出口と、前記熱処理空間にあ
   る各ガス供給管の長手方向における他端側に位置し、前
   記熱処理空間へ向けて雰囲気ガスを噴出する他端側ガス
   噴出口とを有し、 前記ガス制御手段は、第１のガス供給管に設けられた一
   端側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴出させるときには、
   第２のガス供給管に設けられた他端側ガス噴出口から雰
   囲気ガスを噴出させ、第１のガス供給管に設けられた他
   端側ガス噴出口から雰囲気ガスを噴出させるときには、
   第２のガス供給管に設けられた一端側ガス噴出口から雰
   囲気ガスを噴出させるように、各ガス供給管に設けられ
   た２つのガス噴出口から、雰囲気ガスを交互に噴出させ
   ることを特徴とする熱処理炉。
2. 【請求項２】 前記第１のガス供給管および第２のガス
   供給管は、それぞれ、その長手方向が略垂直になるよう
   に設けられ、前記一端側ガス噴出口は、前記熱処理空間
   における各ガス供給管の上端側に設けられ、前記他端側
   ガス噴出口は、前記熱処理空間における各ガス供給管の
   下端側に設けられていることを特徴とする請求項１に記
   載の熱処理炉。
3. 【請求項３】 前記熱処理空間の長手方向に沿って前記
   被熱処理物を搬送する搬送ベルトを備え、 前記第１のガス供給管および前記第２のガス供給管は、
   前記熱処理空間の幅方向において互いに対向する位置に
   設けられ、 前記ガス制御手段は、第１のガス供給管および第２のガ
   ス供給管の周囲に回転可能に設けられた回転管と、回転
   管と前記搬送ベルトとを係合させ、前記回転管を前記搬
   送ベルトの移動に連動させて回転させる係合手段とから
   なり、 前記回転管は、回転管の上下方向における上端側に位置
   する上端側通気口と、回転管の上下方向における下端側
   に位置する下端側通気口とを有し、 上端側通気口および下端側通気口の上下方向における位
   置は、それぞれ、各ガス供給管に設けられた一端側ガス
   噴出口および他端側ガス噴出口の上下方向における位置
   に等しく、上端側通気口および下端側通気口の周方向に
   おける位置は、互いに異なることを特徴とする請求項２
   に記載の熱処理炉。
4. 【請求項４】 前記第１のガス供給管および前記第２の
   ガス供給管は、それぞれ前記熱処理空間の長手方向に沿
   って複数本が設けられていることを特徴とする請求項３
   に記載の熱処理炉。