JP4185943B2 - リードフレームの連続体の製造方法及びその加熱冷却処理装置 - Google Patents

Description

本発明はリードフレームの連続体の製造方法及びその加熱冷却処理装置に関し、更に詳細にはプレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を加熱冷却して除去するリードフレームの連続体の製造方法及びその加熱冷却処理装置に関する。

半導体装置に用いるリードフレームを金属帯状体にプレス加工を施して製造する際に、プレス加工が施されて形成されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を除去すべく、リードフレームのインナーリードの先端部同士を連結した状態で連続体に加熱処理を施した後、冷却処理を施すことが行われている。
かかる加熱冷却処理装置としては、下記特許文献１に図６に示す加熱冷却処理装置が提案されている。図６に示す加熱冷却処理装置では、ガイドローラ１０２ａ、１０２ａ・・にガイドされて回転する、表面側に複数毎のプレート板１０４ａ，１０４ａ・・が設けられた無端状のチェーンコンベア１００ａと、ガイドローラ１０２ｂ、１０２ｂ・・にガイドされて回転する、表面側に複数毎のプレート板１０４ｂ，１０４ｂ・・が設けられた無端状のチェーンコンベア１００ｂとが設けられている。かかるチェーンコンベア１００ａ，１００ｂは、同一方向に走行するプレート板１０４ａ，１０４ａ・・とプレート板１０４ｂ，１０４ｂ・・との間に、連続体１０６のリードフレームを形成した部分を挟み込んで拘束した状態で所定方向に走行するように配設されている。この連続体１０６を拘束して所定方向に走行する部分に、焼鈍炉１０８が設けられている。
かかる焼鈍炉１０８を連続体１０６と共に通過したチェーンコンベア１００ａ，１００ｂは、プレート板１０４ａとプレート板１０４ｂとが分離される方向に走行し、連続体１０６の拘束が解除される。
連続体１０６の拘束を解除したチェーンコンベア１００ａ，１００ｂは、プレート板１０４ａ，１０４ｂの各々を洗浄する洗浄装置１１０と乾燥する乾燥装置１１２とを通過し、再度、プレート板１０４ａとプレート板１０４ｂとの間に連続体１０６を拘束できる方向に走行する。
特開平９−１６７８２１号公報

図６に示す加熱冷却処理装置では、連続体１０６のリードフレームを形成した部分を拘束状態で焼鈍炉１０８を通過し、加熱処理及び冷却処理が施される。このため、加熱冷却処理を施した連続体１０６に形成されたリードフレームの部分では、平坦性を保持して加工歪を除去できる。
しかし、連続体１０６のリードフレームを形成した部分をプレート板１０４ａとプレート板１０４ｂとの間に挟み込むことは、その制御が困難であり、更なる処理速度の向上を図り難い。
更に、プレート板１０４ａとプレート板１０４ｂとの間に連続体１０６のリードフレームを形成した部分を挟み込み拘束するため、プレート板１０４ａ，１０４ｂは変形してはならず、所定厚さのプレート板を採用せざるを得ない。このため、プレート板１０４ａ，１０４ｂ間に挟まれた連続体１０６が充分に加熱され且つ冷却されることを要し、プレート板１０４ａ，１０４ｂの焼鈍炉１０８内の滞留時間を長くせざるを得ず、プレート板１０４ａ，１０４ｂの走行速度を遅くするか、或いは焼鈍炉１０８を大型化（全長を長くする）することが必要となる。
したがって、図６に示す加熱冷却処理装置では、前述した制御の困難さと相俟って加熱冷却処理速度を更に遅くするか、或いは加熱冷却処理装置を更に大型化せざるを得ない。
そこで、本発明の課題は、プレス加工が施されたリードフレームの連続体の全体を、拘束しつつ迅速に加熱冷却処理を施すことのできるリードフレームの連続体の製造方法及びその加熱冷却処理装置を提供することにある。

本発明者は、前記課題を解決すべく検討した結果、駆動ローラと従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられて回転する無端状の金属ベルトを、所定張力で引っ張ることによって、見かけ上プレート状とすることができること、かかる見かけ上プレート状の二枚の金属ベルトの間に挟み込んで拘束状態としたリードフレームの連続体を、迅速に加熱及び冷却できることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を、前記連続体を加熱冷却して除去する際に、該連続体を加熱冷却処理する加熱処理装置として、第１駆動ローラと第１従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第１金属ベルトと、第２駆動ローラと第２従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第２金属ベルトとが、前記第１金属ベルト及び第２金属ベルトの駆動ローラ方向に走行する部分が所定の接圧力で重ね合わされており、前記重ね合わせられた二枚の金属ベルトが加熱領域と冷却領域とを貫通して走行する加熱冷却処理装置を用い、前記二枚の金属ベルトの間に、前記連続体の全体を挟み込んで拘束しつつ加熱処理した後、冷却処理してから前記拘束を解除することを特徴とするリードフレームの連続体の製造方法にある。

また、本発明は、プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を、前記連続体を加熱冷却して除去する加熱冷却処理装置であって、第１駆動ローラと第２従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第１金属ベルトと、第２駆動ローラと第２従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第２金属ベルトとが設けられ、前記第１金属ベルトの第１駆動ローラ方向に走行する部分と、前記第２金属ベルトの第２駆動ローラ方向に走行する部分とが所定の接圧力で重ね合わされており、前記重ね合わされた二枚の金属ベルトの間に供給された前記連続体の全体を拘束して加熱冷却できるように、前記二枚の金属ベルトが加熱領域と冷却領域とを貫通して走行可能に設けられていることを特徴とするリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置でもある。

かかる本発明において、リードフレームの連続体を、張力を加えつつ単独で予備加熱し、引き続いて加熱領域に供給することによって、迅速にリードフレームの連続体を所定温度まで加熱でき、処理速度を更に向上できると共に、加熱領域に供給されるリードフレームのピッチの調整も行うことができる。
また、重ね合わされた二枚の金属ベルトに沿って一対のバックアップローラから成る複数個の把持手段を配設し、前記把持手段を構成する一対のバックアップローラの間に重ね合わせた二枚の金属ベルトを挟み込んで所定の接圧力を付与することにより、二枚の金属ベルトを所定の接圧力で容易に重ね合わすことができる。
更に、第１従動ローラとして用いた第１加熱ローラと第２従動ローラとして用いた第２加熱ローラとを含む領域及びその近傍を加熱領域とすることによって、二枚の金属ベルトの間に挟まれた連続体を迅速に所定温度に昇温できる。
この第１従動ローラ又は第２従動ローラを、重ね合わされている二枚の金属ベルトの走行方向と異なる方向に走行する連続体の一面側を、前記第１従動ローラ又は第２従動ローラの表面に沿って走行させて、前記連続体の走行方向を二枚の金属ベルト間に連続体に供給できる方向に変更するガイドローラとすることにより、連続体の短軸方向の反り（幅反り）等を修正できる。
また、第１従動ローラとして用いた第１加熱ローラと、第２従動ローラとして用いた第２加熱ローラとの他に第３加熱ローラを設け、前記第３加熱ローラの表面に一面側を接触して走行した連続体の他面側を、前記第１従動ローラ又は第２従動ローラの表面に沿って走行させ、重ね合わされている二枚の金属ベルトの走行方向と異なる方向に走行する連続体を、その走行方向を変更して前記二枚の金属ベルトの間に供給できるように、前記第１加熱ローラ、第２加熱ローラ及び第３加熱ローラを配設することによって、連続体の長軸方向の反り（長反り）を修正できる。

本発明によれば、駆動ローラと従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している二枚の金属ベルトの部分の間に、リードフレームの連続体の全体を挟み込んで加熱冷却を施すことができる。
この様に、一対のローラ間に巻き付けられて回転する無端状の金属ベルトは、その厚さを薄くしても張力によって見かけ上プレート状にでき、二枚の金属ベルトの間に挟み込まれた連続体を、迅速に所定温度に加熱し且つ冷却できる。
更に、二枚の金属ベルトの間に連続体の全体を挟み込むため、リードフレームが形成された部分のみを挟み込む場合に比較して、その制御は容易である。
その結果、本発明によれば、プレス加工されたリードフレームの連続体に残留する残留歪の除去を、連続体を迅速に加熱冷却することによって行うことができ、リードフレームの連続体の歪除去速度を向上でき、リードフレームの生産性の向上を図ることができる。

本発明に係る加熱冷却処理装置の一例の概要を図１に示す。図１に示す第１駆動ローラ１０ａと第１従動ローラ１０ｂとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられて回転する第１金属ベルト１２ａと、第２駆動ローラ１０ｃと第２従動ローラ１０ｄとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられて回転する第２金属ベルト１２ｂとが設けられている。この第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂとしてはステンレスベルトを用いることができ、その厚さを約０．３ｍｍ程度とすることが好ましい。
かかる第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂの各々は、見かけ上プレート状（第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂが撓んでいない状態）となるように所定張力で引っ張られて回転している。その張力は約１００ｋｇ程度とすることが好ましい。この張力は、第１駆動ローラ１０ａ及び第２駆動ローラ１０ｃの各々を、所定圧力を付加したシリンダ装置１４ａ，１４ｂによって押圧して生じさせている。
かかる第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂは、同期されて同一方向に回転する第１駆動ローラ１０ａ及び第２駆動ローラ１０ｃの方向（いわゆる引張方向）に走行する二枚の金属ベルトの部分が重ね合わされている。この重ね合わされた部分では、第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂに沿って上部のバックアップローラ１６ａと下部のバックアップローラ１６ｂとから成る複数個の把持手段が配設されている。かかる複数個の把持手段の各々を構成するバックアップローラ１６ａ，１６ｂの間に第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂを挟み込み、所定の接圧力で第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂを重ね合わせている。

かかるバックアップローラ１６ａ，１６ｂを図２に示す。下部のバックアップローラ１６ｂは、図２に示す様に、基台３０ａ，３０ｂ上に回転自在に支承されている。この下部のバックアップローラ１６ｂに対し、支持部材３２によって支持されている上部のバックアップローラ１６ａが所定の力で押し付けられている。かかる押付力は支持部材３２に加えられている。この押付力によって、所定の接圧力で第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂを挟み込むことができる。
この支持部材３２には、図３に示す様に、二本のバックアップローラ１６ａが支持されている。

また、第１従動ローラ１０ｂ及び第２従動ローラ１０ｄは共に加熱ローラであって、第１従動ローラ１０ｂ（第１加熱ローラ１０ｂと称することがある）及び第２従動ローラ１０ｄ（第２加熱ローラ１０ｄと称することがある）を含む領域及びその近傍が加熱領域（以下、加熱部１７と称することがある）に形成されている。かかる加熱部１７では、その内壁面にも複数のヒータが設けられており、加熱部１７内の雰囲気温度は最高６００℃にも達することがある。この加熱部１７の外方から第１駆動ローラ１０ａ及び第２駆動ローラ１０ｂに至る間は、加熱手段が設けられておらず冷却領域に形成されている。冷却領域では、必要に応じて冷風を吹き込んで所定温度範囲となるように温度制御を行ってもよい。
図１に示す加熱冷却処理装置では、所定圧力で重ね合わされた第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂが、第１従動ローラ１０ｂ及び第２従動ローラ１０ｄから第１駆動ローラ１０ａ及び第２駆動ローラ１０ｂの方向に、加熱部１７及び冷却領域を貫通して走行している。
更に、図１に示す加熱冷却処理装置では、加熱部１７にリードフレームの連続体２０が供給される供給口近傍に予熱部１８が設けられている。この予熱部１８には、連続体２０のガイド１８ａのみが設けられており、その雰囲気温度は、加熱部１７と略同一温度に維持されている。かかる予熱部１８に供給される連続体２０には、予熱部１８の外方に設けられた張力付加ローラ２２によって、第１従動ローラ１０ｂ及び第２従動ローラ１０ｄとの間に所定張力を付加しつつ予備加熱を施す。かかる予備加熱を施した連続体２０を、引き続いて加熱部１７に供給することによって、迅速に連続体２０を所定温度まで加熱できるため、処理速度を向上でき、且つ加熱部１７に供給される連続体２０のリードフレームのピッチの調整も容易に行うことができる。

予熱部１８を通過する連続体２０は、図１に示す様に、張力付加ローラ２２によって、第１従動ローラ１０ｂ及び第２従動ローラ１０ｄとの間で所定張力が付加されつつ第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂの走行方向に対して直角方向（装置の上方から下方に向けて）に走行している。このため、予熱部１８を通過して加熱部１７に供給した連続体２０の一面側を、重ね合わされた第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂの走行方向と同一方向に走行するように、第１従動ローラ１０ｂの表面に沿って約１／４周程走行させることによって走行方向を変更できる。この第１従動ローラ１０ｂには、その表面に第１金属ベルト１２ａが約１／２周摺接して走行しており、連続体２０は第１従動ローラ１０ｂの表面に摺接して走行する第１金属ベルト１２ａの表面に摺接する。
第１従動ローラ１０ｂの表面に沿って約１／４周走行した連続体２０は、第１従動ローラ１０ｂの表面に１／２周摺接して走行した第１金属ベルト１２ａと、第２従動ローラ１０ｄの表面に約１／２周摺接して走行した第２金属ベルト１２ｂとの間に挟み込まれる。かかる第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂは、加熱部１７内の雰囲気内の通過及び第１従動ローラ１０ｂ（第１加熱ローラ１０ｂ）、第２従動ローラ１０ｄ（第２加熱ローラ１０ｄ）の表面との摺接による加熱によって所定温度に加熱される。
この様にして重ね合わされた第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂは、重ね合わされた第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂに沿って設けられた一対のバックアップローラ１６ａ，１６ｂから成る複数個の把持手段によって所定の接圧力によって重ね合わされている。このため、図４に示す様に、重ね合わされた第１金属ベルト１２ａと第２金属ベルト１２ｂとの間に挟み込まれた連続体２０は、加熱部１７を通過する間に、所定の拘束力で拘束されつつ所定温度下で加熱処理される。このため、連続体２０に残留している加工歪を除去しつつ、そのリードフレームに幅そりやリード段差が発生することを防止できる。
更に、連続体２０を、張力付加ローラ２２によって第１従動ローラ１０ｂ及び第２従動ローラ１０ｄとの間で所定張力を付加しつつ、加熱部１７内に設けられた第１従動ローラ１０ｂ（第１加熱ローラ１０ｂ）の表面の一部に沿って走行させることによって、既に連続体２０内に発生していたリードフレームの幅そりやリード段差を矯正できる。
尚、図１では、連続体２０を装置の上方から下方に向けて供給しているが、連続体２０を装置の下方から上方に向けて供給しても、連続体２０の走行方向を変更すべく、連続体２０を第２従動ローラ１０ｄの表面に沿って走行させることによって、同様な作用効果を得ることができる。

かかる加熱部１７内で第１金属ベルト１２ａと第２金属ベルト１２ｂとの間に挟み込まれて拘束状態で加熱処理が施された連続体２０は、一対のバックアップローラ１６ａ，１６ｂから成る複数個の把持手段によって所定の接圧力で重ね合わされている第１金属ベルト１２ａと第２金属ベルト１２ｂとの間に挟み込まれて冷却領域を通過し、拘束状態で所定温度まで冷却される冷却処理が施される。このため、連続体２０の冷却処理の際に発生し易い、リードフレームの幅そりやリード段差の発生を防止できる。
連続体２０が所定温度まで冷却されて冷却処理が終了した後、第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂの各々は対応する第１駆動ローラ１０ａ，第２駆動ローラ１０ｃに巻き付けられ、第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂの重なりが解除される。この際に、所定温度に冷却された連続体２０は、第２駆動ローラ１０ｃの表面に約１／２周摺接して走行する第２金属ベルト１２ｂの表面に摺接して約１／４周走行してから第２金属ベルト１２ｂより剥離されて引き取られる。この連続体２０を第２金属ベルト１２ｂから剥離する箇所には、グリップローラ２４が設けられている。かかるグリップローラ２４は連続体２０の同期搬送を行うためのローラである。
尚、第１駆動ローラ１０ａ及び第２駆動ローラ１０ｃを駆動する駆動源は、モータ等の単一の駆動源とすることが、第１駆動ローラ１０ａ及び第２駆動ローラ１０ｃを容易に同期して同一方向に回転できるため好ましい。

図１〜図４に示す加熱冷却処理装置では、連続体２０の一面側を第１従動ローラ１０ｂ（第１加熱ローラ１０ｂ）の表面に沿って走行させることにより、連続体２０の走行方向を変更し、重ね合わされた第１金属ベルト１２ａと第２金属ベルト１２ｂとの間に連続体２０を供給している。このため、加熱・冷却処理した連続体２０には、その長手方向の反り（長反り）が発生することがある。
この場合、図５に示す様に、第１従動ローラ１０ｂとして用いた第１加熱ローラ１０ｂと、第２従動ローラ１０ｄとして用いた第２加熱ローラ１０ｄとの他に、第３加熱ローラ１０ｅを第１従動ローラ１０ｂの上方に設ける。
かかる第１加熱ローラ１０ｂ、第２加熱ローラ１０ｄ及び第３加熱ローラ１０ｅは、第３加熱ローラ１０ｅの表面に沿って一面側が接触して走行した連続体２０の他面側を、第１加熱ローラ１０ｂの表面に沿って走行し、重ね合わされている第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂの走行方向と異なる方向に走行する連続体２０を、その走行方向を変更して重ね合わされている第１金属ベルト１２ａと第２金属ベルト１２ｂとの間に供給できるように配設されている。
この様に、第３加熱ローラ１０ｅの表面に連続体２０の一面側を接触させて走行した後、連続体２０の他面側を第１加熱ローラ１０ｂの表面に沿って走行させることによって、連続体２０に発生する長反りを修正できる。

図５では、連続体２０を装置の上方から下方に向けて供給しているが、連続体２０を装置の下方から上方に向けて供給しても、第３加熱ローラ１０ｅを第２従動ローラ１０ｄの下方に設けることによって、同様な作用効果を奏することができる。
この場合、第２従動ローラ１０ｄの下方に設けた第３加熱ローラ１０ｅの表面に、一面側を接触して走行した連続体２０の他面側を、第２加熱ローラ１０ｄの表面に沿って走行させることによって、重ね合わされている第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂの走行方向と異なる方向に走行する連続体２０を、その走行方向を変更して重ね合わされている第１金属ベルト１２ａと第２金属ベルト１２ｂとの間に供給できる。
かかる第１加熱ローラ１０ｂ、第２加熱ローラ１０ｄ及び第３加熱ローラ１０ｅのうち、第１加熱ローラ１０ｂ及び第２加熱ローラ１０ｄを同一温度に制御しつつ、第３加熱ローラ１０ｅを第１加熱ローラ１０ｂ及び第２加熱ローラ１０ｄの温度との温度差ができるように制御してもよい。
この様に、第３加熱ローラ１０ｅと第１加熱ローラ１０ｂ及び第２加熱ローラ１０ｄとの温度差を調整することによって、連続体２０に発生する長反りの調整を容易に行うことができる。
尚、図５に示す加熱冷却処理装置では、図１に示す加熱冷却処理装置と第３加熱ローラ１０ｅを設けたことを除いて殆ど異ならず、同一部材については詳細な説明を省略した。

図１及び図５に示す加熱冷却処理装置では、リードフレームが形成された部分のみを挟み込む図６に示す加熱冷却処理装置に比較して、リードフレームの連続体を迅速に二枚の金属ベルト間に挟みこみ所定温度に加熱し且つ冷却でき、その制御は容易である。
この様に、図１及び図５に示す加熱冷却処理装置では、連続体２０の加熱冷却処理を迅速に行うことができ、リードフレームの生産性を向上できる。
また、図１及び図５示す加熱冷却処理装置では、第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂとしては、冷却領域で充分に冷却される程度の薄い金属ベルトを採用できる。このため、第１金属ベルト１２ａと第２金属ベルト１２ｂとの重なりが解除された後、第１金属ベルト１２ａと第２金属ベルト１２ｂとの各々を冷却する特別の冷却手段を設けることを要しない。

本発明に係る加熱冷却処理装置の一例を説明するための概略図である。 図１に示す加熱冷却処理装置に用いられる一対のバックアップローラを説明する正面図である。 図２に示す一対のバックアップローラを説明する部分側面図である。 重ね合わされた金属ベルト１２ａ，１２ｂ間に挟み込まれた連続体２０を説明する部分断面斜視図である。 本発明に係る加熱冷却処理装置の他の例を説明するための部分概略図である。 従来の加熱冷却処理装置を説明するための概略図である。

符号の説明

１０ａ 第１駆動ローラ
１０ｂ 第１従動ローラ（第１加熱ローラ）
１０ｃ 第２駆動ローラ
１０ｄ 第２従動ローラ（第２加熱ローラ）
１０ｅ 第３加熱ローラ
１２ａ 第１金属ベルト
１２ｂ 第２金属ベルト
１４ａ，１４ｂ シリンダ装置
１６ａ，１６ｂ バックアップローラ
１７ 加熱部
１８ 予熱部
２０ 連続体
２２ 張力付加ローラ
２４ グリップローラ

Claims (12)

1. プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を、前記連続体を加熱冷却して除去する際に、
   該連続体を加熱冷却処理する加熱処理装置として、第１駆動ローラと第１従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第１金属ベルトと、第２駆動ローラと第２従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第２金属ベルトとが、前記第１金属ベルト及び第２金属ベルトの駆動ローラ方向に走行する部分が所定の接圧力で重ね合わされており、前記重ね合わされた二枚の金属ベルトが加熱領域と冷却領域とを貫通して走行する加熱冷却処理装置を用い、
   前記二枚の金属ベルトの間に、前記連続体の全体を挟み込んで拘束しつつ加熱処理した後、冷却処理してから前記拘束を解除することを特徴とするリードフレームの連続体の製造方法。
2. リードフレームの連続体を、張力を加えつつ単独で予備加熱し、引き続いて加熱領域に供給する請求項１記載のリードフレームの連続体の製造方法。
3. 重ね合わされた二枚の金属ベルトに沿って一対のバックアップローラから成る複数個の把持手段を配設し、前記把持手段を構成する一対のバックアップローラの間に重ね合わせた二枚の金属ベルトを挟み込んで所定の接圧力を付与する請求項１又は請求項２記載のリードフレームの連続体の製造方法。
4. 第１従動ローラとして用いた第１加熱ローラと第２従動ローラとして用いた第２加熱ローラとを含む領域及びその近傍を加熱領域とする請求項１〜３のいずれか一項記載のリードフレームの連続体の製造方法。
5. 連続体として、重ね合わされている二枚の金属ベルトの走行方向と異なる方向に走行する連続体を用い、前記連続体を二枚の金属ベルトの間に供給できるように、前記連続体の一面側を金属ベルトの一方が摺接して走行する第１従動ローラ又は第２従動ローラに摺接させて前記連続体の走行方向を変更する請求項１〜４のいずれか一項記載のリードフレームの連続体の製造方法。
6. 第１従動ローラとして用いた第１加熱ローラと、第２従動ローラとして用いた第２加熱ローラとの他に第３加熱ローラを設け、
   連続体として、重ね合わされている二枚の金属ベルトの走行方向と異なる方向に走行する連続体を用い、前記連続体の一面側を第３加熱ローラの表面に接触して走行させた後、前記連続体を二枚の金属ベルトの間に供給できるように、前記連続体の他面側を金属ベルトの一方が摺接して走行する第１従動ローラ又は第２従動ローラに摺接させて前記連続体の走行方向を変更する請求項１〜４のいずれか一項記載のリードフレームの連続体の製造方法。
7. プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を、前記連続体を加熱冷却して除去する加熱冷却処理装置であって、
   第１駆動ローラと第１従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第１金属ベルトと、
   第２駆動ローラと第２従動ローラとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第２金属ベルトとが設けられ、
   前記第１金属ベルトの第１駆動ローラ方向に走行する部分と、前記第２金属ベルトの第２駆動ローラ方向に走行する部分とが所定の接圧力で重ね合わされており、
   前記重ね合わされた二枚の金属ベルトの間に供給された前記連続体の全体を拘束して加熱冷却できるように、前記二枚の金属ベルトが加熱領域と冷却領域とを貫通して走行可能に設けられていることを特徴とするリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。
8. 加熱領域に供給される連続体に単独で予備加熱を施す予熱部が、前記加熱領域の直前に設けられており、前記予熱部を通過する連続体に張力を付与する張力付加ローラが設けられている請求項７記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。
9. 重ね合わされている二枚の金属ベルトに沿って一対のバックアップローラから成る複数個の把持手段が配設され、前記把持手段を構成する一対のバックアップローラの間に、二枚の金属ベルトが所定の接圧力で重ね合わせられるように、前記二枚の金属ベルトが挟み込まれている請求項７又は請求項８記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。
10. 第１従動ローラとして用いた第１加熱ローラと第２従動ローラとして用いた第２加熱ローラとを含む領域及びその近傍が加熱領域である請求項７〜９のいずれか一項記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。
11. 第１従動ローラ又は第２従動ローラが、重ね合わされている二枚の金属ベルトの走行方向と異なる方向に走行する連続体の一面側を、前記第１従動ローラ又は第２従動ローラの表面に沿って走行させて、前記連続体の走行方向を二枚の金属ベルトの間に供給できる方向に変更するガイドローラでもある請求項７〜１０のいずれか一項記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。
12. 第１従動ローラとして用いた第１加熱ローラと、第２従動ローラとして用いた第２加熱ローラとの他に第３加熱ローラが設けられ、
    前記第３加熱ローラの表面に一面側を接触して走行した連続体の他面側を、前記第１従動ローラ又は第２従動ローラの表面に沿って走行させ、重ね合わされている二枚の金属ベルトの走行方向と異なる方向に走行する連続体を、その走行方向を変更して前記二枚の金属ベルトの間に供給できるように、前記第１加熱ローラ、第２加熱ローラ及び第３加熱ローラが配設されている請求項７〜１１のいずれか一項記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。