TW200911667A - Processing apparatus and conveying method - Google Patents

Description

200911667 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種處理裝置以及使用於該處理裝置之中的運 送方法’該處理裝置可連續運送例如用於可撓性顯示器等物品的 可撓性薄膜，並可依序對該可撓性薄膜進行複數處理。 【先前技術】

可撓性的顯示器，很薄且具有可撓性，故可設置在曲面上， 又’其跟形成在習知玻璃基板上的平面顯示器比起來較不易破 損，故可應用在各種用途上。 ，，可撓性顯示器，例如具有有機發光層者已為人所習知， 關於該等具備有機發光層的可撓性顯示器的技術在例如專利文獻 1、2中有所揭示。 ^在製造可撓性的顯示器時，雖考慮採用可連續運送可撓性薄 膜並可依序對該可撓性薄膜實施複數處理的方法，惟由於在處理 中/，合可邊連續運送邊進行的處理以及像真空處理那樣必須將 送停止下來的處理，且各處理時間（tacttime; TACT)並不—〜， 無法建立起理想的生產流程，進而導致完成產品所需時 = around time ; TAT)變長。 ιΐί問ίϊ限於可撓性_示器而已，只要是在邊連續運读 °撓'丨4膜邊貫施複數處理的情況下都會產生同樣的問題。、 [專利文獻1]特開2000—268954號公報 [專利文獻2]特開2004 —361774號公報 【發明内容】 [發明所欲解決的問題] 有鑑於上述_，本發明之目的錢供 理裝置所使用的運送方法，直可讓邊連續 j置及该處 的複數處理以很短的TAT進^之^邊連運达可撓性薄膜邊進行 200911667 [解決問題之技術手段] 為解決上述問題，本發明的第1離樣 :對=，:撓性薄膜依序;施二種;=包其 實施第1處理；第2處理料，其可對該可撓 以Γ九，，及緩衝機構，其可因應該第1處理單元 所產生的該可撓性薄膜的運送速度差而對 子可了移練子，該移動報 藉由=輸子的移。該緩衝機構 便可子具辟1輥子鄉2好，鶴該等輥子， 便Τ朝2财崎該可紐細進行緩衝。 時壓在用該移動輥子緩衝該可撓性薄膜 住，又，亦可另外該可挽性薄膜彎曲的部分壓 對該可撓性薄臈彎吹G在用該移雜子進行緩衝時 移動再Ϊ及機構，其讓該移動輕子 的緩衝距離。 〃 子移動機構並控制該可撓性薄膜 置，該可撓性薄’其沿著運送路線複數設 其中-個或複數移動，以及驅動機構’其可旋轉驅動 本發明的第2態樣提供—種運送方法，並 上，該處理裝置具備射撓性_實施第1處、理裝置 以及對該可撓性_實施第2處理的/2 處理單元， 膜連續地並依序地實施ί第及運 理’其特徵為.可因應該第,處理單元與該第2處：==所 200911667 生的差㈣射舰細妨缓衝。 u 於峨置的緩衝機構14可因應第1處理單元 對可^性;之^所產生的可挽性薄膜1的運送速度差而 tact - ^: 間，並縮短TAT。 』祝丨土碑犋1的運送停止時 r i. 【實施方式】 以下參照附圖説明本發明的實施形離。 圖，之處理Μ的主要部位的側視 該處理梦罢月…緩衝機構的動作的立體圖。 裝置’例如^適用於撓，薄膜上連續實施複數處理的 上。 U於對可撓性顯4形成_用的塗布顯影裝置 該處理裝置100具備可連續運 、、、 並具備可對該運送路線川運 ^性腹二運送路線 具備用來沿著運送路線j】2作為膦接處理單元。又， 者，在第1 ίίί= =:=1 _機構13。再 構14,用來調整可撓性,f 12之間，設置了緩衝機 第鴻理單元的運送速度差。 處理用的複數處理單元的射任一 7V可以是光阻塗布顯影 撓性ί2=停下並實 單元，其可將可 及旋轉驅個著 町，犯動機構16,故可沿運送方 200911667 向A運送可撓性薄膜1。 緩衝機構14具備：第1輥子17a以及第2銳子17b 移動的方式設置在運送路線10運送的可撓性薄膜i ^其以可+ 移動來緩衝所運送的可撓性薄膜〗；輔助輥子18，並 T，藉著 子發揮緩衝功能時壓住可撓性薄膜！的表面 該等輥 其可使第i輥子Ha以及第2幸昆子17b移動；19， 控制輥子移動機構19以控制對可撓性薄膜i的緩衝1 子移動機構19具有讓第1輥子17a以及第2輥 ^ ^ ^ 膜1運送方向旋轉的功能。 卞i/b朝可撓性薄 & 機構14的第1輕子17a如圖2所示的，在未F揮馳功 ，，運送路線1()下方待機，第2報子17b圓 $緩= 但其也在運送路線1()側方待機著 =有圖=來 示的，首先第！親子17a上昇頂起可撓=丁'1時，如圖3所 的表面的端部被輔助|θ+ 、 使可撓性薄膜1 延長缕屋住’並在該狀態被運送。再者若欲 可撓性ΐ脬圖4所示的，從側方將第2輥子⑺插入 :第Sr:距，理，=，該等_•二 度差而由控Ξ部20控^處理早70 12的可撓性薄膜1的運送速 膜11像這樣頂起可撓性細1 ’必須要有—個可壓住可撓性每 18。惟由：幾構’因此設置了輔助輥子 可撓性薄膜1的表_=表疋處理面，故獅輥子18配置在 橫跨整:2以是像圖5所示的將空氣或氮氣等氣體以 會接觸到ϊΐΐί ΪΓ挽性薄膜1喷吹的喷吹器21。此時不 設置壓制播;Ζ，0表面，故在無法於可撓性的薄膜1表面 併用補助季曰子 "Ha利用此方法。又，如圖6所示的，亦可 tb 。喷吹器21 °如是，便能更確實有效的讓可撓性 200911667 薄膜1彎曲。 作説=:就如是構成之處理裝置⑽的可繞性_ 4運送動 送，裝置(未經圖示） 第2處理單元Π進行11進行既定處理，接著在 單二速度與在第2處理 =ί::故没有讓緩衝機構“的 / 度大:第運送速 在第2處理單元12將可撓性14作動。具體而言’ 輥子17a車月可撓性薄膜! 侧方進入’並讓第1 以延長緩衝距離。 私方向移動，進行2個方向的緩衝， 緩衝機構14射^^=，利用 行處理等的方法因應之顿1域既疋距離，再由第2處理單元進 置」ff樣日，利用緩衝機構Η，因應第1處理單元Η與第2處理 進可中撓1的運送速度⑼對可撓性薄膜1 咖’儘量減少可 200911667 又’本發明並不限於上述實施形熊 情況自^具備3個以上處理單元的 衝機構，因應各處理而適當—部或全部設置緩 撓性薄膜在理想的狀態下運送並儘量335賴衝距離，使可 f 態而已，可以有各種變化形 態 y , . *〆 Ά、匕 1 =_，在上述實施形態中，係就具備第ι 亦可採用調二使輥子移動的構件而已， 下來的構件等。 、冓的滾輪驅動以使3射生薄膜暫緩 惟並送方式， 本發明可有❹用切運錢偏帶轉送方式。 膜實施連續複ίίί:::^ 【圖式簡單說明】 圖2 略側視圖。 圖，其係表示緩衝機構處於未作動下J圖：置的動作的立體 圖’其係表示緩衝機構的第置的動作的立體 圖，其係表示實施形態i倾裝置的動作的立體 的圖示。 勺弟1輕子以及第2魏子處於作動狀態下 6&表示，衝機構所用之壓制機構的其他實施例η 5 機構所用之壓制機構的再另圖。 【主要元件符號說明】 八運送方向 10 200911667 1可撓性薄膜 10運送路線 11第1處理單元 12第2處理單元 13運送機構 14缓衝機構 15滚輪 16驅動機構 17a第1輥子 17b第2輥子 18輔助輥子 19輥子移動機構 20控制部 21喷吹器 100處理裝置

Claims (1)

1. 200911667 十、申請專利範圍： 處3置，用以對於連續運送的可挽性薄膜依序實施複數 運送機構，連續運送該可撓性薄膜； f1處理單元，對該可撓性薄祺實施第1處理； 第2處理單元，對該可撓性薄獏實施第2處理；以及 緩衝機構’因應該第i處理單元與該第2處理單 生的該可撓性薄膜的運送速度差，而對該可撓性薄膜進行^產 2、 如申請專利範圍第1項之處理裝置，1中， 送中====二移;輥子係設成可於繞掛著運 的移動而對該可:魏衝機構藉由該移輪子 3、 如申請專利範圍第2項之處理裝置，1中， 笛？ ff龍子包含第W子與第2輥子，u 第2輕子移動而朝2個方向對該可撓S臈ί:、ί衝亥㈣子與 4、 如申請專利範圍第2或 該緩衝機構更包含一壓m置’其中， 對該可撓性薄膜進行緩麵』該可構在以該移動輥子 5、 如申請專利範圍第 該壓制機·有辅助，其中， 緩衝時將該可撓性薄 ^ _助輥子在以雜動輥子進行 曰9部分壓住。 6、 如申請專利範圍第4 該壓制機構具有喷^巧f裝置，其中， 時對該可撓性薄膜 彎曲“分在以該移動輥子進行緩衝 12 200911667 7、如申請專利範圍第2或3項之處 該緩衝機構更包含： &里瑕置’其中， 輥子移動機構，用以使該移_ 控制部，控制哕耝早薅動嬙操视卞移動，及 衝距離 H子雜機構，以控繼 膜的緩 8、如申請專利範圍第1至3項其中任—項 該運送機構包含： 負之處理裝置，其中， f 滾輪上ΪΪ Ϊ著運送路線設置複數個，該可撓性薄膜可在該等 驅動機構，可旋轉驅動輸輪的財—個或複數個。 ? 種運送方法，用在_處理梦 上 薄臈實施第1處理的第】處理 ' 上，該處理裝置包含對可撓性 處理單元，而^可撓性薄膜實施第2 该第1處理及該第2處理可撓性薄m依序連續實施 因應該第1處理單元虚；法之特徵為： 性薄膜的運送速度差，而對Ϊ可^產生的該可撓 十一、囷式： 13