JP6768995B1 - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記基板処理装置は、
前記基板が水平に載置される載置面と、前記載置面の面内方向と平行に延びる支軸と、前記支軸の周りに回転する回転力を受けることで、前記載置面と一体に回転して、前記基板が前記処理を行うための処理姿勢になるよう前記載置面を傾斜させる回転伝達部と、を有する載置台と、
前記載置面に載置された前記基板が前記載置台に拘束されるよう前記基板を把持する把持機構と、
前記載置面の回転及び前記把持機構による把持を行う力を、前記載置台および前記把持機構に供給する供給機構と、を備え、
前記供給機構は、
前記支軸と平行な方向に延び、回転駆動する駆動軸と、
前記駆動軸に固定された第1供給部材であって、前記駆動軸の周りの回転方向のうち、前記基板が前記処理姿勢になるよう前記載置面を傾斜させるための第1の回転方向に関して、基準角度位置を基準とした前記駆動軸の回転角度が第1の角度範囲にあることで、前記把持機構に力を供給して前記把持機構を動作させる第1供給部材と、
前記駆動軸に固定された第2供給部材であって、前記回転角度が前記第1の角度範囲と異なる第2の角度範囲にあることで、前記回転伝達部と係合し、前記回転伝達部と係合しつつ回転することで、前記載置台に力を供給して前記基板が前記処理姿勢になるよう前記載置面を傾斜させる第2供給部材と、を備えることを特徴とする。
前記駆動軸に固定された第3供給部材と、
前記支軸の周りに回転するよう設けられ、前記回転角度が前記第1の角度範囲にあることで、前記第3供給部材と係合し、前記第3供給部材と係合しつつ前記第3供給部材が回転することで、前記載置台に対し当接することなく相対的に回転する中間部材と、をさらに備えることが好ましい。
前記中間部材は、前記回転角度が、前記第1の回転方向の下流側に隣接する第3の角度範囲にあることで、前記第3供給部材と係合し、前記第3供給部材と係合しつつ前記第3供給部材が前記第1の回転方向に回転することで、前記載置台を押し上げて前記載置面を回転させることが好ましい。
前記モータと接続され、前記モータの回転駆動力の前記駆動軸への伝達及び伝達解除の切り替えを行うよう構成されたクラッチと、をさらに備え、
前記駆動軸は、前記載置台に載置された前記基板が前記処理姿勢となるよう前記載置面が傾斜し、さらに、前記載置台、前記把持機構、及び前記供給機構が、前記駆動軸と共に移動することで、前記駆動軸が前記クラッチから分離するよう構成されていることが好ましい。
図1に、本実施形態の基板処理装置1を概略的に示す。
基板処理装置1は、基板転送部3と、処理容器5と、ビーム生成部7と、を主に備える。なお、図1には、わかりやすく説明するため、基板転送部3に関して、基板転送部3内の基板100のみを示し、ビーム生成部7に関して、イオンビーム110のみを示す。
基板処理装置1は、図2に示すように、さらに、処理容器5に設けられた、載置台ユニット10と、把持機構20と、供給機構30と、モータ41(図1参照)と、クラッチ51(図1参照)と、搬送機構60と、規制機構(不図示)と、を備える。
供給機構30は、図3に示すように、駆動軸31と、レバー部材(第1供給部材)33と、第2ローラピニオン(第2供給部材)35と、第1ローラピニオン(第3供給部材)37と、中間部材39(図2参照)と、を備える。
また、基板100の把持及び載置面13の回転を、1つのサーボモータを用いて駆動軸31を動作させることで行うことができ、さらに、基板100の把持が完了したことを確認するためのセンサやインターロック回路等の部材を必要としない。このため、簡易な構成で、基板100の把持と載置面13の回転とを異なるタイミングで行うことができる。
さらに、供給機構30は、ローラピニオンとギアとの噛み合いにより力の供給を行うよう構成されているので、処理容器5内での発塵が起きにくい。
3 基板転送部
5 処理容器
7 ビーム生成部
10 載置台ユニット
11 載置台
12 ピン
13 載置面
14 プラテン
14a 底面
14b 枠部
15 支軸
16 回転支持部
16a 迫出部
17 ギア部(回転伝達部)
17a ギア
19 基台
19a 支持部
20 把持機構
21 入力受け部
23 爪
30 供給機構
31 駆動軸
33 レバー部材(第1供給部材)
33a 先端
35 第2ローラピニオン(第2供給部材)
37 第1ローラピニオン(第3供給部材)
39 中間部材
39a ギア
41 モータ
51 クラッチ
61 モータ
60 搬送機構
63 駆動機構
100 基板
110 ビーム
Claims (7)
- 基板の表面に対して処理を行う基板処理装置であって、
前記基板が水平に載置される載置面と、前記載置面の面内方向と平行に延びる支軸と、前記支軸の周りに回転する回転力を受けることで、前記載置面と一体に回転して、前記基板が前記処理を行うための処理姿勢になるよう前記載置面を傾斜させる回転伝達部と、を有する載置台と、
前記載置面に載置された前記基板が前記載置台に拘束されるよう前記基板を把持する把持機構と、
前記載置面の回転及び前記把持機構による把持を行う力を、前記載置台および前記把持機構に供給する供給機構と、を備え、
前記供給機構は、
前記支軸と平行な方向に延び、回転駆動する駆動軸と、
前記駆動軸に固定された第1供給部材であって、前記駆動軸の周りの回転方向のうち、前記基板が前記処理姿勢になるよう前記載置面を傾斜させるための第1の回転方向に関して、基準角度位置を基準とした前記駆動軸の回転角度が第1の角度範囲にあることで、前記把持機構に力を供給して前記把持機構を動作させる第1供給部材と、
前記駆動軸に固定された第2供給部材であって、前記回転角度が前記第1の角度範囲と異なる第2の角度範囲にあることで、前記回転伝達部と係合し、前記回転伝達部と係合しつつ回転することで、前記載置台に力を供給して前記基板が前記処理姿勢になるよう前記載置面を傾斜させる第2供給部材と、を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記供給機構は、
前記駆動軸に固定された第3供給部材と、
前記支軸の周りに回転するよう設けられ、前記回転角度が前記第1の角度範囲にあることで、前記第3供給部材と係合し、前記第3供給部材と係合しつつ前記第3供給部材が回転することで、前記載置台に対し当接することなく相対的に回転する中間部材と、をさらに備えた、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記把持機構による把持及び前記載置面の回転は、前記駆動軸が前記基準角度位置から略一周、回転する間に行われ、
前記中間部材は、前記回転角度が、前記第1の回転方向の下流側に隣接する第3の角度範囲にあることで、前記第3供給部材と係合し、前記第3供給部材と係合しつつ前記第3供給部材が前記第1の回転方向に回転することで、前記載置台を押し上げて前記載置面を回転させる、請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記第3の角度範囲は、前記第2の角度範囲のうちの前記第1の回転方向の上流側の範囲と重なっている、請求項3に記載された基板処理装置。
- 前記第3の角度範囲と重なる前記上流側の範囲を除いた前記第2の角度範囲の角度範囲は、前記第3の角度範囲より広い、請求項4に記載の基板処理装置。
- モータと、
前記モータと接続され、前記モータの回転駆動力の前記駆動軸への伝達及び伝達解除の切り替えを行うよう構成されたクラッチと、をさらに備え、
前記駆動軸は、前記載置台に載置された前記基板が前記処理姿勢となるよう前記載置面が傾斜し、さらに、前記載置台、前記把持機構、及び前記供給機構が、前記駆動軸と共に移動することで、前記駆動軸が前記クラッチから分離するよう構成されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 前記載置台に載置された前記基板が前記処理姿勢となるよう前記載置面が傾斜することで前記載置面の回転を規制する規制機構をさらに備える、請求項6に記載の基板処理装置。
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JP (1) | JP6768995B1 (ja) |
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2019
- 2019-10-15 JP JP2019189003A patent/JP6768995B1/ja active Active
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