KR20080112969A - 처리 장치 및 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

연속적으로 반송되는 플렉시블 필름(1)에 복수의 처리를 순차적으로 행하는 처리 장치는, 플렉시블 필름(1)을 연속적으로 반송하는 반송 기구(13)와, 플렉시블 필름(1)에 제1 처리를 실시하는 제1 처리 유닛(11)과, 플렉시블 필름(1)에 제2 처리를 실시하는 제2 처리 유닛(12)과, 제1 처리 유닛(11)과 제2 처리 유닛(12)의 사이에 발생하는 플렉시블 필름(1)의 반송 속도차에 따라 플렉시블 필름(1)의 버퍼링을 행하는 버퍼 기구(14)를 구비한다.
Figure P1020080058092
플렉시블 필름, 처리 유닛, 반송 속도차, 버퍼링, 버퍼 기구

Description

처리 장치 및 반송 방법 {PROCESSING APPARATUS AND TRANSFER METHOD}
본 발명은, 예를 들어 플렉시블 디스플레이 등에 이용되는 플렉시블 필름을 연속적으로 반송하여 복수의 처리를 순차적으로 행하는 처리 장치 및 그러한 처리 장치에 있어서의 반송 방법에 관한 것이다.
플렉시블 디스플레이는 얇으면서도 가요성을 가지므로, 곡면에의 설치가 가능하며, 또한 종래의 글래스 기판 상에 형성되는 플랫 패널 디스플레이와 비교하여 파손되기 어려우므로 다방면에 걸친 용도에의 적용이 기대되고 있다.
이러한 플렉시블 디스플레이로서는 유기 발광층을 갖는 것이 알려져 있으며, 그러한 유기 발광층을 갖는 플렉시블 디스플레이에 관한 기술이, 예를 들어 일본 특허 출원 공개 제2000-268954호 공보, 일본 특허 출원 공개 제2004-361774호에 개시되어 있다.
플렉시블 디스플레이를 제조하는데 있어서는, 연속적으로 반송되는 플렉시블 필름에 복수의 처리를 순차적으로 실시해 가는 방법을 생각할 수 있으나, 처리 중에는 연속 반송하면서 행해지는 처리와 진공 처리와 같이 반송을 정지하여 행해야 하는 처리가 혼재하고, 또한 각 처리의 시간(TACT)이 일정하지 않아 이상적인 흐름 생산이 성립되지 않으므로 TAT(Turn Around Time : 제품을 마무리할 때까지 필요한 시간)가 길어져 버린다는 문제가 있다.
플렉시블 디스플레이에 한하지 않고, 플렉시블 필름을 연속적으로 반송하면서 복수의 처리를 실시할 경우에는 마찬가지의 문제가 발생한다.
본 발명의 목적은 플렉시블 필름을 연속적으로 반송하면서 행하는 복수의 처리를 짧은 TAT로 행하는 것이 가능한 처리 장치 및 그러한 처리 장치에 있어서의 반송 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 관점에 의하면, 연속적으로 반송되는 플렉시블 필름에 복수의 처리를 순차적으로 행하는 처리 장치로서, 상기 플렉시블 필름을 연속적으로 반송하는 반송 기구와, 상기 플렉시블 필름에 제1 처리를 실시하는 제1 처리 유닛과, 상기 플렉시블 필름에 제2 처리를 실시하는 제2 처리 유닛과, 상기 제1 처리 유닛과 상기 제2 처리 유닛의 사이에 발생하는 상기 플렉시블 필름의 반송 속도차에 따라 상기 플렉시블 필름의 버퍼링을 행하는 버퍼 기구를 구비하는 처리 장치가 제공된다.
상기 제1 관점에 있어서, 상기 버퍼 기구로서는 반송 중인 상기 플렉시블 필름을 감아 걸어 이동 가능하게 설치된 이동 롤러를 갖고，이 이동 롤러의 이동에 의해 상기 플렉시블 필름의 버퍼링을 행하는 구성을 채용할 수 있다.
이 경우에는, 상기 이동 롤러는 제1 롤러와 제2 롤러를 갖고, 이들을 이동시킴으로써 상기 플렉시블 필름을 두 방향으로 버퍼링하도록 할 수 있다.
또한, 상기 버퍼 기구는, 상기 플렉시블 필름을 상기 이동 롤러로 버퍼링할 때에 상기 플렉시블 필름을 누르는 누름 수단을 갖는 구성으로 할 수 있다. 상기 누름 수단은, 상기 이동 롤러로 버퍼링할 때에 상기 플렉시블 필름이 구부러지는 부분을 누르도록 설치된 보조 롤을 갖는 것으로 할 수 있고, 또한 상기 이동 롤러로 버퍼링할 때에 상기 플렉시블 필름이 구부러지는 부분에 기체를 분사하는 블로워를 갖는 것으로 할 수도 있다.
또한, 상기 버퍼 기구는, 상기 이동 롤러를 이동시키는 롤러 이동 기구와, 상기 롤러 이동 기구를 제어하여 상기 플렉시블 필름의 버퍼 거리를 제어하는 제어부를 더 갖는 것으로 할 수 있다.
또한, 상기 반송 기구는, 반송로를 따라 복수 설치되고, 그 위를 상기 플렉시블 필름이 이동하는 롤러와, 상기 롤러 중 하나 또는 복수를 회전 구동시키는 구동 기구를 갖는 구성으로 할 수 있다.
본 발명의 제2 관점에 의하면, 플렉시블 필름에 제1 처리를 실시하는 제1 처리 유닛과, 상기 플렉시블 필름에 제2 처리를 실시하는 제2 처리 유닛을 갖고, 연속적으로 반송되는 플렉시블 필름에 상기 제1 처리 및 상기 제2 처리를 연속하여 순차적으로 행하는 처리 장치에 있어서의 반송 방법으로서, 상기 제1 처리 유닛과 상기 제2 처리 유닛의 사이에 발생하는 상기 플렉시블 필름의 반송 속도차에 따라 상기 플렉시블 필름의 버퍼링을 행하는 반송 방법이 제공된다.
본 발명에 따르면, 버퍼 기구를 설치함으로써, 제1 처리 유닛과 제2 처리 유닛의 사이에 발생하는 플렉시블 필름의 반송 속도차에 따라 플렉시블 필름의 버퍼링을 행할 수 있으므로, 어느 한쪽의 처리 장치가 진공 처리 등에서 정지된 상태에서 처리를 행하거나, 양 처리 유닛의 처리 시간(TACT)이 상이하거나 하는 경우에 플렉시블 필름의 반송을 정지시키는 시간을 최대한 적게 할 수 있어 TAT를 단축할 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명한다.
도1은 본 발명의 1 실시 형태에 관한 처리 장치의 주요부를 도시하는 측면도이고, 도2 내지 도4는 그 버퍼 기구의 동작을 설명하기 위한 사시도이다.
이 처리 장치(100)는 플렉시블 필름 상에 연속적으로 복수의 처리를 실시하는 것으로, 예를 들어 플렉시블 디스플레이를 위한 패턴 형성용 도포 현상 장치에 적용 가능하다.
이 처리 장치(100)는 플렉시블 필름(1)을 연속적으로 반송하는 반송로(10)를 갖고 있으며, 이 반송로(10)로 반송되는 플렉시블 필름(1)에 소정의 처리를 실시하는 제1 처리 유닛(11) 및 제2 처리 유닛(12)을 인접하는 처리 유닛으로서 구비하고 있다. 또한, 반송로(10)를 따라 플렉시블 필름(1)을 반송하기 위한 반송 기구(13)를 구비하고 있다. 또한, 제1 처리 유닛(11)과 제2 처리 유닛(12)의 사이에 이들 사이에 발생하는 플렉시블 필름(1)의 반송 속도차를 조정하는 버퍼 기구(14)를 구 비하고 있다.
제1 처리 유닛(11) 및 제2 처리 유닛(12)은, 예를 들어 레지스트 도포 현상 처리를 위한 복수의 처리 유닛 중 어느 하나로서 플렉시블 필름(1)을 연속 반송하면서 레지스트 도포나 가열 처리 등을 실시하는 연속 반송 처리를 실시하고, 또는 플렉시블 필름(1)을 일단 정지하여 감압 건조와 같은 진공 프로세스 등을 실시하는 것을 예로 들 수 있다.
반송 기구(13)는 반송로(10)를 따라 설치된 복수의 롤러(15)와, 롤러(15) 중 하나 또는 몇 개를 회전 구동하는 구동 기구(16)를 갖고, 플렉시블 필름(1)을 반송 방향(A)을 따라 반송하게 되어 있다.
버퍼 기구(14)는 반송 라인(10)을 반송하는 플렉시블 필름(1)의 하방으로 이동 가능하게 설치되고, 이동함으로써 반송되고 있는 플렉시블 필름(1)을 버퍼링하는 제1 롤러(17a) 및 제2 롤러(17b)와, 이들 롤러에 의한 버퍼링 시에 플렉시블 필름(1)의 상면을 누르는 보조 롤러(18)와, 제1 롤러(17a) 및 제2 롤러(17b)를 이동시키는 롤러 이동 기구(19)와, 롤러 이동 기구(19)를 제어하여 플렉시블 필름(1)의 버퍼링을 제어하는 제어부(20)를 갖고 있다. 또한, 롤러 이동 기구(19)는 제1 롤러(17a) 및 제2 롤러(17b)를 플렉시블 필름(1)을 반송하는 방향으로 회전시키는 기능도 갖고 있다.
버퍼 기구(14)의 제1 롤러(17a)는 도2에도 도시한 바와 같이 버퍼링을 행하지 않을 때에는 반송로(10)의 하방에 대기하고 있으며, 제2 롤러(17b)는 도2에서는 도시하고 있지 않으나 반송로(10)의 측방에 대기하고 있다. 그리고, 버퍼링 시에 는 도3에 도시한 바와 같이 우선 제1 롤러(17a)가 상승하여 플렉시블 필름(1)의 상면의 단부를 보조 롤러(18)로 누른 상태에서 반송되고 있는 플렉시블 필름(1)을 끌어올린다. 또한, 버퍼링 거리를 길게 하려는 경우에는 도4에 도시한 바와 같이 플렉시블 필름(1)의 끌어 올려진 부분에 측방으로부터 제2 롤러(17b)를 삽입하는 동시에 제1 롤러(17a)를 플렉시블 필름(1)의 반송 방향을 따라 이동시킨다. 이에 의해, 상방향 및 반송 방향의 두 방향의 버퍼링을 행하는 것이 가능하며, 버퍼링의 거리의 조정 여유(adjustment margin)를 많이 취할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 이러한 버퍼링의 거리는 제1 처리 유닛(11)과 제2 처리 유닛(12)의 플렉시블 필름(1)의 반송 속도차에 따라 제어부(20)에 의해 제어된다.
이와 같이 플렉시블 필름(1)을 끌어올리기 위해서는 플렉시블 필름(1)의 상면을 눌러 상방으로 구부리기 위한 어느 한 누름 수단이 필요한데, 그로 인해 보조 롤러(18)가 설치되어 있다. 단, 플렉시블 필름(1)의 상면은 처리면이기 때문에 보조 롤러(18)는 플렉시블 필름(1)의 상면의 단부에 배치되어 있다.
이러한 누름 수단의 다른 예로서는, 도5에 도시한 바와 같은 공기나 질소 가스 등의 기체를 플렉시블 필름(1)의 전체 폭에 걸쳐 분사하는 블로워(21)를 이용할 수도 있다. 이 경우에는 플렉시블 필름(1)의 상면에 비접촉하기 때문에, 플렉시블 필름(1)의 상면에 누르는 부분을 취하기 어려운 경우에 유효하다. 또한, 도6에 도시한 바와 같이 보조 롤러(18)와 블로워(21)를 병용할 수도 있다. 이것은, 플렉시블 필름(1)의 구부러짐을 보다 확실하게 하는 경우에 유효하다.
다음에, 이렇게 구성되는 처리 장치(100)의 플렉시블 필름(1)의 반송 동작에 대하여 설명한다.
조출 장치(도시하지 않음)로부터 풀어 내어진 플렉시블 필름(1)을 반송 기구(13)에 의해 반송 라인(10)을 따라 반송시켜, 제1 처리 유닛(11)에서 소정의 처리를 행하고, 이어서 제2 처리 유닛(12)에서 다른 소정의 처리를 행한다.
제1 처리 유닛(11)에 있어서의 플렉시블 필름(1)의 반송 속도와 제2 처리 유닛(12)의 반송 속도가 동일한 경우에는 이들 처리 유닛에서 반송 속도를 일정하게 하여 처리를 행할 수 있기 때문에 버퍼 기구(14)를 동작시킬 필요는 없어, 도2의 상태에서 처리를 진행시킬 수 있다.
제1 처리 유닛(11)의 반송 속도가 제2 처리 유닛(12)의 반송 속도보다 클 경우에는 제어부(20)로부터의 지령에 의해 버퍼 기구(14)를 동작시킨다. 구체적으로 설명하면, 제2 처리 유닛(12)이 플렉시블 필름(1)을 정지시켜 처리하는 경우, 도3에 도시한 바와 같이 롤러 이동 기구(19)(도1 참조)에 의해 제1 롤러(17a)를 반송 라인(10)의 하방으로부터 상방을 향하여 이동시키고, 반송되고 있는 플렉시블 필름(1)을 하방으로부터 들어올려 플렉시블 필름(1)의 버퍼링을 행한다.
제1 롤러(17a)에 의한 버퍼링 거리로 불충분할 경우에는 롤러 이동 기구(19)(도1 참조)가 도4에 도시한 바와 같이 제2 롤러(17b)를 측방으로부터 진입시키고, 제1 롤러(17a)를 플렉시블 필름(1)의 반송 방향으로 이동시켜 두 방향의 버퍼링을 행하여 버퍼링 거리를 길게 한다.
제1 처리 유닛(11)의 반송 속도가 제2 처리 유닛(12)의 반송 속도보다 작을 경우에는, 예를 들어 제1 처리 유닛(11)에서의 처리 후, 버퍼 기구(14)에 의해 플 렉시블 필름(1)을 소정 거리 버퍼링하고나서 제2 처리 유닛에서의 처리를 행하는 등의 방법을 채용할 수 있다.
이와 같이 하여, 버퍼 기구(14)에 의해 제1 처리 유닛(11)과 제2 처리 유닛(12)의 사이에 발생하는 플렉시블 필름(1)의 반송 속도차에 따라 플렉시블 필름(1)의 버퍼링을 행하므로, 어느 한 처리 장치가 진공 처리 등으로 정지한 상태에서 처리를 행하거나, 양 처리 유닛의 처리 시간(TACT)이 상이하거나 하는 경우에 플렉시블 필름(1)의 반송을 정지시키는 시간을 최대한 적게 할 수 있어 TAT를 단축할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고 다양하게 변형 가능하다. 예를 들어, 상기 실시 형태에서는 제1 처리 유닛(11) 및 제2 처리 유닛(12)과, 그 사이에 설치된 버퍼 기구(14)를 갖는 처리 장치에 대하여 설명했으나, 이는 최저 단위로서 3개 이상의 처리 유닛을 갖는 경우에 대해서도 적용 가능한 것은 물론이다. 이 경우에는 각 처리 유닛의 사이의 일부 또는 전부에 버퍼 기구를 설치하고, 각 처리에 따라 이들 버퍼 기구의 버퍼 거리를 적절하게 조정함으로써 플렉시블 필름을 이상적인 상태에서 반송하여 TAT를 최대한 단축하는 것이 가능하게 된다.
또한, 버퍼 기구는 상술한 바와 같은 롤러를 이동시키는 것에 한하지 않고, 예를 들어 반송 기구의 롤러의 구동을 조정하여 플렉시블 필름을 느슨해지게 하는 것 등 다른 구성을 채용할 수도 있다.
또한, 상기 실시 형태에서는 반송 기구로서 롤러 반송을 이용했으나, 이에 한정하지 않고, 예를 들어 에어에 의한 부상(浮上) 반송이나 벨트 반송 등 다른 반 송 기구를 이용할 수도 있다.
본 발명은, 플렉시블 디스플레이의 제조 과정 등에서 플렉시블 필름에 연속적으로 복수의 처리를 실시하는 처리 장치에 유효하다．
도1은 본 발명의 1 실시 형태에 관한 처리 장치를 도시하는 개략적인 측면도.
도2는 본 발명의 1 실시 형태에 관한 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 사시도로서, 버퍼 기구를 작동시키고 있지 않은 상태를 도시하는 도면.
도3은 본 발명의 1 실시 형태에 관한 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 사시도로서, 버퍼 기구의 제1 롤러를 작동한 상태를 도시하는 도면.
도4는 본 발명의 1 실시 형태에 관한 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 사시도로서, 버퍼 기구의 제1 롤러 및 제2 롤러를 작동한 상태를 도시하는 도면.
도5는 버퍼 기구에 이용하는 누름 수단의 다른 예를 도시하는 도면.
도6은 버퍼 기구에 이용하는 누름 수단의 또 다른 예를 도시하는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 플렉시블 필름
11 : 제1 처리 유닛
12 : 제2 처리 유닛
13 : 반송 기구
14 : 버퍼 기구
15 : 롤러
16 : 구동 기구
17a : 제1 롤러
17b : 제2 롤러
18 : 보조 롤러
19 : 롤러 이동 기구
20 : 제어부
21 : 블로워
100 : 처리 장치
G : 글래스 기판

Claims (9)

  1. 연속적으로 반송되는 플렉시블 필름에 복수의 처리를 순차적으로 행하는 처리 장치이며,
    상기 플렉시블 필름을 연속적으로 반송하는 반송 기구와,
    상기 플렉시블 필름에 제1 처리를 실시하는 제1 처리 유닛과,
    상기 플렉시블 필름에 제2 처리를 실시하는 제2 처리 유닛과,
    상기 제1 처리 유닛과 상기 제2 처리 유닛의 사이에 발생하는 상기 플렉시블 필름의 반송 속도차에 따라 상기 플렉시블 필름의 버퍼링을 행하는 버퍼 기구를 구비하는 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 기구는 반송 중인 상기 플렉시블 필름을 감아 걸어 이동 가능하게 설치된 이동 롤러를 갖고，이 이동 롤러의 이동에 의해 상기 플렉시블 필름의 버퍼링을 행하는 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 이동 롤러는 제1 롤러와 제2 롤러를 갖고, 이들을 이동시킴으로써 상기 플렉시블 필름을 두 방향으로 버퍼링하는 처리 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 버퍼 기구는 상기 플렉시블 필름을 상기 이동 롤러로 버퍼링할 때에 상기 플렉시블 필름을 누르는 누름 수단을 갖는 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 누름 수단은 상기 이동 롤러로 버퍼링할 때에 상기 플렉시블 필름이 구부러지는 부분을 누르도록 설치된 보조 롤을 갖는 처리 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 누름 수단은 상기 이동 롤러로 버퍼링할 때에 상기 플렉시블 필름이 구부러지는 부분에 기체를 분사하는 블로워를 갖는 처리 장치.
  7. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 버퍼 기구는 상기 이동 롤러를 이동시키는 롤러 이동 기구와, 상기 롤러 이동 기구를 제어하여 상기 플렉시블 필름의 버퍼 거리를 제어하는 제어부를 더 갖는 처리 장치.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송 기구는 반송로를 따라 복수 설치되고, 그 위를 상기 플렉시블 필름이 이동하는 롤러와 상기 롤러 중 하나 또는 복수를 회전 구동시키는 구동 기구를 갖는 처리 장치.
  9. 플렉시블 필름에 제1 처리를 실시하는 제1 처리 유닛과, 상기 플렉시블 필름에 제2 처리를 실시하는 제2 처리 유닛을 갖고, 연속적으로 반송되는 플렉시블 필름에 상기 제1 처리 및 상기 제2 처리를 연속하여 순차적으로 행하는 처리 장치에 있어서의 반송 방법이며,
    상기 제1 처리 유닛과 상기 제2 처리 유닛의 사이에 발생하는 상기 플렉시블 필름의 반송 속도차에 따라 상기 플렉시블 필름의 버퍼링을 행하는 반송 방법.
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