CN111474831A - 一种加热装置及基板的加热方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种加热装置及基板的加热方法，该加热装置包括：加热组件，其包括加热板；传输组件，设于所述加热板的下方，所述传输组件上设置有所述基板；所述传输组件用于将所述基板传输至所述加热板的下方；所述传输组件包括至少两个主滚轮。本发明的加热装置及基板的加热方法，能够避免基板出现破片，进而提高了产品良率。

Description

一种加热装置及基板的加热方法

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种加热装置及基板的加热方法。

【背景技术】

显示面板的制程中常用到加热装置，目前的显示面板的加热通常在封闭的制程腔室内进行。

如图1所示，现有的加热装置包括加热腔室11以及位于加热腔室11内的预烘烤机台13。以光刻胶为例，在制程过程中，涂布机将基板12涂布光阻后，进入真空干燥机台初步干燥光刻胶，然后利用机械手臂将基板12送入加热腔室11内，并关闭腔室的门111。预烘烤机台13对基板12的背面进行加热(热量的传播方向如图中箭头所示)，以使光刻胶内的溶剂挥发，当溶剂挥发至一定的浓度后，可使曝光图像的分辨率得以提高，同时提升光刻胶的附着力，此时加热结束，如图2所示，腔室的门111打开，预烘烤机台13上的伸缩针131伸出，将基板12升高，然后再用机械手将基板12从加热腔室11内取出。

然而伸缩针131在伸缩过程中，容易磨损产生尘粒，导致产品异常，此外伸缩针131容易弯曲变形，从而容易使基板12出现破片，进而降低了产品良率。

因此，有必要提供一种加热装置及基板的加热方法，以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种加热装置及基板的加热方法，能够避免基板出现破片，进而提高了产品良率。

为解决上述技术问题，本发明提供一种加热装置，所述加热装置用于对基板进行加热，其包括：

加热组件，其包括加热板；

传输组件，设于所述加热板的下方，所述传输组件上设置有所述基板；所述传输组件用于将所述基板传输至所述加热板的下方；所述传输组件包括至少两个主滚轮。

在本发明的加热装置中，所述加热板包括多个加热区域和控制模块，所述控制模块包括多个控制单元，所述加热区域与所述控制单元对应，所述控制单元用于控制所述加热区域的温度；所述基板包括多个检测区域；所述检测区域与所述加热区域对应；

所述加热装置还包括：

检测模块，用于检测所述检测区域的温度，当所述检测区域的温度与预设温度不等时，所述控制单元还用于调整对应的加热区域的温度。

在本发明的加热装置中，所述检测区域的面积小于对应的加热区域的面积。

在本发明的加热装置中，所述加热区域与所述检测区域一一对应。

在本发明的加热装置中，所述传输组件还包括履带，所述履带与所述主滚轮的表面咬合连接，所述基板设置在所述履带上。

在本发明的加热装置中，所述加热装置还包括：

传送组件，用于在加热前，将所述传输组件移动至预设区域内，以及在加热完成时，将所述传输组件移出所述预设区域，其中所述预设区域的位置与所述加热板的位置对应。

在本发明的加热装置中，所述传送组件设于所述传输组件的两端。

在本发明的加热装置中，所述传送组件包括多个副滚轮。

在本发明的加热装置中，所述加热区域设置有至少一加热件。

本发明还提供一种基板的加热方法，所述方法包括：

通过传送组件将基板传输至传输组件上；

通过所述传输组件将所述基板传输至加热板的下方；

开启加热板，对所述基板进行加热；

当加热完成时，通过所述传送组件和所述传输组件将所述基板移出预设区域，所述预设区域的位置与所述加热板的位置对应。

本发明的加热装置及基板的加热方法，包括加热组件，其包括加热板；传输组件，设于所述加热板的下方，所述传输组件上设置有所述基板；所述传输组件用于将所述基板传输至所述加热板的下方；所述传输组件包括至少两个主滚轮；由于通过传输组件传输基板，从而避免基板出现破片，此外不会产生尘粒，提高了产品良率。

【附图说明】

图1为现有加热装置处于加热状态时的结构示意图；

图2为现有加热装置在加热结束后的结构示意图；

图3为本发明一实施例的加热装置处于加热状态时的结构示意图；

图4为本发明一实施方式的加热板的结构示意图；

图5为本发明一实施方式的基板的俯视图；

图6为本发明另一实施例的加热装置处于加热状态时的结构示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

请参照图3至图5，图3为本发明一实施例的加热装置处于加热状态时的结构示意图。

如图3和图4所示，本实施例的加热装置100用于对基板40进行加热，加热装置100包括：加热组件20和传输组件30。

加热组件20包括加热板21；在一实施方式中，结合图4，所述加热板21可包括多个加热区域211和控制模块22，所述控制模块22包括多个控制单元221，所述加热区域211与所述控制单元221对应，在一实施方式中，为了进一步提高温度的均匀性，所述加热区域211与所述控制单元221一一对应。当然在其他实施方式中，也可两个加热区域211对应一控制单元221。加热区域211与所述控制单元221的对应方式不限于此。所述控制单元221用于控制所述加热区域211的温度；其中所述加热区域211设置有至少一加热件(图中未标出)。所述加热件可为电加热管。

传输组件30设于所述加热板21的下方，所述传输组件30上设置有所述基板40；所述传输组件30用于将所述基板40传输至所述加热板21的下方。其中加热板21覆盖基板40。其中所述传输组件30包括多个主滚轮31。此外所述传输组件30还可包括驱动部(图中未示出)，驱动部用于驱动主滚轮转动。在一实施方式中，驱动部为电机。

在一实施方式中，为了提高温度的均匀性，从而提高线宽的均一性，进一步提高产品良率，结合图5，所述加热装置100还包括检测模块50，所述基板40包括多个检测区域41；所述检测区域41与所述加热区域211对应；所述检测模块50用于检测所述检测区域41的温度。

当所述检测区域41的温度与预设温度不等时，所述控制单元221还用于调整对应的加热区域211的温度。其中检测模块50与控制模块22连接，进一步地与控制单元221连接。

其中在一实施方式中，为了提高加热效果，检测区域41的面积小于对应的加热区域211的面积，该面积为在基板上的正投影的面积。优选的，在一实施方式中，为了进一步提高温度的均匀性，检测区域41与所述加热区域211一一对应。当然，在其他实施方式中，比如多个检测区域41对应一加热区域211，且两者位置对应。

在具体工作过程中，驱动主滚轮31转动将基板40传输至加热板21的正下方，之后开启加热板21，对基板40进行加热，加热完毕后，关闭加热板21，驱动主滚轮31转动将基板40移出加热板21所在的区域。

由于通过滚轮传输基板，因此避免传输过程中产生尘粒，由于滚轮不易变形，且与基板的接触面比较光滑，因此避免基板出现破片，提高了产品良率。

本实施例提供一种基板的加热方法，其包括：

S101、将基板40传输至加热板21的下方；所述加热板21包括多个加热区域211；所述基板40包括多个检测区域41，所述检测区域41与所述加热区域211对应；

比如，通过传输组件30将基板40传输至加热板21的下方。

S102、开启加热板21，对所述基板40进行加热；其中多个所述加热区域211的初始温度相同。

S103、检测所述检测区域41的温度；

S104、当所述检测区域41的温度与预设温度不等时，调整该检测区域41对应的加热区域211的温度，从而使得各检测区域的温度一致。

S105、当加热完成时，将所述基板移出预设区域，所述预设区域的位置与所述加热板的位置对应。

比如，通过传输组件30将基板40移出预设区域。

请参照图6，图6为本发明另一实施例的加热装置处于加热状态时的结构示意图。

本实施例的加热装置与上一实施例的区别在于：本实施例的传输组件30的结构还包括履带32。

本实施例的传输组件30包括履带32，所述履带32与所述主滚轮31的表面咬合连接，所述基板40设置在所述履带32上。其中，所述传输组件30还可包括驱动部，驱动部用于驱动主滚轮31转动，且所述驱动部与所述主滚轮32连接。在一实施方式中，驱动部为电机。当然可以理解的，传输组件的结构不限于此。

在一实施方式中，所述加热装置100还可包括：传送组件60。

传送组件60用于在加热前，将所述传输组件30移动至预设区域101内，以及在加热完成时，将所述传输组件30移出所述预设区域101，其中所述预设区域101的位置与所述加热板21的位置对应。

在一实施方式中，为了在移动过程中，进一步提高产品的良率，所述传送组件60包括至少一副滚轮61，可以避免在传送过程中损坏基板。在一实施方式中，所述传送组件60可设于所述传输组件30的两端，从而在移动传输组件的过程中，防止履带弯折而损坏基板，此外还可以提高传送效率。

在具体工作过程中，通过驱动副滚轮61转动将基板40传输至履带32上，通过驱动主滚轮31的转动将基板40移动至加热板21的正下方，开启加热板21，对所述基板40进行加热，加热完毕后，然后驱动主滚轮31和副滚轮61转动，将所述基板40移出预设区域。

在上一实施例的基础上，由于基板设置在履带上，因此可以避免在传输过程中，基板发生弯折。且由于在传送组件和传输组件共同配合下进行传输，相较于上一实施例的单线传输方式，可以降低整个装置出现宕机的风险，提高了生产效率。此外由于本实施例的传送组件与传输组件分离，因此可以在加热过程中将传送组件移走，因此减小了空间的占用率。

图3和图6仅示出其中一种实施方式的结构示意图，但是并不能对本发明构成限定。

结合图6，本实施例还提供一种基板的加热方法，包括：

S201、通过所述传送组件60将基板40传输至所述传输组件30上；

S202、通过所述传输组件30将基板40传输至所述加热板21的下方；

S203、开启所述加热板21，对所述基板40进行加热；

S204、当加热完成时，通过所述传送组件60和所述传输组件30将所述传输组件30移出所述预设区域101。

在一实施方式中，上述步骤S203和S204之间还可包括：上述步骤S103和S104。

本发明的加热装置及基板的加热方法，包括加热组件，其包括加热板；传输组件，设于所述加热板的下方，所述传输组件上设置有所述基板；所述传输组件用于将所述基板传输至所述加热板的下方；所述传输组件包括至少两个主滚轮；由于通过传输组件传输基板，从而避免基板出现破片，此外不会产生尘粒，提高了产品良率。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种加热装置，其特征在于，所述加热装置用于对基板进行加热，其包括：

加热组件，其包括加热板；

传输组件，设于所述加热板的下方，所述传输组件上设置有所述基板；所述传输组件用于将所述基板传输至所述加热板的下方；所述传输组件包括至少两个主滚轮。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热板包括多个加热区域和控制模块，所述控制模块包括多个控制单元，所述加热区域与所述控制单元对应，所述控制单元用于控制所述加热区域的温度；所述基板包括多个检测区域；所述检测区域与所述加热区域对应；

所述加热装置还包括：

检测模块，用于检测所述检测区域的温度，当所述检测区域的温度与预设温度不等时，所述控制单元还用于调整对应的加热区域的温度。

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，

所述检测区域的面积小于对应的加热区域的面积。

4.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，

所述加热区域与所述检测区域一一对应。

5.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述传输组件还包括履带，所述履带与所述主滚轮的表面咬合连接，所述基板设置在所述履带上。

6.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：

传送组件，用于在加热前，将所述传输组件移动至预设区域内，以及在加热完成时，将所述传输组件移出所述预设区域，其中所述预设区域的位置与所述加热板的位置对应。

7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，

所述传送组件设于所述传输组件的两端。

8.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，

所述传送组件包括多个副滚轮。

9.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述加热区域设置有至少一加热件。

10.一种基板的加热方法，其特征在于，所述方法包括：

通过传送组件将基板传输至传输组件上；

通过所述传输组件将所述基板传输至加热板的下方；

开启加热板，对所述基板进行加热；

当加热完成时，通过所述传送组件和所述传输组件将所述基板移出预设区域，所述预设区域的位置与所述加热板的位置对应。

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