KR101099534B1 - 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101099534B1
KR101099534B1 KR1020090075034A KR20090075034A KR101099534B1 KR 101099534 B1 KR101099534 B1 KR 101099534B1 KR 1020090075034 A KR1020090075034 A KR 1020090075034A KR 20090075034 A KR20090075034 A KR 20090075034A KR 101099534 B1 KR101099534 B1 KR 101099534B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
alignment
alignment bars
unit
substrates
Prior art date
Application number
KR1020090075034A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110017525A (ko
Inventor
박위주
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020090075034A priority Critical patent/KR101099534B1/ko
Publication of KR20110017525A publication Critical patent/KR20110017525A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101099534B1 publication Critical patent/KR101099534B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/136—Associated with semiconductor wafer handling including wafer orienting means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

기판 정렬 장치는 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들과, 구동 유닛을 포함한다. 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들은 서로 평행하게 순차적으로 배치된다. 구동 유닛은 제1 및 제2 정렬바들과 연결되고 제1 및 제2 정렬바들을 그 사이의 제1 간격이 조절되도록 이동시키는 제1 구동부와, 제3 및 제4 정렬바들과 연결되고 제3 및 제4 정렬바들을 그 사이의 제2 간격이 조절되도록 이동시키는 제2 구동부를 포함하여 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들의 사이로 선택적으로 이송되는 최대 두 개 기판들의 양 측면들을 같이 가이드하여 기판들을 정렬시킨다. 따라서, 한번에 최대 두 개의 기판들을 같이 정렬시킬 수 있다.

Description

기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{APPARATUS FOR ALIGNING A GLASS AND APPARATUS FOR PROCESSING A GLASS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 평판표시장치를 제조하는데 사용되는 기판의 이송을 정렬시키는 장치 및 이를 포함하여 상기 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시장치는 플라즈마를 이용한 플라즈마 표시 기판 또는 액정을 이용한 액정 표시 기판을 포함한다.
이중, 상기 액정 표시 기판은 박막 트랜지스터(Thin Film transistor; 이하, TFT)가 형성된 TFT 기판과 사이에 액정이 주입되도록 상기 TFT 기판과 결합하는 컬러 필터(Color Filter; 이하, CF)가 형성된 CF 기판의 결합으로 이루어진다.
여기서, 상기 TFT 기판과 상기 CF 기판은 유리 재질의 기판을 대상으로 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등을 수행하여 제조된다. 이에, 상기 액정 표시 기판은 상기 TFT 기판과 상기 CF 기판에 다수를 형성하여 서로 결합시킨다. 즉, 하나의 대형 기판에 다수의 액정 표시 기판들이 배열된 구조를 갖는다.
이에, 각 액정 표시 기판은 상기 대형 기판으로부터 스크라이빙 공정을 통해 개별적으로 분리된 다음, 그 절단면의 날카로움을 제거하기 위한 면취 공정을 거쳐서 완성된다.
그러나, 상기 스크라이빙 공정과 상기 면취 공정을 진행한 다음 상기 액정 표시 기판을 세정할 때 하나의 액정 표시 기판만을 정렬시켜 세정을 진행함으로써, 공정 효율이 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 한번에 최대 두 개의 기판들을 정렬시킬 수 있는 기판 정렬 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 기판 정렬 장치를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 정렬 장치는 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들과, 구동 유닛을 포함한다.
상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들은 서로 평행하게 순차적으로 배치된다. 상기 구동 유닛은 상기 제1 및 제2 정렬바들과 연결되고 상기 제1 및 제2 정렬바들을 그 사이의 제1 간격이 조절되도록 이동시키는 제1 구동부와, 상기 제3 및 제4 정렬바들과 연결되고 상기 제3 및 제4 정렬바들을 그 사이의 제2 간격이 조절되도록 이동시키는 제2 구동부를 포함하여 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들의 사이로 선택적으로 이송되는 최대 두 개 기판들의 양 측면들을 같이 가이드하여 상기 기판들을 정렬시킨다.
또한, 상기 구동 유닛은 상기 제1 및 제2 구동부들과 연결되며 상기 제2 및 제3 정렬바들 사이의 제3 간격과 상기 제1 및 제4 정렬바들 사이의 제4 간격이 조절되도록 상기 제1 및 제2 구동부들을 동기 제어하는 동기 제어부를 더 포함할 수 있다.
이에, 상기 구동 유닛은 상기 제2 및 제3 정렬바들과 연결되어 상기 제2 및 제3 정렬바들을 상승 및 하강시키는 승강부를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들 각각은 상기 기판들의 일 측면과 접촉하면서 회전하는 다수의 정렬 롤러들을 가질 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 처리 장치는 기판 이송부, 기판 처리부 및 기판 정렬부를 포함한다.
상기 기판 이송부는 상부에 서로 평행하게 놓여진 제1 및 제2 기판들을 수평 방향으로 이송한다. 상기 기판 처리부는 상기 기판 이송부의 상부에 배치되어 상기 제1 및 제2 기판들을 처리한다. 상기 기판 정렬부는 상기 기판 이송부와 상기 기판 처리부 사이에서 상기 제1 및 제2 기판들을 정렬시킨다.
이에, 상기 기판 정렬부는 사이에 상기 제1 기판이 위치하도록 상기 수평 방향을 따라 배치된 제1 및 제2 정렬바들과, 사이에 상기 제2 기판이 위치하도록 상기 수평 방향을 따라 배치된 제2 및 제3 정렬바들과, 상기 제1 및 제2 정렬바들과 연결되고 상기 제1 및 제2 정렬바들을 그 사이의 제1 간격이 조절되도록 이동시켜 상기 제1 기판의 양 측면들을 가이드함으로써 상기 제1 기판을 정렬시키는 제1 구동부와, 상기 제3 및 제4 정렬바들과 연결되고, 상기 제3 및 제4 정렬바들을 그 사이의 제2 간격이 조절되도록 이동시켜 상기 제2 기판의 양 측면들을 가이드함으로써 상기 제2 기판을 정렬시키는 제2 구동부를 갖는 구동 유닛을 포함한다.
이에, 상기 기판 처리 장치는 상기 기판 이송부와 상기 수평 방향으로 인접 하게 배치되며 상기 기판 이송부로부터 이송된 제1 및 제2 기판들 각각을 수직 방향으로 이송시키는 제1 및 제2 리프터들과, 상기 제1 및 제2 리프터들과 상기 수평 방향으로 인접하게 배치되며 상기 제1 및 제2 리프터들 각각으로부터 이송된 제1 및 제2 기판들을 언로딩시키기 위한 언로더부를 더 포함할 수 있다.
이러한 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 따르면, 네 개의 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들을 통해 기판 이송부에 이송되는 최대 두 개의 기판들을 정렬시킴으로써, 기판 처리부에 의하여 최대 두 개의 기판들이 동시에 처리되도록 할 수 있다.
이로써, 상기 기판 처리 장치가 상기 기판들을 처리하는 공정 시간을 하나의 기판만을 처리할 때보다 대략 반으로 줄임으로써, 공정 효율을 향상시킬 수 있다. 즉, 상기 기판들을 대상으로 제조되는 평판 표시 장치의 생산성 향상을 기대할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면 서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하 지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(1000)는 기판 이송부(100), 기판 처리부(200) 및 기판 정렬부(300)를 포함한다.
상기 기판 이송부(100)는 상부에 서로 평행하게 놓여진 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 제1 축(x)을 따라 수평 방향으로 이송한다. 여기서, 상기 기판은 평판표시장치를 제조하기 위한 유리 재질로 이루어진 TFT 기판 또는 CF 기판일 수 있다. 이와 달리, 상기 기판은 상기 TFT 기판과 상기 CF 기판이 사이에 액정이 주입된 상태로 결합된 액정 표시 기판일 수 있다.
상기 기판 이송부(100)는 상기 제1 축(x)과 수직한 제2 축(y)을 따라 서로 평행하게 배치된 다수의 롤러 유닛(110)들로 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 롤러 유닛(110)은 상기 제2 축(y)을 따라 배치된 샤프트(112) 및 상기 샤프트(112)에 일정 간격으로 체결되면서 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들과 실질적으로 접촉하여 이송시키는 이송 롤러(114)들로 이루어질 수 있다.
상기 기판 처리부(200)는 상기 기판 이송부(100)에서 이송하는 제1 및 제2 기판(G1, G2)의 상부에 배치된다. 상기 기판 처리부(200)는 상기 기판에 케미컬을 분사하여 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 처리한다. 일 예로, 상기 기판 처리부(200)는 상기 케미컬로써, 탈이온수(DI)와 같은 세정액을 사용하여 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 세정할 수 있다.
상기 기판 정렬부(300)는 상기 기판 이송부(100)에서 이송하는 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 동시에 같이 정렬시켜 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들이 이송하는 도중에 상기 기판 처리부(200)에 의해 처리되는 영역으로부터 벗어나거나, 상기 기판 이송부(100)를 이탈하지 않도록 한다.
이하, 상기 기판 정렬부(300)의 상세한 구성에 대하여 도 2를 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 정렬부가 제1 및 제2 기판들을 정렬하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 2를 추가적으로 참조하면, 상기 기판 정렬부(300)는 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바(310, 320, 330, 340)들과, 구동 유닛(350)을 포함한다.
상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바(310, 320, 330, 340)들은 상기 제1 축(x)을 따라 순차적으로 서로 평행하게 배치된다. 구체적으로, 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들은 사이에 상기 제1 기판(G1)이 위치하도록 배치되고, 상기 제3 및 제4 정렬바(330, 340)들은 사이에 상기 제2 기판(G2)이 위치하도록 배치된다.
상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바(310, 320, 330, 340)들 각각은 상부에 회전축이 상기 제1 및 제2 축(x, y)과 수직한 제3 축(z)을 따라 형성되도록 체결되어 회전하는 다수의 제1 정렬 롤러(312)들, 제2 정렬 롤러(322)들, 제3 정렬 롤러(332)들 및 제4 정렬 롤러(342)들을 갖는다.
상기 구동 유닛(350)은 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바(310, 320, 330, 340)들 통하여 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 정렬시킨다. 구체적으로, 상기 구동 유닛(350)은 제1 및 제2 구동부(360, 370)들을 포함한다.
상기 제1 구동부(360)는 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들과 연결된다. 상기 제1 구동부(360)는 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들을 그 사이의 제1 간격(D1)이 조절되도록 이동시킨다.
구체적으로, 상기 제1 구동부(360)는 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들을 상기 제1 간격(D1)이 좁아지도록 또는 넓어지도록 이동시킨다. 이에, 상기 제1 구동부(360)는 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들을 정밀하게 이동시키기 위하여 서보 모터(servo motor)로 구성될 수 있다.
이에 따라, 상기 제1 구동부(360)와 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들을 통해 상기 제1 기판(G1)을 정렬시키는 방식에 대하여 구체적으로 설명하면, 우선 상기 제1 기판(G1)이 상기 기판 이송부(100)로 진입하기 전에 상기 제1 간격(D1)이 상기 제1 기판(G1)의 폭보다 충분히 큰 폭을 갖도록 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들을 상기 제1 구동부(360)를 통하여 이동시킨다.
이어, 상기 제1 기판(G1)을 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들의 사이로 진입시킨다. 이어, 상기 제1 구동부(360)를 통하여 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들을 상기 제1 간격(D1)이 좁아지도록 상기 제1 정렬 롤러(312)들과 상기 제2 정렬 롤러(322)들이 상기 제1 기판(G1)의 양 측면들과 접촉할 때까지 이동시킨다.
이럼으로써, 상기 제1 기판(G1)은 상기 기판 이송부(100)에서 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들에 의하여 양 측면들이 가이드됨으로써, 정렬될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들은 상부에 체결된 제1 정렬 롤러(312)들과 제2 정렬 롤러(322)들이 상기 기판의 양 측면들에 접촉되도록 하기 위하여 상기 이송 롤러(114)들의 사이에서 길게 배치될 수 있다.
상기 제2 구동부(370)는 상기 제3 및 제4 정렬바(330, 340)들과 연결된다. 상기 제2 구동부(370)는 상기 제3 및 제4 정렬바(330, 340)들을 그 사이의 제2 간격(D2)이 조절되도록 이동시킨다. 상기 제2 구동부(370)는 상기 제1 구동부(360)와 마찬가지로, 상기 제3 및 제4 정렬바(330, 340)들을 정밀하게 이동시키기 위하여 서보 모터(servo motor)로 구성될 수 있다.
이에, 상기 제3 및 제4 정렬바(330, 340)들은 그 사이에 위치하는 상기 제2 기판(G2)을 상기 제2 구동부(370)를 통해 이동되어 상기 제1 기판(G1)의 정렬 동작과 동시에 정렬시킬 수 있다. 이하, 상기 제2 기판(G2)이 정렬되는 방식에 대해서는 상기 제1 기판(G1)이 정렬되는 방식과 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이와 같이, 네 개의 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바(310, 320, 330, 340)들을 통해 상기 기판 이송부(100)에 이송되는 두 개의 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 정렬시킴으로써, 상기 기판 처리부(200)에 의하여 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들이 동시에 처리되도록 할 수 있다.
이로써, 상기 기판 처리 장치(1000)가 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 처리하는 공정 시간을 하나의 기판만을 처리할 때보다 대략 반으로 줄임으로써, 공정 효율을 향상시킬 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 대상으로 제조되 는 평판 표시 장치의 생산성 향상을 기대할 수 있다.
한편, 상기 기판 처리 장치(1000)는 상기 기판 이송부(100)와 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들이 이송하는 수평 방향을 따라 인접하게 배치된 제1 및 제2 리프터(400, 500)들을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 리프터(400, 500)들 각각은 상기 기판 이송부(100)로부터 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들 각각을 이송 받아 수직 방향으로 이송한다. 이러한 상기 제1 및 제2 리프터(400, 500)들 각각은 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들 각각이 후속 공정으로 이송되기 전에, 일시적으로 대기할 수 있는 버퍼 공간을 제공할 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치(1000)는 상기 제1 및 제2 리프터(400, 500)들과 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들이 이송하는 수평 방향을 따라 인접하게 배치된 언로더부(600)를 더 포함할 수 있다.
상기 언로더부(600)는 상기 제1 및 제2 리프터(400, 500)들로부터 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들을 이송 받는다. 상기 언로더부(600)는 상부가 개방된 구조를 가질 수 있으며, 이에 상기 제1 및 제2 기판(G1, G2)들은 이송 로봇(미도시)이 의해 상기 개방된 입구로부터 픽킹되어 후속 공정을 위한 장소로 이송될 수 있다.
이하, 상기 기판 이송부(100)에서 두 개의 제1 및 제2 기판(G1, G2)들이 아닌 하나의 기판이 이송되는 경우에 대하여 도 3 내지 도 5를 추가적으로 참조하여 상세하게 설명하고자 한다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 정렬부가 제3 기판을 정렬하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 상기 구동 유닛(350)은 상기 제1 및 제2 구동부(360, 370)들과 연결되어 상기 제1 및 제2 구동부(360, 370)들을 동기 제어하는 동기 제어부(380)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 제1 구동부(360)와 연결된 제1 및 제2 정렬바(310, 320)들과 상기 제2 구동부(370)와 연결된 제3 및 제4 정렬바(330, 340)들은 상기 동기 제어부(380)에 의해서 모두 동시에 이동할 수 있게 된다.
이에, 상기 기판 처리부(200)에 의해 하나의 제3 기판(G3)이 처리되도록 할 경우 상기 기판 이송부(100)에서 이송하는 제3 기판(G3)을 정렬시키는 방식에 대하여 구체적으로 설명하면, 우선 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들을 상기 동기 제어부(380)에 의해서 그 사이의 제3 간격(D3)이 상기 제3 기판(G3)의 폭보다 넓도록 상기 제1 및 제2 구동부(360, 370)들을 통해 이동시킨다.
이어, 상기 제3 기판(G3)을 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들의 사이에 진입시킨다. 이어, 상기 동기 제어부(380)를 통해 상기 제1 및 제2 구동부(360, 370)들을 동기 제어하여 상기 제2 정렬 롤러(322)들과 상기 제3 정렬 롤러(332)들이 상기 제3 기판(G3)의 양 측면들에 접촉할 때까지 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들을 이동시킨다. 이로써, 상기 제3 기판(G3)은 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들에 의해 양 측면들이 가이드됨으로써, 정렬될 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 정렬부가 제4 기판을 정렬하는 상태를 나타낸 도면이며, 도 5는 도 4에서 기판 정렬부에서 제2 및 제3 정렬바들이 하강하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 구동 유닛(350)은 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들과 연결되어 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들을 상승 및 하강시키는 승강부(390)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 승강부(390)는 일 예로, 직성 구동력을 제공하는 실린더(cylinder)로 이루어질 수 있다.
이에, 상기 기판 처리부(200)에 의해 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들 사이의 제3 간격(D3)을 최대한 넓혔을 경우보다 더 큰 폭을 갖는 대형의 제4 기판(G4)이 처리되도록 할 경우 상기 기판 이송부(100)에서 이송하는 제4 기판(G4)을 정렬시키는 방식에 대하여 구체적으로 설명하면, 우선 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들을 상기 승강부(390)를 통해 하강시킨다.
이때, 상기 제1 및 제4 정렬바(310, 340)들 사이의 제4 간격(D4)이 상기 제4 기판(G4)의 폭보다 넓도록 상기 동기 제어부(380)를 통해 상기 제1 및 제2 구동부(360, 370)들을 제어한다.
이어, 상기 제4 기판(G4)을 상기 제1 및 제4 정렬바(310, 340)들의 사이에 진입시킨다. 이어, 상기 동기 제어부(380)를 통해 상기 제1 및 제2 구동부(360, 370)들을 동기 제어하여 상기 제1 정렬 롤러(312)들과 상기 제4 정렬 롤러(342)들이 상기 제4 기판(G4)의 양 측면들에 접촉할 때까지 상기 제1 및 제4 정렬바(310, 340)들을 이동시킨다. 이로써, 상기 제4 기판(G4)은 상기 제1 및 제4 정렬바(310, 340)들에 의해 양 측면들이 가이드됨으로써, 정렬될 수 있다. 이후, 상기 제4 기판(G4)을 처리하게 되면, 상기 제2 및 제3 정렬바(320, 330)들은 상기 승강부(390) 를 통하여 상승하여 원 상태로 복귀된다.
이와 같이, 상기 기판 정렬부(300)는 두 개의 제1 및 제2 기판(G1, G2)들과 같이 상기 동기 제어부(380) 및 상기 승강부(390)를 통해 하나의 제3 기판(G3)과 대형의 제4 기판(G4)을 모두 정렬시킬 수 있는 구성을 가질 수 있다.
한편, 상기 제1 및 제2 리프터(400, 500)들은 대형의 제4 기판(G4)을 한번에 수직 방향으로 이송하기 위하여 다른 제어 장치를 통해 동기적으로 제어될 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명은 기판 이송부에서 이송하는 두 개의 제1 및 제2 기판들이 동시에 처리될 수 있도록 하기 위하여 상기 제1 및 제2 기판들을 동시에 정렬시킬 수 있는 정렬 장치에 이용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 정렬부가 제1 및 제2 기판들을 정렬하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 정렬부가 제3 기판을 정렬하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 기판 정렬부가 제4 기판을 정렬하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에서 기판 정렬부에서 제2 및 제3 정렬바들이 하강하는 상태를 나타낸 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
G1, G2, G3, G4 : 제1, 제2, 제3 및 제4 기판
100 : 기판 이송부 200 : 기판 처리부
300 : 기판 정렬부
310, 320, 330, 340 : 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바
350 : 구동 유닛 360, 370 : 제1 및 제2 구동부
380 : 동기 제어부 390 : 승강부
400, 500 : 제1 및 제2 리프터 600 : 언로더부
1000 : 기판 처리 장치

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 서로 평행하게 순차적으로 배치된 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들; 및
    상기 제1 및 제2 정렬바들과 연결되고 상기 제1 및 제2 정렬바들을 그 사이의 제1 간격이 조절되도록 이동시키는 제1 구동부와, 상기 제3 및 제4 정렬바들과 연결되고 상기 제3 및 제4 정렬바들을 그 사이의 제2 간격이 조절되도록 이동시키는 제2 구동부를 포함하여 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들의 사이로 선택적으로 이송되는 최대 두 개 기판들의 양 측면들을 같이 가이드하여 상기 기판들을 정렬시키는 구동 유닛을 포함하고,
    상기 구동 유닛은 상기 제1 및 제2 구동부들과 연결되며 상기 제2 및 제3 정렬바들 사이의 제3 간격과 상기 제1 및 제4 정렬바들 사이의 제4 간격이 조절되도록 상기 제1 및 제2 구동부들을 동기 제어하는 동기 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  3. 서로 평행하게 순차적으로 배치된 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들; 및
    상기 제1 및 제2 정렬바들과 연결되고 상기 제1 및 제2 정렬바들을 그 사이의 제1 간격이 조절되도록 이동시키는 제1 구동부와, 상기 제3 및 제4 정렬바들과 연결되고 상기 제3 및 제4 정렬바들을 그 사이의 제2 간격이 조절되도록 이동시키는 제2 구동부를 포함하여 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들의 사이로 선택적으로 이송되는 최대 두 개 기판들의 양 측면들을 같이 가이드하여 상기 기판들을 정렬시키는 구동 유닛을 포함하고,
    상기 구동 유닛은 상기 제2 및 제3 정렬바들과 연결되어 상기 제2 및 제3 정렬바들을 상승 및 하강시키는 승강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  4. 제2 또는 3항에 있어서, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 정렬바들 각각은 상기 기판들의 일 측면과 접촉하면서 회전하는 다수의 정렬 롤러들을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  5. 상부에 서로 평행하게 놓여진 제1 및 제2 기판들을 수평 방향으로 이송하는 기판 이송부;
    상기 기판 이송부의 상부에 배치되어 상기 제1 및 제2 기판들을 처리하는 기판 처리부; 및
    상기 기판 이송부와 상기 기판 처리부 사이에서 상기 제1 및 제2 기판들을 정렬시키는 기판 정렬부를 포함하며,
    상기 기판 정렬부는
    사이에 상기 제1 기판이 위치하도록 상기 수평 방향을 따라 배치된 제1 및 제2 정렬바들;
    사이에 상기 제2 기판이 위치하도록 상기 수평 방향을 따라 배치된 제3 및 제4 정렬바들; 및
    상기 제1 및 제2 정렬바들과 연결되고 상기 제1 및 제2 정렬바들을 그 사이의 제1 간격이 조절되도록 이동시켜 상기 제1 기판의 양 측면들을 가이드함으로써 상기 제1 기판을 정렬시키는 제1 구동부, 상기 제3 및 제4 정렬바들과 연결되고, 상기 제3 및 제4 정렬바들을 그 사이의 제2 간격이 조절되도록 이동시켜 상기 제2 기판의 양 측면들을 가이드함으로써 상기 제2 기판을 정렬시키는 제2 구동부와, 상기 제1 및 제2 구동부들과 연결되며 상기 제2 및 제3 정렬바들 사이의 제3 간격과 상기 제1 및 제4 정렬바들 사이의 제4 간격이 조절되도록 상기 제1 및 제2 구동부들을 동기 제어하는 동기 제어부를 갖는 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기판 이송부와 상기 수평 방향으로 인접하게 배치되며, 상기 기판 이송부로부터 이송된 제1 및 제2 기판들 각각을 수직 방향으로 이송시키는 제1 및 제2 리프터들; 및
    상기 제1 및 제2 리프터들과 상기 수평 방향으로 인접하게 배치되며, 상기 제1 및 제2 리프터들 각각으로부터 이송된 제1 및 제2 기판들을 언로딩시키기 위한 언로더부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
KR1020090075034A 2009-08-14 2009-08-14 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 KR101099534B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090075034A KR101099534B1 (ko) 2009-08-14 2009-08-14 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090075034A KR101099534B1 (ko) 2009-08-14 2009-08-14 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110017525A KR20110017525A (ko) 2011-02-22
KR101099534B1 true KR101099534B1 (ko) 2011-12-28

Family

ID=43775494

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090075034A KR101099534B1 (ko) 2009-08-14 2009-08-14 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101099534B1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102123826B1 (ko) * 2015-01-22 2020-06-18 주식회사 원익아이피에스 얼라인모듈 및 기판얼라인방법
KR102031903B1 (ko) * 2016-07-18 2019-10-15 주식회사 원익아이피에스 얼라인모듈
KR102021547B1 (ko) * 2016-07-21 2019-09-11 주식회사 원익아이피에스 얼라인모듈
KR102580504B1 (ko) * 2016-07-18 2023-09-25 주식회사 원익아이피에스 얼라인모듈

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51123588U (ko) 1975-04-01 1976-10-06
KR100592931B1 (ko) * 2004-07-02 2006-06-26 주식회사 파이컴 글라스 이송용 컨베이어 시스템
JP2008103722A (ja) * 2006-10-17 2008-05-01 Hoellmueller Maschinenbau Gmbh 平坦な壊れやすい基板を処理するための装置
JP2008268284A (ja) 2007-04-16 2008-11-06 Shibaura Mechatronics Corp 基板の処理装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51123588U (ko) 1975-04-01 1976-10-06
KR100592931B1 (ko) * 2004-07-02 2006-06-26 주식회사 파이컴 글라스 이송용 컨베이어 시스템
JP2008103722A (ja) * 2006-10-17 2008-05-01 Hoellmueller Maschinenbau Gmbh 平坦な壊れやすい基板を処理するための装置
JP2008268284A (ja) 2007-04-16 2008-11-06 Shibaura Mechatronics Corp 基板の処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110017525A (ko) 2011-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4876640B2 (ja) ワーク搬送装置およびワーク搬送方法
JP5152469B2 (ja) 基板搬送装置
TWI432266B (zh) 基板用塗佈裝置及基板塗佈方法
KR101099534B1 (ko) 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
CN110023255B (zh) 玻璃板的制造方法及玻璃板的折断装置
US8593613B2 (en) LCD exposure stage device and exposure system
JP4854256B2 (ja) パネル処理装置及び処理方法
KR100965413B1 (ko) 기판 처리용 클러스터 장치 및 클러스터 장치의 기판 처리방법
US10553471B2 (en) Substrate conveying system and method
KR101859279B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR101000086B1 (ko) 기판 처리용 클러스터 장치 및 클러스터 장치의 기판 처리 방법
KR20060090905A (ko) 평판 디스플레이용 글래스 커팅장치 및 그 커팅방법
KR100617454B1 (ko) 기판 이송시스템 및 이를 이용한 기판 이송방법
JP2014080336A (ja) 基板分断装置
KR101034377B1 (ko) 기판 절단 방법 및 장치
KR20080022378A (ko) 기판이송장치
KR101000494B1 (ko) 이송장치
JP6322527B2 (ja) 印刷装置、印刷方法および該印刷装置で用いる担持体
KR102222263B1 (ko) 기판 처리 장치
KR100582848B1 (ko) 비금속재 절단장치
JP2007039158A (ja) 搬送装置および真空処理装置
JP2013102153A (ja) 処理ステージ装置及びそれを用いる塗布処理装置
CN219751203U (zh) 一种玻璃基板对中传送装置
KR101488798B1 (ko) 기판 반전 장치 및 방법
JP4474672B2 (ja) 基板移載装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141201

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161202

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171204

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191203

Year of fee payment: 9