WO2015079746A1 - 板ガラスの積層方法及びその積層装置 - Google Patents

板ガラスの積層方法及びその積層装置 Download PDF

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妥夫 寺西
松本 直之
優 神野
崇 藤田
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日本電気硝子株式会社
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    • B32B2315/08Glass

Definitions

  • the present invention relates to an improvement in a technique for laminating a product plate glass on a support plate glass.
  • thin plate glass has been used in various fields, as represented by glass substrates for flat panel displays. This is because various advantages such as a reduction in weight and an improvement in flexibility can be obtained by thinning the plate glass.
  • a thin glass plate has a drawback that it is easily broken and difficult to handle.
  • Patent Document 1 discloses that manufacturing-related processing such as heat treatment (slow cooling, film formation, etc.) is performed on a product plate glass in a laminated state in which a thin product plate glass is placed on a support plate glass. Yes.
  • Patent Document 1 when the product plate glass is handled in a laminated state placed on the support plate glass, it is necessary to correctly position the product plate glass on the support plate glass. Indispensable.
  • Patent Document 1 does not specifically describe the method of placing the product plate glass on the support plate glass, and the following various problems may occur in the general plate glass placing method.
  • an object of the present invention is to laminate a product plate glass in a state where the product plate glass is correctly positioned on the support plate glass without touching the upper surface of the product plate glass.
  • the present invention devised to solve the above problems is a method of laminating the product plate glass on the support plate glass without touching the upper surface of the product plate glass, and the two opposite sides of the product plate glass are on the lower surface side.
  • the product plate glass is bent downwardly in a convex shape to be stationary, and the flat support plate glass is raised and brought into contact with the lower end of the lower surface of the product plate glass, and then the product
  • the contact area between the support plate glass and the product plate glass is gradually expanded from the lower end portion of the product plate glass to the two opposite sides by gradually releasing the convex bending of the plate glass. .
  • the flat support plate glass rises toward the product plate glass that is bent downward and comes into contact with the lower end of the product plate glass. Thereby, the lower end part of product plate glass and the upper surface of support plate glass contact each other, and it adheres. At this time, since the support plate glass rises so as to pick up the product glass, it is not necessary to move the product plate glass whose posture is likely to be unstable due to bending. As a result, the lower end portion of the product plate glass and the support plate glass can be accurately brought into contact with each other at a predetermined position.
  • the product plate glass can be laminated in a state where the product plate glass is correctly positioned on the support plate glass without touching the upper surface of the product plate glass.
  • the support plate glass stops rising at the position after lifting the lower end portion of the product plate glass by a predetermined amount.
  • the lower surfaces of the two opposite sides of the product sheet glass are respectively supported by a plurality of support rollers that are rotatable around an axis parallel to the two opposite sides.
  • the product plate glass smoothly moves on the plurality of support rollers and can suppress shaking, so that the lower surface of the product plate glass is hardly damaged.
  • a support surface formed by the plurality of support rollers is inclined downward toward the lower end portion of the product sheet glass.
  • the product plate glass receives a force that is attracted to the lower end of the product glass by its own weight. Therefore, if the support roller is pulled out from the lower surface of the product glass, the product glass automatically slides down on the support roller, and the product plate glass can be easily and reliably released from bending.
  • a fork-like support body is formed from the gaps between the plurality of support pins on the lower surface sides of the two opposite sides of the product plate glass in a state where the product plate glass is supported flatly by a plurality of support pins.
  • the plurality of support pins are lowered relative to the support to transfer the product plate glass from the plurality of support pins to the support, and the product plate glass has a convex shape.
  • the support When releasing the bending gradually, the support may be pulled out from the lower surfaces of the two opposite sides of the product sheet glass.
  • the flat product sheet glass supported by the support pins can be easily and reliably transferred to the fork-shaped support.
  • the product plate glass which transferred to the support body will be in the state which bent below convexly because the lower surface of 2 sides which opposes is supported by a support body. Therefore, the bent posture of the product plate glass before being brought into contact with the support plate glass can be formed smoothly, and the bending of the product plate glass can be easily released by pulling out the support body.
  • the product plate glass preferably has a side of 1000 mm or less and a thickness of 0.7 mm or less.
  • the present invention devised to solve the above problems is an apparatus for laminating the product plate glass on the support plate glass without touching the upper surface of the product plate glass so that the product plate glass is bent downwardly in a convex shape.
  • First supporting means for supporting two opposite sides of the product plate glass from the lower surface side
  • second supporting means for supporting the support plate glass from the lower surface side so that the support plate glass is flat.
  • the product plate glass supported by the first support means is stationary, the support plate glass supported by the second support means is raised, and the lower end portion of the lower surface of the product plate glass is contacted
  • the contact area between the support plate glass and the product plate glass is changed to the product plate glass. Characterized in that from the lower end portion to expand the two sides side which is the opposite.
  • the first support means is configured to support the lower surfaces of the two opposite sides of the product sheet glass with a plurality of support rollers that are rotatable around an axis parallel to the two opposite sides. It is preferable that
  • a support surface formed by the plurality of support rollers is inclined downward toward the lower end side of the product sheet glass.
  • the said 1st support means is the 2 which the said product plate glass opposes from the clearance gap between the said some support pins. You may provide the fork-like support body which can move forward / backward on the lower surface side of each edge
  • the product plate glass can be laminated in a state where the product plate glass is correctly positioned on the support plate glass without touching the upper surface of the product plate glass.
  • FIG. 6 is an enlarged view of an area A shown in FIG. FIG.
  • FIG. 6 is an enlarged view of a region A shown in FIG. 5, showing a state where the support plate glass is further raised by a predetermined amount from the position where the product plate glass and the support plate glass first contact each other. It is a longitudinal cross-sectional view for demonstrating the lamination method of the plate glass by the plate glass lamination apparatus which concerns on this embodiment. It is a longitudinal cross-sectional view for demonstrating the lamination method of the plate glass by the plate glass lamination apparatus which concerns on this embodiment.
  • a sheet glass laminating apparatus includes a conveyance line 1 that conveys product sheet glass Ga and support sheet glass Gb, and a lamination zone WS provided in the conveyance line 1.
  • a first support unit 2 and a second support unit 3 that cooperate with each other are provided.
  • the conveyance line 1 has a first conveyance line 11 that conveys the product plate glass Ga, a second conveyance line 12 that conveys the support plate glass Gb, and the conveyance lines 11 and 12, upstream of the lamination zone WS.
  • the product plate glass Ga and the support plate glass Gb are provided with a third transport line 13 that is alternately transported.
  • the conveyance line 1 is provided with the 4th conveyance line 14 which conveys the laminated body G by which the product plate glass Ga was laminated
  • the conveyance line 1 may be constituted by one conveyance line, and the product plate glass Ga and the support plate glass Gb may be alternately conveyed on the conveyance line.
  • the first support means 2 is provided on both sides of the laminated zone WS, and supports the product sheet glass Ga in a state of being bent downwardly (see FIG. 4).
  • Each of the first support means 2 can move back and forth in a direction orthogonal to the transport direction as indicated by an arrow in the figure, and a plurality of (five in the illustrated example) arranged at intervals in the transport direction.
  • a fork-shaped support body including a support arm 21 is provided.
  • a plurality of support rollers 22 that are in direct contact with the lower surfaces of two sides facing each other in the direction orthogonal to the conveying direction in the product plate glass Ga are arranged.
  • Each support roller 22 is composed of a free roller that is driven to rotate around a rotation axis parallel to two opposite sides of the product sheet glass Ga.
  • the rotation axis parallel to the two opposite sides does not mean only when the two opposite sides are geometrically parallel, and may be slightly inclined with respect to the two opposite sides.
  • the range that is considered to be substantially parallel is also included.
  • the support arm 21 of the first support means 2 moves only in the direction orthogonal to the transport direction during the stacking operation, and its height position is always constant.
  • the height and inclination of the pair of support arms 21 and the distance between them can be appropriately adjusted.
  • 2nd support means 3 is provided so that it may overlap with lamination zone WS, and supports product plate glass Ga or support plate glass Gb in flat form (refer to Drawing 2, Drawing 6A, and Drawing 6B).
  • the second support means 3 includes a plurality of support pins 31 that are in direct contact with the lower surface of the product plate glass Ga or the support plate glass Gb.
  • Each support pin 31 is provided between each support arm 21, and as will be described later, each support arm 21 and each support roller 22 even if all the support pins 31 are moved up and down integrally in the stacking zone WS. So that it doesn't interfere with.
  • the product plate glass Ga has, for example, a side of 300 mm to 1000 mm and a thickness of 0.3 mm to 0.5 mm.
  • the support plate glass Gb has a length and a thickness that are both larger than the product plate glass Ga.
  • one side is 400 mm to 1100 mm and the thickness is 0.4 mm to 1.0 mm.
  • the product plate glass Ga and the support plate glass Gb may have the same plane size.
  • silicate glass silica glass, borosilicate glass, alkali-free glass or the like is used.
  • glasses in which the difference in coefficient of linear thermal expansion between the product plate glass Ga and the support plate glass Gb is within 5 ⁇ 10 ⁇ 7 / ° C. It is more preferable to use a glass having the following composition.
  • an inorganic thin film may be formed on the upper surface of the support plate glass Gb.
  • the inorganic thin film include ITO, Ti, Si, Au, Ag, Al, Cr, Cu, Mg, Ti, SiO, SiO 2 , Al 2 O 3 , MgO, Y 2 O 3 , L 2 O 3 , and Pr.
  • a thin film made of one or more materials selected from NiO and ZnO can be used.
  • the product sheet glass Ga is conveyed to the lamination zone WS by the plurality of conveyance rollers 15 of the conveyance line 1. Thereafter, as shown by a one-dot chain line in the drawing, the lifting mechanism 32 of the second support means 3 is raised.
  • the transport rollers 15 are arranged at intervals in a direction perpendicular to the transport direction, and the support pins 31 are moved up and down in the space between the transport rollers 15 by the lifting mechanism 32. Therefore, as the elevating mechanism 32 is raised, the support pin 31 directly contacts the lower surface of the product sheet glass Ga from between the transport rollers 15. Further, the product plate glass Ga on the transport roller 15 is lifted by the support pins 31 by the ascent of the lifting mechanism 32, and is transferred from the transport rollers 15 to the support pins 31.
  • each support arm 21 of the first support means 2 is advanced to the center side.
  • the elevating mechanism 32 is lowered in a state where the support arm 21 is advanced to the center side and stopped, the support pin 31 is lowered through the space between the support arms 21 (see FIG. 1).
  • the product sheet glass Ga supported by the support pins 31 is transferred to the support arm 21, and the lower surfaces of the two sides orthogonal to the transport direction are directly from below by the plurality of support rollers 22. Supported.
  • the product plate glass Ga that has been supported flat by the support pins 31 is supported by the support roller 22 of the support arm 21 in a state of being bent downward in a convex shape. Since each support arm 21 is stopped in a state where the support arm 21 has advanced to the center side, the product sheet glass Ga supported by the support roller 22 stops while maintaining a bent state.
  • a support surface formed by the support rollers 22 arranged on the support arm 21 (a plane passing through contact points with the support plate glass Gb of the plurality of support rollers 22) is a convex lower end portion on the lower surface of the product plate glass Ga. Inclined downward toward X.
  • the inclination angle of the support surface of the support roller 22 with respect to the horizontal plane is, for example, 5 ° to 15 °.
  • the support pin 31 is lowered below the transport roller 15 by the lifting mechanism 32 as shown in FIG.
  • the support plate glass Gb is conveyed by the roller 15 to the lamination zone WS.
  • the support plate glass Gb is transferred from the transport roller 15 to the support pins 31 as the lifting mechanism 32 is raised. Thereafter, when the elevating mechanism 32 is further raised, as shown in FIG. 5, the upper surface of the support plate glass Gb supported by the support pins 31 is directly on the lower end portion X of the lower surface of the product plate glass Ga supported by the support roller 22. Contact. That is, the product plate glass Ga that is stationary is picked up by the support plate glass Gb rising, so that the two plate glasses Ga and Gb come into contact with each other and are in close contact with each other.
  • the raising speed of the raising / lowering mechanism 32 (support plate glass Gb) relatively slow.
  • the normal ascending speed of the elevating mechanism 32 is 8 to 12 mm / s
  • the ascending speed immediately before (or immediately after) the two glass sheets Ga and Gb first contact each other is 2 to 4 mm / s.
  • the lifting mechanism 32 is further raised by a predetermined amount.
  • the periphery of the lower end portion X of the lower surface of the product sheet glass Ga which has been stationary in a state of being bent downward, is lifted by the upper surface of the support sheet glass Gb.
  • the periphery of the lower end portion X of the product plate glass Ga is deformed following the upper surface of the support plate glass Gb, and the contact area Y between the product plate glass Ga and the support plate glass Gb expands from a linear region parallel to the transport direction to a rectangular region. To do.
  • the adhesion between the two glass plates Ga and Gb is improved, and a shift between the two glass plates Ga and Gb hardly occurs.
  • the rising width ⁇ D of the upper surface of the support plate glass Gb is, for example, 5 mm to 7 mm.
  • the width of the contact area Y that is a rectangular area is, for example, 10 mm to 20 mm.
  • the support arm 21 is gradually retracted to the two opposite sides of the product sheet glass Ga and is pulled out from the lower surface of the product sheet glass Ga, thereby supporting the product sheet glass Ga and the support plate 21 as shown in FIG.
  • the contact area Y of the plate glass Gb expands on both sides.
  • the product plate glass Ga is automatically guided to the support plate glass Gb side by its own weight while sliding down on the support roller 22.
  • the support roller 22 may be driven and rotated, but may be driven and rotated as the support plate glass Gb moves.
  • the support arm 21 is completely pulled out from the lower surface of the product plate glass Ga to produce a laminate G in which the flat product plate glass Ga is laminated on the flat support plate glass Gb. can do.
  • the laminated body G manufactured in this way is transferred to the transport roller 15 from the support pin 31 and transported downstream by lowering the lifting mechanism 32.
  • stacked product plate glass Ga on support plate glass Gb can be manufactured sequentially by repeating the above operation
  • the laminate G manufactured in this way is transported to the next step outside the figure by the fourth transport line 14 shown in FIG.
  • this invention is not limited to said embodiment, It can implement with a various form.
  • the support arm 21 is a material with good sliding property such as a low friction material.
  • the support roller 22 may be omitted, and the product sheet glass Ga may be directly supported by the support arm 21.
  • the second support means 3 supports the product plate glass Ga or the support plate glass Gb with the support pins 31 by point contact.
  • the product plate glass Ga or the support plate glass Gb is supported by surface contact. May be.
  • the laminate G obtained by laminating the product plate glass Ga on the support plate glass Gb may be further subjected to manufacturing-related processing such as heating, pressurization, and decompression.

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Abstract

 製品板ガラスGaの対向する2辺を下面側から支持して、製品板ガラスGaを下に凸状に撓ませて静止させた状態で、平坦状の支持板ガラスGbを上昇させて、製品板ガラスGaの下面における下端部Xに接触させる。この状態で、製品板ガラスGaの凸状の撓みを徐々に解除することにより、支持板ガラスGbと製品板ガラスGaの接触領域Yを、製品板ガラスGaの下端部Xから対向する2辺側に拡大していく。

Description

板ガラスの積層方法及びその積層装置
 本発明は、支持板ガラスの上に、製品板ガラスを積層する技術の改良に関する。
 近年では、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板に代表されるように、種々の分野において、薄い板ガラスが使用されている。これは、板ガラスを薄くすることで、軽量化や可撓性の向上などの種々の利点を享受できるためである。
 しかしながら、その反面、薄い板ガラスは、単独では破損しやすく、取り扱いが難しいという欠点がある。
 そこで、例えば特許文献1には、薄い製品板ガラスを支持板ガラスの上に載置した積層状態で、製品板ガラスに対して熱処理(徐冷や成膜等)などの製造関連処理を施すことが開示されている。
特開2011-183792号公報
 ところで、特許文献1に開示されているように、支持板ガラスの上に載置した積層状態で製品板ガラスを取り扱う場合には、その前提として、支持板ガラスの上に製品板ガラスを正しく位置決めすることが必要不可欠となる。
 しかしながら、特許文献1には、支持板ガラスの上に製品板ガラスを載置する方法については具体的な記載がなく、しかも一般的な板ガラスの載置方法では次のような種々の問題が生じ得る。
 すなわち、製品板ガラスを支持板ガラスの上方近傍まで移送した後、製品板ガラスの支持を解除して、製品板ガラスを支持板ガラスの上に落下させて載置する場合には、製品板ガラスと支持板ガラスの間に空気が入ってしまう。このように空気が入ると、その空気の層によって、製品板ガラスが滑って支持板ガラスに対して正しく位置決めできないという問題が生じる。
 また、製品板ガラスが支持板ガラスの上面に接触するまで、製品板ガラスの上面を吸着等によって支持することにより、製品板ガラスの滑りを防止することも考えられるが、製品板ガラスの上面は、品質が保証された有効面とされるのが一般的であるため、他部材を接触させることは望ましくない。
 本発明は、上記実情に鑑み、製品板ガラスの上面に触れることなく、製品板ガラスを支持板ガラスに正しく位置決めした状態で積層することを課題とする。
 上記課題を解決するために創案された本発明は、製品板ガラスの上面に触れることなく、前記製品板ガラスを支持板ガラスの上に積層する方法であって、前記製品板ガラスの対向する2辺を下面側から支持して、前記製品板ガラスを下に凸状に撓ませて静止させた状態で、平坦状の前記支持板ガラスを上昇させて、前記製品板ガラスの下面における下端部に接触させた後、前記製品板ガラスの凸状の撓みを徐々に解除することにより、前記支持板ガラスと前記製品板ガラスの接触領域を、前記製品板ガラスの前記下端部から前記対向する2辺側に拡大していくことを特徴とする。
 このような構成によれば、平坦状の支持板ガラスが、下に凸状に撓んだ製品板ガラスに向かって上昇し、製品板ガラスの下端部に接触する。これにより、製品板ガラスの下端部と支持板ガラスの上面が互いに接触して密着する。この際、支持板ガラスが製品ガラスを迎えに行くように上昇するため、撓みによって姿勢が不安定になりやすい製品板ガラスを移動させずに済む。その結果、予め決められた位置で、製品板ガラスの下端部と支持板ガラスとを正確に接触させることができる。そして、この状態で、製品板ガラスの凸状の撓みを徐々に解除することにより、支持板ガラスと製品板ガラスの接触領域を製品板ガラスの下端部から対向する2辺側に拡大すれば、両板ガラスの間に最初に形成された接触領域による密着力は維持されるので、製品板ガラスが支持板ガラスの上を滑って移動し難くなる。したがって、製品板ガラスの上面に触れることなく、製品板ガラスを支持板ガラスに正しく位置決めした状態で積層することが可能となる。
 上記の構成において、前記支持板ガラスは、前記製品板ガラスの前記下端部を所定量持ち上げた後、その位置で上昇を停止することが好ましい。
 このようにすれば、製品板ガラスの下端部が支持板ガラスに強く押え付けられるため、両板ガラスの間に形成される接触領域の密着力が増す。その結果、製品板ガラスが支持板ガラスに対してより滑り難くなり、両板ガラスの位置決め精度が更に向上する。
 上記の構成において、前記製品板ガラスの対向する2辺の下面を、前記対向する2辺と平行な軸周りに回転自在な複数の支持ローラでそれぞれ支持することが好ましい。
 このようにすれば、製品板ガラスの撓みを解除する際に、製品板ガラスが複数の支持ローラの上をスムーズに移動し、揺れを抑制できるため、製品板ガラスの下面に傷が付き難くなる。
 この場合、前記複数の支持ローラによって形成される支持面が、前記製品板ガラスの前記下端部に向かって下方傾斜していることが好ましい。
 このようにすれば、製品板ガラスは、自重によって、製品ガラスの下端部に引き寄せられるような力を受ける。そのため、支持ローラを製品ガラスの下面から引き抜けば、製品ガラスが自動的に支持ローラの上から滑り落ち、製品板ガラスの撓みを簡単且つ確実に解除することが可能となる。
 上記の構成において、前記製品板ガラスを複数の支持ピンで平坦状に支持した状態で、前記製品板ガラスの対向する2辺のそれぞれの下面側に、前記複数の支持ピンの隙間からフォーク状の支持体を挿入した後、前記複数の支持ピンを前記支持体に対して相対的に下降させて、前記製品板ガラスを前記複数の支持ピンから前記支持体に乗り移らせるとともに、前記製品板ガラスの凸状の撓みを徐々に解除する際に、前記支持体を前記製品板ガラスの対向する2辺の下面から引き抜くようにしてもよい。
 このようにすれば、支持ピンで支持した平坦状の製品板ガラスを、フォーク状の支持体に簡単且つ確実に乗り移らせることができる。そして、支持体に乗り移った製品板ガラスは、対向する2辺の下面が支持体によって支持されるため、下に凸状に撓んだ状態となる。したがって、支持板ガラスに接触させる前の製品板ガラスの撓んだ姿勢をスムーズに形成することができ、また、支持体を引き抜けば、製品板ガラスの撓みの解除も簡単にできる。
 上記の構成において、前記製品板ガラスは、一辺が1000mm以下であって、厚みが0.7mm以下であることが好ましい。
 このようにすれば、製品板ガラスを下に凸状に撓ませることが容易であり、また、その湾曲姿勢も安定させやすい。
 上記課題を解決するために創案された本発明は、製品板ガラスの上面に触れることなく、前記製品板ガラスを支持板ガラスの上に積層する装置であって、前記製品板ガラスが下に凸状に撓むように、前記製品板ガラスの対向する2辺を下面側からそれぞれ支持する第1の支持手段と、前記支持板ガラスが平坦状になるように、前記支持板ガラスを下面側から支持する第2の支持手段とを備え、前記第1の支持手段で支持された前記製品板ガラスを静止させた状態で、前記第2の支持手段に支持された前記支持板ガラスを上昇させて、前記製品板ガラスの下面における下端部に接触させた後、前記製品板ガラスの下面から前記第1の支持手段を徐々に引き抜くことにより、前記支持板ガラスと前記製品板ガラスの接触領域を、前記製品板ガラスの前記下端部から前記対向している2辺側に拡大していくことを特徴とする。
 このような構成によれば、既に説明した対応する構成と同様の作用効果を享受することができる。
 上記の構成において、前記第1の支持手段が、前記製品板ガラスの対向する2辺の下面を、前記対向する2辺と平行な軸周りに回転自在な複数の支持ローラでそれぞれ支持するように構成されていることが好ましい。
 このようにすれば、既に説明した対応する構成と同様の作用効果を享受することができる。
 この場合、前記複数の支持ローラによって形成される支持面が、前記製品板ガラスの前記下端部側に向かって下方傾斜していることが好ましい。
 このようにすれば、既に説明した対応する構成と同様の作用効果を享受することができる。
 上記の構成において、前記製品板ガラスを平坦状に支持しながら昇降可能な複数の支持ピンを更に備えるとともに、前記第1の支持手段が、前記複数の支持ピンの隙間から前記製品板ガラスの対向する2辺のそれぞれの下面側に進退移動可能なフォーク状の支持体を備えていてもよい。
 このようにすれば、既に説明した対応する構成と同様の作用効果を享受することができる。
 以上のように本発明によれば、製品板ガラスの上面に触れることなく、製品板ガラスを支持板ガラスに正しく位置決めした状態で積層することができる。
本発明の実施形態に係る板ガラスの積層装置の全体構成を模式的に示す平面図である。 本実施形態に係る板ガラスの積層装置による板ガラスの積層方法を説明するための縦断面図である。 本実施形態に係る板ガラスの積層装置による板ガラスの積層方法を説明するための縦断面図である。 本実施形態に係る板ガラスの積層装置による板ガラスの積層方法を説明するための縦断面図である。 本実施形態に係る板ガラスの積層装置による板ガラスの積層方法を説明するための縦断面図である。 図5に示すA領域の拡大図であって、製品板ガラスと支持板ガラスが最初に接触した状態を示す。 図5に示すA領域の拡大図であって、製品板ガラスと支持板ガラスが最初に接触した位置から支持板ガラスが更に所定量上昇した状態を示す。 本実施形態に係る板ガラスの積層装置による板ガラスの積層方法を説明するための縦断面図である。 本実施形態に係る板ガラスの積層装置による板ガラスの積層方法を説明するための縦断面図である。
 図1に示すように、本発明の実施形態に係る板ガラスの積層装置は、製品板ガラスGa及び支持板ガラスGbを搬送する搬送ライン1を備えるとともに、搬送ライン1中に設けられた積層ゾーンWSで、支持板ガラスGbの上面に製品板ガラスGaを積層するために互いに連携する第1の支持手段2及び第2の支持手段3を備えている。
 搬送ライン1は、積層ゾーンWSの上流側に、製品板ガラスGaを搬送する第1の搬送ライン11と、支持板ガラスGbを搬送する第2の搬送ライン12と、これら搬送ライン11,12が合流し、製品板ガラスGaと支持板ガラスGbとが交互に搬送される第3の搬送ライン13とを備えている。更に、搬送ライン1は、積層ゾーンWSの下流側に、支持板ガラスGbの上に製品板ガラスGaが積層された積層体Gを搬送する第4の搬送ライン14を備えている。なお、搬送ライン1の搬送手段としては、例えば、ローラ、ベルト、エアーフロート、ウォーターフロートなどの種々の搬送形態が利用可能であるが、この実施形態では、ローラが用いられている。また、積層ゾーンWSの上流側において、搬送ライン1を1本の搬送ラインから構成し、その搬送ライン上で、製品板ガラスGaと支持板ガラスGbを交互に搬送するようにしてもよい。
 第1の支持手段2は、積層ゾーンWSの両側方にそれぞれ設けられ、製品板ガラスGaを下に凸状に撓ませた状態で支持する(図4を参照)。各第1の支持手段2は、図中に矢印で示すように、搬送方向と直交する方向に進退移動可能であり、搬送方向に間隔を置いて配列された複数(図示例は5本)の支持アーム21からなるフォーク状の支持体を備えている。各支持アーム21には、製品板ガラスGaにおける搬送方向と直交する方向に対向する2辺の下面と直接接触する複数の支持ローラ22が配列されている。各支持ローラ22は、製品板ガラスGaの対向する二辺と平行な回転軸周りに従動回転するフリーローラで構成される。ここでいう対向する二辺と平行な回転軸とは、対向する二辺と幾何学的に平行な場合のみを意味するものではなく、対向する二辺に対して多少傾斜していてもよく、実質的に平行とみなさせる範囲も含む。なお、この実施形態では、第1の支持手段2の支持アーム21は、積層作業中は、搬送方向と直交する方向にのみ移動し、その高さ位置は常に一定とされている。もちろん、製品板ガラスGaの大きさや厚みに応じて、一対の支持アーム21の高さ、傾き、互いの離間距離などは適宜調整することができる。
 第2の支持手段3は、積層ゾーンWSとオーバーラップするように設けられ、製品板ガラスGa又は支持板ガラスGbを平坦状に支持する(図2、図6A及び図6Bを参照)。第2の支持手段3は、製品板ガラスGa又は支持板ガラスGbの下面と直接接触する複数の支持ピン31を備えている。なお、各支持ピン31は各支持アーム21の間に設けられおり、後述するように、全ての支持ピン31が積層ゾーンWSで一体的に昇降しても、各支持アーム21及び各支持ローラ22に干渉しないようになっている。
 ここで、製品板ガラスGaは、例えば、一辺が300mm~1000mmであって、厚みが0.3mm~0.5mmである。一方、支持板ガラスGbは、製品板ガラスGaよりも一辺の長さと厚みが共に大きく、例えば、一辺が400mm~1100mmであって、厚みが0.4mm~1.0mmである。もちろん、製品板ガラスGaと支持板ガラスGbは、平面の大きさが同じでもよい。
 製品板ガラスGa及び支持板ガラスGbとしては、共に、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等が用いられる。ただし、積層体Gの状態で熱処理を伴う場合には、製品板ガラスGaと支持板ガラスGbとの線熱膨張係数の差が、5×10-7/℃以内となるガラスを用いることが好ましく、同一の組成を有するガラスを用いることが更に好ましい。
 製品板ガラスGaと支持板ガラスGbの剥離性を良好にするために、支持板ガラスGbの上面に無機薄膜を形成してもよい。無機薄膜としては、例えば、ITO、Ti、Si、Au、Ag、Al、Cr、Cu、Mg、Ti、SiO、SiO、Al、MgO、Y、L、Pr11、Sc、WO、HfO、In、ZrO、Nd、Ta、CeO、Nb、TiO、TiO、Ti、NiO、ZnOから選択される1種以上の材料からなる薄膜が利用できる。
 次に、以上のように構成された板ガラスの積層装置を用いた板ガラスの積層方法を説明する。
 まず、図2に示すように、搬送ライン1の複数の搬送ローラ15によって積層ゾーンWSに製品板ガラスGaを搬送する。その後、同図に一点鎖線で示すように、第2の支持手段3の昇降機構32を上昇させる。搬送ローラ15は、搬送方向と直交する方向に間隔を置いて配列されており、支持ピン31は、昇降機構32によって搬送ローラ15の間の空間を昇降する。そのため、昇降機構32の上昇に伴って、支持ピン31は、搬送ローラ15の間から製品板ガラスGaの下面に直接接触する。そして、更なる昇降機構32の上昇によって、搬送ローラ15上の製品板ガラスGaが支持ピン31によって持ち上げられ、搬送ローラ15から支持ピン31に乗り移る。
 次に、図2の一点鎖線に示す状態から更に昇降機構32を上昇させた後、図3に示すように、第1の支持手段2の各支持アーム21を中央側に進出させる。その後、支持アーム21を中央側に進出させて停止させた状態で、昇降機構32を下降させると、支持ピン31は、支持アーム21の間を通って下降する(図1を参照)。この過程で、図4に示すように、支持ピン31に支持されていた製品板ガラスGaが、支持アーム21に乗り移るとともに、搬送方向と直交する2辺の下面が下方から複数の支持ローラ22によって直接支持される。その結果、支持ピン31によって平坦状に支持されていた製品板ガラスGaが、支持アーム21の支持ローラ22によって下に凸状に撓んだ状態で支持される。各支持アーム21は、中央側に進出した状態で停止しているため、支持ローラ22によって支持された製品板ガラスGaは、撓んだ状態を維持しながら静止する。ここで、支持アーム21に配列された支持ローラ22によって形成される支持面(複数の支持ローラ22の支持板ガラスGbとの接触点を通る平面)は、製品板ガラスGaの下面における凸状の下端部Xに向かって下方傾斜している。支持ローラ22の支持面の水平面に対する傾斜角度は、例えば5°~15°である。
 このように製品板ガラスGaを下に凸状に撓ませる一連の動作が完了した後、図4に示すように、昇降機構32によって、搬送ローラ15よりも下方に支持ピン31を下降させるとともに、搬送ローラ15によって支持板ガラスGbを積層ゾーンWSに搬送する。
 支持板ガラスGbは、製品板ガラスGaと同様に、昇降機構32の上昇に伴って、搬送ローラ15から支持ピン31に乗り移る。その後、更に昇降機構32を上昇させると、図5に示すように、支持ピン31に支持された支持板ガラスGbの上面が、支持ローラ22によって支持された製品板ガラスGaの下面の下端部Xに直接接触する。すなわち、静止している製品板ガラスGaを、支持板ガラスGbが上昇して迎えに行くことで、両板ガラスGa,Gbが互いに接触して密着する。このように両板ガラスGa,Gbを最初に接触させる際は、両板ガラスGa,Gbのずれを防止するために、昇降機構32(支持板ガラスGb)の上昇速度を相対的に低速にすることが好ましい。例えば、昇降機構32の通常の上昇速度は8~12mm/sとし、両板ガラスGa,Gbが最初に接触する直前(又は直前から直後)の上昇速度は2~4mm/sとする。
 この実施形態では、図6Aに示すように、支持板ガラスGbの上面が、製品板ガラスGaの下面の下端部Xに直接接触した後に、更に昇降機構32が所定量上昇する。これにより、図6Bに示すように、下に凸状に撓んだ状態で静止していた製品板ガラスGaの下面の下端部Xの周辺が、支持板ガラスGbの上面により持ち上げられる。そのため、製品板ガラスGaの下端部Xの周辺が、支持板ガラスGbの上面に倣って変形し、製品板ガラスGaと支持板ガラスGbの接触領域Yが搬送方向と平行な線状領域から矩形状領域に拡大する。その結果、両板ガラスGa,Gbの密着力が向上し、両板ガラスGa,Gbの間にずれが生じ難くなる。ここで、図6Bの状態で、支持板ガラスGbの上面の上昇幅ΔDは、例えば、5mm~7mmである。また、矩形状領域となった接触領域Yの幅は、例えば、10mm~20mmである。
 図6Bの状態から、支持アーム21を製品板ガラスGaの対向している2辺側に徐々に退避させて、製品板ガラスGaの下面から引き抜くことで、図7に示すように、製品板ガラスGaと支持板ガラスGbの接触領域Yが両側に拡大していく。この際、製品板ガラスGaは、支持ローラ22の上を滑り落ちながら、支持板ガラスGb側に自重によって自動的に誘導される。支持ローラ22は、駆動回転してもよいが、支持板ガラスGbの移動に伴って従動回転すればよい。
 最後に、図8に示すように、支持アーム21を製品板ガラスGaの下面から完全に引き抜くことで、平坦状の支持板ガラスGbの上に、平坦状の製品板ガラスGaを積層した積層体Gを製造することができる。このように製造された積層体Gは、昇降機構32を下降させることで、支持ピン31から搬送ローラ15に乗り移り、下流側へと搬送される。
 そして、以上の動作を繰り返すことで、支持板ガラスGbの上に製品板ガラスGaを積層した積層体Gを順次製造することができる。このように製造された積層体Gは、図1に示した第4の搬送ライン14によって、図外の次工程へ搬送される。
 以上のようにすれば、支持板ガラスGbが、上昇を伴いながら製品板ガラスGaを迎えに行くため、撓みによって姿勢が不安定になりやすい製品板ガラスGaを移動させずに済む。その結果、予め決められた位置で、製品板ガラスGaの下面の下端部Xと支持板ガラスGbの上面とが正確に接触し、互いに密着する。そして、この状態で、支持アーム21を引き抜いて製品板ガラスGaの凸状の撓みを徐々に解除すると、製品板ガラスGaと支持板ガラスGbの間に最初に形成された接触領域Yによる密着力を維持しながら、両板ガラスGa,Gbの接触領域Yが製品板ガラスGaの対向している2辺側に拡大していくため、製品板ガラスGaが支持板ガラスGbとの間に空気が入り難くなる。したがって、製品板ガラスGaの有効面となる上面に何ら触れることなく、製品板ガラスGaを支持板ガラスGbに正しく位置決めした状態で積層することが可能となる。
 なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の形態で実施することができる。
 上記の実施形態では、第1の支持手段2が、支持アーム21に設けられた支持ローラ22で製品板ガラスGaを支持する場合を説明したが、支持アーム21が低摩擦材料などの滑りのよい材質である場合には、支持ローラ22を省略し、製品板ガラスGaを支持アーム21で直接支持するようにしてもよい。
 上記の実施形態では、第2の支持手段3が、支持ピン31によって製品板ガラスGa又は支持板ガラスGbを点接触支持する場合を説明したが、製品板ガラスGa又は支持板ガラスGbを面接触支持するようにしてもよい。
 支持板ガラスGbの上に製品板ガラスGaを積層した積層体Gに例えば、加熱、加圧、減圧などの製造関連処理を更に施すようにしてもよい。
1   搬送ライン
15  搬送ローラ
2   第1の支持手段
21  支持アーム
22  支持ローラ
3   第2の支持手段
31  支持ピン
32  昇降機構
Ga  製品板ガラス
Gb  支持板ガラス
WS  積層ゾーン
X   製品板ガラス下面における下端部
Y   製品板ガラスと支持板ガラスの接触領域
 

Claims (10)

  1.  製品板ガラスの上面に触れることなく、前記製品板ガラスを支持板ガラスの上に積層する方法であって、
     前記製品板ガラスの対向する2辺を下面側から支持して、前記製品板ガラスを下に凸状に撓ませて静止させた状態で、平坦状の前記支持板ガラスを上昇させて、前記製品板ガラスの下面における下端部に接触させた後、
     前記製品板ガラスの凸状の撓みを徐々に解除することにより、前記支持板ガラスと前記製品板ガラスの接触領域を、前記製品板ガラスの前記下端部から前記対向する2辺側に拡大していくことを特徴とする板ガラスの積層方法。
  2.  前記支持板ガラスは、前記製品板ガラスの前記下端部を所定量持ち上げた後、その位置で上昇を停止することを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の板ガラスの積層方法。
  3.  前記製品板ガラスの対向する2辺の下面を、前記対向する2辺と平行な軸周りに回転自在な複数の支持ローラでそれぞれ支持することを特徴とする請求項1又は2に記載の板ガラスの積層方法。
  4.  前記複数の支持ローラによって形成される支持面が、前記製品板ガラスの前記下端部に向かって下方傾斜していることを特徴とする請求項3に記載の板ガラスの積層方法。
  5.  前記製品板ガラスを複数の支持ピンで平坦状に支持した状態で、前記製品板ガラスの対向する2辺のそれぞれの下面側に、前記複数の支持ピンの隙間からフォーク状の支持体を挿入した後、前記複数の支持ピンを前記支持体に対して相対的に下降させて、前記製品板ガラスを前記複数の支持ピンから前記支持体に乗り移らせるとともに、
     前記製品板ガラスの凸状の撓みを徐々に解除する際に、前記支持体を前記製品板ガラスの対向する2辺の下面から引き抜くことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の板ガラスの積層方法。
  6.  前記製品板ガラスは、一辺が1000mm以下であって、厚みが0.7mm以下であることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の板ガラスの積層方法。
  7.  製品板ガラスの上面に触れることなく、前記製品板ガラスを支持板ガラスの上に積層する装置であって、
     前記製品板ガラスが下に凸状に撓むように、前記製品板ガラスの対向する2辺を下面側からそれぞれ支持する第1の支持手段と、
     前記支持板ガラスが平坦状になるように、前記支持板ガラスを下面側から支持する第2の支持手段とを備え、
     前記第1の支持手段で支持された前記製品板ガラスを静止させた状態で、前記第2の支持手段に支持された前記支持板ガラスを上昇させて、前記製品板ガラスの下面における下端部に接触させた後、
     前記製品板ガラスの下面から前記第1の支持手段を徐々に引き抜くことにより、前記支持板ガラスと前記製品板ガラスの接触領域を、前記製品板ガラスの前記下端部から前記対向する2辺側に拡大していくことを特徴とする板ガラスの積層装置。
  8.  前記第1の支持手段が、前記製品板ガラスの対向する2辺の下面を、前記対向する2辺と平行な軸周りに回転自在な複数の支持ローラでそれぞれ支持することを特徴とする請求項7に記載の板ガラスの積層装置。
  9.  前記複数の支持ローラによって形成される支持面は、前記製品板ガラスの前記下端部側に向かって下方に傾斜していることを特徴とする請求項8に記載の板ガラスの積層装置。
  10.  前記製品板ガラスを平坦状に支持しながら昇降可能な複数の支持ピンを更に備えるとともに、
     前記第1の支持手段が、前記複数の支持ピンの隙間から前記製品板ガラスの対向する2辺のそれぞれの下面側に進退移動可能なフォーク状の支持体を備えていることを特徴とする請求項7~9のいずれか1項に記載の板ガラスの積層装置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7153231B2 (ja) * 2018-12-21 2022-10-14 日本電気硝子株式会社 ガラス板の撓み測定装置及びガラス板の製造方法
CN117383255B (zh) * 2023-12-11 2024-02-27 江苏南晶红外光学仪器有限公司 一种镀膜玻璃生产中的取片装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03221451A (ja) * 1990-01-29 1991-09-30 Nippon Sheet Glass Co Ltd 積層体の製造方法
JP2010013178A (ja) * 2008-07-07 2010-01-21 Asahi Glass Co Ltd 板状体の梱包容器、及び板状体の積込装置、並びに板状体の輸送方法
JP2012129228A (ja) * 2010-12-13 2012-07-05 Toppan Printing Co Ltd 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法
JP2012227403A (ja) * 2011-04-21 2012-11-15 Dainippon Printing Co Ltd インナーパレット
JP2013227151A (ja) * 2012-04-24 2013-11-07 Jae-Sung Lee 大面積パネル用の搬送プレート

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03221451A (ja) * 1990-01-29 1991-09-30 Nippon Sheet Glass Co Ltd 積層体の製造方法
JP2010013178A (ja) * 2008-07-07 2010-01-21 Asahi Glass Co Ltd 板状体の梱包容器、及び板状体の積込装置、並びに板状体の輸送方法
JP2012129228A (ja) * 2010-12-13 2012-07-05 Toppan Printing Co Ltd 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法
JP2012227403A (ja) * 2011-04-21 2012-11-15 Dainippon Printing Co Ltd インナーパレット
JP2013227151A (ja) * 2012-04-24 2013-11-07 Jae-Sung Lee 大面積パネル用の搬送プレート

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