JP7153231B2 - ガラス板の撓み測定装置及びガラス板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス板の撓み測定装置に係り、詳しくは、ガラス板を下方から支持する二つの支持部材を備え、該二つの支持部材間に生じるガラス板の撓みを測定する装置に関する。また、本発明は、上記測定装置を用いるガラス板の製造方法に関する。

周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の薄型表示機器やセンサの基板、あるいは薄膜化合物太陽電池の基板等に使用されるガラス板は、微細な欠陥や傷等が存在しないことが要求される。

しかし、ガラス板の大板化や薄肉化が推進されている現状においては、ガラス板に生じる撓みが大きくなる。そのため、搬送中にガラス板が搬送設備と接触して傷が付く等の問題を招くおそれがある。そこで、ガラス板に生じる撓みを測定することが重要視されている。

ガラス板の撓みの測定手法の一例として、ガラス板を下方から支持する二つの支持部材を備え、この二つの支持部材間に生じるガラス板の撓みを測定することが行われている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９‐１１７３０１号公報

しかしながら、上記のように二つの支持部材によりガラス板を下方から支持してガラス板の撓みを測定する手法によれば、測定の前段階においてガラス板を二つの支持部材上に載置する過程で、以下に示すような問題が生じる。

すなわち、手等で保持されたガラス板を二つの支持部材上に載置して測定する際には、平面状のガラス板が自重や保持に伴う力といった外力により凸状又は凹状に反った状態で二つの支持部材の上端に接触し、撓み測定が開始される。この場合、外力による反りが原因となってガラス板の支持態様（例えば支持部材との接触位置やガラス板の姿勢等）にずれや狂い等が生じ、その結果、ガラス板の撓み測定時における測定誤差が大きくなるおそれがある。この測定誤差は、手等で保持されたガラス板を二つの支持部材上に載置する作業に習熟が必要であることから、作業者の個人差によって生じやすい。

以上の観点から、本発明は、ガラス板を支持部材上に載置する過程でガラス板の支持態様にずれや狂い等が生じることを抑止して、ガラス板の撓み測定時における測定誤差を小さくすることを課題とする。

上記課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板を下方から支持する二つの主支持部材を備え、該二つの主支持部材間に生じる前記ガラス板の撓みを測定するように構成し、前記二つの主支持部材間に、前記ガラス板を下方から支持する状態と前記ガラス板から退避した状態とを取る中間支持部材を配置したことに特徴づけられる。

このような構成によれば、ガラス板を二つの主支持部材上に載置する過程では、これらの主支持部材がガラス板を下方から支持するだけでなく、中間支持部材もガラス板を下方から支持することができる。したがって、ガラス板を二つの支持部材の上端に接触（載置）させる際には、外力による反りを中間支持部材によって小さくし或いは無くすことができる。そして、ガラス板を二つの主支持部材と中間支持部材とによって支持させた後、中間支持部材をガラス板から退避させれば、二つの主支持部材間に生じるガラス板の撓みを測定することができる。これにより、ガラス板を二つの主支持部材上に載置する過程で、ガラス板の支持態様にずれや狂い等が生じ難くなり、ガラス板の撓み測定時における測定誤差を小さくすることができる。また、手等で保持されたガラス板を二つの主支持部材及び中間支持部材に載置する作業は、習熟していない作業者でも容易に行うことができ、個人差による測定誤差も小さくすることができる。

以上の構成において、前記中間支持部材を上下動させる中間支持用昇降手段を備え、該中間支持部材が上方位置にある時に該中間支持部材が前記ガラス板を下方から支持し、該中間支持部材が前記上方位置よりも下方位置にある時に該中間支持部材が前記ガラス板から退避するように構成してもよい。

このようにすれば、中間支持用昇降手段の動作により中間支持部材が上下動するだけで、中間支持部材は、ガラス板を下方から支持する状態と、ガラス板から退避した状態とを取る。これにより、中間支持部材に二つの状態を取らせるための構成が簡素になると共に、二つの状態を切り換えるための作業が自動化されて作業効率及び測定精度が向上する。

以上の構成において、前記中間支持部材が上動端位置にある時に、該中間支持部材の上端と前記二つの主支持部材の上端とが同一高さに保持されるようにしてもよい。

このようにすれば、ガラス板を二つの主支持部材上に載置する過程の初期段階で、中間支持部材を上動端位置に上昇させておくことで、ガラス板を外力による反りの無い水平な状態に保持することができる。これにより、当該初期段階で、ガラス板が二つの主支持部材上を滑る等の事態が阻止され、ガラス板の支持位置のずれや姿勢の狂いがより一層生じ難くなる。しかも、ガラス板が水平な状態からどれだけ撓むかを容易に認識することができ、ガラス板の撓み量を迅速且つ正確に知得することができる。

以上の構成において、前記ガラス板の測定対象となる端面を撮像する撮像手段と、該撮像手段を上下動させる撮像用昇降手段と、前記撮像手段の高さを測定する高さ測定手段と、前記撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段とを備えるようにしてもよい。ここで、上記の「ガラス板の測定対象となる端面」とは、平板状のガラス板が撓んだ場合に湾曲した形態になる端面のことを意味している（以下、同様）。

このようにすれば、中間支持部材の下動に伴ってガラス板の測定すべき端面が移動した場合には、その移動した距離に応じて撮像手段を移動させることができる。しかも、撮像手段が撮像した画像が表示手段に表示されると共に高さ測定手段によって撮像手段の高さを測定できるため、表示手段と高さ測定手段を通じてガラス板の撓み量を認識することができる。これにより、レーザー距離計等を使用する必要性がなくなり、注意を要する面倒且つ煩雑な取り扱いが不要になる。しかも、レーザー距離計等は、二つの主支持部材上に載置された状態にあるガラス板の下方領域や上方領域に設置されるものである。ここで、レーザー距離計等を当該ガラス板の下方領域に設置した場合には、中間支持部材との干渉等の問題が生じ得る。また、レーザー距離計等を、当該ガラス板の上方領域に配置した場合には、二つの主支持部材上にガラス板を移動させる際に、ガラス板との干渉等の問題が生じ得る。しかし、本発明に係る上記の構成によれば、撮像手段、撮像用昇降手段、及び表示手段を、ガラス板の下方領域及び上方領域を除外した領域に配置することができる。そのため、中間支持部材及びガラス板との干渉等の問題が生じなくなり、これらの手段のレイアウトの自由度が大きくなる。

以上の構成において、前記ガラス板の測定対象となる端面と直交する方向に対して前記ガラス板を位置決めするストッパと、前記中間支持部材の上動端位置からの下動に伴って前記ストッパを前記ガラス板から退避させるストッパ駆動手段とを備えるようにしてもよい。

このようにすれば、ガラス板を二つの支持部材上に載置する過程では、ストッパの存在によって、ガラス板を平置き姿勢で容易に且つ正確に載置することができる。これにより、ガラス板の撓み測定時における測定誤差をより一層小さくすることができる。しかも、中間支持部材が上動端位置から下動する際には、これに伴ってストッパがガラス板から退避するため、ガラス板が撓んでいく過程で、ガラス板とストッパとの間に摺動等が生じない。これにより、ガラス板に傷が付く等の問題や、ガラス板の適正且つ自由な撓みが阻害される等の問題が回避される。

この場合、前記ガラス板の測定対象となる端面と平行な方向に対して前記ガラス板を位置決めするスケールを備えるようにしてもよい。

このようにすれば、ガラス板を二つの支持部材上に載置する過程で、ガラス板が一の方向に対してストッパにより位置決めされるだけでなく、該一の方向と直交する方向に対してもスケールを用いて位置決めが行われる。これにより、ガラス板の撓み測定時における測定誤差をより一層確実に小さくすることができる。

以上の構成において、前記二つの主支持部材が接近及び離反するように該二つの主支持部材の少なくとも一方を移動させる主支持用駆動手段を備えるようにしてもよい。

このようにすれば、種々のサイズのガラス板について、サイズの大小に関わらず、適切に撓み測定を行うことが可能となる。

この場合、前記主支持用駆動手段は、前記二つの主支持部材をそれらの相互間中央位置を境にしてその両側で対称に移動させるように構成してもよい。

このようにすれば、ガラス板のサイズが変更されても、ガラス板の測定対象となる端面と平行な方向に対しては、ガラス板の中央位置を一定に維持しておくことができる。そのため、ガラス板の載置作業や撓み測定作業のうちの主要な作業を、ガラス板のサイズの大小に関わらず同一条件で行うことが可能となる。

上記課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板を準備する準備工程と、前記ガラス板の撓みを測定する測定工程とを備えるガラス板の製造方法であって、前記測定工程で、上述のガラス板の撓み測定装置を用いて撓みを測定し、前記測定工程は、前記二つの主支持部材と、前記中間支持部材とで前記ガラス板を支持する工程と、前記中間支持部材を退避させ、前記二つの主支持部材で前記ガラス板を支持する工程とを備えることに特徴づけられる。

このような構成によれば、上述のガラス板の撓み測定装置と同様に、外力による反りを中間支持部材によって小さくし或いは無くすことができ、ガラス板の撓み測定時における測定誤差を小さくすることができる。このため、製造されるガラス板の品質を向上させることができる。

本発明によれば、ガラス板を二つの主支持部材上に載置する過程でガラス板の支持態様にずれや狂い等が生じ難くなり、ガラス板の撓み測定時における測定誤差を小さくすることができる。

本発明の実施形態に係るガラス板の撓み測定装置の全体構成を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の撓み測定装置の全体構成を示す平面図である。 図２のＸ－Ｘ線にしたがって切断した縦断正面図であって、ガラス板に撓みが生じていない状態を示す図である。 図２のＸ－Ｘ線にしたがって切断した縦断正面図であって、ガラス板に撓みが生じている状態を示す図である。 本発明の実施形態に係るガラス板の撓み測定装置の作用を示す要部拡大側面図である。 図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の実施形態に係るガラス板の撓み測定装置の構成要素である表示手段の画面を示す概略正面図である。

以下、本発明の実施形態に係るガラス板の撓み測定装置について添付図面を参照しつつ説明する。

（装置構成）
図１は、本実施形態に係るガラス板の撓み測定装置１の全体構成を示す斜視図であり、図２は、当該撓み測定装置１にガラス板Ｇが載置された状態を示す平面図である。また、図３は、図２のＸ－Ｘ線断面図である。これら各図に示すように、撓み測定装置１は、ガラス板Ｇを下方から支持する二つの主支持部材２を備え、二つの主支持部材２間に生じるガラス板Ｇの撓みを測定するように構成される。主支持部材２は、Ａ－Ａ方向（以下、縦方向という）に長尺な平板状の部材であり、起立した状態に保持されている。主支持部材２のＡ－Ａ方向の位置及び高さ位置は、常時一定に維持される。これに対して、主支持部材２の縦方向と直交するＢ－Ｂ方向（以下、横方向という）の位置は、ガラス板Ｇのサイズが変更される場合に、主支持用駆動手段３によって変更される。

主支持用駆動手段３は、二つの主支持部材２を一直線上に沿って移動させる駆動機構４と、この二つの主支持部材２の移動を案内するガイド機構５とを有する。駆動機構４は、定盤６上における縦方向の中央部を横方向に延びる一本の駆動軸７を有する。駆動軸７は、定盤６の上面６ａに固設された軸受ブロック８によって回転可能に保持されている。軸受ブロック８は、横方向の複数箇所（図例では三箇所）に配設されている。なお、定盤６の上面６ａは水平面をなす。また、駆動軸７は、軸方向の一端部に装着されたハンドル９の回転操作に伴って回転する。さらに、駆動軸７は、軸方向の二箇所にねじ部７ａを有し、一方のねじ部７ａに右ねじが形成され且つ他方のねじ部７ａに左ねじが形成されている。そして、一方の主支持部材２に固定されたナット１０が一方のねじ部７ａに螺合し、他方の主支持部材２に固定されたナット１０が他方のねじ部７ａに螺合している。このような構成であれば、ハンドル９を一方向に回転させた場合における二つの主支持部材２の送り方向が互いに逆になる。したがって、二つの主支持部材２は、相互間の中央位置を境にしてその両側で対称に移動する。

ガイド機構５は、駆動軸７の縦方向両側に離間して配置された二本のレール１１を有する。これらのレール１１は、駆動軸７と平行になるように定盤６上に固設されている。また、これらのレール１１には、二つの主支持部材２にそれぞれ固設されたＬ字形ブラケット１２が摺動可能に嵌合している。したがって、二つの主支持部材２が駆動軸７の回転により一直線上に移動する際には、Ｌ字形ブラケット１２も一体となってレール１１上を移動する。

さらに、撓み測定装置１は、二つの主支持部材２間に配置された中間支持部材１３を備える。中間支持部材１３は、縦方向に長尺な断面Ｌ字形の板材であり、底部１３ａから起立する起立部１３ｂを有している。ガラス板Ｇが二つの主支持部材２によって下方から支持されている場合、中間支持部材１３は、ガラス板Ｇを下方から支持する状態と、ガラス板Ｇから退避した状態とを取る。詳しくは、ガラス板Ｇは、中間支持部材１３の起立部１３ｂによって下方から支持される。この起立部１３ｂは、二つの主支持部材２の相互間の中央位置に配列される。

中間支持部材１３の縦方向位置及び横方向位置は、常時一定に維持される。これに対して、中間支持部材１３の高さ位置は可変とされている。詳しくは、中間支持部材１３は、定盤６上に設置された中間支持用昇降手段１４の動作によって上下動する。本実施形態では、中間支持用昇降手段１４は、流体圧シリンダ、特に、エアシリンダで構成される。このエアシリンダ１４は、定盤６の上面６ａと中間支持部材１３の底部１３ａとに跨って組み付けられている。したがって、中間支持部材１３は、エアシリンダ１４のピストンロッドの突出動及び後退動に伴って上下動する。

なお、主支持部材２の上端におけるガラス板Ｇが接触する部位、及び、中間支持部材１３（起立部１３ｂ）の上端におけるガラス板Ｇが接触する部位は、何れも、ガラスとの摩擦が小さい特性を有する材質、例えば、ポリイミド樹脂、アルミニウム合金(例えばＡｌ－Ｍｇ系合金のＡ５０５２Ｐ)、フッ素樹脂などで形成される。

撓み測定装置１は、ガラス板Ｇを縦方向に対して位置決めするストッパ１５を備える。本実施形態では、ストッパ１５は、二つの主支持部材２にそれぞれ組み付けられている。詳しくは、ストッパ１５は、円柱状をなし、その周面にガラス板Ｇの縦方向の一方の端面Ｇａが当接可能とされる。さらに、主支持部材２の内側面には箱状体１６が固定され、この箱状体１６にストッパ１５が縦方向に移動可能に保持されている。ストッパ１５は、主支持部材２に設置されたストッパ駆動手段１７の動作によって縦方向に移動する。本実施形態では、ストッパ駆動手段１７は、流体圧シリンダ、特に、エアシリンダで構成される。このエアシリンダ１７は、箱状体１６に組み付けられている。したがって、ストッパ１５は、エアシリンダ１７の突出動及び後退動に伴って縦方向に移動する。なお、ストッパ１５のガラス板Ｇが当接する部位は、耐摩耗性のある有機樹脂、例えば、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、フッ素樹脂、ポリアミドイミド樹脂などで形成される。

さらに、撓み測定装置１は、ガラス板Ｇを横方向に対して位置決めするスケール１８を備えている。本実施形態では、スケール１８は、一方側（同各図の右側）の主支持部材２の外側面の上端部に固設され、横方向の外側に向かって延びている。このスケール１８の上面には、ガラス板Ｇの複数のサイズに応じるための複数の直線１９が刻まれている。スケール１８の上面は、ガラス板Ｇの下面に近接している。そして、ガラス板Ｇの横方向の一方側（同各図の右側）の端面Ｇｂを、ガラス板Ｇのサイズに応じて決まる何れかの直線１９に平面視で合致させることによって、ガラス板Ｇが横方向に位置決めされる（図２参照）。なお、この位置決めは、本実施形態では、作業者の目視によって行われる。

また、撓み測定装置１は、主支持部材２上にセットされた状態にあるガラス板Ｇの縦方向の一方側の端面（測定対象となる端面）Ｇａを撮像する撮像手段２０を備える。本実施形態では、撮像手段２０は、カメラ類、特に、ＣＣＤカメラで構成される。ＣＣＤカメラ２０は、撮像用昇降手段２１の動作によって上下動する。具体的には、ＣＣＤカメラ２０は、床面上等に設置されたデジタル式ハイトゲージ２１のスライダ２２に装着されている。したがって、本実施形態では、撮像用昇降手段２１がデジタル式ハイトゲージで構成される。スライダ２２及びＣＣＤカメラ２０は、ハンドル２３の回転操作に伴って上下動する。このハンドル２３の回転操作は、本実施形態では、作業者によって行われる。ＣＣＤカメラ２０の高さは、デジタル式ハイトゲージ２１によって測定される。したがって、本実施形態では、デジタル式ハイトゲージ２１が撮像手段２０の高さを測定する高さ測定手段としても機能する。さらに、ＣＣＤカメラ２０によって撮像された画像は、ＴＶモニタ等の表示手段２４に表示される。

（撓み測定）
以上の構成を備えた撓み測定装置１によれば、ガラス板Ｇが二つの主支持部材２上に載置される直前及び直後においては、図３に示すように、中間支持部材１３が上動端位置にある。したがって、載置作業を開始した時点でのガラス板Ｇは、主支持部材２だけでなく中間支持部材１３によっても下方から支持されている。この時点での中間支持部材１３の上端の高さ位置は、二つの主支持部材２の上端の高さ位置と同一である。したがって、この時点でのガラス板Ｇは、主支持部材２と中間支持部材１３とによって、水平な状態になるように下方から支持されている。この状態で、ガラス板Ｇの縦方向の一方側の端面Ｇａをストッパ１５に当接させ、横方向の一方側の端面Ｇａをスケール１８の一つの直線１９に合致させる。これにより、ガラス板Ｇの縦方向及び横方向の位置決めが完了する。この後、中間支持用昇降手段であるエアシリンダ１４によって中間支持部材１３を下動させることにより、ガラス板Ｇは自重により撓んでいく。そして、中間支持部材１３が下動端に達した時点で、図４に示すように、中間支持部材１３はガラス板Ｇから退避した状態（離反した状態）になる。厳密には、中間支持部材１３が下動を開始した後、下動端に達する前に、中間支持部材１３がガラス板Ｇから退避した状態になる。

この場合、図５に鎖線で示すように、中間支持用昇降手段であるエアシリンダ１４が中間支持部材１３を下動させ始めた時点で、これに同期してストッパ駆動手段であるエアシリンダ１７がストッパ１５を後退動させ始める。したがって、ガラス板Ｇが撓み始めると同時に、ストッパ１５がガラス板Ｇから退避する。そのため、ガラス板Ｇが撓んでいく過程では、ストッパ１５とガラス板Ｇとは干渉しない。

撓み量測定では、ガラス板Ｇを各支持部材２、１３上に載置する。ＣＣＤカメラ２０が、測定対象となる端面Ｇａの最下縁Ｓを撮像し、この撮像された画像は、表示手段２４に表示される。図６（ａ）に示すように、表示手段２４の画面には、ガラス板Ｇの端面Ｇａの画像と、画面中央に入れられた基準線２５とが映し出される。この時、ハンドル２３の操作によってハイトゲージ２１のスライダ２２の高さ位置を調整することによって、図６（ｂ）に示すように、端面Ｇａの最下縁Ｓと基準線２５とを合致させる。この時点でのスライダ２２の高さ位置を、第一の零点位置に設定する。

この後、中間支持部材１３が下動して図４に示すようにガラス板Ｇから退避した場合には、ハンドル２３の操作によってスライダ２２を下動させる。これに追随してＣＣＤカメラ２０も下動する。そして、再びハンドル２３の操作によってハイトゲージ２１のスライダ２２の高さ位置を調整する。この調整によって、図６（ｃ）に示すように、ガラス板Ｇの端面Ｇａの最下縁Ｓと基準線２５とを合致させる。この時点でのスライダ２２の高さ位置を上記第一の零点位置との関係で読み取ることによって、ガラス板Ｇの表面の撓み量が測定される。

次に、ガラス板Ｇを反転させて各支持部材２、１３上に載置する。その後、上記と同様にして中間支持部材１３を下動させ、ハイトゲージ２１のスライダ２２の高さ位置調整する。この調整によって、再び図６（ｃ）に示すように、ガラス板Ｇの端面Ｇａの最下縁Ｓと基準線２５とを合致させる。この時点でのスライダ２２の高さ位置を上記第一の零点位置との関係で読み取ることによってガラス板Ｇの裏面の撓み量が測定される。ガラスＧの撓み差は、表面の撓み量と裏面の撓み量の差から求められる。

さらに、ガラス板Ｇの撓み差のみの測定は、例えば次のようにして行う。先ず、図６（ｃ）に示す画像が得られた時点でのスライダ２２の高さ位置を、第二の零点位置としておく。そして、中間支持部材１３及びスライダ２２をそれぞれ上動させて元の位置に復帰させる。次に、ガラス板Ｇを反転させて各支持部材２、１３上に載置する。その後、上記と同様にして中間支持部材１３を下動させ、且つスライダ２２及びＣＣＤカメラ２０を下動させる。さらに、中間支持部材１３をガラス板Ｇから退避させる。この状態で、スライダ２２の高さ位置を調節して、再び図６（ｃ）に示すように、反転したガラス板Ｇの端面Ｇａの最下縁と基準線２５とを合致させる。この時点でのスライダ２２の高さ位置を上記第二の零点位置との関係で読み取ることによって、ガラス板Ｇの撓み差が測定される。

以上のような撓み測定（撓み量及び撓み差の測定）を、同一サイズの複数枚のガラス板Ｇについて行った後、ガラス板Ｇのサイズを変更する場合には、以下のような作業が行われる。ガラス板Ｇのサイズが大きくなる場合には、図１に示すハンドル９を一方向に回転させて、二つの主支持部材２を相互に離反する方向に移動させる。また、ガラス板Ｇのサイズが小さくなる場合には、当該ハンドル９を他の方向に回転させて、二つの主支持部材２を相互に接近する方向に移動させる。この場合における二つの主支持部材２の移動停止位置は、予め設定されているハンドル９の回転角度、或いは予め設定されている主支持部材２の横方向位置などに応じて決まる。このようにして、二つの主支持部材２が横方向の新たな位置に設置された場合でも、撮像手段２０や撮像用昇降手段２１は、二つの主支持部材２の相互間の中央位置に配列される。そのため、撮像手段２０や撮像用昇降手段２１の設置位置（本実施形態ではＣＣＤカメラ２０及びハイトゲージ２１の設置位置）は変更しなくても済む。なお、表示手段２４の設置位置も変更する必要がない。本実施形態のように、中間支持部材１３の起立部１３ｂを二つの主支持部材２の相互間の中央位置に配列する場合は、中間支持部材１３の起立部１３ｂの設置位置も変更しなくて済む。また、図１及び図２に示すスケール１８については、変更後のガラス板Ｇのサイズに対応した異なる直線１９を選択するだけで済む。したがって、ガラス板Ｇの横方向の位置決めは、新たに選択された直線１９に、サイズが変更されたガラス板Ｇの横方向の一方側の端面Ｇｂを合致させることで行われる。

ここで、撓み測定装置１による撓み測定の対象となるガラス板Ｇのサイズは、例えば横方向寸法が２００～６００ｍｍ、縦方向寸法が３００～７００ｍｍである。上記範囲内に、複数のサイズが存在している。なお、図例では、ガラス板Ｇの横方向に沿う辺を長辺とし、縦方向に沿う辺を短辺としたが、これとは逆に、ガラス板Ｇの横方向に沿う辺を短辺とし、縦方向に沿う辺を長辺としてもよい。これらのガラス板Ｇの板厚は、０．２～３．０ｍｍである。なお、これらのガラス板Ｇは、ヤング率や板厚等のガラス物性に応じて複数のサイズに切断される。例えば、ガラス板Ｇの板厚が小さくなるに連れてサイズも小さく切断される。

（効果）
以上のように、本実施形態に係る撓み測定装置１によれば、ガラス板Ｇを二つの主支持部材２上に載置する過程で、これらの主支持部材２がガラス板Ｇを下方から支持するだけでなく、中間支持部材１３もガラス板Ｇを下方から支持する。これにより、ガラス板Ｇを二つの主支持部材２の上端に接触させる際には、中間支持部材１３の存在によってガラス板Ｇに外力による反りが生じ難くなる。したがって、ガラス板Ｇを載置する過程におけるガラス板Ｇの支持態様にずれや狂い等が生じ難くなり、ガラス板Ｇの撓み測定時における測定誤差を小さくすることができる。

また、本実施形態に係る撓み測定装置１によれば、ガラス板Ｇを二つの主支持部材２上に載置する過程の初期段階で、中間支持部材１３の存在によってガラス板Ｇが水平な状態に保持される。したがって、当該初期段階で、ガラス板Ｇが二つの主支持部材２上を滑る等の事態が阻止され、ガラス板Ｇの撓み測定時における測定誤差をより一層小さくすることができる。

さらに、本実施形態に係る撓み測定装置１によれば、中間支持部材１３が上下動するだけで、中間支持部材１３は、ガラス板Ｇを下方から支持する状態と、ガラス板Ｇから退避した状態とを取る。これにより、中間支持部材１３に二つの状態を取らせるための中間支持用昇降手段１４の構成が簡素になる。また、この二つの状態を切り換えるための作業が中間支持用昇降手段１４により自動化されて作業効率が向上する。

しかも、本実施形態に係る撓み測定装置１によれば、ガラス板Ｇの撓みが進行する過程で、ストッパ１５がガラス板Ｇから退避した状態になるため、ガラス板Ｇとストッパ１５との間に摺動等が生じなくなる。そのため、ガラス板Ｇに傷が付く等の問題が回避されると共に、ガラス板Ｇの適正且つ自由な撓みが阻害される等の問題も回避される。

さらに、本実施形態に係る撓み測定装置１によれば、撓み量や撓み差の測定が、撮像手段２０とハイトゲージ２１（撮像用昇降手段及び高さ測定手段）と表示手段２４とを用いて行われるため、取り扱いに注意を要するレーザー距離計等を使用しなくても済む。この場合、レーザー距離計等は、二つの主支持部材２上に載置された状態にあるガラス板Ｇの下方領域や上方領域に設置されるものである。レーザー距離計等を当該ガラス板Ｇの下方領域に設置した場合には、中間支持部材１３との干渉等の問題が生じ得る。また、レーザー距離計等を、当該ガラス板Ｇの上方領域に配置した場合には、二つの主支持部材２上にガラス板Ｇを移動させる際に、ガラス板Ｇとの干渉等の問題が生じ得る。しかし、本実施形態では、撮像手段２０、撮像用昇降手段２１、及び表示手段２４が、ガラス板Ｇの下方領域及び上方領域を除外した領域（ガラス板Ｇの後方の領域）に配置されている。そのため、中間支持部材１３やガラス板Ｇとの干渉等の問題が生じず、これらの手段２０、２２、２４のレイアウトの自由度が大きくなる。

また、本実施形態に係る撓み測定装置１によれば、ガラス板Ｇのサイズを変更する場合に、主支持用駆動手段３が二つの主支持部材２をそれらの相互間中央位置を境にしてその両側で対称に移動させる構成である。そのため、ガラス板Ｇのサイズが変更されても、ガラス板Ｇの測定対象となる端面Ｇａと平行な方向に対しては、ガラス板Ｇの中央位置が一定に維持される。これにより、ガラス板Ｇの載置作業や撓み測定作業のうちの大半の作業が、ガラス板Ｇのサイズの大小に関わらず同一条件で行うことができる。

（変形例）
なお、以上の実施形態では、中間支持部材１３を鉛直線に沿って上下動させるようしたが、これに代えて、中間支持部材１３を傾斜した方向に沿って上下動させるようにしてもよい。このようにする場合には、中間支持部材１３を高速で下動させることが好ましい。

また、以上の実施形態では、中間支持部材１３を上下動させる中間支持用昇降手段１４としてエアシリンダ等の流体圧シリンダを使用したが、これに代えて、ボールねじ機構等の他の手段を使用してもよい。なお、ストッパ１５を突出動及び後退動させるストッパ駆動手段１７も、エアシリンダ等の流体圧シリンダに代えて、ボールねじ機構等の他の手段を使用してもよい。

さらに、以上の実施形態では、撮像手段２０としてＣＣＤカメラを使用したが、これに代えて、他のカメラ類やイメージセンサ等を使用してもよい。

また、以上の実施形態では、撮像手段２０を上下動させる撮像用昇降手段２１として、ハイトゲージ２１を使用したが、これに代えて、エアシリンダ等の流体圧シリンダやボールねじ機構等の他の手段を使用してもよい。このようにする場合には、撮像手段の高さ測定手段として、スケール等を使用してもよい。あるいは、基準線２５に対して所定の間隔で設けられた目盛り線を表示手段２４に映し出すことによって、撓みを測定してもよい。誤差を低減すると共に効率よく測定を行う観点では、撮像用昇降手段及び測定手段としてハイトゲージ２１を用いることが好ましい。

さらに、以上の実施形態では、定盤６上に各種の構成要素を設置したが、他の基台上にそれらの構成要素を設置するようにしてもよい。

また、以上の実施形態では、二つの主支持部材２を横方向に移動させるように構成したが、一方の主支持部材２を固定設置し、他方の主支持部材２のみを横方向に移動させるように構成してもよい。

さらに、以上の実施形態では、主支持部材２をハンドル９の操作によって移動させるようにしたが、電気信号等によって主支持部材２を移動させるようにしてもよい。

また、以上の実施形態では、主支持部材２を平板状の部材とし、中間支持部材１３を断面がＬ字形をなす部材としたが、これらの支持部材２、１３の形状は特に限定されない。

さらに、以上の実施形態では、二つの主支持部材２間に、一つの中間支持部材１３を配置したが、二つ以上の中間支持部材１３を配置するようにしてもよい。また、以上の実施形態では、中間支持部材１３を二つの主支持部材２の相互間の中央位置に配列したが、中央位置以外に配列してもよい。外力による反りを無くす観点では、隣り合う支持部材（主支持部材２及び中間支持部材１３）の間隔が等しくなるように配列することが好ましく、一つの中間支持部材１３を配列する場合は、中央位置に配列することが好ましい。

また、以上の実施形態では、一つの主支持部材２を一つの部材で構成したが、一つの主支持部材２を複数の部材で構成してもよい。また、一つの主支持部材２を複数の部材で構成する場合には、一つの主支持部材２を縦方向に伸縮可能としてもよい。同様にして、中間支持部材１３も、縦方向に伸縮可能としてもよい。

以上の実施形態では、測定対象となる端面を有するガラス板Ｇを各支持部材２、１３上に載置した状態で、第一の零点位置を設定する作業を実施する。この態様では、ガラス板Ｇが薄いと、ガラス板Ｇを各支持部材２、１３上に載置した状態でも若干の撓みが発生することから、第一の零点位置を設定する作業に時間を要する。このため、測定対象となる端面を有するガラス板Ｇでなく、測定対象となる端面を有するガラス板Ｇよりも厚いガラス板やストレートエッジ（直定規）等を各支持部材２、１３上に載置した状態で、第一の零点位置を設定する作業を実施してもよい。この場合は、第一の零点位置を設定する作業の完了後に、測定対象となる端面を有するガラス板Ｇを各支持部材２、１３上に載置して撓み量や撓み差の測定を行えばよい。これにより、ガラス板Ｇが薄い場合でも、効率よく測定作業を実施できる。

（製造方法）
続いて、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法について説明する。本実施形態の製造方法は、ガラス板を準備する準備工程と、ガラス板の撓みを測定する測定工程とを備える。準備工程は、例えば、溶融ガラスからオバーフロー法やフロート法によりガラスリボンを成形する成形工程と、ガラスリボンからガラス板を切り出す切断工程と、切り出されたガラス板の端面を砥石で加工する加工工程と、端面が加工されたガラス板を洗浄する工程と、ガラス板の一部を採取する採取工程とを備える。採取工程では、例えば、切断工程を経たガラス板を採取してもよく、洗浄工程を経たガラス板を採取してもよい。切断工程は、ガラスリボンからガラス板を切り出す第一切断工程と、第一切断工程を経たガラス板から一枚又は複数枚のガラス板を切り出す第二切断工程とを備えてもよく、この場合、採取工程では、第一切断工程を経たガラス板を採取してもよい。

測定工程では、上述のガラス板の撓み測定装置１を用いて撓みを測定する。測定工程は、例えば、採取したガラス板から所定サイズのサンプルのガラス板を切り出すサンプル作製工程と、二つの主支持部材２と、中間支持部材１３とでサンプルのガラス板を支持する支持工程と、中間支持部材１３を退避させ、二つの主支持部材２のみでサンプルのガラス板を支持する退避工程とを備える。測定工程は、上述の撓み測定に記載の手順で行えばよい。

以上のように、本実施形態に係る製造方法によれば、上述のガラス板の撓み測定装置１を用いるので、採取されたガラス板の撓み測定時における測定誤差を小さくすることができる。このため、製造されるガラス板の品質を向上させることができる。

１ 撓み測定装置
２ 主支持部材
３ 主支持用駆動手段
１３ 中間支持部材
１４ 中間支持用昇降手段
１５ ストッパ
１７ ストッパ駆動手段
１８ スケール
２０ 撮像手段
２１ ハイトゲージ（撮像用昇降手段及び高さ測定手段）
２４ 表示手段
Ｇ ガラス板
Ｇａ ガラス板の測定対象となる端面

Claims (9)

1. ガラス板を下方から支持する二つの主支持部材を備え、該二つの主支持部材間に生じる前記ガラス板の撓みを測定するように構成し、
   前記二つの主支持部材間に、前記ガラス板を下方から支持する状態と前記ガラス板から退避した状態とを取る中間支持部材を配置したことを特徴とするガラス板の撓み測定装置。
2. 前記中間支持部材を上下動させる中間支持用昇降手段を備え、該中間支持部材が上方位置にある時に該中間支持部材が前記ガラス板を下方から支持し、該中間支持部材が前記上方位置よりも下方位置にある時に該中間支持部材が前記ガラス板から退避するように構成した請求項１に記載のガラス板の撓み測定装置。
3. 前記中間支持部材が上動端位置にある時に、該中間支持部材の上端と前記二つの主支持部材の上端とが同一高さに保持される請求項２に記載のガラス板の撓み測定装置。
4. 前記ガラス板の測定対象となる端面を撮像する撮像手段と、該撮像手段を上下動させる撮像用昇降手段と、前記撮像手段の高さを測定する高さ測定手段と、前記撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段とを備えている請求項２または３に記載のガラス板の撓み測定装置。
5. 前記ガラス板の測定対象となる端面と直交する方向に対して前記ガラス板を位置決めするストッパと、前記中間支持部材の上動端位置からの下動に伴って前記ストッパを前記ガラス板から退避させるストッパ駆動手段とを備えている請求項２～４の何れかに記載のガラス板の撓み測定装置。
6. 前記ガラス板の測定対象となる端面と平行な方向に対して前記ガラス板を位置決めするスケールを備えている請求項５に記載のガラス板の撓み測定装置。
7. 前記二つの主支持部材が接近及び離反するように該二つの主支持部材の少なくとも一方を移動させる主支持用駆動手段を備えている請求項１～６の何れかに記載のガラス板の撓み測定装置。
8. 前記主支持用駆動手段は、前記二つの主支持部材をそれらの相互間中央位置を境にしてその両側で対称に移動させるように構成されている請求項７に記載のガラス板の撓み測定装置。
9. ガラス板を準備する準備工程と、前記ガラス板の撓みを測定する測定工程とを備えるガラス板の製造方法であって、
   前記測定工程で、請求項１～８に記載のガラス板の撓み測定装置を用いて撓みを測定し、
   前記測定工程は、前記二つの主支持部材と、前記中間支持部材とで前記ガラス板を支持する工程と、前記中間支持部材を退避させ、前記二つの主支持部材で前記ガラス板を支持する工程とを備えることを特徴とするガラス板の製造方法。

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