CN113167574A - 玻璃板的挠曲测定装置以及玻璃板的制造方法 - Google Patents

玻璃板的挠曲测定装置以及玻璃板的制造方法 Download PDF

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CN113167574A CN201980080260.5A CN201980080260A CN113167574A CN 113167574 A CN113167574 A CN 113167574A CN 201980080260 A CN201980080260 A CN 201980080260A CN 113167574 A CN113167574 A CN 113167574A
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Abstract

本发明构成为,具备从下方对玻璃板(G)进行支承的两个主支承构件(2),并对在两个主支承构件(2)之间产生的玻璃板(G)的挠曲进行测定,在两个主支承构件(2)之间配置有中间支承构件(13),该中间支承构件(13)采取从下方对玻璃板(G)进行支承的状态和从玻璃板(G)退避的状态。

Description

玻璃板的挠曲测定装置以及玻璃板的制造方法
技术领域
本发明涉及玻璃板的挠曲测定装置,详细而言,涉及如下装置,该装置具备从下方对玻璃板进行支承的两个支承构件,并对在该两个支承构件之间产生的玻璃板的挠曲进行测定。另外,本发明涉及使用上述测定装置进行的玻璃板的制造方法。
背景技术
众所周知,要求在液晶显示器、有机EL显示器等薄型显示设备、传感器的基板或者薄膜化合物太阳能电池的基板等中使用的玻璃板不存在细微的缺陷、损伤等。
然而,在不断推进玻璃板的大板化、薄壁化的现状下,玻璃板所产生的挠曲变大。因此,有可能导致玻璃板在搬运中与搬运设备接触而造成损伤等问题。于是,对玻璃板所产生的挠曲进行测定受到了重视。
作为玻璃板的挠曲的测定方法的一例,进行如下方案,该方案具备从下方对玻璃板进行支承的两个支承构件,并对在这两个支承构件之间产生的玻璃板的挠曲进行测定(例如,参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2009-117301号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而,根据如上述那样由两个支承构件从下方对玻璃板进行支承而对玻璃板的挠曲进行测定的方法,在测定的前阶段,在将玻璃板载置于两个支承构件上的过程中,会产生以下所示那样的问题。
即,在将由手等保持的玻璃板载置于两个支承构件上而进行测定时,平面状的玻璃板在由于自重、伴随着保持所产生的力这样的外力而翘曲为凸状或者凹状的状态下与两个支承构件的上端接触,并开始挠曲测定。在该情况下,会因由外力导致的翘曲而使玻璃板的支承形态(例如与支承构件的接触位置、玻璃板的姿态等)产生偏移、偏差等,其结果是,玻璃板的挠曲测定时的测定误差有可能变大。将由手等保持的玻璃板载置于两个支承构件上的作业需要熟练,因此容易由于作业者的个人差异而产生该测定误差。
从以上的观点出发,本发明的课题在于,对在将玻璃板载置于支承构件上的过程中玻璃板的支承形态产生偏移、偏差等情况进行抑制,从而减小玻璃板的挠曲测定时的测定误差。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题而作出的本发明构成为,具备从下方对玻璃板进行支承的两个主支承构件,并对在该两个主支承构件之间产生的所述玻璃板的挠曲进行测定,本发明的特征在于,在所述两个主支承构件之间配置有中间支承构件,所述中间支承构件采取从下方对所述玻璃板进行支承的状态和从所述玻璃板退避的状态。
根据这样的结构,在将玻璃板载置于两个主支承构件上的过程中,不仅这些主支承构件能够从下方对玻璃板进行支承,中间支承构件也能够从下方对玻璃板进行支承。因此,在使玻璃板接触(载置)于两个支承构件的上端时,能够通过中间支承构件来使由外力导致的翘曲减小或消失。并且,在利用两个主支承构件和中间支承构件对玻璃板进行支承之后,如果使中间支承构件从玻璃板退避,则能够对在两个主支承构件之间产生的玻璃板的挠曲进行测定。由此,在将玻璃板载置于两个主支承构件上的过程中,玻璃板的支承形态难以产生偏移、偏差等,从而能够减小玻璃板的挠曲测定时的测定误差。另外,对于将由手等保持的玻璃板载置于两个主支承构件以及中间支承构件的作业,即使是不熟练的作业者也能够容易地进行,从而还能够减小因个人差异导致的测定误差。
在以上的结构中,也可以构成为,具备使所述中间支承构件上下移动的中间支承用升降机构,在该中间支承构件位于上方位置时,该中间支承构件从下方对所述玻璃板进行支承,在该中间支承构件位于比所述上方位置靠下方的位置时,该中间支承构件从所述玻璃板退避。
这样一来,仅通过利用中间支承用升降机构的动作使中间支承构件上下移动,中间支承构件就能采取从下方对玻璃板进行支承的状态和从玻璃板退避的状态。由此,用于使中间支承构件采取两个状态的结构变得简单,并且用于对两个状态进行切换的作业自动化,从而提升作业效率以及测定精度。
在以上的结构中,也可以是,在所述中间支承构件位于移动上端位置时,该中间支承构件的上端与所述两个主支承构件的上端保持在同一高度。
这样一来,通过在将玻璃板载置于两个主支承构件上的过程的初始阶段,预先使中间支承构件上升至移动上端位置,能够将玻璃板保持在没有由外力导致的翘曲的水平状态。由此,在该初始阶段,阻止了玻璃板在两个主支承构件上滑动等情况,从而更难产生玻璃板的支承位置的偏移、姿态的偏差。并且,能够容易地识别玻璃板从水平状态起挠曲了多少,从而能够迅速并且正确地得知玻璃板的挠曲量。
在以上的结构中,也可以是,具备:拍摄机构,其对所述玻璃板的成为测定对象的端面进行拍摄;拍摄用升降机构,其使该拍摄机构上下移动;高度测定机构,其对所述拍摄机构的高度进行测定;以及显示机构,其显示所述拍摄机构拍摄到的图像。在此,上述的“玻璃板的成为测定对象的端面”是指,平板状的玻璃板在挠曲的情况下成为弯曲的形态的端面(以下相同)。
这样一来,在玻璃板的应测定的端面伴随着中间支承构件的向下移动而移动了的情况下,能够根据该端面移动的距离来使拍摄机构移动。并且,拍摄机构拍摄到的图像显示于显示机构,并且能够由高度测定机构对拍摄机构的高度进行测定,因此,能够通过显示机构和高度测定机构来识别玻璃板的挠曲量。由此,没有使用激光测距仪等的必要性,从而无需要求注意的麻烦以及繁琐的处理。并且,激光测距仪等设置在处于在两个主支承构件上载置的状态下的玻璃板的下方区域、上方区域。在此,在将激光测距仪等设置于该玻璃板的下方区域的情况下,可能会产生与中间支承构件的干涉等问题。另外,在将激光测距仪等配置于该玻璃板的上方区域的情况下,当使玻璃板在两个主支承构件上移动时,可能会产生与玻璃板的干涉等问题。然而,根据本发明的上述的结构,能够将拍摄机构、拍摄用升降机构以及显示机构配置在将玻璃板的下方区域以及上方区域排除后的区域。因此,不会产生与中间支承构件以及玻璃板的干涉等问题,从而这些机构的布局的自由度变大。
在以上的结构中,也可以是,具备:限位件,其将所述玻璃板相对于与所述玻璃板的成为测定对象的端面正交的方向定位;以及限位件驱动机构,其伴随着所述中间支承构件的从移动上端位置的向下移动,而使所述限位件从所述玻璃板退避。
这样一来,在将玻璃板载置于两个支承构件上的过程中,由于限位件的存在,能够将玻璃板以平置的姿态容易并且正确地载置。由此,能够进一步减小玻璃板的挠曲测定时的测定误差。并且,在中间支承构件从移动上端位置向下移动时,伴随于此,限位件从玻璃板退避,因此在玻璃板产生挠曲的过程中,不会在玻璃板与限位件之间产生滑动等。由此,避免对玻璃板造成损伤等问题、玻璃板的适当并且自由的挠曲受到阻碍等问题。
在该情况下,也可以是,具备标尺,所述标尺将所述玻璃板相对于与所述玻璃板的成为测定对象的端面平行的方向定位。
这样一来,在将玻璃板载置于两个支承构件上的过程中,玻璃板不仅利用限位件来针对一个方向进行定位,还使用标尺来针对与该一个方向正交的方向进行定位。由此,能够更可靠地减小玻璃板的挠曲测定时的测定误差。
在以上的结构中,也可以是,具备主支承用驱动机构,所述主支承用驱动机构以使所述两个主支承构件接近以及离开的方式使该两个主支承构件中的至少一方移动。
这样一来,对于各种尺寸的玻璃板,不论尺寸的大小如何,都能够适当地进行挠曲测定。
在该情况下,也可以是,所述主支承用驱动机构构成为使所述两个主支承构件以该两个主支承构件相互间的中央位置为边界在该边界的两侧对称地移动。
这样一来,即使玻璃板的尺寸变更,也能够预先将玻璃板的中央位置相对于与玻璃板的成为测定对象的端面平行的方向维持恒定。因此,不论玻璃板的尺寸的大小如何,都能够以同一条件进行玻璃板的载置作业、挠曲测定作业中的主要作业。
为了解决上述课题而作出的本发明是一种玻璃板的制造方法,其具备准备玻璃板的准备工序以及对所述玻璃板的挠曲进行测定的测定工序,所述玻璃板的制造方法的特征在于,在所述测定工序中,使用上述的玻璃板的挠曲测定装置对挠曲进行测定,所述测定工序具备利用所述两个主支承构件和所述中间支承构件对所述玻璃板进行支承的工序以及使所述中间支承构件退避而利用所述两个主支承构件对所述玻璃板进行支承的工序。
根据这样的结构,与上述的玻璃板的挠曲测定装置同样地,能够通过中间支承构件来使由外力导致的翘曲减小或消失,从而能够减小玻璃板的挠曲测定时的测定误差。因此,能够使制造出的玻璃板的品质提升。
发明效果
根据本发明,在将玻璃板载置于两个主支承构件上的过程中,玻璃板的支承形态难以产生偏移、偏差等,从而能够减小玻璃板的挠曲测定时的测定误差。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的玻璃板的挠曲测定装置的整体结构的立体图。
图2是示出本发明的实施方式的玻璃板的挠曲测定装置的整体结构的俯视图。
图3是按照图2的X-X线切断而得到的纵剖主视图,且是示出未在玻璃板产生挠曲的状态的图。
图4是按照图2的X-X线切断而得到的纵剖主视图,且是示出在玻璃板产生了挠曲的状态的图。
图5是示出本发明的实施方式的玻璃板的挠曲测定装置的作用的主要部分放大侧视图。
图6a是示出本发明的实施方式的玻璃板的挠曲测定装置的构成要素即显示机构的画面的概要主视图。
图6b是示出本发明的实施方式的玻璃板的挠曲测定装置的构成要素即显示机构的画面的概要主视图。
图6c是示出本发明的实施方式的玻璃板的挠曲测定装置的构成要素即显示机构的画面的概要主视图。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施方式的玻璃板的挠曲测定装置进行说明。
(装置结构)
图1是示出本实施方式的玻璃板的挠曲测定装置1的整体结构的立体图,图2是示出玻璃板G载置于该挠曲测定装置1的状态的俯视图。另外,图3是图2的X-X线剖视图。如上述各图所示,挠曲测定装置1构成为具备从下方对玻璃板G进行支承的两个主支承构件2,并对在两个主支承构件2之间产生的玻璃板G的挠曲进行测定。主支承构件2是沿A-A方向(以下称为纵向)呈长条的平板状的构件,并被保持为立起的状态。主支承构件2的A-A方向的位置以及高度位置始终维持恒定。相对于此,在玻璃板G的尺寸变更的情况下,主支承构件2的与纵向正交的B-B方向(以下称为横向)的位置由主支承用驱动机构3进行变更。
主支承用驱动机构3具有:驱动机构4,其使两个主支承构件2沿着一直线上移动;以及引导机构5,其对该两个主支承构件2的移动进行引导。驱动机构4具有在平台6上的纵向的中央部沿横向延伸的一根驱动轴7。驱动轴7被在平台6的上表面6a固定设置的轴承块8保持为能够旋转。轴承块8配设在横向的多个部位(图例中为三个部位)。需要说明的是,平台6的上表面6a形成水平面。另外,驱动轴7伴随着在轴向的一端部装配的手柄9的旋转操作而旋转。而且,驱动轴7在轴向的两个部位具有螺纹部7a,在一方的螺纹部7a形成有右旋螺纹,并且在另一方的螺纹部7a形成有左旋螺纹。并且,固定于一方的主支承构件2的螺母10螺合于一方的螺纹部7a,固定于另一方的主支承构件2的螺母10螺合于另一方的螺纹部7a。如果是这样的结构,则两个主支承构件2在使手柄9朝一个方向旋转的情况下的进给方向彼此相反。因此,两个主支承构件2以相互间的中央位置为边界,而在该边界的两侧对称地移动。
引导机构5具有在驱动轴7的纵向两侧分开配置的两根导轨11。这些导轨11以与驱动轴7平行的方式在平台6上固定设置。另外,在两个主支承构件2分别固定设置的L形托架12以能够滑动的方式与这些导轨11嵌合。因此,当两个主支承构件2由于驱动轴7的旋转而在一直线上移动时,L形托架12也一体地在导轨11上移动。
而且,挠曲测定装置1具备在两个主支承构件2之间配置的中间支承构件13。中间支承构件13是沿纵向呈长条的截面L形的板材,并具有从底部13a立起的立起部13b。在玻璃板G被两个主支承构件2从下方支承的情况下,中间支承构件13采取从下方对玻璃板G进行支承的状态和从玻璃板G退避的状态。详细而言,玻璃板G被中间支承构件13的立起部13b从下方支承。该立起部13b排列在两个主支承构件2的相互间的中央位置。
中间支承构件13的纵向位置以及横向位置始终维持恒定。相对于此,中间支承构件13的高度位置设为可变。详细而言,中间支承构件13通过在平台6上设置的中间支承用升降机构14的动作而上下移动。在本实施方式中,中间支承用升降机构14由流体压力缸构成,特别是由气缸构成。该气缸14以跨过平台6的上表面6a和中间支承构件13的底部13a的方式组装。因此,中间支承构件13伴随着气缸14的活塞杆的突出动作以及后退动作而上下移动。
需要说明的是,主支承构件2的上端处的供玻璃板G接触的部位、以及中间支承构件13(立起部13b)的上端处的供玻璃板G接触的部位均由具有与玻璃的摩擦较小的特性的材质、例如聚酰亚胺树脂、铝合金(例如Al-Mg系合金的A5052P)、氟树脂等形成。
挠曲测定装置1具备将玻璃板G相对于纵向定位的限位件15。在本实施方式中,限位件15分别组装于两个主支承构件2。详细而言,限位件15呈圆柱状,且能够在其周面抵接玻璃板G的纵向的一方的端面Ga。而且,在主支承构件2的内侧面固定有箱状体16,限位件15由该箱状体16保持为能够沿纵向移动。限位件15通过在主支承构件2设置的限位件驱动机构17的动作而沿纵向移动。在本实施方式中,限位件驱动机构17由流体压力缸构成,特别是由气缸构成。该气缸17组装于箱状体16。因此,限位件15伴随着气缸17的突出动作以及后退动作而沿纵向移动。需要说明的是,限位件15的供玻璃板G抵接的部位由具有耐磨损性的有机树脂、例如聚酰亚胺树脂、酚醛树脂、氟树脂、聚酰胺酰亚胺树脂等形成。
而且,挠曲测定装置1具备将玻璃板G相对于横向定位的标尺18。在本实施方式中,标尺18在一侧(上述各图的右侧)的主支承构件2的外侧面的上端部固定设置,并朝向横向的外侧延伸。在该标尺18的上表面,刻有用于与玻璃板G的多个尺寸相对应的多个直线19。标尺18的上表面接近玻璃板G的下表面。并且,通过使玻璃板G的横向的一侧(上述各图的右侧)的端面Gb与根据玻璃板G的尺寸决定的任一直线19在俯视下一致,从而将玻璃板G在横向上定位(参照图2)。需要说明的是,该定位在本实施方式中通过作业者的目视观察来进行。
另外,挠曲测定装置1具备拍摄机构20,该拍摄机构20对处于设置在主支承构件2上的状态下的玻璃板G的纵向的一侧的端面(成为测定对象的端面)Ga进行拍摄。在本实施方式中,拍摄机构20由相机类构成,特别是由CCD相机构成。CCD相机20通过拍摄用升降机构21的动作而上下移动。具体而言,CCD相机20装配于在地板面上等设置的数字式高度尺21的游标22。因此,在本实施方式中,拍摄用升降机构21由数字式高度尺构成。游标22以及CCD相机20伴随着手柄23的旋转操作而上下移动。该手柄23的旋转操作在本实施方式中由作业者进行。CCD相机20的高度由数字式高度尺21进行测定。因此,在本实施方式中,数字式高度尺21还作为对拍摄机构20的高度进行测定的高度测定机构发挥功能。而且,由CCD相机20拍摄到的图像显示于TV监视器等显示机构24。
(挠曲测定)
根据具备以上的结构的挠曲测定装置1,在玻璃板G载置于两个主支承构件2上的不久之前以及不久之后,如图3所示,中间支承构件13位于移动上端位置。因此,开始载置作业的时刻下的玻璃板G不仅被主支承构件2从下方支承,还被中间支承构件13从下方支承。该时刻下的中间支承构件13的上端的高度位置与两个主支承构件2的上端的高度位置相同。因此,该时刻下的玻璃板G被主支承构件2和中间支承构件13从下方支承为水平状态。在该状态下,使玻璃板G的纵向的一侧的端面Ga与限位件15抵接,并使横向的一侧的端面Ga与标尺18的一个直线19一致。由此,完成玻璃板G的纵向以及横向的定位。之后,利用作为中间支承用升降机构的气缸14使中间支承构件13向下移动,由此玻璃板G在自重的作用下产生挠曲。并且,在中间支承构件13到达移动下端的时刻,如图4所示,中间支承构件13成为从玻璃板G退避的状态(离开的状态)。在严格意义下,在中间支承构件13开始向下移动之后且到达移动下端之前,中间支承构件13就成为从玻璃板G退避的状态。
在该情况下,如在图5中点划线所示的那样,在作为中间支承用升降机构的气缸14开始使中间支承构件13向下移动的时刻,与此同步地,作为限位件驱动机构的气缸17开始使限位件15进行后退动作。因此,在玻璃板G开始挠曲的同时,限位件15从玻璃板G退避。因此,在玻璃板G产生挠曲的过程中,限位件15不与玻璃板G干涉。
在挠曲量测定中,将玻璃板G载置于各支承构件2、13上。CCD相机20对成为测定对象的端面Ga的最下缘S进行拍摄,且该拍摄到的图像显示于显示机构24。如图6(a)所示,在显示机构24的画面中,反映出玻璃板G的端面Ga的图像和进入画面中央的基准线25。此时,通过利用手柄23的操作来对高度尺21的游标22的高度位置进行调整,从而如图6(b)所示,使端面Ga的最下缘S与基准线25一致。将该时刻下的游标22的高度位置设定为第一零点位置。
此后,在中间支承构件13向下移动而如图4所示的那样从玻璃板G退避的情况下,通过手柄23的操作使游标22向下移动。CCD相机20也跟随其向下移动。然后,再次通过手柄23的操作来对高度尺21的游标22的高度位置进行调整。通过该调整,而如图6(c)所示,使玻璃板G的端面Ga的最下缘S与基准线25一致。通过读取该时刻下的游标22的高度位置与上述第一零点位置的关系,而对玻璃板G的表面的挠曲量进行测定。
接下来,使玻璃板G反转并载置于各支承构件2、13上。之后,以与上述同样的方式使中间支承构件13向下移动,并进行高度尺21的游标22的高度位置调整。通过该调整,而再次如图6(c)所示,使玻璃板G的端面Ga的最下缘S与基准线25一致。通过读取该时刻下的游标22的高度位置与上述第一零点位置的关系来测定玻璃板G的背面的挠曲量。玻璃G的挠曲差根据表面的挠曲量与背面的挠曲量之差而求出。
而且,仅对玻璃板G的挠曲差进行的测定例如像接下来的那样进行。首先,预先将得到图6(c)所示的图像的时刻下的游标22的高度位置设为第二零点位置。然后,使中间支承构件13以及游标22分别向上移动而复原至初始的位置。接下来,使玻璃板G反转并载置于各支承构件2、13上。之后,以与上述同样的方式使中间支承构件13向下移动,并且使游标22以及CCD相机20向下移动。进一步,使中间支承构件13从玻璃板G退避。在该状态下,调节游标22的高度位置,而再次如图6(c)所示,使反转后的玻璃板G的端面Ga的最下缘与基准线25一致。通过读取该时刻下的游标22的高度位置与上述第二零点位置的关系,而对玻璃板G的挠曲差进行测定。
在对同一尺寸的多张玻璃板G进行了以上那样的挠曲测定(挠曲量以及挠曲差的测定)之后,在变更玻璃板G的尺寸的情况下,进行以下那样的作业。在玻璃板G的尺寸变大的情况下,使图1所示的手柄9向一个方向旋转,而使两个主支承构件2向相互离开的方向移动。另外,在玻璃板G的尺寸变小的情况下,使该手柄9向其另一方向旋转,而使两个主支承构件2向相互接近的方向移动。该情况下的两个主支承构件2的移动停止位置根据预先设定的手柄9的旋转角度或预先设定的主支承构件2的横向位置等来决定。这样一来,即使两个主支承构件2设置在横向的新位置的情况下,拍摄机构20、拍摄用升降机构21也会排列在两个主支承构件2的相互间的中央位置。因此,拍摄机构20、拍摄用升降机构21的设置位置(在本实施方式中为CCD相机20以及高度尺21的设置位置)不变更也可以。需要说明的是,显示机构24的设置位置无需变更。在如本实施方式那样,将中间支承构件13的立起部13b排列在两个主支承构件2的相互间的中央位置的情况下,中间支承构件13的立起部13b的设置位置也是可以不变更。另外,对于图1以及图2所示的标尺18,仅通过选择与变更后的玻璃板G的尺寸对应的不同直线19就可以。因此,玻璃板G的横向的定位通过使变更尺寸后的玻璃板G的横向的一侧的端面Gb与重新选择的直线19一致来进行。
在此,对于成为由挠曲测定装置1进行挠曲测定的对象的玻璃板G的尺寸而言,例如横向尺寸为200~600mm,纵向尺寸为300~700mm。在上述范围内存在多个尺寸。需要说明的是,在图例中,将玻璃板G的沿着横向的边设为长边,并将沿着纵向的边设为短边,但也可以与此相反,而将玻璃板G的沿着横向的边设为短边,并将沿着纵向的边设为长边。这些玻璃板G的板厚为0.2~3.0mm。需要说明的是,这些玻璃板G根据杨氏模量、板厚等玻璃物理性质而切断为多个尺寸。例如,随着玻璃板G的板厚变小,尺寸也切断得较小。
(效果)
如以上那样,根据本实施方式的挠曲测定装置1,在将玻璃板G载置于两个主支承构件2上的过程中,不仅这些主支承构件2从下方对玻璃板G进行支承,中间支承构件13也从下方对玻璃板G进行支承。由此,在使玻璃板G与两个主支承构件2的上端接触时,由于中间支承构件13的存在,而难以在玻璃板G产生由外力导致的翘曲。因此,对玻璃板G进行载置的过程中的玻璃板G的支承形态难以产生偏移、偏差等,从而能够减小玻璃板G的挠曲测定时的测定误差。
另外,根据本实施方式的挠曲测定装置1,在将玻璃板G载置于两个主支承构件2上的过程的初始阶段,由于中间支承构件13的存在,而将玻璃板G保持为水平状态。因此,能够在该初始阶段阻止玻璃板G在两个主支承构件2上滑动等情况,从而进一步减小玻璃板G的挠曲测定时的测定误差。
而且,根据本实施方式的挠曲测定装置1,仅通过中间支承构件13上下移动,中间支承构件13就能采取从下方对玻璃板G进行支承的状态和从玻璃板G退避的状态。由此,用于使中间支承构件13采取两个状态的中间支承用升降机构14的结构变得简单。另外,用于对该两个状态进行切换的作业通过中间支承用升降机构14而自动化,从而作业效率提升。
并且,根据本实施方式的挠曲测定装置1,在玻璃板G的挠曲进展的过程中,限位件15变成从玻璃板G退避的状态,因此不会在玻璃板G与限位件15之间产生滑动等。因此,避免对玻璃板G造成损伤等问题,并且还避免玻璃板G的适当并且自由的挠曲受到阻碍等问题。
而且,根据本实施方式的挠曲测定装置1,挠曲量、挠曲差的测定通过使用拍摄机构20、高度尺21(拍摄用升降机构及高度测定机构)以及显示机构24来进行,因此不使用要求注意处理的激光测距仪等也可以。在该情况下,激光测距仪等设置在处于载置在两个主支承构件2上的状态下的玻璃板G的下方区域、上方区域。在将激光测距仪等设置于该玻璃板G的下方区域的情况下,可能会产生与中间支承构件13的干涉等问题。另外,在将激光测距仪等配置于该玻璃板G的上方区域的情况下,当使玻璃板G在两个主支承构件2上移动时,可能会产生与玻璃板G的干涉等问题。然而,在本实施方式中,拍摄机构20、拍摄用升降机构21以及显示机构24配置在将玻璃板G的下方区域以及上方区域排除后的区域(玻璃板G的后方的区域)。因此,不会产生与中间支承构件13、玻璃板G的干涉等问题,从而这些机构20、22、24的布局的自由度变大。
另外,根据本实施方式的挠曲测定装置1,是在变更玻璃板G的尺寸的情况下,主支承用驱动机构3使两个主支承构件2以该两个主支承构件2的相互间中央位置为边界在该边界的两侧对称地移动的结构。因此,即使玻璃板G的尺寸变更,玻璃板G的中央位置也相对于与玻璃板G的成为测定对象的端面Ga平行的方向维持恒定。由此,不论玻璃板G的尺寸的大小如何,都能够以同一条件进行玻璃板G的载置作业、挠曲测定作业中的大半作业。
(变形例)
需要说明的是,在以上的实施方式中,使中间支承构件13沿着铅垂线上下移动,但也可以代替于此,而使中间支承构件13沿着倾斜的方向上下移动。在这样的情况下,优选的是使中间支承构件13以高速向下移动。
另外,在以上的实施方式中,作为使中间支承构件13上下移动的中间支承用升降机构14,使用了气缸等流体压力缸,但也可以代替于此,而使用滚珠丝杠机构等其他机构。需要说明的是,对于使限位件15进行突出动作以及后退动作的限位件驱动机构17,也可以代替气缸等流体压力缸而使用滚珠丝杠机构等其他机构。
而且,在以上的实施方式中,作为拍摄机构20而使用了CCD相机,但也可以代替于此,而使用其他相机类、图像传感器等。
另外,在以上的实施方式中,作为使拍摄机构20上下移动的拍摄用升降机构21,而使用了高度尺21,但也可以代替于此,而使用气缸等流体压力缸、滚珠丝杠机构等其他机构。在这样的情况下,作为拍摄机构的高度测定机构,也可以使用标尺等。或者也可以是,通过将相对于基准线25以规定的间隔设置的刻度线在显示机构24反映出,从而对挠曲进行测定。在减少误差并且高效地进行测定的观点下,优选的是,将高度尺21用作拍摄用升降机构以及测定机构。
而且,在以上的实施方式中,在平台6上设置了各种构成要素,但也可以在其他基台上设置这些构成要素。
另外,在以上的实施方式中构成为使两个主支承构件2沿横向移动,但也可以构成为,将一方的主支承构件2固定设置,仅使另一方的主支承构件2沿横向移动。
而且,在以上的实施方式中,通过手柄9的操作而使主支承构件2移动,但也可以通过电信号等而使主支承构件2移动。
另外,在以上的实施方式中,将主支承构件2设为平板状的构件,且将中间支承构件13设为截面呈L形的构件,但这些支承构件2、13的形状并没有特别限定。
而且,在以上的实施方式中,在两个主支承构件2之间配置有一个中间支承构件13,但也可以配置两个以上的中间支承构件13。另外,在以上的实施方式中,将中间支承构件13排列在了两个主支承构件2相互间的中央位置,但也可以排列在中央位置以外的位置。在消除由外力导致的翘曲的观点下,优选的是,以使相邻的支承构件(主支承构件2以及中间支承构件13)的间隔相等的方式进行排列,在对一个中间支承构件13进行排列的情况下,优选的是排列在中央位置。
另外,在以上的实施方式中,由一个构件构成了一个主支承构件2,但也可以由多个构件构成一个主支承构件2。另外,在由多个构件构成一个主支承构件2的情况下,也可以将一个主支承构件2设为能够沿纵向伸缩。同样地,中间支承构件13也可以设为能够沿纵向伸缩。
在以上的实施方式中,在将具有成为测定对象的端面的玻璃板G载置于各支承构件2、13上的状态下,实施设定第一零点位置的作业。在该方案中,如果玻璃板G较薄,则玻璃板G即使在载置于各支承构件2、13上的状态下也会产生略微的挠曲,因此,对于设定第一零点位置的作业而言需要时间。因此,也可以在将比具有成为测定对象的端面的玻璃板G厚的玻璃板、平尺(直尺)等、而非具有成为测定对象的端面的玻璃板G载置于各支承构件2、13上的状态下,实施设定第一零点位置的作业。在该情况下,只要在完成设定第一零点位置的作业后,将具有成为测定对象的端面的玻璃板G载置于各支承构件2、13上并进行挠曲量、挠曲差的测定即可。由此,即使在玻璃板G较薄的情况下,也能够高效地实施测定作业。
(制造方法)
接下来,对本发明的实施方式的玻璃板的制造方法进行说明。本实施方式的制造方法具备准备玻璃板的准备工序以及对玻璃板的挠曲进行测定的测定工序。准备工序例如具备:成形工序,通过溢流法、浮法而由熔融玻璃成形玻璃带;切断工序,从玻璃带切出玻璃板;加工工序,利用磨石对切出的玻璃板的端面进行加工;对加工了端面的玻璃板进行清洗的工序;以及选取工序,选取玻璃板的一部分。在选取工序中,例如既可以选取经过了切断工序的玻璃板,也可以选取经过了清洗工序的玻璃板。切断工序也可以具备从玻璃带切出玻璃板的第一切断工序、以及从经过了第一切断工序的玻璃板切出一张或者多张玻璃板的第二切断工序,在该情况下,在选取工序中也可以选取经过了第一切断工序的玻璃板。
在测定工序中,使用上述的玻璃板的挠曲测定装置1来对挠曲进行测定。测定工序例如具备:样品制作工序,从选取出的玻璃板切出规定尺寸的样品的玻璃板;支承工序,利用两个主支承构件2和中间支承构件13对样品的玻璃板进行支承;以及退避工序,使中间支承构件13退避,而仅利用两个主支承构件2对样品的玻璃板进行支承。测定工序只要按照在上述的挠曲测定中记载的步骤进行即可。
如以上所述,根据本实施方式的制造方法,由于使用了上述的玻璃板的挠曲测定装置1,因此能够减小在选取出的玻璃板的挠曲测定时的测定误差。因此,能够使制造出的玻璃板的品质提升。
附图标记说明
1 挠曲测定装置
2 主支承构件
3 主支承用驱动机构
13 中间支承构件
14 中间支承用升降机构
15 限位件
17 限位件驱动机构
18 标尺
20 拍摄机构
21 高度尺(拍摄用升降机构以及高度测定机构)
24 显示机构
G 玻璃板
Ga 玻璃板的成为测定对象的端面。

Claims (9)

1.一种玻璃板的挠曲测定装置,其构成为具备从下方对玻璃板进行支承的两个主支承构件,并对在该两个主支承构件之间产生的所述玻璃板的挠曲进行测定,
所述玻璃板的挠曲测定装置的特征在于,
在所述两个主支承构件之间配置有中间支承构件,所述中间支承构件采取从下方对所述玻璃板进行支承的状态和从所述玻璃板退避的状态。
2.根据权利要求1所述的玻璃板的挠曲测定装置,其中,
所述玻璃板的挠曲测定装置构成为:具备使所述中间支承构件上下移动的中间支承用升降机构,在该中间支承构件位于上方位置时,该中间支承构件从下方对所述玻璃板进行支承,在该中间支承构件位于比所述上方位置靠下方的位置时,该中间支承构件从所述玻璃板退避。
3.根据权利要求2所述的玻璃板的挠曲测定装置,其中,
在所述中间支承构件位于移动上端位置时,该中间支承构件的上端与所述两个主支承构件的上端保持在同一高度。
4.根据权利要求2或3所述的玻璃板的挠曲测定装置,其中,
所述玻璃板的挠曲测定装置具备:拍摄机构,其对所述玻璃板的成为测定对象的端面进行拍摄;拍摄用升降机构,其使该拍摄机构上下移动;高度测定机构,其对所述拍摄机构的高度进行测定;以及显示机构,其显示所述拍摄机构拍摄到的图像。
5.根据权利要求2~4中任一项所述的玻璃板的挠曲测定装置,其中,
所述玻璃板的挠曲测定装置具备:限位件,其将所述玻璃板相对于与所述玻璃板的成为测定对象的端面正交的方向定位;以及限位件驱动机构,其伴随着所述中间支承构件的从移动上端位置的向下移动,而使所述限位件从所述玻璃板退避。
6.根据权利要求5所述的玻璃板的挠曲测定装置,其中,
所述玻璃板的挠曲测定装置具备标尺,所述标尺将所述玻璃板相对于与所述玻璃板的成为测定对象的端面平行的方向定位。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的玻璃板的挠曲测定装置,其中,
所述玻璃板的挠曲测定装置具备主支承用驱动机构,所述主支承用驱动机构以使所述两个主支承构件接近以及离开的方式使该两个主支承构件中的至少一方移动。
8.根据权利要求7所述的玻璃板的挠曲测定装置,其中,
所述主支承用驱动机构构成为使所述两个主支承构件以该两个主支承构件相互间的中央位置为边界在该边界的两侧对称地移动。
9.一种玻璃板的制造方法,其具备准备玻璃板的准备工序以及对所述玻璃板的挠曲进行测定的测定工序,
所述玻璃板的制造方法的特征在于,
在所述测定工序中,使用权利要求1~8中任一项所述的玻璃板的挠曲测定装置对挠曲进行测定,
所述测定工序具备利用所述两个主支承构件和所述中间支承构件对所述玻璃板进行支承的工序以及使所述中间支承构件退避而利用所述两个主支承构件对所述玻璃板进行支承的工序。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023132150A1 (ja) * 2022-01-05 2023-07-13 日本電気硝子株式会社 ガラス板の測定方法、ガラス板の製造方法、及びガラス板の測定装置
WO2024014340A1 (ja) * 2022-07-13 2024-01-18 日本電気硝子株式会社 マザーガラス板およびマザーガラス板の製造方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1707248A (zh) * 2004-06-11 2005-12-14 株式会社三丰 载物台装置和图像测量装置
CN1873373A (zh) * 2005-05-30 2006-12-06 大日本网目版制造株式会社 基板测定装置
CN101080303A (zh) * 2005-02-24 2007-11-28 日本电气硝子株式会社 玻璃基板定位装置、定位方法、端面磨削装置及磨削方法
JP2009117301A (ja) * 2007-11-09 2009-05-28 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス基板およびガラス基板の反り検査方法
TW201524920A (zh) * 2013-11-26 2015-07-01 Nippon Electric Glass Co 平板玻璃之積層方法及其積層裝置
CN205262454U (zh) * 2015-12-30 2016-05-25 芜湖东旭光电装备技术有限公司 用于平板件挠度测量的放置装置及平板件挠度测量系统
CN108709816A (zh) * 2018-03-29 2018-10-26 北京工业大学 超薄玻璃柔韧性试验装置和方法
CN108779983A (zh) * 2016-02-29 2018-11-09 Agc株式会社 形状测定装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3418819B2 (ja) * 1998-01-13 2003-06-23 東芝セラミックス株式会社 プレート平坦度測定装置
JP4214265B2 (ja) * 2007-05-23 2009-01-28 レーザーテック株式会社 光学測定装置、及び基板保持装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1707248A (zh) * 2004-06-11 2005-12-14 株式会社三丰 载物台装置和图像测量装置
CN101080303A (zh) * 2005-02-24 2007-11-28 日本电气硝子株式会社 玻璃基板定位装置、定位方法、端面磨削装置及磨削方法
CN1873373A (zh) * 2005-05-30 2006-12-06 大日本网目版制造株式会社 基板测定装置
JP2009117301A (ja) * 2007-11-09 2009-05-28 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス基板およびガラス基板の反り検査方法
TW201524920A (zh) * 2013-11-26 2015-07-01 Nippon Electric Glass Co 平板玻璃之積層方法及其積層裝置
CN205262454U (zh) * 2015-12-30 2016-05-25 芜湖东旭光电装备技术有限公司 用于平板件挠度测量的放置装置及平板件挠度测量系统
CN108779983A (zh) * 2016-02-29 2018-11-09 Agc株式会社 形状测定装置
CN108709816A (zh) * 2018-03-29 2018-10-26 北京工业大学 超薄玻璃柔韧性试验装置和方法

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