KR101983385B1 - 워크테이블의 처짐 보정 장치 - Google Patents

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주식회사 엠오티
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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
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    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67288—Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like

Abstract

본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display) 생산 공정 중 TFT(Thin Film Transistor) 공정시 글래스가 안착되는 워크테이블의 처짐을 보정하는 기술로서, 대면적의 글래스가 안착되는 워크테이블 하부의 복수 위치에 배치된 상태에서 연직 상하방향으로 움직임에 따라 해당 워크테이블의 중앙부에 비해 워크테이블의 주변부가 하방향으로 처지는 것을 들어올려 보정하는 기술이다. 본 발명에 따르면, 복수의 크로스롤러 부재를 구비함에 따라 볼 스크류를 통해 좁은 공간에서도 상하 스트로크 유닛을 효과적으로 승하강시킬 수 있는 장점이 있다.

Description

워크테이블의 처짐 보정 장치 {Deflection adjustment device for work table}
본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display) 생산 공정 중 TFT(Thin Film Transistor) 공정시 글래스가 안착되는 워크테이블의 처짐을 보정하는 기술에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 대면적의 글래스가 안착되는 워크테이블 하부의 복수 위치에 배치된 상태에서 연직 상하방향으로 움직임에 따라 해당 워크테이블의 중앙부에 비해 워크테이블의 주변부가 하방향으로 처지는 것을 들어올려 보정하는 기술이다.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display) 생산 공정 중 TFT(Thin Film Transistor) 공정에서는 원장 글래스(glass)에 대한 전계검사(OST), 광학검사(AOI)가 있다.
이와 같은 TFT 공정은 원장 글래스를 워크테이블(work table) 위에 올려놓고 고정한 후에 진행이 이루어지는데, 정확한 공정이 이루어지기 위해서는 원장 글래스를 지지하고 있는 워크테이블의 정밀한 수평상태가 수반되어야 한다.
일반적으로 원장 글래스는 대면적화(G6, G7, G8, G8.5, G9, G10, G10.5) 되어가는 추세여서 그 대면적의 원장 글래스를 지지하는 워크테이블도 글래스보다 상대적으로 더 넓은 대면적화가 이루어진다.
그런데, 워크테이블이 대면적화가 되면서 그 워크테이블의 수평도를 세팅하는 작업이 점점 더 어려워지고 있다.
또한, 워크테이블의 대면적화에 따른 워크테이블의 주변부가 미세하게 하방향으로 처지게 되는데, 그 처진 워크테이블의 상면에 안착되는 원장 글래스도 워크테이블의 하방 처짐에 따라 굴곡이 생겨 결국 글래스의 양호한 TFT 공정에 방해가 된다.
그에 따라, 하방향으로 처지는 워크테이블의 주변부를 원래의 위치로 다시 들어올려 보정함으로써 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결할 수 있는 기술이 요망된다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 대면적화된 워크테이블의 제작과 그 워크테이블의 수평도 세팅이 수월한 워크테이블의 처짐 보정 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 가공용 글래스가 안착되는 워크테이블의 하부에 배치된 상태로 워크테이블의 하방 처짐을 보정하는 장치로서, 워크테이블의 하면에 맞닿은 상태로 워크테이블의 하방 처짐을 지탱하는 상하 스트로크 유닛; 상하 스트로크 유닛의 하부에 연결된 상태로 상하방향으로 움직이는 수직이동 블록; 수직이동 블록의 하부에 연결된 상태로 수평방향으로 움직임에 따라 수직이동 블록을 상방향으로 상승시키거나 하방향으로 하강시킴에 따라 수직이동 블록의 높낮이를 조정하는 수평이동 블록; 수평이동 블록이 수평방향으로 이동하도록 수평이동 블록에 구동력을 전달하는 구동모터;를 포함하여 구성된다.
이때, 수평이동 블록과 수직이동 블록의 연결부분은 상호 비스듬히 경사지게 형성됨에 따라, 수평이동 블록의 경사면 중 높은 부분이 수직이동 블록의 경사면 중 낮은 부분으로 이동하도록 수평이동 블록이 수평이동하는 경우 수직이동 블록이 연직 상방향으로 이동하도록 구성되고, 수평이동 블록의 경사면 중 낮은 부분이 수직이동 블록의 경사면 중 높은 부분으로 이동하도록 수평이동 블록이 수평이동하는 경우 수직이동 블록이 연직 하방향으로 이동하도록 구성될 수 있다.
그리고, 수직이동 블록의 경사면과 마주하는 수평이동 블록의 경사면에 비스듬히 장착되며, 수평이동 블록의 수평 이동시 수평이동 블록의 경사면에서 수직이동 블록의 경사면이 상호 마주하는 상태로 슬라이딩하는 동작을 가이드하는 하나이상의 경사운동용 크로스롤러 부재;를 더 구비할 수 있다.
또한, 수평이동 블록의 하부에 배치된 상태로 자신의 상면에 위치하는 수평이동 블록을 지지하는 베이스 블록; 구동모터에 일단부가 연결된 상태로 자신의 타단부는 수평이동 블록을 관통하여 배치되며 수직이동 블록의 상하방향 이동을 위한 수평이동 블록의 수평 이동을 위해 구동모터의 구동에 따라 회전하여 자신의 길이방향을 따라 수평이동 블록을 수평 이동시키는 스크류 부재; 수평이동 블록을 관통하는 스크류 부재가 자신을 관통하도록 수평이동 블록의 양측부에 대응하는 베이스 블록의 상면에 각각 거치되며 스크류 부재의 제자리 회전을 가이드하는 스크류거치 블록; 수평이동 블록의 하부에 대응하는 베이스 블록의 상면에 배치된 상태로 수평이동 블록이 수평방향으로 이동하는 슬라이딩 동작을 가이드하는 하나이상의 수평운동용 크로스롤러 부재;를 더 구비할 수 있다.
또한, 수직이동 블록의 측벽에 인접하는 외부의 하우징에 지지된 상태로 수직이동 블록의 움직임에 연동하여 상하방향으로 이동하면서 수직이동 블록의 상하방향 이동을 가이드하는 하나이상의 수직운동용 크로스롤러 부재;를 더 구비할 수 있다.
한편, 상하 스트로크 유닛은, 수직이동 블록의 상면에 안착되는 지지 플레이트; 지지 플레이트의 상면에 안착된 상태로 상방향으로 길게 돌출 형성되어 지지 플레이트를 지지 기반으로 하여 워크테이블의 하면에 맞닿은 상태로 워크테이블의 현재 위치를 상하방향으로 이동시키는 지지 핀;을 구비할 수 있다.
본 발명은 워크테이블 하부의 복수 위치에 처짐 보정 장치를 배치한 상태로 워크테이블의 수평도에 대한 모니터링 결과에 대응하여 상하방향으로 움직이면서 워크테이블의 주변부를 들어올리거나 내리는 동작만으로 결국 워크테이블의 수평도를 수월하게 조정할 수 있다는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 복수의 크로스롤러 부재를 구비함에 따라 볼 스크류를 통해 좁은 공간에서도 상하 스트로크 유닛을 효과적으로 승하강시킬 수 있는 장점을 나타낸다.
[도 1]은 본 발명에 따른 워크테이블의 처짐 보정 장치를 도시한 예시도,
[도 2]는 [도 1]에서 상하 스트로크 유닛, 수직운동용 크로스롤러 부재를 분리한 도면,
[도 3]은 [도 2]를 다른 각도에서 도시한 도면,
[도 4]는 [도 2]에서 수직이동 블록을 분리한 도면,
[도 5]는 [도 1]에서 베이스 블록과 스크류거치 블록을 제거한 상태로 그 하부로부터 바라 본 도면,
[도 6]은 [도 1]에서 수직운동용 크로스롤러 부재를 제거한 상태로 그 측면에서 바라 본 도면,
[도 7]은 [도 6]에서 수평이동 블록의 전진에 따라 수직이동 블록이 연직 상방향으로 이동하는 상태를 도시한 예시도,
[도 8]은 [도 6]에서 수평이동 블록의 후진에 따라 수직이동 블록이 연직 하방향으로 이동하는 상태를 도시한 예시도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 1]은 본 발명에 따른 워크테이블의 처짐 보정 장치를 도시한 예시도이고, [도 2]는 [도 1]에서 상하 스트로크 유닛, 수직운동용 크로스롤러 부재를 분리한 도면이고, [도 3]은 [도 2]를 다른 각도에서 도시한 도면이고, [도 4]는 [도 2]에서 수직이동 블록을 분리한 도면이고, [도 5]는 [도 1]에서 베이스 블록과 스크류거치 블록을 제거한 상태로 그 하부로부터 바라 본 도면이고, [도 6]은 [도 1]에서 수직운동용 크로스롤러 부재를 제거한 상태로 그 측면에서 바라 본 도면이다.
[도 1] 내지 [도 5]를 참조하면, 본 발명은 가공용 글래스가 안착되는 워크테이블(미도시) 하부의 복수 위치에 배치된 상태에서 개별적으로 상하방향 움직임에 따라 워크테이블 주변부의 하방 처짐을 보정하는 장치로서, 상하 스트로크 유닛(110), 수직이동 블록(121), 수평이동 블록(122), 구동모터(130), 경사운동용 크로스롤러 부재(141,142), 베이스 블록(151), 스크류거치 블록(152,153), 스크류 부재(160), 수평운동용 크로스롤러 부재(171,172), 수직운동용 크로스롤러 부재(181,182)를 포함하여 구성될 수 있다.
상하 스트로크 유닛(110)은 워크테이블의 하면에 직접 맞닿은 상태로 워크테이블의 하방 처짐을 지탱한다. 이를 위해, 상하 스트로크 유닛(110)은 바람직하게는 지지 플레이트(111)와 지지 핀(112)을 구비할 수 있다.
지지 플레이트(111)는 [도 1] 내지 [도 4]에서와 같이 수직이동 블록(121)의 상면에 안착되며 결국 수직이동 블록(121)의 상하방향 이동에 연동하여 상하방향으로 미세하게 움직인다.
지지 핀(112)은 지지 플레이트(111)의 상면에 안착된 상태로 상방향으로 길게 돌출 형성되어 지지 플레이트(111)를 지지 기반으로 하여 지지 플레이트(111)의 상하방향 이동에 연동하여 상하방향으로 이동함에 따라 워크테이블의 하면에 맞닿은 상태로 워크테이블의 현재 위치를 상하방향으로 이동시킨다.
수직이동 블록(121)은 [도 1] 내지 [도 6]에서와 같이 상하 스트로크 유닛(110)의 하부에 연결된 상태로 상하방향으로 움직인다. 이와 같이 수직이동 블록(121)은 자신의 상하방향 이동에 따라 자신의 상면에 안착되는 상하 스트로크 유닛(110)을 상하방향으로 이동시킨다.
수평이동 블록(122)은 [도 1] 내지 [도 6]에서와 같이 수직이동 블록(121)의 하부에 연결된 상태로 수평방향으로 움직임에 따라 수직이동 블록(121)을 상방향으로 상승시키거나 하방향으로 하강시킴에 따라 수직이동 블록(121)의 높낮이를 조정할 수 있다.
여기서, 수평이동 블록(122)과 수직이동 블록(121)의 연결부분은 바람직하게는 [도 6]에서와 같이 상호 비스듬히 경사지게 형성될 수 있다.
그 결과, 수평이동 블록(122)의 경사면 중 높은 부분이 수직이동 블록(121)의 경사면 중 낮은 부분으로 이동하도록 수평이동 블록(122)이 수평이동하는 경우 수직이동 블록(121)이 연직 상방향으로 이동하도록 구성된다.
이때, 수직이동 블록(121)의 연직 상방향 이동에 따라 상하 스트로크 유닛(110)이 연직 상방향으로 이동하여 워크테이블의 해당 위치를 들어올린다.
그리고, 수평이동 블록(122)의 경사면 중 낮은 부분이 수직이동 블록(121)의 경사면 중 높은 부분으로 이동하도록 수평이동 블록(122)이 수평이동하는 경우 수직이동 블록(121)이 연직 하방향으로 이동하도록 구성된다.
이때, 수직이동 블록(121)의 연직 하방향 이동에 따라 상하 스트로크 유닛(110)이 연직 하방향으로 이동하여 워크테이블의 해당 위치를 하강시킨다.
구동모터(130)는 스크류 부재(160)에 스크류 부재(160)의 제자리회전 동력을 전달함에 따라 결국 수평이동 블록(122)이 수평방향으로 이동하도록 수평이동 블록(122)에 구동력을 전달한다.
경사운동용 크로스롤러 부재(141,142)는 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 수직이동 블록(121)의 경사면과 마주하는 수평이동 블록(122)의 경사면에 복수 개 비스듬히 장착될 수 있다.
상세하게, 하나의 경사운동용 크로스롤러 부재(141)는 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 수직이동 블록(121)의 하면에 일체로 장착되는 바 형태의 움직롤러 a(141a)와 수평이동 블록(122)의 상면에 일체로 장착되는 움직롤러 a'(141b)가 상호 크로스 슬라이딩되도록 구성될 수 있다.
그리고, 다른 하나의 경사운동 크로스롤러 부재(142)도 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 수직이동 블록(121)의 하면에 일체로 장착되는 바 형태의 움직롤러 a(142a)와 수평이동 블록(122)의 상면에 일체로 장착되는 움직롤러 a'(142b)가 상호 크로스슬라이딩되도록 구성될 수 있다.
그 결과, 하나이상의 경사운동용 크로스롤러 부재(141,142)는 수평이동 블록(122)의 수평 이동시 수평이동 블록(122)의 경사면에서 수직이동 블록(121)의 경사면이 상호 마주하는 상태로 슬라이딩하는 동작을 가이드한다.
이때, 수평이동 블록(122)의 수평이동시 그 수평이동에 연동하여 경사운동용 크로스롤러 부재(141,142)를 통해 슬라이딩 동작하는 수직이동 블록(121)은 연직 상하방향으로 이동한다.
여기서, 수평이동 블록(122)의 수평이동에 연동하여 수직이동 블록(121)이 연직 상하방향으로 이동하기 위해서는 수직이동 블록(121)은 수직운동용 크로스롤러 부재(181,182)의 도움도 있어야 한다.
베이스 블록(151)은 [도 1] 내지 [도 4]에서와 같이 수평이동 블록(122)의 하부에 플레이트 형태로 배치될 수 있으며 자신의 상면에 위치하는 수평이동 블록(122)과 자신의 상면에 배치되는 하나이상의 스크류거치 블록(152,153)을 지지한다.
스크류 부재(160)는 [도 1] 내지 [도 6]에서와 같이 구동모터(130)에 일단부가 연결된 상태로 자신의 타단부는 수평이동 블록(122)을 관통하여 배치될 수 있다.
이때, 스크류 부재(160)는 [도 1] 내지 [도 3]에서와 같이 하나이상의 스크류거치 블록(152,153)을 관통한 상태로 배치되어 그 스크류 블록(152,153)에 의해 제자리 회동 가능하게 지지될 수 있다.
그 결과, 스크류 부재(160)는 구동모터(130)의 구동에 따라 회전하면서 자신의 길이방향을 따라 수평이동 블록(122)을 수평 이동시킴에 따라 이와 연동하여 결국 수직이동 블록(121)을 상하방향으로 이동시킨다.
스크류거치 블록(152,153)은 [도 1] 내지 [도 3]과 [도 6]에서와 같이 수평이동 블록(122)을 관통하는 스크류 부재(160)가 자신을 관통하도록 수평이동 블록(122)의 양측부에 대응하는 베이스 블록(151)의 상면에 각각 거치된 상태로 스크류 부재(160)의 제자리 회전을 가이드한다.
수평운동용 크로스롤러 부재(171,172)는 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 수평이동 블록(122)의 하부에 대응하는 베이스 블록(151)의 상면에 복수 개 장착될 수 있다.
상세하게, 하나의 수평운동용 크로스롤러 부재(171)는 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 베이스 블록(151)의 상면에 일체로 장착되는 바 형태의 고정롤러 A(171a)와 수평이동 블록(122)의 하면에 일체로 장착되는 움직롤러 A(171b)가 상호 크로스 슬라이딩되도록 구성될 수 있다.
그리고, 다른 하나의 수평운동용 크로스롤러 부재(172)도 [도 4]와 [도 5]에서와 같이 베이스 블록(151)의 상면에 일체로 장착되는 바 형태의 고정롤러 A(172a)와 수평이동 블록(122)의 하면에 일체로 장착되는 움직롤러 A(172b)가 상호 크로스 슬라이딩되도록 구성될 수 있다.
그 결과, 하나이상의 수평운동용 크로스롤러 부재(171,172)는 수평이동 블록(122)이 수평방향으로 이동하는 슬라이딩 동작을 가이드한다.
수직운동용 크로스롤러 부재(181,182)는 [도 1] 내지 [도 5]에서와 같이 수직이동 블록(121)의 측벽에 인접하는 외부의 하우징에 지지된 상태로 수직이동 블록(121)의 움직임에 연동하여 상하방향으로 이동하도록 구성된다.
상세하게, 하나의 수직운동용 크로스롤러 부재(181)는 [도 1] 내지 [도 5]에서와 같이 외부의 하우징(미도시)에 고정되는 고정롤러 B(181a)와 그 고정롤러 B(181a)를 기준으로 연직 상하방향으로 움직이는 움직롤러 B(181b)가 상호 크로스 슬라이딩되도록 구성될 수 있다.
여기서, 연직 상하방향으로 움직이는 움직롤러 B(181b)는 바람직하게는 지지 플레이트(111)에 연결될 수 있다. 이를 통해, 지지 플레이트(111)와 일체로 연결되는 수직이동 블록(121)이 수평이동 블록(122)의 수평이동에 연동하여 연직 상하방향으로 이동할 수 있게 된다.
그리고, 다른 하나의 수직운동용 크로스롤러 부재(182)도 [도 1] 내지 [도 5]에서와 같이 외부의 하우징(미도시)에 고정되는 고정롤러 B(182a)와 그 고정롤러 B(182a)를 기준으로 연직 상하방향으로 움직이는 움직롤러 B(182b)가 상호 크로스 슬라이딩되도록 구성될 수 있다.
여기서, 연직 상하방향으로 움직이는 움직롤러 B(182b)는 바람직하게는 지지 플레이트(111)에 연결될 수 있다. 이를 통해, 지지 플레이트(111)와 일체로 연결되는 수직이동 블록(121)이 수평이동 블록(122)의 수평이동에 연동하여 연직 상하방향으로 이동할 수 있게 된다.
그 결과, 하나이상의 수직운동용 크로스롤러 부재(181,182)는 수직이동 블록(121)의 상하방향 슬라이딩 동작을 가이드할 수 있다.
[도 7]은 [도 6]에서 수평이동 블록의 전진에 따라 수직이동 블록이 연직 상방향으로 이동하는 상태를 도시한 예시도이고, [도 8]은 [도 6]에서 수평이동 블록의 후진에 따라 수직이동 블록이 연직 하방향으로 이동하는 상태를 도시한 예시도이다.
먼저, [도 7]에서와 같이, 수평이동 블록(122)의 경사면 중 높은 부분이 수직이동 블록(121)의 경사면 중 낮은 부분으로 이동하도록 수평이동 블록(122)이 수평이동하면 수직이동 블록(121)과 상하 스트로크 유닛(110)은 연직 상방향으로 이동하여 결국 그 상하 스트로크 유닛(110)의 지지 핀(112)에 대응하는 워크테이블의 해당 위치를 들어올리게 된다.
이때, 수평이동 블록(122)의 수평이동으로부터 수직이동 블록(121)과 상하 스트로크 유닛(110)이 연직 상방향으로 이동하기 위해서는 경사운동용 크로스롤러 부재(141,142)의 슬라이딩 동작도 필요하지만 수직운동용 크로스롤러 부재(181,182)의 동작이 있어야만 가능하다.
예컨대, 수평이동 블록(122)이 수평으로 이동하는 힘에 대해 수직운동용 클로스롤러 부재(181,182) 중 고정롤러 B(181a,182a)가 수평방향의 이동을 정지시키고 수직운동용 클로스롤러 부재(181,182) 중 움직롤러 B(181b,182b)가 연직 상방향의 이동을 가이드한다.
이때, 수평이동 블록(122)에 의한 수평 방향의 힘을 수직이동 블록(121)의 연직 상방향 힘으로의 전환은 경사운동용 크로스롤러 부재(141,142)가 담당하게 된다.
그리고, [도 8]에서와 같이, 수평이동 블록(122)의 경사면 중 낮은 부분이 수직이동 블록(121)의 경사면 중 높은 부분으로 이동하도록 수평이동 블록(122)이 수평이동하면 수직이동 블록(121)과 상하 스트로크 유닛(110)은 연직 하방향으로 이동하여 결국 그 상하 스트로크 유닛의 지지 핀(112)에 대응하는 워크테이블의 해당 위치를 하강시키게 된다.
이 경우에도, 수평이동 블록(122)의 수평이동으로부터 수직이동 블록(121)과 상하 스트로크 유닛(110)이 연직 하방향으로 이동하기 위해서는 경사운동용 크로스롤러 부재(141,142)의 슬라이딩 동작도 필요하지만 수직운동용 크로스롤러 부재(181,182)의 동작이 있어야만 가능하다.
예컨대, 수평이동 블록(122)이 수평으로 이동하는 힘에 대해 수직운동용 클로스롤러 부재(181,182) 중 고정롤러 B(181a,182a)가 수평방향의 이동을 정지시키고 수직운동용 클로스롤러 부재(181,182) 중 움직롤러 B(181b,182b)가 연직 하방향의 이동을 가이드한다.
이때, 수평이동 블록(122)에 의한 수평 방향의 힘을 수직이동 블록(121)의 연직 하방향 힘으로의 전환은 경사운동용 크로스롤러 부재(141,142)가 담당하게 된다.
110 : 상하 스트로크 유닛
111 : 지지 플레이트
112 : 지지 핀
121 : 수직이동 블록
122 : 수평이동 블록
130 : 구동모터
141,142 : 경사운동용 크로스롤러 부재
141a : 움직롤러 a
141b : 움직롤러 a'
142a : 움직롤러 a
142b : 움직롤러 a'
151 : 베이스 블록
152,153 : 스크류거치 블록
160 : 스크류 부재
171,172 : 수평운동용 크로스롤러 부재
171a : 고정롤러 A
171b : 움직롤러 A
172a : 고정롤러 A
172b : 움직롤러 A
181,182 : 수직운동용 크로스롤러 부재
181a : 고정롤러 B
181b : 움직롤러 B
182a : 고정롤러 B
182b : 움직롤러 B

Claims (6)

  1. 가공용 글래스가 안착되는 워크테이블의 하부에 배치된 상태로 그 워크테이블의 하방 처짐을 보정하는 워크테이블의 처짐 보정 장치로서,
    구동모터(130);
    베이스 블록(151);
    상기 베이스 블록의 상면에 배치된 상태로 상기 구동모터로부터 전달되는 구동력에 의해 수평 방향으로 슬라이딩되며 자신의 상면은 자신의 슬라이딩 수평 방향을 따라 경사지게 형성된 경사면을 구비하는 수평이동 블록(122);
    상기 수평이동 블록의 경사면과 맞닿도록 자신의 하면에 경사지게 형성된 경사면을 구비하며 상기 수평이동 블록의 수평 방향 이동에 연동하여 상기 수평이동 블록의 경사면과 자신의 경사면이 맞닿은 상태로 슬라이딩되는 위치 변화에 따라 상방향으로 상승하거나 하방향으로 하강하는 수직이동 블록(121);
    상기 수직이동 블록의 상부에 연결된 상태로 상기 수직이동 블록의 상하방향 이동에 연동하여 상하방향으로 움직이며 워크테이블의 하면에 맞닿은 상태로 워크테이블의 하방 처짐을 지탱하는 상하 스트로크 유닛(110);
    일단부가 상기 구동모터에 연결된 상태로 타단부는 상기 수평이동 블록을 관통하여 배치되며 상기 구동모터의 구동에 따라 회전하여 자신의 길이방향을 따라 상기 수평이동 블록을 수평 이동시키는 스크류 부재(160);
    상기 수평이동 블록의 슬라이딩 진행방향을 따라 바 형태로 이루어지고 상기 수평이동 블록의 하부 양측에 대응하는 상기 베이스 블록의 상면에 각각 장착되는 고정롤러 A(171a, 172a)와, 각각의 상기 고정롤러 A와 상호 크로스 슬라이딩되도록 상기 수평이동 블록의 하면에 각각 바 형태로 장착되는 움직롤러 A(171b, 172b)를 구비함에 따라 상기 수평이동 블록의 수평방향 슬라이딩 동작을 가이드하는 수평운동용 크로스롤러 부재(171, 172);
    상기 수평이동 블록의 경사면과 상기 수직이동 블록의 경사면이 맞닿아 상호 슬라이딩되는 방향을 따라 바 형태로 이루어지고 상기 수직이동 블록의 경사면 양측에 각각 장착되는 움직롤러 a(141a, 142a)와, 각각의 상기 움직롤러 a와 상호 크로스 슬라이딩되도록 상기 수평이동 블록의 경사면 양측에 각각 장착되는 움직롤러 a'(141b, 142b)를 구비함에 따라 상기 수평이동 블록과 상기 수직이동 블록 간의 경사 슬라이딩을 가이드하는 경사운동용 크로스롤러 부재(141,142);
    상기 수직이동 블록의 상승 또는 하강하는 방향을 따라 상기 고정롤러 A의 위치에 대응하는 상기 수직이동 블록의 양측벽에 각각 장착되는 움직롤러 B(181b, 182b)와, 각각의 상기 움직롤러 B와 상호 크로스 슬라이딩되도록 각각의 상기 움직롤러 B에 인접하는 외부의 하우징 내벽에 각각 장착되는 고정롤러 B(181a,182a)를 구비함에 따라 상기 수평이동 블록과 상기 수직이동 블록 간의 경사 슬라이딩에 연동하여 상기 수직이동 블록의 상승 또는 하강을 가이드하는 수직운동용 크로스롤러 부재(181,182);
    를 포함하여 구성되는 워크테이블의 처짐 보정 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 수평이동 블록을 관통하는 상기 스크류 부재가 자신을 관통하도록 상기 수평이동 블록의 양측부에 대응하는 상기 베이스 블록의 상면에 각각 거치되며 상기 스크류 부재의 제자리 회전을 가이드하는 스크류거치 블록(152,153);
    를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 워크테이블의 처짐 보정 장치.
  5. 삭제
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 상하 스트로크 유닛(110)은,
    상기 수직이동 블록의 상면에 안착되는 지지 플레이트(111);
    상기 지지 플레이트의 상면에 안착된 상태로 상방향으로 길게 돌출 형성되어 상기 지지 플레이트를 지지 기반으로 하여 상기 워크테이블의 하면에 맞닿은 상태로 상기 워크테이블의 현재 위치를 상하방향으로 이동시키는 지지 핀(112);
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 워크테이블의 처짐 보정 장치.
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