JP6173795B2 - 基板把持装置 - Google Patents
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Description
2 吸着ステージ
3 基板支持部
3a 基板支持部
3b 基板支持部
4 アライメント機構
5 撓み形成機構
5a 撓み形成機構
5b 撓み形成機構
6 巻き出しローラ
7 巻き取りローラ
8 処理ユニット
11 吸着面
12 送りローラ
12a 送りローラ
12b 送りローラ
13 ニップローラ
13a ニップローラ
13b ニップローラ
W 基板
Claims (1)
- 可撓性を有する帯状の基板の一部を吸着する吸着ステージと、
基板の一部が前記吸着ステージ上に位置するように基板の長手方向に配置され、基板を支持する基板支持部と、
前記吸着ステージに基板の一部を吸着させた状態で前記吸着ステージを変位させることにより、前記吸着ステージ上の基板をアライメントするアライメント機構と、
を備える基板把持装置であり、
前記アライメント機構により前記吸着ステージを変位させる前に、前記吸着ステージの端部と前記基板支持部との間に位置する基板を撓ませる撓み形成機構を有し、
前記撓み形成機構の基材保持位置が、前記吸着ステージより上方にある状態で、前記撓み形成機構が基板に下方から当接して基板を支持し、基板が前記吸着ステージから離間している姿勢である搬送姿勢と、前記撓み形成機構が基板から離間し、基板が前記吸着ステージに載置されている姿勢である吸着姿勢と、を有し、
前記撓み形成機構は、基板を吸着する機構を有する昇降可能なリフト機構であり、前記撓み形成機構が基板を吸着保持しながら前記撓み形成機構の基盤保持位置が吸着ステージより下方になるまで下降することにより、基板に撓みを形成することを
特徴とする、基板把持装置。
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