JP2015009951A - 基板把持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可撓性を有する帯状の基板Wの一部を吸着する吸着ステージ2と、基板Wの一部が吸着ステージ2上に位置するように基板Wの長手方向に配置され、基板Wを支持する基板支持部3と、吸着ステージ2に基板Wの一部を吸着させた状態で吸着ステージ2を変位させることにより、吸着ステージ2上の基板Wをアライメントするアライメント機構4と、を備える基板把持装置1であり、アライメント機構4により吸着ステージ2を変位させる前に、吸着ステージ2の端部と基板支持部3との間に位置する基板Wを撓ませる撓み形成機構5を有する。
【選択図】図2
Description
2 吸着ステージ
3 基板支持部
3a 基板支持部
3b 基板支持部
4 アライメント機構
5 撓み形成機構
5a 撓み形成機構
5b 撓み形成機構
6 巻き出しローラ
7 巻き取りローラ
8 処理ユニット
11 吸着面
12 送りローラ
12a 送りローラ
12b 送りローラ
13 ニップローラ
13a ニップローラ
13b ニップローラ
W 基板
Claims (5)
- 可撓性を有する帯状の基板の一部を吸着する吸着ステージと、
基板の一部が前記吸着ステージ上に位置するように基板の長手方向に配置され、基板を支持する基板支持部と、
前記吸着ステージに基板の一部を吸着させた状態で前記吸着ステージを変位させることにより、前記吸着ステージ上の基板をアライメントするアライメント機構と、
を備える基板把持装置であり、
前記アライメント機構により前記吸着ステージを変位させる前に、前記吸着ステージの端部と前記基板支持部との間に位置する基板を撓ませる撓み形成機構を有することを特徴とする、基板把持装置。 - 前記撓み形成機構が基板に下方から当接して基板を支持し、基板が前記吸着ステージから離間している姿勢である搬送姿勢と、前記撓み形成機構が基板から離間し、基板が前記吸着ステージに載置されている姿勢である吸着姿勢と、を有することを特徴とする、請求項1に記載の基板把持装置。
- 前記撓み形成機構は、昇降可能なリフト機構であることを特徴とする、請求項2に記載の基板把持装置。
- 前記撓み形成機構は、基板を吸着する機構を有することを特徴とする、請求項3に記載の基板把持装置。
- 前記撓み形成機構はローラであり、回転動作によって基板を前記吸着ステージの方向に送ることによって基板の撓みを形成することを特徴とする、請求項1に記載の基板把持装置。
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