JP2009057211A - 吸着ロール - Google Patents

吸着ロール Download PDF

Info

Publication number
JP2009057211A
JP2009057211A JP2008203202A JP2008203202A JP2009057211A JP 2009057211 A JP2009057211 A JP 2009057211A JP 2008203202 A JP2008203202 A JP 2008203202A JP 2008203202 A JP2008203202 A JP 2008203202A JP 2009057211 A JP2009057211 A JP 2009057211A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
roll
porous ceramic
sintered body
ceramic sintered
web
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008203202A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5362285B2 (ja
Inventor
Riichi Yasukochi
利一 安河内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Tungsten Co Ltd
Original Assignee
Nippon Tungsten Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Tungsten Co Ltd filed Critical Nippon Tungsten Co Ltd
Priority to JP2008203202A priority Critical patent/JP5362285B2/ja
Publication of JP2009057211A publication Critical patent/JP2009057211A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5362285B2 publication Critical patent/JP5362285B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Advancing Webs (AREA)
  • Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)

Abstract

【課題】 従来使用されている、吸着、搬送案内ロールは、ウェブの全面を均等に吸着することができず、また、吸着中のウェブの面は、ロールの外面の面状態が転写されるため、面粗さを一定以上下げることは難しい。
【解決手段】 ロールのウェブを吸着する部分を、筒状多孔室セラミックス焼結体とし、ロール内部を負圧とすることにより、前期課題を解決した。ウェブの前面を均等に吸着できるために、吸着、搬送案内するさいの印刷、塗布、検査などの処理が、ウェブに対して均等に行うことができ、また処理中の面粗度も低いため、ウェブに処理中にウェブ表面の凹凸による不具合が出にくくなる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、薄い帯状の有機物フィルムや金属箔など、繊細な取り扱いが必要なウェブを吸着状態で搬送案内、各種処理をするための吸着ロールに関する。
ウェブを吸着状態で搬送案内する吸着ロールとしては、吸着ロールの内部を減圧状態にして、そこから連通した吸着ロール表面に設けた多数の穴を用いて吸着を行なう「スルーホール型」が一般的である。特許文献1にはこのスルーホール型の吸着ロールが示されている。スルーホール型は、ウェブがホール部と接する部分が凹になり、その周囲は引っ張られることになるために、皺も生じやすく、ウェブに処理をすることに適していない。
特許文献2には吸着ロールのウェブに接する部分の一部に多数の多孔質セラミックスを埋設したロールが示されている。この技術は、吸着ロールの長方向にウェブが揃うように提案されたものである。多孔質セラミックスの部分と吸着ロール本体の金属部分は材質も面粗度も異なるために、均一な吸着や、多孔質セラミックス面からの転写により、ウェブ表面の凹凸をなくすことはできない。また、代表図面の27,28に示されるような、吸着ロールの一部分だけを吸着する機構が必要となる。これは、吸引に必要としない部分の多孔質セラミックスからの空気の流入(リーク)が大きいために必要な機構であり、費用もかさむ。
特許文献3にはロール表面に多孔質セラミックスを溶射にて形成し、さらにその上から樹脂製の膜を形成したロールである。この発明は、多孔質セラミックスがロール表面に形成されるものの、ロール内部から吸着するわけではなく、溶射で形成された面は面粗さも十分低いとはいえない。
特開平05−262445号公報 特開2004−26348号公報 特開平08−12151号公報
近年、吸着ロールを用いての送りの状態にて、ウェブへの印刷、塗布、転写、検査などの処理を行なう装置は増加傾向にある。例として図2中のAで示す箇所に、前記処理を行なうための装置を設置して、吸着ロールに吸着されている部分のウェブに処理を行なう、または検査するものである。
近年、前記処理の精度、均一性は大幅な改善が求められている。先行文献に示されている技術では、ウェブを吸着されている面と考えた場合に、その中でのロール材質の違いや、スルーホール部分の存在により、ウェブが均一に吸着され、搬送案内や各種処理をすることは難しく、従来技術ではいずれも解決することができない。
本発明が解決しようとする課題は、吸着ロールを改善することにより、ウェブの吸着、搬送案内、処理において、ウェブを極めて均一に平滑性を保った状態とすることである。

吸着ロールを一定の連通した微細開気孔を持つ筒状多孔質セラミック焼結体とすることにより、前記課題を解決した。またウェブと接する面の面粗度を十分低くすることができ、スルーホールタイプのような大きな凹凸が無いために、ウェブを均一な状態で保持、搬送、処理をすることができる。

請求項1に記載の本発明はロール内部を大気圧以下に減圧することによりロール表面で帯状のウェブを吸着して搬送案内する吸着ロールであって、少なくとも帯状のウェブと接する部分が筒状多孔質セラミック焼結体からなる吸着ロールである。ウェブと接する部分が筒状多孔質セラミック焼結体であり、ウェブと接する微細気孔のすべてから均等に吸着ができるために、送り中のウェブを均一な状態で送ることが可能になる。このことは、一部を多孔体で製作したロールや、スルーホールタイプの吸着ロールでは不可能であった。また、セラミック質であるために、長期に渡る使用でも磨耗や腐食の影響がほとんどない。さらに、高温中の用途でもセラミックスは耐熱性に優れるために好適する。
請求項2に記載の本発明はロールの半径と筒状多孔質セラミック焼結体の厚さの比が10以上であり、かつ、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが0.5mm以上である請求項1に記載の吸着ロールである。筒状多孔質セラミック焼結体で内部の減圧によりウェブを吸着する場合は、その厚さが厚いほど吸着力は下がり、逆に薄ければ吸着力は上がる。吸着ロール半径と筒状多孔質セラミック焼結体の比を10以上とし、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さを一定以下の厚さとすることにより、微細気孔を有する筒状多孔質セラミック焼結体で十分な吸引力が得られる。比が10未満であれば、吸着力が落ちる場合がある。また、厚さが0.5mmより薄い場合は筒状多孔質セラミック焼結体の製造が難しくなるばかりでなく、剛性がそれに応じて下がるために破損しやすい。そのために少なくとも0.5mm以上の厚さがより望ましい。
請求項3に記載の本発明は筒状多孔質セラミック焼結体の少なくともウェブと接する部分の面粗さが、算術平均粗さRaが1.5μm以下かつ最大高さRzが15μm以下である請求項1または請求項2に記載の吸着ロールである。ウェブを吸着し、その面を平滑かつ均一に保つためには、中心線平均粗さRaが1.5μm以下、最大面粗さRzが15μm以下とすることにより、よりその効果が高まる。これは、ウェブの厚さが薄くなると、吸着時の吸着ロールの面状態がウェブに転写されるために、十分低い面粗さが必要となるためである。薄いフィルムを吸着する場合はRaが1.5μm以下でRzが15μm以下が望ましい。なお、前記RaおよびRzの値は、JIS規格2001年度版に準じた値である。
請求項4に記載の本発明は、筒状多孔質セラミック焼結体の少なくともウェブと接する外周部の平均気孔径が2μm以下(0は含まず)で気孔率が15〜40%であり、気孔により少なくとも外周面と内周面で通気可能である請求項1から請求項3のいずれかに記載の吸着ロールである。多孔質セラミックス焼結体の気孔率は、15%未満であれば、連続した開気孔が得るのが難しく、吸着力を上げるためには、より性能の高い真空ポンプなどが必要となる。反対に40%よりも大きければ、ウェブと接していない部分からの圧力のリークが起こりやすくなり、吸着面の外周面に対する面積比率を、一定以上に高くする必要が生じる。また、筒状多孔質セラミック焼結体は、連続した開気孔が焼結体全体に均一に存在することにより、表面全体を均等に吸着することができる。また、この場合の平均気孔径が2.0μm以下と十分に小さい場合は、表面全面にウェブを吸着した状態でなくとも、たとえば表面積の1/10程度の面積を吸着した場合においても、それ以外の部分からのリークが極めて少なく、ほとんど無視できる。一般に、吸着ロールの場合は筒状多孔質セラミック焼結体表面積の1/3〜1/2程度の面積にウェブが吸着されるために、十分な吸着力が確保できる。これが平均気孔径が2.0μmを越えると、ウェブを吸着していない部分からのリークが起こるために、十分な吸着力を得るのが難しくなる。なお、前記平均気孔径および気孔率は水銀圧入法にて測定した値である。
請求項5に記載の本発明は、筒状多孔質セラミック焼結体の材質がアルミナ、ジルコニア、シリカ、炭化珪素、イットリア、マグネシア、炭化チタン、窒化チタン、炭化チタン、炭化タングステン、窒化珪素、窒化アルミのいずれか1種または2種以上を基とするセラミックスである請求項1から請求項4のいずれかに記載の吸着ロールである。これらのセラミックスは入手の容易さ、製造費用の低さ、剛性、耐摩耗性、耐食性、耐熱性などの観点より、本発明の吸着ロールの筒状多孔質セラミック焼結体に用いるのに特に適している。製造については、原料粉末に有機物を分散させて焼結する方法や、完全に緻密化が起こらないように原料粉末、組成、焼結温度などを調整することなどがあげられる。
請求項6に記載の本発明は、筒状多孔質セラミック焼結体の筒内に、略円筒状の補強体が嵌合され、筒状多孔質セラミック焼結体の内周部と補強体の外周部とが一体に接合されている請求項1から請求項5のいずれかに記載の吸着ロールである。また、請求項7に記載の本発明は補強体の材質が筒状多孔質セラミック焼結体よりも気孔率または平均気孔径の少なくとも一方、もしくは両方が高い多孔質セラミック焼結体からなる請求項6に記載の吸着ロールである。これまでに述べてきた筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが、吸引力の必要性、ロールの大きさ、剛性、製造費用、設計の面などから十分な強度が得られない場合に用いることができる。筒状多孔質セラミック焼結体の内面(ロールの中心)側に略円筒状の補強体を設けることにより、その欠点を解消することができる。この模式図を図1に示す。略円筒状の補強体には、減圧をウェブと接する面まで伝えるための溝や切欠部分を設けるか、補強体そのものを多孔質体とすることにより、負圧をウェブとの接触面まで及ぼすことができる。補強体そのものを多孔体質とする場合は、筒状多孔質セラミック焼結体よりも、少なくとも気孔率か平均気孔径のいずれかが大きい、できれば両方が大きい材質が好ましい。このことにより、補強体を流れる気体の流量が筒状多孔質セラミック焼結体よりも大きくなるために、溝や切欠部分を設けることなく、内部の加減圧が支障なく筒状多孔質セラミック焼結体まで伝わる。気孔率も平均気孔径も筒状多孔質セラミック焼結体より小さい材質を補強体とした場合は、図1に示すように溝や切欠部分を設ける必要がある。

請求項8に記載の本発明は補強体の熱膨張係数と筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張係数との差が1.0×10(K−1)以下である請求項6か請求項7のいずれかに記載の吸着ロールである。使用温度が常温でない場合や、環境によって変化する場合、筒状多孔質セラミック焼結体と補強体はその熱膨張係数の差によっては、接合が外れたり、応力により破壊したりする。本発明のように熱膨張係数の差を1×10−6(K−1)以下と小さい組合せにすることにより、これらの不具合は起こりにくくなる。
請求項9に記載の本発明は補強体の材質が筒状多孔質セラミック焼結体と同種のセラミックスを基とすることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれかに記載の吸着ロールである。筒状多孔質セラミック焼結体と補強体が同種のセラミックス基で製作することにより、両者の熱膨張差をより小さくすることができる。熱膨張差が小さければ、常温以外の環境下で使用した場合でも、両者の剥離や破損、変形などをより抑えることが可能である。
例としては、たとえば筒状多孔質セラミック焼結体が微細で連通した開気孔を持つアルミナセラミックスと、補強体である緻密なアルミナセラミックスと組み合わせたり、筒状多孔質セラミック焼結体を微細な気孔を有する炭化珪素セラミックスとし、補強体が比較的大きな連通した気孔を有する多孔質炭化珪素セラミックスという組み合わせなども可能である。

請求項10に記載の本発明は、請求項6に記載の一体に接合する方法が、ガラス系または有機物系いずれかの接着剤にて接着されていることを特徴とする請求項6から請求項9のいずれかに記載の吸着ロールである。筒状多孔質セラミック焼結体と補強体とを一体とするには、焼きばめ、冷やしばめ、一体焼結、拡散接合などの手段が取れるが、最も適しているのはガラス系、セラミック系または有機物系の接着剤を使った一体化である。他の方法と比較して、一体化工程での失敗が少なく、費用面や製造のしやすさでも最も好ましい。また、使用上では使用温度がたとえば200℃と高い場合でも、ガラス系の接着剤や高温まで使用できる有機物系の接着剤であれば使用することができる。
請求項11に記載の本発明は補強体の形状が、円筒形状の一部を削り取った形状であり、その削り取った部分の少なくとも一部が、ロール内部の減圧を筒状多孔質セラミック焼結体のウェブと接する部分に及ぼし吸着する経路の一部である請求項6から請求項10のいずれかに記載の吸着ロールである。補強体に緻密質の材料を使った場合は、略円筒状の補強体をたとえば図1に示すように外周部を一部削り取り、スリットを入れることにより、ロール内部から筒状多孔質セラミック焼結体のウェブと接する面に負圧を及ぼすことができる。
ウェブを吸着して搬送案内する吸着ロールに、本発明の吸着ロールを用いることにより、下記1.〜3.の少なくとも1つの課題を解決できる。

1.吸着した部分のウェブ全体を均一に吸着することができる。そのために、ウェブに皺が生じたり、変形するといった問題が解決できる。また、吸着するウェブがロールの表面をすべて覆う必要がなく、ウェブ形状や吸着形態の自由度が高い。
2.従来の多孔質セラミックを用いた吸着ロールなどと比較して、吸着ロール表面の面粗さを低くすることができる。そのため、吸着面の凹凸(面粗度)が、ウェブに転写される現象を、小さく抑えることができる。
3.前記1及び2の特徴より、ウェブの吸着、送りの際に変形が無く、面粗度もよく均一な吸着ができる。そのために、吸着、搬送案内の際に印刷、光学的な検査、塗布、転写などの処理を高品位にて行なうことができる。
本発明を実施するための最良の形態を以下に示す。
まず、吸着部および補強体以外の端部5は、図3を用いて説明するが、鉄材をはじめとする金属材料やセラミック材料にて製作することができる。その際には図4のように両端が一体化している構造も含めて、一般的な形態で製作すればよい。
ロールの内部を負圧とすることに関しては、従来用いられている一般的な方法をいずれも用いることができる。代表的な形態としては図3〜図6に示すように、ロールの中心部付近の空孔部分から、ロールの端部の任意の位置に、真空ポンプなどの減圧装置で内部の気体が移動できる状態に設ければよい。
筒状多孔質セラミック焼結体の端部への固定は、接着剤による固定、ボルト締めなどの機械的手段による固定など、特に制限はない。端部と筒状多孔質セラミック焼結体が使用中に動かないよう固定されていれば問題ない。
筒状多孔質セラミック焼結体は図7に示すような筒状のものを用いる。筒状多孔質セラミック焼結体を得るには、まずセラミックスの原料粉末と成形用バインダーとを乾式または湿式にて混合し、所望の粉末を得た上で、円筒状に成形する。この成形は、円柱状の中芯の周りに粉末をつめてラバープレスまたは冷間静水圧プレスすることにより得られるが、このほかに押し出し成形を行なうことができる。形状によっては金型プレスでもよい。
次に、プレス体に中間加工を施した後、脱脂、焼結を行なう。脱脂は前記成型用バインダーを除去するためであり、脱脂だけを行なってその後に焼結を行なっても、脱脂と焼結を連続的に行なってもどちらでもかまわない。そのセラミック材料に合わせた焼結温度で焼結を行なう。
得られた焼結体を、所望の形状、寸法となるように機械加工を行なう。外径、内径、端部と大きく分けて3箇所の加工が必要となるが、これらは円筒研削盤、内面研削盤、平面研削盤、マシニングセンタなど各種の加工機械にて行なう。この際に、外形は所望の寸法より若干大きめに仕上げておく。
次に、別に準備したロール端部の部材と、筒状多孔質セラミック焼結体を一体化する。このロール端部の部材は、負圧を生じさせる真空ポンプなどとロール中央部を接続するための部分を少なくとも一箇所含む。一体化にはどのような方法も取れるが、筒状多孔質セラミック焼結体端部およびその周辺を接着剤による固定を行なうか、またはボルトなどを使って機械的に固定してもよい。
最後に、ロール端部部材などの部材と一体化した後に、ロール全体を回転させながら、筒状多孔質セラミック焼結体外周部分の研削加工を行なう。こうすることにより、ロール全体と筒状多孔質セラミック焼結体の真円度、円筒度および同軸度を十分高くすることができる。
前記補強体を別に用いる場合には、若干工程が異なる。筒状多孔質セラミック焼結体の内面研削を行った後に、別に準備しておいた補強体と一体化する工程が増える。一体化には焼きばめ、冷やしばめ、拡散接合、一体焼結などの手段をとることができるが、接着剤にて一体化する方法が最も簡単に行なうことができる。
一体化した後に、筒状多孔質セラミック焼結体と合わせて端部や内面の加工を行なう。この後は補強体を用いない場合と同様である。
以下実施例において、発明の具体例を数例示すが、製造方法や使用方法などについては、これらに限定されるものではない。

(実施例1)
1.筒状多孔質セラミック焼結体の製造
原料粉末として0.25%のマグネシア成分を含むアルミナ粉末を2種用意した。それぞれの平均粒子径は(a)2μmと(b)0.3μmである。
これらの粉末を(a)が80質量%、(b)が20質量%の比率で、メタノールを溶媒と成型用バインダーであるポリエチレングリコールをボールミルにて均一に混合し、混合粉末を得た。乾燥後に、ゴム袋に鋼鉄の中芯と、その回りに前記混合粉末を充填し、密封した後に冷間静水圧プレス成形を行い、円筒状のプレス体を得た。
プレス体を脱脂、焼結兼用炉に投入し、大気雰囲気にて1、400℃にて脱脂、焼結を行なった。焼結体を観察したところ、微細な開気孔が均一に存在していた。気孔を測定したところ、平均気孔径は0.5μmであった。また、気孔率は20%であった。
この焼結体の端面、内面、外面をそれぞれ円筒研削盤、内面研削盤、円筒研削盤を用いて所望の円筒形状のアルミナ基の多孔質セラミック焼結体を得た。
2. ロールの端部
前記1.とは別に図3の5に示すように、クロムモリブデン鋼でロールの端部の部材を準備した。部材には一箇所の真空引き用の穴6を設けた。
3. 組み立て
前記1.及び2.にて準備した筒状多孔質セラミック焼結体1およびロール端部の部材5をエポキシ系の接着剤にて、筒状多孔質セラミック焼結体の端部をロール端部の部材に接着した後に1日間乾燥させた。両者は強固に一体化しており、模式図3に示す吸着ロールを得た。この後、一体化した状態で円筒研削盤にて筒状多孔質セラミック焼結体の外周部を仕上げ研削し、本発明の吸着ロールを得た。この吸着ロールをNo.1とした。
本発明の吸着ロールに対する比較用のロールとして、多数の0.5mmのスルーホールを表面からロール内面に設けた「スルーホール」タイプの吸着ロールを用い、これをNo.11とした。
また、金属ロール表面に多数の多孔質セラミックス(アルミナを使用)を設けた特許文献2に相当するロールをNo.12とした。
No.1、No.11およびNo.12のロールを用いて、図2に示すように、厚さ0.025mmのポリイミドをウェブ9として、吸着、搬送案内中に別のロールによるポリイミドへの金属含有インクでパターン印刷処理を行なった。この場合の図2中のAで示される部分には、印刷用のロールが入る。この印刷の形態を図8に示す。
本発明のNo.1のロールは、全体を均一に保持するために、印刷されたパターンに不具合はなく、正確なパターン印刷を長時間にわたり変わらず得ることができた。
比較例であるNo.11のロールは、スルーホールにあたる部分を中心に印刷に数〜10μm程度のパターンのゆがみが発生しており、高精度な印刷には適していないことが分かった。スルーホールの周辺はスルーホールに引き込まれて引っ張られるために、このゆがみが起こったと考えられる。
同じく比較例であるNo.12では、多孔質セラミックスに吸引されている部分と、そうでない部分にウェブの進行方向に波打ったような印刷ムラが見られた。これは、多孔質セラミックに吸着されている部分がそうでない部分を引っ張るために起こったと考えられる。

(実施例2)
吸着ロールの半径及び、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さを以下の表1に示すよう設定し、ロールを得た。筒状多孔質セラミック焼結体の材質はすべてアルミナ−20質量%炭化チタンとした。いずれも気孔率は40%、平均気孔径は2μmである。
ロール端部の部材や他の寸法は同じ条件であり、ロールの半径と筒状多孔質セラミック焼結体の厚さの設定を表1に示す。これらのロールを用いて厚さ10μmの金箔を吸着、搬送案内し、その吸着状態を調べた。
Figure 2009057211

表1の結果に示すように、ロールの半径と筒状多孔質セラミック焼結体の厚さの比が10以上であるロールNo.2、No.3、No.4、No.6、No.7は良好な吸着力が得られた。
これに対して、その比が10未満であるロールNo.5は、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが厚いために、吸着力は吸着、搬送案内可能な程度ではあったものの、他のロールには及ばなかった。
また、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが、1mmより薄いロールNo.2については、吸着状態は良好であったが、薄いために製造時に割れや欠けが起こりやすく、それを解消するために加工能率を落として加工する必要があった。製造費用の面では1mm以上のものが安価に製作可能であった。

(実施例3)
本発明の、筒状多孔質セラミック焼結体を気孔率が15%で外周表面の開気孔の平均気孔径が0.4μmである窒化珪素とした吸着ロールを製作した。筒状多孔質セラミック焼結体のウェブを吸着する部分の面粗さを加工時の砥石の番手などを変えることによって表2に示すよう、それぞれに変えて試験を行なった。この吸着ロールにて、ポリエチレン系で厚さ10μmのウェブを吸着、送り中に図9に示すような形態でスクリーン印刷処理を行なった。棒状の塗布工具10は、先端から速乾性のスラリー11がウェブの幅方向に対して均等に出てくるようにしてある。
乾燥後のウェブを細かく切り、AFM(原子間力顕微鏡)にて表面の状態を観察した。
Figure 2009057211
表2に示す結果のように、中心線平均粗さRa≦1.5μm、最大高さRz≦15μmの吸着ロールがムラの見られない、良好な塗布が行なえることがわかった。面粗さがこれよりも大きいと、筒状多孔質セラミック焼結体の表面の凹凸が、ウェブにも転写されることで、塗布後のウェブの状態に差ができたと考えられる。
本発明の吸着ロールで請求項3の条件を満たすものは、極めて微小な面の状態を制御したい場合に特に有効であった。ただし、一般的な精度の塗布や印刷の場合は試料No.28、No.29程度でも使用に問題ない場合が多い。

(実施例4)
実施例1では0.25%のマグネシア成分を含むアルミナを筒状多孔質セラミック焼結体として用いたが、請求項5に示すいずれのセラミック材料(アルミナ、ジルコニア、シリカ、炭化珪素、イットリア、マグネシア、炭化チタン、窒化チタン、炭化タングステン)でも、気孔の状態を制御することにより同様の吸着ロールを得ることができた。

(実施例5)
アルミナ基の筒状多孔質セラミック焼結体1の厚さを1mmとし、その内面側に補強体2を一体に接合した吸着ロールを製作した。アルミナ基の筒状多孔質セラミック焼結体1の気孔率は30%、平均気孔径は1.0μmである。この模式図を図1に示す。
補強体2として用いたのは円筒状の緻密質(密度99%)のアルミナ焼結体であり、その外形は筒状多孔質セラミック焼結体1の内径より20μm小さくした。この円筒状の補強体の外周にあたる部分は、一部を除いて研削にて削り取り、各角に円弧が残った5角筒形状とし、さらに内面からの減圧を筒状多孔質セラミック焼結体に伝達できるように、内面から外面まで複数のスリット13を設けた。この補強体の5つの円弧12にそれぞれに有機接着剤を塗布し、筒状多孔質セラミック焼結体1の内面に接着し、乾燥した。
一体化したものに、焼入れ鋼製の端部をさらに接着することにより、補強体を有する吸着ロールを得た。
補強体を有する吸着ロールの利点を以下に示す。
1.補強体により補強されているために、吸着ロールに生じるたわみなどの変形が少ない。そのために、吸着ロールが長い場合でも、たわみを最小限に抑えることができる。また、補強があるために、更なる吸着力を必要とする場合などは、筒状多孔質セラミック焼結体を薄くすることも可能となる。
2.補強体と筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張係数が小さいために、温度変化などによる変形や破壊が起こらない。本実施例では筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張係数は7.5×10−6(K−1)であり、補強体のそれは7.4×10−6(K−1)とほぼ同じであった。そのために、吸着ロールの焼入れ鋼端部が温度変化により収縮するのを妨げ、熱膨張差によって生じる変形や筒状多孔質セラミック焼結体の割れを大幅に緩和することができる。逆に熱膨張差が1.0×10−6(K−1)以上と大きくなれば、補強体と筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張差により、両者の分離や、筒状多孔質セラミック焼結体の割れなどにつながるために、熱膨張差は1.0×10−6(K−1)以下がより望ましい。
3.補強体は緻密質のセラミックスも用いることができるために、曲げやねじれなどの応力から筒状多孔質セラミック焼結体を保護するのが容易になる。
また、この実施例では補強材を5角筒に削り取ったが、筒状多孔質セラミック焼結体と十分に接着できる形状であれば、どのような削り取り方をしてもかまわない。

(実施例6)
実施例5と同様に、アルミナ基の筒状多孔質セラミック焼結体1の厚さを1mmとし、その内面側に補強体2を一体に接合した吸着ロールを製作した。アルミナ基の筒状多孔質セラミック焼結体1の気孔率は30%、平均気孔径は1.0μmである。
この場合の補強体は円筒状の多孔質アルミナ焼結体22であり、この模式図を図10に示す。補強体の気孔率は50%で、平均気孔径は10μmであった。補強体のほうが気孔率、平均気孔径ともに高い。補強体内部の3より減圧を行なうことにより、筒状多孔質セラミック焼結体1は表面にウェブを良好に吸着することができた。
この場合は、緻密質セラミックスを用いた場合と異なり、外形の一部を削り取ることや、溝入れも省くことができる。
本発明の吸着ロールの断面を示す模式図 ウェブを吸着ロールにて吸着、搬送案内する模式図 本発明の吸着ロールの一模式図(補強体無し) 本発明の吸着ロールの一模式図(真空引きを端部の部材より行なう場合、補強体あり) 本発明の吸着ロールの一模式図(真空引きをスペーサを用いて、端部のリング状のスリットより行なう場合、補強体あり) 本発明の吸着ロールの一模式図(真空引きを端部の部材より行なう場合) 本発明の吸着ロールに使用する筒状多孔質セラミック焼結体 ロールを用いてウェブを印刷する模式図 塗布工具にてウェブにスラリーを塗布する模式図 本発明の吸着ロールの断面を示す模式図(補強体に多孔質セラミックスを使用)
符号の説明
1 筒状多孔質セラミック焼結体
2 補強体
3 ロール内部の空間
4 円筒状の補強体を削った部分
5 ロール端部
6 真空引き経路
7 ウェブの進行方向を変えるローラー
8 印刷用ロール
9 ウェブ
10 塗布工具
11 塗布されるスラリー
12 接着部
13 真空引き経路となるスリット
14 リング状のスリット(6と常時連通している)
15 印刷されたウェブの部分
22 補強体(多孔質セラミックス)
100 吸着ロール全体
A ウェブを処理する機構が設置される場所

Claims (11)

  1. ロール内部を大気圧以下に減圧することによりロール表面で帯状のウェブを吸着して搬送案内する吸着ロールであって、
    少なくとも帯状のウェブと接する部分が筒状多孔質セラミック焼結体からなる吸着ロール。
  2. ロールの半径と筒状多孔質セラミック焼結体の厚さの比が10以上であり、かつ、筒状多孔質セラミック焼結体の厚さが0.5mm以上である請求項1に記載の吸着ロール。
  3. 筒状多孔質セラミック焼結体の少なくともウェブと接する部分の面粗さが、算術平均粗さRaが1.5μm以下かつ最大高さRzが15μm以下である請求項1または請求項2に記載の吸着ロール。
  4. 筒状多孔質セラミック焼結体の少なくともウェブと接する外周部の平均気孔径が2μm以下(0は含まず)で気孔率が15〜40%であり、気孔により少なくとも外周面と内周面で通気可能である請求項1から請求項3のいずれかに記載の吸着ロール。
  5. 筒状多孔質セラミック焼結体の材質がアルミナ、ジルコニア、シリカ、炭化珪素、イットリア、マグネシア、炭化チタン、窒化チタン、炭化チタン、炭化タングステン、窒化珪素、窒化アルミのいずれか1種または2種以上を基とするセラミックスである請求項1から請求項4のいずれかに記載の吸着ロール。
  6. 筒状多孔質セラミック焼結体の筒内に、略円筒状の補強体が嵌合され、筒状多孔質セラミック焼結体の内周部と補強体の外周部とが一体に接合されている請求項1から請求項5のいずれかに記載の吸着ロール。
  7. 補強体の材質が筒状多孔質セラミック焼結体よりも気孔率または平均気孔径の少なくとも一方、もしくは両方が高い多孔質セラミック焼結体からなる請求項6に記載の吸着ロール。
  8. 補強体の熱膨張係数と筒状多孔質セラミック焼結体の熱膨張係数との差が1.0×10−6(K−1)以下である請求項6か請求項7のいずれかに記載の吸着ロール。
  9. 補強体の材質が筒状多孔質セラミック焼結体と同種のセラミックスを基とすることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれかに記載の吸着ロール。
  10. 請求項6に記載の一体に接合する方法が、ガラス系または有機物系いずれかの接着剤にて接着されていることを特徴とする請求項6から請求項9のいずれかに記載の吸着ロール。
  11. 補強体の形状が、円筒形状の一部を削り取った形状であり、その削り取った部分の少なくとも一部が、ロール内部の減圧を筒状多孔質セラミック焼結体のウェブと接する部分に及ぼし吸着する経路の一部である請求項6から請求項10のいずれかに記載の吸着ロール。
JP2008203202A 2007-08-07 2008-08-06 吸着ロール Active JP5362285B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008203202A JP5362285B2 (ja) 2007-08-07 2008-08-06 吸着ロール

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007204935 2007-08-07
JP2007204935 2007-08-07
JP2008203202A JP5362285B2 (ja) 2007-08-07 2008-08-06 吸着ロール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009057211A true JP2009057211A (ja) 2009-03-19
JP5362285B2 JP5362285B2 (ja) 2013-12-11

Family

ID=40553305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008203202A Active JP5362285B2 (ja) 2007-08-07 2008-08-06 吸着ロール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5362285B2 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015009951A (ja) * 2013-06-28 2015-01-19 東レエンジニアリング株式会社 基板把持装置
JP2015015258A (ja) * 2014-09-18 2015-01-22 株式会社Screenホールディングス 膜・電極接合体の製造装置
JP2016103626A (ja) * 2014-11-13 2016-06-02 株式会社ナノテム 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法
CN107628462A (zh) * 2017-10-24 2018-01-26 东莞市李群自动化技术有限公司 一种用于阶梯表面贴附胶带的夹具
JPWO2017154085A1 (ja) * 2016-03-08 2018-11-22 株式会社ナノテム 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法
GB2565186A (en) * 2017-05-25 2019-02-06 Hexcel Composties Ltd Improvements in or relating to slitting
US10505200B2 (en) 2013-05-20 2019-12-10 SCREEN Holdings Co., Ltd. Apparatus and method manufacturing composite membrane
WO2021171778A1 (ja) * 2020-02-27 2021-09-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 塗工装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5318479U (ja) * 1976-07-26 1978-02-16
JPS5943757A (ja) * 1982-09-03 1984-03-10 Hitachi Seiko Ltd 磁気コ−タ機用バキユ−ムロ−ラ
JPS63267648A (ja) * 1987-04-24 1988-11-04 Teijin Ltd フイルム搬送装置
JPH0331152U (ja) * 1989-08-04 1991-03-26
JP2008137804A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Himecs:Kk サクションロール装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5318479U (ja) * 1976-07-26 1978-02-16
JPS5943757A (ja) * 1982-09-03 1984-03-10 Hitachi Seiko Ltd 磁気コ−タ機用バキユ−ムロ−ラ
JPS63267648A (ja) * 1987-04-24 1988-11-04 Teijin Ltd フイルム搬送装置
JPH0331152U (ja) * 1989-08-04 1991-03-26
JP2008137804A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Himecs:Kk サクションロール装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10505200B2 (en) 2013-05-20 2019-12-10 SCREEN Holdings Co., Ltd. Apparatus and method manufacturing composite membrane
JP2015009951A (ja) * 2013-06-28 2015-01-19 東レエンジニアリング株式会社 基板把持装置
JP2015015258A (ja) * 2014-09-18 2015-01-22 株式会社Screenホールディングス 膜・電極接合体の製造装置
JP2016103626A (ja) * 2014-11-13 2016-06-02 株式会社ナノテム 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法
JPWO2017154085A1 (ja) * 2016-03-08 2018-11-22 株式会社ナノテム 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法
GB2565186A (en) * 2017-05-25 2019-02-06 Hexcel Composties Ltd Improvements in or relating to slitting
CN107628462A (zh) * 2017-10-24 2018-01-26 东莞市李群自动化技术有限公司 一种用于阶梯表面贴附胶带的夹具
WO2021171778A1 (ja) * 2020-02-27 2021-09-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 塗工装置
EP4112186A4 (en) * 2020-02-27 2023-08-23 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. COATING APPARATUS

Also Published As

Publication number Publication date
JP5362285B2 (ja) 2013-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5362285B2 (ja) 吸着ロール
JP4476701B2 (ja) 電極内蔵焼結体の製造方法
EP1695949B1 (en) Method of manufacturing a ceramic heater
EP1930306A1 (en) Ceramics composite member and method of producing the same
JP5154871B2 (ja) 静電チャック及びその製造方法
JPH10193260A (ja) ウエーハ保持治具
KR102589330B1 (ko) 기체 베어링, 다공성 매체 진공 롤러 및 다공성 매체 에어 턴
JP4908263B2 (ja) 真空吸着装置およびその製造方法
JP4718397B2 (ja) 真空吸着装置の製造方法
JP2008211098A (ja) 真空吸着装置、その製造方法および被吸着物の吸着方法
EP4112584A1 (en) Multi-layer composite ceramic plate and manufacturing method therefor
JP2004315358A (ja) 多孔質アルミナ焼結体およびその製造方法
JP2014501440A (ja) ウェハを保持しマウントするための保持装置
JP2008028170A (ja) 真空吸着装置及びその製造方法
JP2000183133A (ja) ロボットハンド
JP5199012B2 (ja) チャックロール
JP2010189077A (ja) 吸着ロール
JP2005279789A (ja) 研削・研磨用真空チャック
JP5300363B2 (ja) 保持用治具およびそれを用いた搬送装置
JP2011051782A (ja) サクションローラユニット及び印刷機
JP4948920B2 (ja) 真空チャック及びこれを用いた真空吸着装置
JP5092135B2 (ja) 多孔質体およびその製造方法
JP2002110772A (ja) 電極内蔵セラミックス及びその製造方法
JP2005279788A (ja) 研削・研磨用真空チャック
JP2009107880A (ja) 接合体、吸着部材、吸着装置および加工装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110402

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120913

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121009

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121206

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130514

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130712

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130903

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130904

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5362285

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150