KR101929764B1 - 유리 기판의 반송 장치, 및, 유리 기판의 제조 방법 - Google Patents

유리 기판의 반송 장치, 및, 유리 기판의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

[과제] 본 발명의 목적은, 유리 기판(基板)을 안정적으로 부상(浮上)시켜 반송(搬送)하는 것으로, 유리 기판의 결함의 발생을 억제할 수 있는 유리 기판의 반송 장치, 및, 유리 기판의 제조 방법을 제공하는 것이다.
[해결 수단] 유리 기판 반송 장치(100)는, 기판 부상 유닛(20)과, 기판 반송 유닛(30)을 구비한다. 기판 부상 유닛(20)은, 반송 방향 D1을 따라 간격을 두고 배치되는 복수의 플로트 패널(float panel)(22)을 가진다. 플로트 패널(22)은, 기체 분출(噴出) 기구(22a)와, 기판 대향면(22b)을 가진다. 기체 분출 기구(22a)는, 유리 기판(10)의 표면에 내뿜어지는 기체를 분출한다. 기판 대향면(22b)은, 반송되는 유리 기판(10)의, 기체가 내뿜어지는 표면과 대향하는 면이다. 플로트 패널(22)은, 반송 방향 D1을 향하는 것에 따라서 기판 대향면(22b)의 높이 위치가 서서히 내려가도록 배치된다.

Description

유리 기판의 반송 장치, 및, 유리 기판의 제조 방법{TRANSPORTATION DEVICE FOR GLASS SUBSTRATE AND METHOD FOR PRODUCING GLASS SUBSTRATE}
본 발명은, 유리 기판(基板)의 반송(搬送) 장치, 및, 유리 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조 공정에서는, 유리 기판의 표면에, TFT(Thin Film Transistor) 등의 반도체 소자, 및, 블랙 매트릭스(black matrix) 수지 등으로 이루어지는 패턴이 형성된다. 패턴이 형성되는 유리 기판의 표면에, 흠집, 크랙(crack) 및 이물 등의 결함이 존재하면, 패턴이 양호하게 형성되지 않고, 최종 제품인 FPD의 불량의 원인으로 된다. 특히, 유리 기판의 표면에 형성되는 미소(微小)한 흠집 및 크랙은, 유리 기판의 기계적 강도(强度)를 저하(低下)시키고, FPD의 제조 공정에 있어서 유리 기판이 깨지는 원인으로 된다. 그 때문에, 유리 기판의 표면에 결함이 존재하지 않는 것이 요구되고 있다.
유리 기판의 제조 공정에서는, 성형된 유리 시트가 소정의 크기로 절단되어, 제품으로서 출하되는 사이즈의 유리 기판이 얻어진다. 그 후, 유리 기판은, 연삭(硏削) 및 연마(硏磨)에 의한 단면(端面) 가공 공정, 세정 공정 및 검사 공정을 거쳐, 곤포(梱包)되어 출하된다. 검사 공정에서는, 예를 들어, 유리 기판이 반송되면서, 유리 기판의 표면에 존재하는 흠집, 크랙 및 이물 등의 결함이 광학적으로 검지된다.
유리 기판의 검사 공정에서는, 종래, 유리 기판의 반송 장치로서, 롤러 컨베이어가 이용되고 있다. 그러나 롤러 컨베이어의 롤러에 유리의 미소편(微小 片) 등의 이물이 부착되면, 회전하는 롤러와 접촉하는 것으로 반송되는 유리 기판의 표면에, 이물에 의한 흠집이 형성된다. 이 문제를 해결하기 위하여, 근년, 특허 문헌 1(일본국 공개특허공보 특개2006-188313호)에 개시(開示)되는 바와 같이, 유리 기판의 표면에 기체를 내뿜어 유리 기판을 부상(浮上)시키고, 유리 기판의 단부(端部)를 흡착 보지(保持)하여 반송하는 유리 기판의 반송 장치가 이용되고 있다. 이 반송 장치를 이용하는 방법에서는, 유리 기판은, 반송 장치와 접촉하는 일 없이, 부상한 상태로 반송된다. 그 때문에, 유리 기판이 반송 장치와 접촉하는 것에 의하여 유리 기판의 표면에 결함이 생기는 것이 억제된다.
그러나 유리 기판을 부상시켜 반송하는 경우, 유리 기판 자체의 휨에 기인(起因)하여, 유리 기판이 반송 장치와 접촉하여 버리는 경우가 있다. 그리고 유리 기판의 휨은, 이하의 3개의 이유에 의하여 완전하게 측정하는 것이 곤란하다. 제1의 이유로서, 대량 생산되는 유리 기판의 각각에 관하여, 그 자유 형상을 측정하는 것은 현실적으로 곤란하다. 제2의 이유로서, 대량 생산되는 유리 기판으로부터 검사용의 유리 기판을 빼내어 휨을 측정하는 것으로, 특정의 생산 로트(lot)에 있어서의 휨의 경향을 예측하려고 하여도, 유리 기판의 자유 형상은 어느 정도의 범위에서 변화한다. 제3의 이유로서, 대형의 마더 글래스(mother glass)로부터 채취된 복수의 소형의 유리 기판의 자유 형상의 측정은, 특히 곤란하다.
이 문제를 해결하기 위하여, 특허 문헌 2(일본국 공개특허공보 특개2012-96920호)에는, 유리 기판의 표면에 기체를 내뿜어 유리 기판을 부상시키는 것과 동시에, 기체를 흡인하여 유리 기판에 하향(下向)의 힘을 주는 유리 기판의 반송 장치가 개시되어 있다. 이 반송 장치를 이용하는 반송 방법에서는, 부상한 상태로 반송되는 유리 기판의 형상이 어느 정도 교정(矯正)되기 때문에, 유리 기판의 휨의 영향이 경감(輕減)된다.
일본국 공개특허공보 특개2006-188313호 일본국 공개특허공보 특개2012-96920호
그러나 특허 문헌 2에 개시되는 바와 같이, 유리 기판의 반송 장치가, 유리 기판의 반송 방향을 따라 소정의 간격을 두고 배치되는 복수의 플로트 패널(float panel)로 구성되는 경우, 유리 기판의 휨에 기인하는 다른 문제가 발생한다. 구체적으로는, 유리 기판의 반송 방향을 따라 서로 이웃하는 플로트 패널 간의 영역에서는, 유리 기판은 하향의 힘을 받지 않기 때문에, 유리 기판의 형상이 교정되지 않는다. 그 때문에, 이 영역에서는, 유리 기판이 자신의 고유의 형상으로 되돌아오려고 하여, 유리 기판에 휨이 생길 가능성이 있다. 따라서 플로트 패널 간의 영역을 유리 기판이 통과할 때에, 휨에 의하여 아래로 드리워져 있는 유리 기판의 단부가 반송 장치에 접촉하여, 유리 기판이 깨질 우려가 있다.
본 발명의 목적은, 유리 기판을 안정적으로 부상시켜 반송하는 것으로, 유리 기판의 결함의 발생을 억제할 수 있는 유리 기판의 반송 장치, 및, 유리 기판의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 관련되는 유리 기판의 반송 장치는, 기판 부상 유닛과, 기판 반송 유닛을 구비한다. 기판 부상 유닛은, 유리 기판의 표면에 기체를 내뿜어 유리 기판을 부상시키는 유닛이다. 기판 반송 유닛은, 기판 부상 유닛에 의하여 부상시킨 유리 기판을 반송 방향을 따라 반송하는 유닛이다. 기판 검사 유닛은, 기판 반송 유닛에 의하여 반송되는 유리 기판을 검사하는 유닛이다. 기판 부상 유닛은, 반송 방향을 따라 간격을 두고 배치되는 복수의 플로트 패널을 가진다. 플로트 패널은, 기판 대향면과, 기체 분출(噴出) 기구와, 기체 흡인 기구를 가진다. 기판 대향면은, 반송되는 유리 기판의, 기체가 내뿜어지는 표면과 대향하는 면이다. 기체 분출 기구는, 기판 대향면에 형성되고 유리 기판의 표면에 내뿜어지는 기체를 분출한다. 기체 흡인 기구는, 기판 대향면에 형성되고 기체를 흡인한다. 플로트 패널은, 반송 방향을 향하는 것에 따라서 기판 대향면의 높이 위치가 서서히 내려가도록 배치된다. 기체 분출 기구는, 상향의 힘을 유리 기판에 생기게 하여, 유리 기판을 부상시킨다. 기체 흡인 기구는, 기체 분출 기구에 의하여 부상하고 있는 유리 기판에 하향의 힘을 생기게 하여, 기체 분출 기구에 의하여 부상하고 있는 유리 기판의 휨을 경감한다. 플로트 패널의 기판 대향면의 높이 위치가 낮을수록, 플로트 패널의 기체 분출 기구로부터 분출되는 기체의 유량이 크다.
본 발명에 관련되는 유리 기판의 반송 장치는, 유리 기판을 소정의 반송 방향을 따라 반송하는 장치이다. 유리 기판을 부상시키는 기판 부상 유닛은, 유리 기판의 반송 방향을 따라 복수의 플로트 패널이 소정의 간격을 두고 배치되어 있는 구성을 가지고 있다.
이 유리 기판의 반송 장치에서는, 부상하여 반송되는 유리 기판은, 기판 부상 유닛의 상방(上方)에서는, 그 형상이 어느 정도 교정된다. 그 때문에, 기판 부상 유닛의 상방에서는, 유리 기판의 휨이 경감된다. 한편, 부상하여 반송되는 유리 기판은, 반송 방향을 따라 서로 이웃하는 플로트 패널 간의 영역을 통과하는 사이, 그 형상이 교정되지 않기 때문에, 자신의 고유의 형상으로 되돌아오려고 한다. 그 때문에, 플로트 패널 간의 영역에서는, 유리 기판의 휨이 생길 가능성이 있다. 그러나 플로트 패널은, 유리 기판의 반송 방향을 따라, 반송되는 유리 기판의 하면(下面)과 대향하는 기판 대향면의 높이 위치가 서서히 내려가도록, 계단상(階段狀)으로 배치되어 있다. 그 때문에, 플로트 패널 간의 영역을 통과하고 있는 유리 기판의 단부가, 휨에 의하여 아래로 드리워져 있는 경우에 있어서도, 유리 기판의 단부가 플로트 패널에 접촉하는 것이 억제된다.
따라서 이 유리 기판의 반송 장치는, 유리 기판을 안정적으로 부상시켜 반송하는 것으로, 유리 기판의 결함의 발생을 억제할 수 있다.
덧붙여, 플로트 패널의 기체 분출 기구로부터 분출되는 기체의 유량이, 유리 기판의 반송 방향을 따라 일정한 경우, 반송되는 유리 기판의 높이 위치는, 플로트 패널의 기판 대향면의 높이 위치에 아울러 서서히 저하한다. 그러나 유리 기판의 반송 방향을 따라, 기체 분출 기구로부터 분출되는 기체의 유량을 서서히 증가시키는 것으로, 반송되는 유리 기판의 높이 위치의 저하를 억제할 수 있다. 이것에 의하여, 기판 반송 유닛에 의하여 반송되는 유리 기판의 변형을 억제할 수 있다.
또한, 반송 방향을 따라 배치되어 있는 플로트 패널의 기판 대향면은, 수평면에 평행인 것이 바람직하다.
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플로트 패널의 기체 분출 기구로부터 분출되는 기체의 유량이, 유리 기판의 반송 방향을 따라 일정한 경우, 반송되는 유리 기판의 높이 위치는, 플로트 패널의 기판 대향면의 높이 위치에 아울러 서서히 저하한다. 그러나 유리 기판의 반송 방향을 따라, 기체 분출 기구로부터 분출되는 기체의 유량을 서서히 증가시키는 것으로, 반송되는 유리 기판의 높이 위치의 저하를 억제할 수 있다. 이것에 의하여, 기판 반송 유닛에 의하여 반송되는 유리 기판의 변형을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에 관련되는 유리 기판의 반송 장치는, 기판 검사 유닛을 더 구비하는 것이 바람직하다. 기판 검사 유닛은, 기판 반송 유닛에 의하여 반송되는 유리 기판을 검사하는 광학 디바이스이다. 플로트 패널은, 반송 방향에 직교하는 방향인 유리 기판의 폭 방향을 따라 연장된다. 기판 검사 유닛은, 서로 이웃하는 플로트 패널의 사이에 배치된다.
이 유리 기판의 반송 장치는, 유리 기판의 표면에 형성되어 있는 결함을 검출할 수 있다. 이 장치에서는, 유리 기판의 반송 방향을 따라 서로 이웃하는 플로트 패널 간에, 유리 기판의 폭 방향으로 연장되어 있는 기판 검사 유닛을 설치할 수 있다. 그 때문에, 유리 기판의 반송 방향에 있어서의, 기판 검사 유닛의 설치 공간을 억제할 수 있다.
본 발명에 관련되는 유리 기판의 제조 방법은, 기판 부상 공정과, 기판 반송 공정과, 기판 처리 공정을 구비한다. 기판 부상 공정은, 유리 기판의 표면에 기체를 내뿜어 유리 기판을 부상시키는 공정이다. 기판 반송 공정은, 기판 부상 공정에 의하여 부상시킨 유리 기판을 반송 방향을 따라 반송하는 공정이다. 기판 처리 공정은, 기판 반송 공정에서 반송되는 유리 기판을 가공 또는 검사하는 공정이다. 기판 부상 공정에 있어서, 반송 방향을 따라 간격을 두고 배치되는 복수의 플로트 패널에 의하여, 유리 기판이 부상시켜진다. 플로트 패널은, 기판 대향면과, 기체 분출(噴出) 기구와, 기체 흡인 기구를 가진다. 기판 대향면은, 반송되는 유리 기판의, 기체가 내뿜어지는 표면과 대향하는 면이다. 기체 분출 기구는, 기판 대향면에 형성되고 유리 기판의 표면에 내뿜어지는 기체를 분출한다. 기체 흡인 기구는, 기판 대향면에 형성되고 기체를 흡인한다. 플로트 패널은, 반송 방향을 향하는 것에 따라서 기판 대향면의 높이 위치가 서서히 내려가도록 배치된다. 기체 분출 기구는, 상향의 힘을 유리 기판에 생기게 하여, 유리 기판을 부상시킨다. 기체 흡인 기구는, 기체 분출 기구에 의하여 부상하고 있는 유리 기판에 하향의 힘을 생기게 하여, 기체 분출 기구에 의하여 부상하고 있는 유리 기판의 휨을 경감한다. 플로트 패널의 기판 대향면의 높이 위치가 낮을수록, 플로트 패널의 기체 분출 기구로부터 분출되는 기체의 유량이 크다.
또한, 반송 방향을 따라 배치되어 있는 플로트 패널의 기판 대향면은, 수평면에 평행인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 관련되는 유리 기판의 제조 방법에서는, 기판 처리 공정은, 기판 반송 공정에서 반송되는 유리 기판을 검사하는 기판 검사 공정인 것이 바람직하다. 기판 검사 공정에서는, 서로 이웃하는 플로트 패널의 사이에 배치되는 광학 디바이스에 의하여, 유리 기판이 검사된다.
본 발명에 관련되는 유리 기판의 반송 장치, 및, 유리 기판의 제조 방법은, 유리 기판을 안정적으로 부상시켜 반송하는 것으로, 유리 기판의 결함의 발생을 억제할 수 있다.
도 1은 실시예에 관련되는 유리 기판의 제조 공정의 플로 차트이다.
도 2는 유리 기판 반송 장치의 외관도이다.
도 3은 기판 부상 유닛의 상면도이다.
도 4는 기판 부상 유닛의 측면도이다.
도 5는 도 4의 일부의 확대도이다.
도 6은 참고예로서의 플로트 패널의 배치를 나타내는 기판 부상 유닛의 상면도이다.
(1) 유리 기판 반송 장치가 이용되는 유리 기판의 제조 공정의 개략
본 발명에 관련되는 유리 기판의 반송 장치의 실시예에 관하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 최초로, 본 실시예에서 이용되는 유리 기판 반송 장치(100)를 이용한 유리 기판(10)의 제조 공정에 관하여 설명한다. 유리 기판(10)은, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이(plasma display) 및 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조에 이용된다. 유리 기판(10)은, 예를 들어, 0.2mm ~ 0.8mm의 두께를 가지고, 또한, 세로 680mm ~ 2200mm 및 가로 880mm ~ 2500mm의 사이즈를 가진다.
유리 기판(10)의 일례로서, 이하의 조성(組成)을 가지는 유리가 들어진다.
(a) SiO2： 50질량% ~ 70질량%,
(b) Al2O3： 10질량% ~ 25질량%,
(c) B2O3： 5질량% ~ 18질량%,
(d) MgO： 0질량% ~ 10질량%,
(e) CaO： 0질량% ~ 20질량%,
(f) SrO： 0질량% ~ 20질량%,
(g) BaO： 0질량% ~ 10질량%,
(h) RO： 5질량% ~ 20질량%(R은, Mg, Ca, Sr 및 Ba로부터 선택되는 적어도 1종이다.),
(i) R'2O： 0질량% ~ 2.0질량%(R'은, Li, Na 및 K로부터 선택되는 적어도 1종이다.),
(j) SnO2, Fe2O3 및 CeO2로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 산화물.
덧붙여, 상기의 조성을 가지는 유리는, 0.1질량% 미만의 범위에서, 그 외의 미량 성분의 존재가 허용된다.
도 1은, 유리 기판(10)의 제조 공정을 나타내는 플로 차트의 일례이다. 유리 기판(10)의 제조 공정은, 주로, 성형 공정(스텝 S1)과, 채판(採板, 유리를 규정 치수로 절단하여, 소판으로 되는 것) 공정(스텝 S2)과, 절단 공정(스텝 S3)과, 조면화(粗面化) 공정(스텝 S4)과, 단면 가공 공정(스텝 S5)과, 세정 공정(스텝 S6)과, 검사 공정(스텝 S7)과, 곤포 공정(스텝 S8)으로 이루어진다.
성형 공정 S1에서는, 유리 원료를 가열하여 얻어진 용융 유리로부터, 다운드로우법 또는 플로트법에 의하여, 유리 시트가 연속적으로 성형된다. 성형된 유리 시트는, 뒤틀림 및 휨이 발생하지 않도록 온도 제어되면서, 유리 서랭점(徐冷点) 이하까지 냉각된다.
채판 공정 S2에서는, 성형 공정 S1에서 성형된 유리 시트가 절단되어, 소정의 치수를 가지는 소판(素板) 유리가 얻어진다.
절단 공정 S3에서는, 채판 공정 S2에서 얻어진 소판 유리가 절단되어, 제품 사이즈의 유리 기판(10)이 얻어진다. 일반적으로, 소판 유리는, 커터 또는 레이저를 이용하여 절단된다.
조면화 공정 S4에서는, 절단 공정 S3에서 얻어진 유리 기판(10)의 표면 거칠기를 증가시키는 조면화 처리가 행하여진다. 유리 기판(10)의 조면화 처리는, 예를 들어, 플루오르화 수소를 포함하는 에천트(etchant)를 이용하는 웨트 에칭(wet etching)이다.
단면 가공 공정 S5에서는, 조면화 공정 S4에서 조면화 처리가 행하여진 유리 기판(10)의 단면 가공이 행하여진다. 단면 가공은, 예를 들어, 유리 기판(10)의 단면의 연마 및 연삭, 유리 기판(10)의 코너 컷(corner cut)이다.
세정 공정 S6에서는, 단면 가공 공정 S5에서 단면 가공 처리가 행하여진 유리 기판(10)이 세정된다. 유리 기판(10)에는, 소판 유리의 절단, 및, 유리 기판(10)의 단면 가공에 의하여 생긴 미소한 유리편이나, 분위기 중에 존재하는 유기물 등의 이물이 부착되어 있다. 유리 기판(10)의 세정에 의하여, 이들의 이물이 제거된다.
검사 공정 S7에서는, 세정 공정 S6에서 세정된 유리 기판(10)이 검사된다. 구체적으로는, 유리 기판(10)이 반송되면서, 유리 기판(10)의 표면에 존재하는 흠집 및 크랙, 유리 기판(10)의 표면에 부착되어 있는 이물, 및, 유리 기판(10)의 내부(內部)에 존재하고 있는 미소한 거품 등의 결함이, 광학적으로 검지된다.
곤포 공정 S8에서는, 검사 공정 S7에 있어서의 검사에 합격한 유리 기판(10)이, 유리 기판(10)을 보호하기 위한 합지(合紙)와 번갈아 팰릿(pallet) 상(上)에 적층되어 곤포된다. 곤포된 유리 기판(10)은, FPD의 제조업자 등에 출하된다.
(2) 유리 기판 반송 장치의 상세
다음으로, 본 실시예에 관련되는 유리 기판 반송 장치(100)에 관하여 설명한다. 도 2는 유리 기판 반송 장치(100)의 외관도이다. 유리 기판 반송 장치(100)는, 검사 공정 S7에 있어서 유리 기판(10)을 반송하면서 표면에 존재하는 결함을 검사하기 위하여 이용된다. 유리 기판 반송 장치(100)는, 수평 상태로 지지된 유리 기판(10)을 소정의 방향으로 반송하면서, 유리 기판(10)의 표면에 존재하는 결함을 광학적으로 검사한다. 유리 기판 반송 장치(100)는, 주로, 기판 부상 유닛(20)과, 기판 반송 유닛(30)과, 기판 검사 유닛(40)으로 이루어진다. 유리 기판 반송 장치(100)는, 기판 부상 유닛(20) 및 기판 반송 유닛(30)으로 이루어지는 유리 기판의 반송 장치를 구비하고 있다. 이하, 도 2에 도시되는 바와 같이, 수평 상태의 유리 기판(10)이 반송되는 방향을 「반송 방향 D1」이라고 부르고, 유리 기판(10)의 반송 방향에 직교하는 수평면 내의 방향을 「폭 방향 D2」라고 부른다. 또한, 유리 기판(10)의 단부이고, 반송 방향 D1에 평행한 단부를, 「측 단부」라고 부르며, 유리 기판(10)의 단부이고, 폭 방향 D2에 평행한 단부를, 「전후(前後) 단부」라고 부른다. 유리 기판(10)은, 도 2에 있어서, 부호 D1으로 도시되는 화살표의 방향으로 반송된다.
(2-1) 기판 부상 유닛
기판 부상 유닛(20)은, 수평 상태의 유리 기판(10)의 하면(10a)에 기체를 내뿜어 유리 기판(10)을 부상시키는 유닛이다. 기판 부상 유닛(20)은, 주로, 복수의 플로트 패널(22)로 구성된다. 도 3은 기판 부상 유닛(20)의 상면도(上面圖)이다. 도 3에 있어서, 플로트 패널(22)은, 해칭(hatching)된 영역으로 도시되어 있다. 도 4는 기판 부상 유닛(20)의 측면도이다. 도 5는 도 4의 일부의 확대도이다. 도 4 및 도 5에서는, 연직 방향의 치수가 과장(誇張)되어 있다. 복수의 플로트 패널(22)은, 폭 방향 D2를 따라 간격을 두지 않고 배치되는 것으로, 플로트 패널 어레이(float panel array)(24)를 형성한다. 복수의 플로트 패널 어레이(24)는, 반송 방향 D1을 따라 소정의 간격을 두고 배치된다. 이하, 반송 방향 D1을 따라 서로 이웃하는 2개의 플로트 패널 어레이(24) 간의 공간을 「슬릿(26)」이라고 부른다. 슬릿(26)은, 도 3에 도시되는 바와 같이, 폭 방향 D2로 연장되는 공간이다.
플로트 패널(22)은, 도 5에 도시되는 바와 같이, 기체 분출 기구(22a)와, 기판 대향면(22b)과, 기체 흡인 기구(22c)를 가진다. 기판 대향면(22b)은, 플로트 패널(22)의 상단면(上端面)이고, 도 4에 도시되는 바와 같이, 반송되는 유리 기판(10)의 하면(10a)과 대향하는 면이다. 반송 방향 D1을 따라 배치되어 있는 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)은 서로 평행이다. 본 실시예에 있어서, 기판 대향면(22b)은, 수평면에 평행이지만, 기판 대향면(22b)은, 반송 방향 D1을 따라 약간 경사(傾斜)하고 있어도 무방하다. 플로트 패널(22)은, 그 기판 대향면(22b)이 수평면과 평행이 되도록 설치된다. 각 플로트 패널 어레이(24)를 구성하는 모든 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)은, 같은 높이 위치를 가지고 있다. 즉, 도 3에 있어서, 폭 방향 D2로 서로 이웃하여 설치되어 있는 복수의 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)은, 같은 높이 위치를 가지고 있다.
기체 분출 기구(22a)는, 기판 대향면(22b)으로부터 상방을 향하여, 공기 등의 기체를 분출하기 위한 기구이다. 기체 분출 기구(22a)는, 예를 들어, 기판 대향면(22b)에 형성되는 다수의 미소 구멍이다. 기체 분출 기구(22a)로부터 상방을 향하여 분출되는 기체는, 반송되는 유리 기판(10)의 하면(10a)에 충돌한다. 이것에 의하여, 반송되는 유리 기판(10)은, 상향(上向)의 힘을 받는다. 이 상향의 힘은, 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)으로부터 유리 기판(10)을 부상시킨다.
기체 흡인 기구(22c)는, 기판 대향면(22b)의 상방의 공간으로부터 기판 대향면(22b)을 향하여, 기체를 흡인하기 위한 기구이다. 기체 흡인 기구(22c)는, 예를 들어, 기판 대향면(22b)에 형성되는 구멍이다. 기체 흡인 기구(22c)에 의하여 기체가 흡인되는 것으로, 반송되는 유리 기판(10)의 하면(10a)과, 기판 대향면(22b)과의 사이에 있어서, 기체 흡인 기구(22c)의 근방(近傍)의 공간은, 부압(負壓) 상태가 된다. 이것에 의하여, 반송되는 유리 기판(10)은 하향의 힘을 받는다. 이 하향의 힘은, 반송되는 유리 기판(10)의 형상을 어느 정도 교정한다.
플로트 패널 어레이(24)의 폭 방향 D2의 치수는, 유리 기판(10)의 폭 방향 D2의 치수보다 길다. 플로트 패널(22)의 반송 방향 D1의 치수 L1은, 예를 들어, 100mm ~ 150mm이다. 슬릿(26)의 반송 방향 D1의 치수 L2는, 예를 들어, 25mm ~ 30mm이다. 부상하고 있는 유리 기판(10)의 하면(10a)과, 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)과의 사이의 거리 L3는, 예를 들어, 25㎛ ~ 35㎛이다.
플로트 패널 어레이(24)는, 도 4에 도시되는 바와 같이, 반송 방향 D1을 향하는 것에 따라서, 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)의 높이 위치가 서서히 내려가도록 배치된다. 구체적으로는, 유리 기판(10)이 반송되는 방향으로 진행되는 것에 따라서, 기판 대향면(22b)의 높이 위치는 10㎛ ~ 20㎛씩 내려간다. 즉, 도 5에 도시되는 바와 같이, 반송 방향 D1으로 서로 이웃하는 2개의 플로트 패널 어레이(24)에 관하여, 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)의 높이 위치의 차 L4는, 10㎛ ~ 20㎛이다.
또한, 기판 부상 유닛(20)에서는, 반송 방향 D1을 향하는 것에 따라서, 플로트 패널(22)의 기체 분출 기구(22a)로부터 분출되는 기체의 유량이 서서히 증가한다. 즉, 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)의 높이 위치가 낮을수록, 플로트 패널(22)의 기체 분출 기구(22a)로부터 분출되는 기체의 유량이 크다.
(2-2) 기판 반송 유닛
기판 반송 유닛(30)은, 기판 부상 유닛(20)에 의하여 부상시킨 유리 기판(10)을, 반송 방향 D1을 따라 반송하는 유닛이다. 기판 반송 유닛(30)은, 주로, 기판 보지부(32)와, 기판 반송부(34)를 구비한다.
기판 보지부(32)는, 유리 기판(10)의 측 단부의 일방(一方)을 보지한다. 기판 보지부(32)는, 예를 들어, 유리 기판(10)을 보지하기 위한 흡착 기구를 구비하고 있다. 기판 반송부(34)는, 기판 보지부(32)를 반송 방향 D1을 따라 이동시키는 리니어(linear) 구동 기구를 구비하고 있다.
유리 기판(10)은, 기판 반송 유닛(30)에 의하여 반송 방향 D1을 따라 반송될 때에, 플로트 패널 어레이(24)의 상방의 공간, 및, 슬릿(26)의 상방의 공간을 번갈아 통과한다.
(2-3) 기판 검사 유닛
기판 검사 유닛(40)은, 기판 반송 유닛(30)에 의하여 반송되는 유리 기판(10)을 검사하는 유닛이다. 기판 검사 유닛(40)은, 유리 기판(10)의 표면에 존재하는 흠집 및 크랙, 유리 기판(10)의 표면에 부착되어 있는 이물, 및, 유리 기판(10)의 내부에 존재하고 있는 미소한 거품 등의 결함을 광학적으로 검지하는 기능을 가지는 광학 디바이스이다.
본 실시예에 있어서, 기판 검사 유닛(40)은, 도 4에 도시되는 바와 같이, 하나의 슬릿(26)에 설치되는 복수의 카메라(40a)를 가지고 있다. 카메라(40a)는, 상방을 통과하는 유리 기판(10)의 표면을 촬영한다. 기판 검사 유닛(40)은, 한층 더, 카메라(40a)가 설치되는 슬릿(26)의 상방의 공간에 설치되는 광원(光源)(40b)을 가지고 있다. 광원(40b)은, 하방(下方)을 통과하는 유리 기판(10)의 표면을 향하여, 고휘도(高輝度)의 광(光)을 조사(照射)한다. 기판 검사 유닛(40)은, 광원(40b)이 슬릿(26)에 설치되고, 또한, 카메라(40a)가 슬릿(26)의 상방의 공간에 설치되어 있는 구성을 가져도 무방하다. 덧붙여, 반송 방향 D1에 있어서의, 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)의 높이 위치의 변화량은, 카메라(40a)의 피사계(被寫界) 심도(深度)를 일탈하지 않는 범위 내로 설정된다.
기판 검사 유닛(40)의 복수의 카메라(40a)는, 유리 기판(10)의 폭 방향 D2의 전(全) 영역을 검사할 수 있도록, 하나의 슬릿(26)에 있어서, 폭 방향 D2를 따라 설치되어 있다. 즉, 하나의 슬릿(26)에 설치된 카메라(40a)는, 상방을 통과하는 유리 기판(10)의 폭 방향 D2의 전 영역을 촬영할 수 있다.
기판 검사 유닛(40)은, 제어부(도시하지 않음)를 더 가지고 있다. 제어부는, 반송되는 유리 기판(10)의 표면에 존재하는 결함을 검출하는 기능을 가지는 컴퓨터이다. 예를 들어, 제어부는, 카메라(40a)에 의하여 촬영된 유리 기판(10)의 표면의 화상을 해석하여, 유리 기판(10)의 표면에 존재하는 흠집 및 크랙이나, 유리 기판(10)의 표면에 부착되어 있는 이물 등을 검출한다.
기판 검사 유닛(40)의 제어부는, 곤포 공정 S8에 있어서 유리 기판(10)을 곤포하는 유리 기판 곤포 장치(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 제어부는, 표면의 결함을 가지는 유리 기판(10)을 검출한 것을 기판 곤포 장치에 통지하는 기능을 가진다. 이것에 의하여, 곤포 공정 S8에 있어서, 유리 기판 곤포 장치는, 표면의 결함을 가지는 유리 기판(10)의 곤포를 방지할 수 있다.
(3) 특징
(3-1)
본 실시예에 관련되는 유리 기판 반송 장치(100)는, 유리 기판(10)을 반송 방향 D1을 따라 반송하면서, 유리 기판(10)의 표면에 형성되어 있는 결함을 검출한다. 유리 기판(10)을 부상시키는 기판 부상 유닛(20)은, 반송 방향 D1을 따라 복수의 플로트 패널(22)이 소정의 간격 L2를 두고 설치되어 있는 구성을 가지고 있다.
플로트 패널(22)의 상방을 통과하는 유리 기판(10)에는, 기체 분출 기구(22a)로부터 분출되는 기체에 의하여, 상향의 힘이 작용한다. 또한, 플로트 패널(22)의 상방을 통과하는 유리 기판(10)에는, 기체 흡인 기구(22c)로 흡인되는 기체에 의하여, 하향의 힘이 작용한다. 상향의 힘은 유리 기판(10)을 부상시키는 힘이고, 하향의 힘은 유리 기판(10)의 형상을 어느 정도 교정하는 힘이다. 유리 기판(10)은, 고유의 형상을 가지고, 예를 들어, 유리 기판(10)의 표면에는, 오목부 및 볼록부가 형성되어 있다. 상술의 유리 기판(10)의 형상을 교정하는 힘에 의하여, 유리 기판(10)의 표면은, 오목부 및 볼록부가 형성되어 있지 않는 상태가 된다.
그러나 반송 방향 D1으로 서로 이웃하는 플로트 패널 어레이(24)의 사이에는, 기판 검사 유닛(40)의 카메라(40a)가 설치되어 있는 슬릿(26)이 존재한다. 그 때문에, 기판 반송 유닛(30)에 의하여 반송 방향 D1을 따라 반송되는 유리 기판(10)은, 슬릿(26)의 상방을 통과하는 영역을 가진다. 이 영역에는, 기체 분출 기구(22a)에 의한 상향의 힘, 및, 기체 흡인 기구(22c)에 의한 하향의 힘이 작용하지 않는다. 그 때문에, 슬릿(26)의 상방을 통과하는 유리 기판(10)의 영역은, 고유의 형상으로 되돌아오려고 한다.
특히, 유리 기판(10)의 전후 단부가 슬릿(26)의 상방을 통과하고 있는 사이에 있어서, 유리 기판(10)의 고유의 휨에 의하여, 유리 기판(10)의 전후 단부가 아래로 드리워져 있는 경우가 있다. 그러나 본 실시예에서는, 플로트 패널 어레이(24)를 구성하는 플로트 패널(22)은, 반송 방향 D1을 따라, 기판 대향면(22b)의 높이 위치가 서서히 내려가도록, 계단상으로 배치되어 있다. 그 때문에, 슬릿(26)의 상방을 통과하는 유리 기판(10)의 전후 단부가, 휨에 의하여 아래로 드리워져 있는 경우에 있어서도, 유리 기판(10)의 전후 단부와 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)과의 간격을 충분히 확보할 수 있다.
덧붙여, 유리 기판(10)의 두께가 0.5mm, 유리 기판(10)의 비중이 2.19g/cm3, 유리 기판(10)의 영률이 70000N/mm2인 경우, 유리 기판(10)의 전후 단부의 반송 방향 D1의 치수를 30mm로 한 경우, 유리 기판(10)의 전후 단부의 하방으로의 휨량의 이론치는 1.49㎛이다. 본 실시예에서는, 슬릿(26)의 반송 방향 D1의 치수 L2가 30mm이기 때문에, 유리 기판(10)의 자중(自重)에 의한 휨량은, 2㎛ 미만이라고 예측된다. 또한, 반송 방향 D1으로 서로 이웃하는 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)의 높이 위치의 차 L4는, 10㎛ ~ 20㎛이다. 따라서 슬릿(26)의 상방을 통과하는 유리 기판(10)의 전후 단부가, 자중에 의하여 하방을 향하여 휘어 있는 경우에 있어서도, 유리 기판(10)의 전후 단부가, 반송 방향 D1의 전방에 있는 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)에 접촉하는 것이 억제된다.
이상으로부터, 본 실시예에 관련되는 기판 부상 유닛(20)은, 슬릿(26)의 상방을 통과하는 유리 기판(10)의 전후 단부가, 플로트 패널(22)에 접촉하는 것을 억제할 수 있다. 유리 기판(10)의 전후 단부가 플로트 패널(22)에 접촉하면, 유리 기판(10)이 파손하여 버릴 가능성이 있다. 따라서 유리 기판 반송 장치(100)는, 유리 기판(10)의 결함의 발생을 억제할 수 있다.
(3-2)
근년, 시판되고 있는 플로트 패널(22)은, 높은 평면도를 가지는 기판 대향면(22b)을 구비하고 있다. 또한, 플로트 패널(22) 및 기판 부상 유닛(20) 전체의 수평 레벨에 관한 불확정 요소는, 기판 부상 유닛(20)을 구성하는 각 부품의 가공 정도(精度) 관리, 및, 기판 부상 유닛(20)의 위치의 정밀한 계측 및 조정에 의하여, 거의 없앨 수 있다. 그러나 유리 기판(10)의 고유의 형상에 관한 불확정 요소는, 완전하게 없애는 것이 곤란하다. 특히, 연속하여 반송되는 유리 기판(10)의 휨을 완전하게 측정하는 것은 곤란하다.
본 실시예에 관련되는 기판 부상 유닛(20)은, 유리 기판(10)의 휨을 완전하게 측정할 수 없는 경우에 있어서도, 유리 기판(10)의 전후 단부가 플로트 패널(22)에 접촉하는 것을 억제할 수 있다. 따라서 유리 기판 반송 장치(100)는, 유리 기판(10)의 결함의 발생을 억제할 수 있다.
(3-3)
본 실시예에 관련되는 유리 기판 반송 장치(100)에서는, 반송 방향 D1을 향하는 것에 따라서, 플로트 패널(22)의 기체 분출 기구(22a)로부터 분출되는 기체의 유량이 서서히 증가한다.
플로트 패널(22)의 기체 분출 기구(22a)로부터 분출되는 기체의 유량이, 유리 기판(10)의 반송 방향 D1을 따라 일정한 경우, 반송되는 유리 기판(10)의 높이 위치는, 플로트 패널(22)의 기판 대향면(22b)의 높이 위치에 아울러 서서히 저하한다. 그러나 유리 기판(10)의 반송 방향 D1을 따라, 기체 분출 기구(22a)로부터 분출되는 기체의 유량을 서서히 증가시키는 것으로, 반송되는 유리 기판(10)의 높이 위치의 저하가 억제된다. 즉, 반송 방향 D1에 있어서의 기판 대향면(22b)의 높이 위치의 변화량보다, 반송되는 유리 기판(10)의 높이 위치의 변화량이 작아진다. 이것에 의하여, 기판 대향면(22b)의 높이 위치의 변화에 기인하는, 반송되는 유리 기판(10)의 변형이 억제된다.
따라서 본 실시예에 관련되는 유리 기판 반송 장치(100)는, 기판 반송 유닛(30)에 의하여 반송되는 유리 기판(10)의 변형을 억제할 수 있다.
(3-4)
본 실시예에 관련되는 유리 기판 반송 장치(100)에서는, 복수의 플로트 패널(22)로 구성되는 플로트 패널 어레이(24)는, 폭 방향 D2를 따라 연장되어 있다. 또한, 기판 검사 유닛(40)의 카메라(40a)는, 반송 방향 D1으로 서로 이웃하는 플로트 패널 어레이(24) 간의 슬릿(26)에 설치되어 있다.
참고예로서, 도 6에 도시되는 바와 같이, 유리 기판(10)의 휨에 기인하는, 유리 기판(10)과 플로트 패널(22)과의 접촉을 억제하기 위하여, 플로트 패널(22)이 체크무늬상(狀)으로 배치된 기판 부상 유닛(120)을 생각한다. 도 6은, 기판 부상 유닛의 상면도이다. 도 6에 있어서, 플로트 패널(22)은, 해칭된 영역으로 도시되어 있다. 이 기판 부상 유닛(120)에서는, 유리 기판(10)의 폭 방향 D2의 전 영역을 검사하기 위하여, 기판 검사 유닛(40)의 카메라(40a)를, 반송 방향 D1을 따라 복수 열로 배치할 필요가 있다. 그 때문에, 기판 검사 유닛(40)의 구성이 복잡하게 되고, 또한, 유리 기판 반송 장치(200) 전체가 대형화하는 문제점이 있다.
본 실시예의 유리 기판 반송 장치(100)에서는, 도 3에 도시되는 바와 같이, 기판 검사 유닛(40)의 카메라(40a)를 하나의 슬릿(26)에 폭 방향 D2를 따라 설치하는 것으로, 유리 기판(10)의 폭 방향 D2의 전 영역을 검사할 수 있다. 따라서 유리 기판 반송 장치(100)는, 기판 검사 유닛(40)의 설치 공간을 억제할 수 있기 때문에, 유리 기판 반송 장치(100) 전체의 대형화를 억제할 수 있다.
(4) 변형예
이상, 본 발명에 관련되는 유리 기판의 제조 방법에 관하여 설명하였지만, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 주지(主旨)를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 여러 가지의 개량 및 변경이 행하여져도 무방하다. 또한, 본 실시예에서는, 유리 기판의 검사 공정의 예에 관하여 설명하였지만, 본 발명에 관련되는 유리 기판의 반송 장치는, 다른 유리 기판의 처리 공정에 이용되어도 무방하다.
(4-1) 변형예 A
본 실시예에서는, 기판 부상 유닛(20)은, 반송되는 유리 기판(10)에 하향의 힘을 생기게 하는 기체 흡인 기구(22c)를 가지고 있다. 그러나 기체 흡인 기구(22c) 대신에, 기판 부상 유닛(20)의 상방에, 하방을 향하여 기체를 분출하는 다른 기체 분출 기구가 설치되어도 무방하다. 이 기체 분출 기구로부터 분출되는 기체가, 반송되는 유리 기판(10)의 상면에 충돌하는 것으로, 반송되는 유리 기판(10)에 하향의 힘이 부여된다. 그 때문에, 이 경우에 있어서도, 기판 반송 유닛(30)에 의하여 반송되는 유리 기판(10)에는, 유리 기판(10)의 형상을 어느 정도 교정하는 힘이 부여된다.
(4-2) 변형예 B
본 실시예에 있어서, 기판 검사 유닛(40)의 카메라(40a)는, 도 4에 도시되는 바와 같이, 하나의 슬릿(26)에 설치되지만, 복수의 슬릿(26)에 설치되어도 무방하다. 복수의 슬릿(26)에 기판 검사 유닛(40)의 카메라(40a)를 설치하는 것에 의하여, 예를 들어, 슬릿(26)마다 측정 레인지(range)가 다른 광학 검사를 행할 수 있다. 이 경우, 기판 검사 유닛(40)은, 예를 들어, 하나의 슬릿(26)에 있어서, 유리 기판(10)의 표면에 형성되어 있는 흠집 및 크랙을 검출하고, 다른 슬릿(26)에 있어서, 유리 기판(10)의 내부에 존재하고 있는 미소한 거품을 검출하는 광학 검사를 행할 수 있다.
또한, 에칭 처리된 표면을 가지는 유리 기판을 검사하는 경우, 기판 검사 유닛(40)은, 예를 들어, 하나의 슬릿(26)에 있어서, 통상의 광학 검사를 행하고, 다른 슬릿(26)에 있어서, 조도(照度) 및 감도(感度)를 저하시킨 광학 검사를 행할 수 있다.
10: 유리 기판
20: 기판 부상 유닛
22: 플로트 패널
22a: 기체 분출 기구
22b: 기판 대향면
30: 기판 반송 유닛
40: 기판 검사 유닛
100: 유리 기판 반송 장치
D1: 반송 방향

Claims (8)

  1. 유리 기판(基板)의 표면에 기체를 내뿜어 상기 유리 기판을 부상(浮上)시키는 기판 부상 유닛과,
    상기 기판 부상 유닛에 의하여 부상시킨 상기 유리 기판을 반송(搬送) 방향을 따라 반송하는 기판 반송 유닛
    을 구비하고,
    상기 기판 부상 유닛은, 상기 반송 방향을 따라 간격을 두고 배치되는 복수의 플로트 패널(float panel)을 가지고,
    상기 플로트 패널은, 반송되는 상기 유리 기판의 상기 표면과 대향하는 기판 대향면과, 상기 기판 대향면에 형성되고 상기 기체를 분출(噴出)하는 기체 분출 기구와, 상기 기판 대향면에 형성되고 상기 기체를 흡인하는 기체 흡인 기구를 가지고, 또한, 상기 반송 방향을 향하는 것에 따라서 상기 기판 대향면의 높이 위치가 서서히 내려가도록 배치되고,
    상기 기체 분출 기구는, 상향의 힘을 상기 유리 기판에 생기게 하여, 상기 유리 기판을 부상시키고,
    상기 기체 흡인 기구는, 상기 기체 분출 기구에 의하여 부상하고 있는 상기 유리 기판에 하향의 힘을 생기게 하여, 상기 기체 분출 기구에 의하여 부상하고 있는 상기 유리 기판의 휨을 경감하고,
    상기 플로트 패널의 상기 기판 대향면의 높이 위치가 낮을수록, 상기 플로트 패널의 상기 기체 분출 기구로부터 분출되는 상기 기체의 유량이 큰,
    유리 기판의 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송 방향을 따라 배치되어 있는 상기 플로트 패널의 상기 기판 대향면은, 수평면에 평행인,
    유리 기판의 반송 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 반송 유닛에 의하여 반송되는 상기 유리 기판을 검사하는 광학 디바이스인 기판 검사 유닛을 더 구비하고,
    상기 플로트 패널은, 상기 반송 방향에 직교하는 방향인 상기 유리 기판의 폭 방향을 따라 연장되고,
    상기 기판 검사 유닛은, 서로 이웃하는 상기 플로트 패널의 사이에 배치되는,
    유리 기판의 반송 장치.
  5. 삭제
  6. 유리 기판의 표면에 기체를 내뿜어 상기 유리 기판을 부상시키는 기판 부상 공정과,
    상기 기판 부상 공정에 의하여 부상시킨 상기 유리 기판을 반송 방향을 따라 반송하는 기판 반송 공정과,
    상기 기판 반송 공정에서 반송되는 상기 유리 기판을 가공 또는 검사하는 기판 처리 공정
    을 구비하고,
    상기 기판 부상 공정에 있어서, 상기 반송 방향을 따라 간격을 두고 배치되는 복수의 플로트 패널에 의하여, 상기 유리 기판이 부상시켜지고,
    상기 플로트 패널은, 반송되는 상기 유리 기판의 상기 표면과 대향하는 기판 대향면과, 상기 기판 대향면에 형성되고 상기 기체를 분출(噴出)하는 기체 분출 기구와, 상기 기판 대향면에 형성되고 상기 기체를 흡인하는 기체 흡인 기구를 가지고, 또한, 상기 반송 방향을 향하는 것에 따라서 상기 기판 대향면의 높이 위치가 서서히 내려가도록 배치되고,
    상기 기체 분출 기구는, 상향의 힘을 상기 유리 기판에 생기게 하여, 상기 유리 기판을 부상시키고,
    상기 기체 흡인 기구는, 상기 기체 분출 기구에 의하여 부상하고 있는 상기 유리 기판에 하향의 힘을 생기게 하여, 상기 기체 분출 기구에 의하여 부상하고 있는 상기 유리 기판의 휨을 경감하고,
    상기 플로트 패널의 상기 기판 대향면의 높이 위치가 낮을수록, 상기 플로트 패널의 상기 기체 분출 기구로부터 분출되는 상기 기체의 유량이 큰,
    유리 기판의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 반송 방향을 따라 배치되어 있는 상기 플로트 패널의 상기 기판 대향면은, 수평면에 평행인,
    유리 기판의 제조 방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 기판 처리 공정은, 상기 기판 반송 공정에서 반송되는 상기 유리 기판을 검사하는 기판 검사 공정이고,
    상기 기판 검사 공정에서는, 서로 이웃하는 상기 플로트 패널의 사이에 배치되는 광학 디바이스에 의하여, 상기 유리 기판이 검사되는,
    유리 기판의 제조 방법.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6457802B2 (ja) * 2014-12-05 2019-01-23 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス板の製造方法、および、ガラス板の製造装置
JP6741394B2 (ja) * 2014-12-29 2020-08-19 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法
JP2016161007A (ja) * 2015-02-27 2016-09-05 株式会社日本製鋼所 ガス浮上ワーク支持装置および非接触ワーク支持方法
JP6595276B2 (ja) * 2015-09-18 2019-10-23 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
CN108106996A (zh) * 2017-12-25 2018-06-01 通彩智能科技集团有限公司 一种玻璃检测盛放平台
USD956790S1 (en) 2018-08-30 2022-07-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Display screen or portion thereof with graphical user interface
JP6853520B2 (ja) * 2018-09-20 2021-03-31 株式会社Ｎｓｃ 浮上搬送装置
WO2024043280A1 (ja) * 2022-08-25 2024-02-29 株式会社ナノシステムソリューションズ ウェーハ検査装置及びウェーハ搬送装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008192718A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Dainippon Printing Co Ltd 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法、検査装置、検査方法
JP2009098052A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Toppan Printing Co Ltd 基板搬送装置用基板把持機構
JP2011105497A (ja) * 2009-11-20 2011-06-02 Seiko Epson Corp ワーク搬送装置、液滴吐出装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07137842A (ja) * 1993-11-17 1995-05-30 Ebara Corp 磁気浮上搬送装置
KR101068384B1 (ko) * 2004-06-28 2011-09-28 엘지디스플레이 주식회사 글라스 지지시스템 및 지지핀 구조
JP4529794B2 (ja) * 2005-05-19 2010-08-25 シンフォニアテクノロジー株式会社 気体浮上搬送装置
JP2008254858A (ja) * 2007-04-04 2008-10-23 Yokogawa Electric Corp 基板搬送装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008192718A (ja) * 2007-02-02 2008-08-21 Dainippon Printing Co Ltd 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法、検査装置、検査方法
JP2009098052A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Toppan Printing Co Ltd 基板搬送装置用基板把持機構
JP2011105497A (ja) * 2009-11-20 2011-06-02 Seiko Epson Corp ワーク搬送装置、液滴吐出装置

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