CN203568482U

CN203568482U - 玻璃基板搬送装置

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Publication number: CN203568482U
Application number: CN201320599361.3U
Authority: CN
Inventors: 伊势广教
Original assignee: Avanstrate Inc
Current assignee: Avanstrate Inc
Priority date: 2012-09-28
Filing date: 2013-09-26
Publication date: 2014-04-30
Anticipated expiration: 2023-09-26
Also published as: TWI602763B; TW201412623A; KR101929764B1; JP5943799B2; JP2014069936A; KR20140043025A

Abstract

本实用新型的目的在于提供一种可通过使玻璃基板稳定地悬浮着进行搬送而抑制玻璃基板产生缺陷的玻璃基板搬送装置。本实用新型的玻璃基板搬送装置(100)包括基板悬浮单元(20)与基板搬送单元(30)。基板悬浮单元(20)包含多个沿着搬送方向(D1)隔以间隔而配置的浮动面板(22)。浮动面板(22)包含气体喷出机构(22a)及基板对向面(22b)。气体喷出机构(22a)喷出对玻璃基板(10)的表面吹送的气体。基板对向面(22b)是与被搬送的玻璃基板(10)的气体所吹送的表面相对向的面。浮动面板(22)是以基板对向面(22b)的高度位置随着朝向搬送方向(D1)逐渐下降的方式配置。

Description

玻璃基板搬送装置

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃基板搬送装置。

背景技术

在液晶显示装置等平板显示器(FPD，Flat Panel Display)的制造步骤中，在玻璃基板的表面形成包含TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)等半导体元件、及黑色矩阵(blackmatrix)树脂等的图案。如果在形成图案的玻璃基板的表面存在伤痕、裂痕及异物等缺陷，那么将不会良好地形成图案，而导致作为最终成品的FPD的不良。尤其是形成在玻璃基板的表面的微小伤痕及裂痕会导致玻璃基板的机械强度下降，而在FPD的制造步骤中玻璃基板发生破裂。因此，要求玻璃基板的表面不存在缺陷。

在玻璃基板的制造步骤中，将已成形的玻璃片材切断成特定的大小，而获得作为成品出厂的尺寸的玻璃基板。其后，玻璃基板经过利用研削及研磨的端面加工步骤、清洗步骤及检查步骤后被捆绑包装而出厂。在检查步骤中，例如，一边搬送玻璃基板，一边对存在于玻璃基板表面的伤痕、裂痕及异物等缺陷进行光学性探测。

在玻璃基板的检查步骤中，以往是使用滚轮输送机(roller conveyor)作为玻璃基板的搬送装置。然而，如果玻璃的微小片等异物附着在滚轮输送机的滚轮上，那么会因与旋转的滚轮接触而导致在搬送的玻璃基板表面形成异物所引起的伤痕。为了解决该问题，近年来，如专利文献1(日本专利特开2006-188313号公报)所公开那样，使用如下玻璃基板搬送装置，即，对玻璃基板的表面吹送气体而使玻璃基板悬浮，且吸附保持着玻璃基板的端部进行搬送。在使用该搬送装置的方法中，玻璃基板不与搬送装置接触，而是以悬浮的状态被搬送。因此，因玻璃基板与搬送装置接触而导致在玻璃基板的表面产生缺陷的情况被抑制。

然而，当使玻璃基板悬浮着进行搬送时，存在因玻璃基板本身的翘曲而导致玻璃基板与搬送装置接触的情况。而且，根据以下三个理由，难以完全地测定玻璃基板的翘曲。作为第一个理由，针对大量生产的各片玻璃基板，在现实中难以测定其自由形状。作为第二个理由，即便想要通过从大量生产的玻璃基板中抽出检查用的玻璃基板来测定翘曲，从而预测特定生产批次中的翘曲的倾向，玻璃基板的自由形状也会在某种程度范围内变化。作为第三个理由，从大型的母玻璃中采集的多个小型玻璃基板的自由形状的测定特别困难。

为了解决该问题，专利文献2(日本专利特开2012-96920号公报)中公开了一种玻璃基板搬送装置，该玻璃基板搬送装置是在对玻璃基板的表面吹送气体而使玻璃基板悬浮的同时，抽吸气体而对玻璃基板赋予向下的力。在使用该搬送装置的搬送方法中，以悬浮状态被搬送的玻璃基板的形状在某种程度上被矫正，所以减轻了玻璃基板的翘曲的影响。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2006-188313号公报

[专利文献2]日本专利特开2012-96920号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

然而，像专利文献2所公开那样，在玻璃基板的搬送装置包含多个沿着玻璃基板的搬送方向空出特定的间隔而配置的浮动面板的情况下，会产生由玻璃基板的翘曲引起的其他问题。具体来说，在沿着玻璃基板的搬送方向相邻的浮动面板间的区域内，因玻璃基板未受到向下的力，所以玻璃基板的形状不会被矫正。因此，在该区域内，玻璃基板欲恢复为自身固有的形状，因而玻璃基板有可能产生翘曲。因此，有如下之虞：当玻璃基板通过浮动面板间的区域时，因翘曲而导致垂下的玻璃基板的端部会接触于搬送装置，而使玻璃基板破裂。

本实用新型的目的在于提供一种可通过使玻璃基板稳定地悬浮着进行搬送而抑制玻璃基板产生缺陷的玻璃基板搬送装置。

[解决问题的技术手段]

本实用新型的玻璃基板搬送装置包括基板悬浮单元与基板搬送单元。基板悬浮单元是对玻璃基板的表面吹送气体而使玻璃基板悬浮的单元。基板搬送单元是沿着搬送方向搬送通过基板悬浮单元而悬浮的玻璃基板的单元。基板检查单元是检查由基板搬送单元搬送的玻璃基板的单元。基板悬浮单元包含多个沿着搬送方向隔以间隔而配置的浮动面板。浮动面板包含气体喷出机构及基板对向面。气体喷出机构喷出对玻璃基板的表面吹送的气体。基板对向面是与被搬送的玻璃基板的气体所吹送的表面相对向的面。浮动面板是以基板对向面的高度位置随着朝向搬送方向而逐渐下降的方式配置。

本实用新型的玻璃基板搬送装置是沿着特定的搬送方向搬送玻璃基板的装置。使玻璃基板悬浮的基板悬浮单元具有如下构成，即，沿着玻璃基板的搬送方向空出特定的间隔而配置着多个浮动面板。

该玻璃基板搬送装置中，在基板悬浮单元的上方，悬浮着被搬送的玻璃基板的形状在某种程度上被矫正。因此，在基板悬浮单元的上方，玻璃基板的翘曲减轻。另一方面，悬浮着被搬送的玻璃基板因在通过沿着搬送方向相邻的浮动面板间的区域期间其形状未被矫正，所以欲恢复为自身固有的形状。因此，在浮动面板间的区域内，玻璃基板有可能产生翘曲。然而，浮动面板是以使与被搬送的玻璃基板的下表面相对向的基板对向面的高度位置沿着玻璃基板的搬送方向逐渐下降的方式配置成阶梯状。因此，即便在正通过浮动面板间的区域的玻璃基板的端部因翘曲而垂下的情况下，也能抑制玻璃基板的端部接触于浮动面板。

因此，该玻璃基板搬送装置可通过使玻璃基板稳定地悬浮着进行搬送而抑制玻璃基板产生缺陷。

另外，优选为沿着搬送方向配置的浮动面板的基板对向面与水平面平行。

另外，优选为基板悬浮单元使从浮动面板的气体喷出机构喷出的气体的流量随着朝向搬送方向而逐渐增加。

在从浮动面板的气体喷出机构喷出的气体的流量沿着玻璃基板的搬送方向固定的情况下，被搬送的玻璃基板的高度位置会与浮动面板的基板对向面的高度位置一起逐渐降低。然而，通过使从气体喷出机构喷出的气体的流量沿着玻璃基板的搬送方向逐渐增加，而能够抑制被搬送的玻璃基板的高度位置的下降。由此，可抑制由基板搬送单元搬送的玻璃基板的变形。

另外，优选为本实用新型的玻璃基板搬送装置还包括基板检查单元。基板检查单元是检查由基板搬送单元搬送的玻璃基板的光学器件。浮动面板沿着与搬送方向正交的方向即玻璃基板的宽度方向延伸。基板检查单元配置在相邻的浮动面板之间。

该玻璃基板搬送装置可检测形成在玻璃基板表面的缺陷。该装置中，可在沿着玻璃基板的搬送方向相邻的浮动面板间设置沿玻璃基板的宽度方向延伸的基板检查单元。因此，可节约玻璃基板的搬送方向上的基板检查单元的设置空间。

本实用新型的玻璃基板的制造方法包括基板悬浮步骤、基板搬送步骤及基板处理步骤。基板悬浮步骤是对玻璃基板的表面吹送气体而使玻璃基板悬浮的步骤。基板搬送步骤是沿着搬送方向搬送通过基板悬浮步骤而悬浮的玻璃基板的步骤。基板处理步骤是对在基板搬送步骤中被搬送的玻璃基板进行加工或检查的步骤。在基板悬浮步骤中，利用沿着搬送方向隔以间隔而配置的多个浮动面板使玻璃基板悬浮。浮动面板具有气体喷出机构及基板对向面。气体喷出机构喷出对玻璃基板的表面吹送的气体。基板对向面是与被搬送的玻璃基板的气体所吹送的表面相对向的面。浮动面板是以基板对向面的高度位置随着朝向搬送方向而逐渐下降的方式配置。

另外，在本实用新型的玻璃基板的制造方法中，优选为基板处理步骤是对在基板搬送步骤中被搬送的玻璃基板进行检查的基板检查步骤。在基板检查步骤中，利用配置在相邻的浮动面板之间的光学器件检查玻璃基板。

[实用新型的效果]

本实用新型的玻璃基板搬送装置可通过使玻璃基板稳定地悬浮着进行搬送而抑制玻璃基板产生缺陷。

附图说明

图1是实施方式的玻璃基板的制造步骤的流程图。

图2是玻璃基板搬送装置的外观图。

图3是基板悬浮单元的俯视图。

图4是基板悬浮单元的侧视图。

图5是图4的局部放大图。

图6是表示作为参考例的浮动面板的配置的基板悬浮单元的俯视图。

[符号的说明]

具体实施方式

(1)使用玻璃基板搬送装置的玻璃基板的制造步骤的概略情况

一边参照附图一边对本实用新型的玻璃基板搬送装置的实施方式进行说明。首先，对使用本实施方式中所使用的玻璃基板搬送装置100的玻璃基板10的制造步骤进行说明。玻璃基板10用来制造液晶显示器、等离子显示器(plasma display)及有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示器等平板显示器(FPD)。玻璃基板10例如具有0.2mm～0.8mm的厚度，且具有纵680mm～2200mm及横880mm～2500mm的尺寸。

作为玻璃基板10的一例，可列举具有以下组成的玻璃。

(a)SiO₂：50质量％～70质量％、

(b)Al₂O₃：10质量％～25质量％、

(c)B₂O₃：5质量％～18质量％、

(d)MgO：0质量％～10质量％、

(e)CaO：0质量％～20质量％、

(f)SrO：0质量％～20质量％、

(g)BaO：0质量％～10质量％、

(h)RO：5质量％～20质量％(R是选自Mg、Ca、Sr及Ba中之至少1种)、

(i)R′₂O：0质量％～2.0质量％(R′是选自Li、Na及K中之至少1种)、

(j)选自SnO₂、Fe₂O₃及CeO₂中之至少1种金属氧化物。

此外，具有所述组成的玻璃被容许在小于0.1质量％的范围内存在其他微量成分。

图1是表示玻璃基板10的制造步骤的流程图的一例。玻璃基板10的制造步骤主要包括成形步骤(步骤S1)、采板步骤(步骤S2)、切断步骤(步骤S3)、粗面化步骤(步骤S4)、端面加工步骤(步骤S5)、清洗步骤(步骤S6)、检查步骤(步骤S7)、及捆绑包装步骤(步骤S8)。

在成形步骤S1中，利用下拉(down draw)法或浮式(float)法由对玻璃原料进行加热而获得的熔融玻璃连续地成形玻璃片材。已成形的玻璃片材是一边进行温度控制一边冷却至玻璃徐冷点以下，以便不产生变形及翘曲。

在采板步骤S2中，将在成形步骤S1中成形的玻璃片材切断，而获得具有特定尺寸的素板玻璃。

在切断步骤S3中，将采板步骤S2中所获得的素板玻璃切断，而获得成品尺寸的玻璃基板10。一般来说，使用切割刀具或激光将素板玻璃切断。

在粗面化步骤S4中，进行使切断步骤S3中所获得的玻璃基板10的表面粗糙度增加的粗面化处理。玻璃基板10的粗面化处理例如是使用含有氟化氢的蚀刻剂的湿式蚀刻(Wet etching)。

在端面加工步骤S5中，进行在粗面化步骤S4中被进行粗面化处理后的玻璃基板10的端面加工。端面加工例如为玻璃基板10的端面的研磨及研削、玻璃基板10的切角(corner cut)。

在清洗步骤S6中，对在端面加工步骤S5中进行过端面加工处理的玻璃基板10进行清洗。在玻璃基板10上附着有因素板玻璃的切断、及玻璃基板10的端面加工而导致产生的微小的玻璃片、或存在于环境中的有机物等异物。通过对玻璃基板10进行清洗而去除这些异物。

在检查步骤S7中，对在清洗步骤S6中被清洗过的玻璃基板10进行检查。具体来说，一边搬送玻璃基板10，一边对存在于玻璃基板10的表面的伤痕及裂痕、附着在玻璃基板10的表面上的异物、及存在于玻璃基板10内部的微小的泡等缺陷进行光学性检测。

在捆绑包装步骤S8中，将检查步骤S7中的检查合格的玻璃基板10与用来保护玻璃基板10的间隔纸交替地层叠在托板上，并进行捆绑包装。经捆绑包装的玻璃基板10被供货给FPD的制造商等。

(2)玻璃基板搬送装置的详细情况

接着，对本实施方式的玻璃基板搬送装置100进行说明。图2是玻璃基板搬送装置100的外观图。玻璃基板搬送装置100用来在检查步骤S7中一边搬送玻璃基板10一边检查存在于表面的缺陷。玻璃基板搬送装置100一边沿特定方向搬送以水平状态被支撑着的玻璃基板10，一边对存在于玻璃基板10的表面的缺陷进行光学性检查。玻璃基板搬送装置100主要包括基板悬浮单元20、基板搬送单元30、及基板检查单元40。玻璃基板搬送装置100包括包含基板悬浮单元20及基板搬送单元30的玻璃基板的搬送装置。以下，如图2所示，将搬送水平状态的玻璃基板10的方向称作“搬送方向D1”，将与玻璃基板10的搬送方向正交的水平面内的方向称作“宽度方向D2”。另外，将玻璃基板10的端部且与搬送方向D1平行的端部称作“侧端部”，将玻璃基板10的端部且与宽度方向D2平行的端部称作“前后端部”。玻璃基板10在图2中沿以符号D1表示的箭头的方向被搬送。

(2-1)基板悬浮单元

基板悬浮单元20是对水平状态的玻璃基板10的下表面10a吹送气体而使玻璃基板10悬浮的单元。基板悬浮单元20主要包含多个浮动面板22。图3是基板悬浮单元20的俯视图。在图3中，浮动面板22是以标有影线的区域表示。图4是基板悬浮单元20的侧视图。图5是图4的局部放大图。在图4及图5中，夸张表示了铅垂方向的尺寸。多个浮动面板22沿着宽度方向D2并未隔以间隔地配置，由此形成浮动面板阵列24。多个浮动面板阵列24沿着搬送方向D1空出特定的间隔而配置。以下，将沿着搬送方向D1相邻的2个浮动面板阵列24间的空间称作“狭缝26”。如图3所示，狭缝26是沿宽度方向D2延伸的空间。

如图5所示，浮动面板22包含气体喷出机构22a、基板对向面22b、及气体抽吸机构22c。基板对向面22b是浮动面板22的上端面且如图4所示般与被搬送的玻璃基板10的下表面10a相对向的面。沿着搬送方向D1而配置的浮动面板22的基板对向面22b互相平行。在本实施方式中，基板对向面22b与水平面平行，但基板对向面22b也可以沿着搬送方向D1略微倾斜。浮动面板22是以其基板对向面22b与水平面平行的方式设置。构成各浮动面板阵列24的所有浮动面板22的基板对向面22b具有相同的高度位置。也就是说，在图3中，在宽度方向D2上相邻设置的多个浮动面板22的基板对向面22b具有相同的高度位置。

气体喷出机构22a是用来从基板对向面22b朝向上方喷出空气等气体的机构。气体喷出机构22a例如为形成在基板对向面22b的多个微小孔。从气体喷出机构22a朝向上方喷出的气体碰撞在被搬送的玻璃基板10的下表面10a上。由此，被搬送的玻璃基板10受到向上的力。该向上的力从浮动面板22的基板对向面22b使玻璃基板10悬浮。

气体抽吸机构22c是用来从基板对向面22b的上方的空间朝向基板对向面22b抽吸气体的机构。气体抽吸机构22c例如为形成在基板对向面22b的孔。通过利用气体抽吸机构22c抽吸气体，而在被搬送的玻璃基板10的下表面10a与基板对向面22b之间，气体抽吸机构22c附近的空间变为负压状态。由此，被搬送的玻璃基板10受到向下的力。该向下的力在某种程度上矫正被搬送的玻璃基板10的形状。

浮动面板阵列24的宽度方向D2的尺寸比玻璃基板10的宽度方向D2的尺寸长。浮动面板22的搬送方向D1的尺寸L1例如为100mm～150mm。狭缝26的搬送方向D1的尺寸L2例如为25mm～30mm。悬浮着的玻璃基板10的下表面10a与浮动面板22的基板对向面22b之间的距离L3例如为25μm～35μm。

如图4所示，浮动面板阵列24是以浮动面板22的基板对向面22b的高度位置随着朝向搬送方向D1而逐渐下降的方式配置。具体来说，随着向搬送玻璃基板10的方向前进，基板对向面22b的高度位置以10μm～20μm为单位下降。也就是说，如图5所示，关于在搬送方向D1上相邻的2个浮动面板阵列24，浮动面板22的基板对向面22b的高度位置的差L4为10μm～20μm。

另外，在基板悬浮单元20中，从浮动面板22的气体喷出机构22a喷出的气体的流量随着朝向搬送方向D1而逐渐增加。也就是说，浮动面板22的基板对向面22b的高度位置越低，从浮动面板22的气体喷出机构22a喷出的气体的流量越大。

(2-2)基板搬送单元

基板搬送单元30是沿着搬送方向D1搬送通过基板悬浮单元20而悬浮的玻璃基板10的单元。基板搬送单元30主要包括基板保持部32与基板搬送部34。

基板保持部32保持玻璃基板10的侧端部的一方。基板保持部32例如具备用来保持玻璃基板10的吸附机构。基板搬送部34具备使基板保持部32沿着搬送方向D1移动的线性驱动机构。

玻璃基板10在由基板搬送单元30沿着搬送方向D1搬送时，交替地通过浮动面板阵列24的上方的空间及狭缝26的上方的空间。

(2-3)基板检查单元

基板检查单元40是检查由基板搬送单元30搬送的玻璃基板10的单元。基板检查单元40是具有对存在于玻璃基板10的表面的伤痕及裂痕、附着在玻璃基板10的表面上的异物及存在于玻璃基板10内部的微小的泡等缺陷进行光学性检测功能的光学器件。

在本实施方式中，如图4所示，基板检查单元40包含多个设置在一个狭缝26中的相机40a。相机40a拍摄通过上方的玻璃基板10的表面。基板检查单元40还包含设置在供相机40a设置的狭缝26的上方空间的光源40b。光源40b朝向通过下方的玻璃基板10的表面照射高亮度的光。基板检查单元40也可以具有如下构成：将光源40b设置在狭缝26中，且将相机40a设置在狭缝26的上方的空间。此外，搬送方向D1上的浮动面板22的基板对向面22b的高度位置的变化量被设定在不脱离相机40a的景深的范围内。

基板检查单元40的多个相机40a是在一个狭缝26中沿着宽度方向D2设置，以便能够检查玻璃基板10的宽度方向D2的整个区域。也就是说，设置在一个狭缝26的相机40a可拍摄通过上方的玻璃基板10的宽度方向D2的整个区域。

基板检查单元40还包含控制部(未图示)。控制部是具有对存在于被搬送的玻璃基板10的表面的缺陷进行检测的功能的计算机。例如，控制部对由相机40a拍摄到的玻璃基板10的表面的图像进行解析，从而检测出存在于玻璃基板10的表面的伤痕及裂痕或附着在玻璃基板10的表面上的异物等。

基板检查单元40的控制部连接于在捆绑包装步骤S8中对玻璃基板10进行捆绑包装的玻璃基板捆绑包装装置(未图示)。控制部具有将检测出具有表面缺陷的玻璃基板10的情况通知给基板捆绑包装装置的功能。由此，在捆绑包装步骤S8中，玻璃基板捆绑包装装置可防止具有表面缺陷的玻璃基板10的捆绑包装。

(3)特征

(3-1)

本实施方式的玻璃基板搬送装置100一边沿着搬送方向D1搬送玻璃基板10，一边检测形成在玻璃基板10的表面的缺陷。使玻璃基板10悬浮的基板悬浮单元20具有沿着搬送方向D1空出特定的间隔L2而设置着多个浮动面板22的构成。

通过从气体喷出机构22a喷出的气体，而对通过浮动面板22的上方的玻璃基板10作用向上的力。另外，通过被气体抽吸机构22c抽吸的气体，而对通过浮动面板22的上方的玻璃基板10作用向下的力。向上的力是使玻璃基板10悬浮的力，向下的力是在某种程度上矫正玻璃基板10的形状的力。玻璃基板10具有固有的形状，例如，在玻璃基板10的表面形成着凹部及凸部。通过矫正上述玻璃基板10的形状的力，而使玻璃基板10的表面变成未形成凹部及凸部的状态。

然而，在搬送方向D1上相邻的浮动面板阵列24之间存在设置着基板检查单元40的相机40a的狭缝26。因此，由基板搬送单元30沿着搬送方向D1搬送的玻璃基板10具有通过狭缝26的上方的区域。在该区域未作用利用气体喷出机构22a的向上的力、及利用气体抽吸机构22c的向下的力。因此，通过狭缝26的上方的玻璃基板10的区域欲恢复为固有的形状。

尤其是在玻璃基板10的前后端部通过狭缝26的上方期间，存在因玻璃基板10固有的翘曲而导致玻璃基板10的前后端部垂下的情况。然而，在本实施方式中，构成浮动面板阵列24的浮动面板22是以基板对向面22b的高度位置沿着搬送方向D1逐渐下降的方式配置成阶梯状。因此，即便在通过狭缝26的上方的玻璃基板10的前后端部因翘曲而垂下的情况下，也能充分地确保玻璃基板10的前后端部与浮动面板22的基板对向面22b的间隔。

此外，在玻璃基板10的厚度为0.5mm、玻璃基板10的比重为2.19g/cm³、玻璃基板10的杨氏模数(Young′s modulus)为70000N/mm²的情况下，当将玻璃基板10的前后端部在搬送方向D1上的尺寸设为30mm时，玻璃基板10的前后端部向下方的弯曲量的理论值为1.49μm。在本实施方式中，因为狭缝26在搬送方向D1上的尺寸L2为30mm，所以预测玻璃基板10因自重所引起的弯曲量小于2μm。另外，在搬送方向D1上相邻的浮动面板22的基板对向面22b的高度位置的差L4为10μm～20μm。因此，即便在通过狭缝26的上方的玻璃基板10的前后端部因自重而导致向下方翘曲的情况下，玻璃基板10的前后端部接触于位于搬送方向D1的前方的浮动面板22的基板对向面22b的情况也会被抑制。

根据以上所述，本实施方式的基板悬浮单元20可抑制通过狭缝26的上方的玻璃基板10的前后端部接触于浮动面板22。如果玻璃基板10的前后端部接触于浮动面板22，那么玻璃基板10有可能会破损。因此，玻璃基板搬送装置100可抑制玻璃基板10产生缺陷。

(3-2)

近年来，市售的浮动面板22具备具有高平面度的基板对向面22b。另外，与浮动面板22及基板悬浮单元20整体的水平级别相关的不确定因素可通过构成基板悬浮单元20的各零件的加工精度管理、及基板悬浮单元20的位置的精密测量及调整而大致消除。然而，与玻璃基板10固有的形状相关的不确定因素难以完全消除。尤其是难以完全地测定连续被搬送的玻璃基板10的翘曲。

即便在无法完全地测定玻璃基板10的翘曲的情况下，本实施方式的基板悬浮单元20也能抑制玻璃基板10的前后端部接触于浮动面板22。因此，玻璃基板搬送装置100可抑制玻璃基板10产生缺陷。

(3-3)

在本实施方式的玻璃基板搬送装置100中，从浮动面板22的气体喷出机构22a喷出的气体的流量随着朝向搬送方向D1而逐渐增加。

在从浮动面板22的气体喷出机构22a喷出的气体的流量沿着玻璃基板10的搬送方向D1固定的情况下，被搬送的玻璃基板10的高度位置会与浮动面板22的基板对向面22b的高度位置一起逐渐降低。然而，通过使从气体喷出机构22b喷出的气体的流量沿着玻璃基板10的搬送方向D1逐渐增加，而可抑制被搬送的玻璃基板10的高度位置的下降。也就是说，被搬送的玻璃基板10的高度位置的变化量比搬送方向D1上的基板对向面22b的高度位置的变化量小。由此，抑制由基板对向面22b的高度位置的变化引起的被搬送的玻璃基板10的变形。

因此，本实施方式的玻璃基板搬送装置100可抑制由基板搬送单元30搬送的玻璃基板10的变形。

(3-4)

在本实施方式的玻璃基板搬送装置100中，包含多个浮动面板22的浮动面板阵列24沿着宽度方向D2延伸。另外，基板检查单元40的相机40a设置于在搬送方向D1上相邻的浮动面板阵列24间的狭缝26中。

作为参考例，如图6所示，为了抑制由玻璃基板10的翘曲引起的玻璃基板10与浮动面板22的接触，而考虑将浮动面板22配置成格子状的基板悬浮单元120。图6是基板悬浮单元的俯视图。在图6中，浮动面板22是以标有影线的区域表示。在该基板悬浮单元120中，为了检查玻璃基板10的宽度方向D2的整个区域，必须沿着搬送方向D1呈多排配置基板检查单元40的相机40a。因此，存在如下问题：基板检查单元40的构成变得复杂，且玻璃基板搬送装置200整体大型化。

在本实施方式的玻璃基板搬送装置100中，如图3所示，通过将基板检查单元40的相机40a沿着宽度方向D2设置在一个狭缝26中，而能够检查玻璃基板10的宽度方向D2的整个区域。因此，玻璃基板搬送装置100由于能够抑制基板检查单元40的设置空间，所以可抑制玻璃基板搬送装置100整体的大型化。

(4)变化例

以上，对本实用新型的玻璃基板的制造方法进行了说明，但本实用新型并不限定于所述实施方式，也可以在不脱离本实用新型的主旨的范围内实施各种改良及变更。另外，在本实施方式中，对玻璃基板的检查步骤的例子进行了说明，但本实用新型的玻璃基板搬送装置也可以用于其他玻璃基板的处理步骤中。

(4-1)变化例A

在本实施方式中，基板悬浮单元20包含对被搬送的玻璃基板10产生向下的力的气体抽吸机构22c。然而，也可以在基板悬浮单元20的上方设置朝向下方喷出气体的其他气体喷出机构来代替气体抽吸机构22c。从该气体喷出机构喷出的气体碰撞在被搬送的玻璃基板10的上表面上，由此对被搬送的玻璃基板10赋予向下的力。因此，即便在该情况下，也会对由基板搬送单元30搬送的玻璃基板10赋予在某种程度上矫正玻璃基板10的形状的力。

(4-2)变化例B

在本实施方式中，如图4所示，基板检查单元40的相机40a被设置在一个狭缝26中，但也可以设置在多个狭缝26中。通过将基板检查单元40的相机40a设置在多个狭缝26中，例如，可针对每个狭缝26进行测定范围不同的光学检查。在该情况下，基板检查单元40可进行如下光学检查：例如，在一个狭缝26中检测形成在玻璃基板10的表面的伤痕及裂痕，在其他狭缝26中检测存在于玻璃基板10内部的微小的泡。

另外，在检查具有经蚀刻处理过的表面的玻璃基板的情况下，基板检查单元40例如可在一个狭缝26中进行通常的光学检查，在其他狭缝26中进行使照度及灵敏度降低的光学检查。

Claims

1.一种玻璃基板搬送装置，其包括：

基板悬浮单元，对玻璃基板的表面吹送气体而使所述玻璃基板悬浮；及

基板搬送单元，沿着搬送方向搬送通过所述基板悬浮单元而悬浮的所述玻璃基板；所述玻璃基板搬送装置的特征在于：

所述基板悬浮单元包含多个沿着所述搬送方向隔以间隔而配置的浮动面板；

所述浮动面板包含喷出所述气体的气体喷出机构、及与被搬送的所述玻璃基板的所述表面相对向的基板对向面，且以所述基板对向面的高度位置随着朝向所述搬送方向逐渐下降的方式配置。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

沿着所述搬送方向而配置的所述浮动面板的所述基板对向面与水平面平行。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

所述基板悬浮单元使从所述浮动面板的所述气体喷出机构喷出的所述气体的流量随着朝向所述搬送方向而逐渐增加。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

所述浮动面板包含用来从所述基板对向面的上方的空间朝向所述基板对向面抽吸气体的气体抽吸机构；

通过利用所述气体抽吸机构抽吸气体，而使被搬送的玻璃基板的下表面与所述基板对向面之间的空间变为负压状态，从而可矫正被搬送的玻璃基板的翘曲。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

所述基板搬送单元包括基板保持部与基板搬送部；

所述基板保持部包括保持玻璃基板的侧端部的一方的吸附机构；

所述基板搬送部包括使所述基板保持部沿着搬送方向移动的线性驱动机构。

6.根据权利要求3所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

所述基板搬送单元包括基板保持部与基板搬送部；

7.根据权利要求4所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

所述基板搬送单元包括基板保持部与基板搬送部；

8.根据权利要求1或2所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

还包括检查由所述基板搬送单元搬送的所述玻璃基板的光学器件即基板检查单元；

所述浮动面板沿着与所述搬送方向正交的方向即所述玻璃基板的宽度方向延伸；

所述基板检查单元配置在相邻的所述浮动面板之间。

9.根据权利要求4所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

所述基板检查单元配置在相邻的所述浮动面板之间。

10.根据权利要求5所述的玻璃基板搬送装置，其特征在于：

所述基板检查单元配置在相邻的所述浮动面板之间。