JP2009231717A - 基板移動装置および基板搬送装置および基板撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板保持機構と、前記基板保持機構を流れ方向に移動可能な基板保持機構移動機構とからなる基板移動装置において、前記基板保持機構を上下動可能な基板保持機構上下動機構を備えており、例えばさらに基板保持機構上下動機構に対して上下動対象重量をキャンセルする上下動制御を行う上下動制御手段をさらに具備する基板移動装置および基板搬送装置および基板撮像装置を提供する。
【選択図】 図7
Description
また、フラットパネルディスプレイにおいて、例えばカラーフィルタなどでは、製造工程において欠陥などの検査が行われているが、近年画面の高精細化が進み、それに伴って検査機自体も高性能なものが求められている。具体的には5μm以下の欠陥を検査するような、分解能が3μm以下の超高分解能カメラと用いた検査機が品質保証の点から必須となってきている。
上ブロック自体を高精度に平面度がでるように設置しなければ、結局のところ搬送時の基板高さの位置変動が発生して、搬送路が不安定となってしまう。
を搬送方向Xに沿った方向に搬送する基板保持機構移動機構6と、前記基板浮上装置3および前記基板浮上装置4への空気の供給および前記基板浮上装置4からの空気の吸引を行う浮上制御部Aと、前記基板2の撮像を行う撮像装置Bを備え、この撮像結果のより表面検査を行うもので、図示しない解析装置を含めて検査部を構成している。
まず、本発明の基板撮像装置1における基板保持機構5の構造について図3および図4を使用し説明する。図3は、基板チャック状態の基板保持機構5を図1において基板2の幅方向に切った断面図であり、図4は同基板アンチャック状態の断面図である。
搬送位置と基板保持機構の相対位置は一定に保つことが可能である。
2… 基板
3… 基板浮上装置
3a… 表面(基板浮上装置)
4… 基板浮上装置
4a… 表面(基板浮上装置)
5… 基板保持機構
6… 基板保持機構移動機構
7… ベースプレート
8… 吸引穴(基板浮上装置)
9… 透過検査用照明
10… 中空空間(基板浮上装置:吹き上げ)
10p… 配管(基板浮上装置:吹き上げ)
11… 中空空間(基板浮上装置:吸引)
11v… 配管(基板浮上装置:吸引)
12… 中空空間(基材浮上装置:吹き上げ)
12p… 配管(基材浮上装置:吹き上げ)
13… 空気流(基板浮上装置:吹き上げ)
14… 空気流(基板浮上装置:吹き上げ)
15… ブロアーポンプ(吸引)
16… ボールバルブ
17… チャンバー
18… 排気経路
19… 圧力調整弁
20… マニホールド
21… 圧空経路
22… 撮像装置
23… コロロール(搬送用)
24… ベースプレート
25… 基板把持ピン
26… 上ブロック
27… 下ブロック
28… 反発スプリング
29… チャック開閉用チューブ
30… 支柱
31… 各節
32… 支柱
33… 取付け板
34… 回転部
35… 基板保持機構
36… 土台
37… 基板保持機構および基板保持機構移動機構
38… 基板保持機構移動機構
39… シリンダ
40… レギュレータ
41… エア流入口
42… エア配管
Claims (7)
- 基板保持機構と、前記基板保持機構を搬送方向に移動可能な基板保持機構移動機構とからなる基板移動装置において、前記基板保持機構を上下動可能な基板保持機構上下動機構を備えていることを特徴とする基板移動装置。
- 基板保持機構上下動機構に対して、上下動対象重量をキャンセルする上下動制御を行う上下動制御手段をさらに具備することを特徴とする請求項1記載の基板移動装置。
- 基板保持機構上下動機構が、シリンダによる上下動制御機構からなることを特徴とする請求項1または2記載の基板移動装置。
- 請求項1から3何れか記載の基板移動装置の基板保持機構が搬送路側部に設けられ、搬送路に基板浮上機構を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
- 基板浮上機構がエアー吹き出し機構からなることを特徴とする請求項4記載の基板搬送装置。
- 基板浮上機構がエアー吹き出し機構とエアー吸引機構からなることを特徴とする請求項4記載の基板搬送装置。
- 請求項4から6何れか記載の基板搬送装置の搬送路上に撮像装置が設けられていることを特徴とする基板撮像装置。
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JP2008077924A JP2009231717A (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | 基板移動装置および基板搬送装置および基板撮像装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2018140564A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | 株式会社桜井グラフィックシステムズ | 印刷機 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000009661A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Ntn Corp | フラットパネル検査装置 |
JP2004279335A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
JP2005244155A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 浮上式基板搬送処理装置 |
JP2006237482A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法及び基板処理プログラム |
JP2007112626A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-05-10 | Olympus Corp | 基板搬送装置及び基板検査装置並びに基板搬送方法 |
JP2007157867A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Olympus Corp | 基板吸着機構及び基板検査装置 |
JP2009098052A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Toppan Printing Co Ltd | 基板搬送装置用基板把持機構 |
-
2008
- 2008-03-25 JP JP2008077924A patent/JP2009231717A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000009661A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Ntn Corp | フラットパネル検査装置 |
JP2004279335A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
JP2005244155A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 浮上式基板搬送処理装置 |
JP2006237482A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法及び基板処理プログラム |
JP2007112626A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-05-10 | Olympus Corp | 基板搬送装置及び基板検査装置並びに基板搬送方法 |
JP2007157867A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Olympus Corp | 基板吸着機構及び基板検査装置 |
JP2009098052A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Toppan Printing Co Ltd | 基板搬送装置用基板把持機構 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018140564A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | 株式会社桜井グラフィックシステムズ | 印刷機 |
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