JP2007157867A - 基板吸着機構及び基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板吸着機構50は、上端部51aに開口する収容凹部51bを有するパッド支持部材51と、上端部52aに被検査基板Wを吸着する吸着面52bが設けられる吸着パッド52と、吸着パッド52の下端部52cに設けられるコイルスプリング53と、吸引孔57に挿入されたストッパー61とを備える。吸着パッド52には、弾性変形可能なパッキン59が外嵌されていて、隙間56を気密に閉塞している。ストッパー61は、吸引孔57の縮径部57bの内径よりも大に設定された径の頭部61aを有し、軸部61bの先端には、ネジ部61cが形成されているネジである。
【選択図】図12
Description
請求項1に係る発明は、上端部に開口する収容凹部を有し、該収容凹部の内部を排気する吸気管を接続可能なエアー引き通路が設けられたパッド支持部材と、上端部に被検査基板を吸着する吸着面が設けられ、前記収容凹部に収容される基部側を中心として前記吸着面が揺動可能で、前記吸着面から前記基部まで貫通し、前記エアー引き通路と連通する吸引孔が形成された吸着パッドと、該吸着パッドと前記収容凹部との隙間を気密に閉塞するパッキンと、前記吸着パッドの前記基部の下端に設けられ、前記吸着パッドを上方に付勢する弾性部材と、前記吸着パッドを所定の係止位置で係止可能なストッパーとを備え、前記吸着パッドは、前記弾性部材が弾性変形することによって、前記ストッパーの前記係止位置まで上下移動可能であるとともに、前記ストッパーは前記係止位置を調整可能であることを特徴としている。
また、パッド支持部材、吸着パッド、パッキン、弾性部材及びストッパーからなる簡易な構成であり、吸着の際に収容凹部を排気させる機構を別とする構成となっている。
また、簡易な構成であるため、装置コストを削減することができるとともに、メンテナンスも容易である。さらには、パッド支持部材に収容された独立した機構としているので、取り外しを可能とし、さらにメンテナンスを容易なものとする。
図1から図4は、この発明に係る第1の実施形態を示している。図1に基板吸着機構が装着された基板検査装置の平面図を示す。また、図2に基板吸着機構の全体図、図3及び図4に断面図を示す。
また、基板検査装置1は、この他にも被検査基板Wの外観検査を行うのに必要な構成を具備しているものであり、例えば、ミクロ観察搬送ステージ3や基板搬送ステージ4などを駆動させる駆動部(不図示)、電源(不図示)などを備えている。
図9は、この発明に係る第2の実施形態を示していて、基板吸着機構の断面図を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図10は、この発明に係る第3の実施形態を示していて、基板吸着機構の断面図を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図11から図15は、この発明に係る第4の実施形態を示している。図11に基板吸着機構の全体図、図12から図14に断面図を示す。また、図15に基板検査装置に基板吸着機構を装着した部分の拡大した断面図を示す。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図16から図18は、この発明に係る第5の実施形態を示している。図16に基板吸着機構の全体図を示す。また、図17にストッパーの部分の側方視した断面図、図18に平面視した断面図を示す。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
4b 台座
4d 装着底面
7 吸気管
10、23、26、30、40、50、70 基板吸着機構
11、51 パッド支持部材
11a、51a 上端部
11b、51b 収容凹部
11c、51d 底部
51c 側壁
51e 側面
12、31、41、52 吸着パッド
12a、43a、52a 上端部
12b、43b、52b 吸着面
12d、43c、52d 吸着凹部
12e、52e 底面
13、53 コイルスプリング(弾性部材)
14、54 エアー引き通路
15、42、55 基部
42a 凹面部
16、56 隙間
17、45、46 吸引孔
18、59 パッキン
19、24、27、44、60 当接部
20、34、61、71 ストッパー
20a 一辺
20b 長穴
20c 他辺
34a、61a 頭部
21 ボルト
22、25 係合部
32、57 第一の吸引孔
33、58 第二の吸引孔
35 隙間
36、63 ネジ穴
43 揺動部
43d 凸面部
64 ピン
65 長穴
72 長溝
73 係止ロッド
73c 頭部
74 係止部材
75 長穴
Claims (12)
- 上端部に開口する収容凹部を有し、該収容凹部の内部を排気する吸気管を接続可能なエアー引き通路が設けられたパッド支持部材と、
上端部に被検査基板を吸着する吸着面が設けられ、前記収容凹部に収容される基部側を中心として前記吸着面が揺動可能で、前記吸着面から前記基部まで貫通し、前記エアー引き通路と連通する吸引孔が形成された吸着パッドと、
該吸着パッドと前記収容凹部との隙間を気密に閉塞するパッキンと、
前記吸着パッドの前記基部の下端に設けられ、前記吸着パッドを上方に付勢する弾性部材と、
前記吸着パッドを所定の係止位置で係止可能なストッパーとを備え、
前記吸着パッドは、前記弾性部材が弾性変形することによって、前記ストッパーの前記係止位置まで上下移動可能であるとともに、前記ストッパーは前記係止位置を調整可能であることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1に記載の基板吸着機構において、
前記吸着パッドの前記吸着面には上部に開口する吸着凹部が設けられ、前記吸引孔は前記吸着凹部の底面に開口することを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1または請求項2に記載の基板吸着機構において、
前記吸着パッドには、前記パッド支持部材に当接し前記吸着面を前記パッド支持部材に対して所定角度で支持する当接部が設けられ、前記吸着パッドは前記当接部が前記パッド支持部材に当接する位置から、前記ストッパーの前記係止位置まで上下移動可能であることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板吸着機構において、
前記パッド支持部材の前記収容凹部と前記吸着パッドの前記基部との間には、所定の隙間が形成され、前記パッキンが弾性変形して前記隙間を気密に閉塞することが可能な範囲において、前記吸着パッドは揺動可能であることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板吸着機構において、
前記吸着パッドは、前記基部と前記吸着面を有する揺動部とで構成され、前記基部の上端と前記揺動部の下端のいずれか一方には凹面部が設けられ、他方には対応する凸面部が設けられ、前記基部の上端において前記揺動部の下端が気密に接し摺動することで、前記吸着面が揺動可能であることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板吸着機構において、
前記パッド支持部材の前記収容凹部の底部には、前記吸着パッドの前記吸引孔と同軸上にネジ穴が設けられ、前記ストッパーは、前記吸着パッドの前記吸引孔より大きい径に設定された頭部を有し、前記吸着パッドの前記吸引孔に隙間を有して挿入され、前記ネジ穴に螺合されるネジであることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板吸着機構において、
前記ストッパーは、一辺に長穴を有する略L字状の部材からなり、前記パッド支持部材あるいは前記吸着パッドのいずれか一方の側部に係合部が形成されるとともに、他方の側部には、前記ストッパーが、他辺を前記係合部に当接可能に、前記長穴に挿通されたボルトによって固定されることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板吸着機構において、
前記ストッパーは、前記パッド支持部材あるいは前記吸着パッドのいずれか一方に取り付けられた係止部材に対し、該係止部材に形成された上下方向に延在する長穴に移動可能に挿通される係止ロッドにより構成され、該係止ロッドが前記パッド支持部材あるいは前記吸着パッドのいずれか他方に上下方向へ取り付け位置可変に固定されることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項8のいずれかに記載の基板吸着機構において、
前記パッド支持部材の前記エアー引き通路は、前記支持部材の側壁を貫通して形成されることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項9のいずれかに記載の基板吸着機構において、
前記パッド支持部材と前記吸着パッドとの対応する位置において、それらのいずれか一方には他方の側へ突出するようにピンが設けられ、他方には該ピンの突出部が挿入される長穴が設けられることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項9のいずれかに記載の基板吸着機構において、
前記パッド支持部材の前記収容凹部及び前記吸着パッドの前記基部の断面形状は、平面視非円形形状であることを特徴とする基板吸着機構。 - 請求項1から請求項11のいずれかに記載の基板吸着機構が、被検査基板を保持する台座に複数着脱自在に装着されていることを特徴とする基板検査装置。
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