JP6086435B2 - 基板クランプ装置 - Google Patents

Description

本発明は、コンベアによって搬送されてくる基板の側縁部を、リフト部材とその上方に位置する押さえ部材との間に挟み込んでクランプする基板クランプ装置に関する発明である。

例えば、部品実装機においては、コンベアによって搬送されてくる基板を、該コンベアの幅方向両側の下方から基板クランプ装置のリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプした後、実装ヘッドによって部品を該基板に実装するのが一般的である。近年の基板は、薄型化が進み、強度が弱くなっているため、反りが生じやすい。また、近年の高密度実装化・小型化の要求を満たすために、基板の両面に部品を実装した両面実装基板の需要も増加しているが、この両面実装基板では、まず基板の片面に部品を実装して半田を熱硬化した後、基板を裏返して同様に基板の残りの片面に部品の実装と半田の熱硬化を行うようにしている。そのため、熱硬化時の熱で基板に反りが生じてしまうことがある。

基板に反りが生じた状態で部品を実装すると、部品実装精度が悪化して製品品質の悪化につながるため、特許文献１（特開２００４−３３５９７３号公報）や特許文献２（特許第２７９２９３１号公報）に記載されているように、基板クランプ装置で両側縁部をクランプされた基板を、下方からバックアップピンで突き上げて基板の反りを矯正するようにしている。

しかし、バックアップピンで矯正できる基板の反りは、下反り（下方への反り）のみであり、上反り（上方への反り）は、バックアップピンでは矯正できない。
そこで、特許文献３（ＷＯ０１／０５８２３３号公報）では、基板の下側に複数の吸着パッドを配列し、複数の吸着パッドで基板を吸着することで、基板の上反りを矯正するようにしている。

特開２００４−３３５９７３号公報 特許第２７９２９３１号公報 ＷＯ０１／０５８２３３号公報

しかし、上記特許文献３のように、基板の下面側に複数の吸着パッドを配列すると、両面実装基板の残りの片面に部品を実装する際に、該基板の下面側の先付け部品に吸着パッドが干渉して該基板の上反りを矯正できない可能性がある。要するに、上記特許文献３の上反り矯正方法では、基板の下面が吸着パッドで吸着可能な平坦面でない場合は、基板の上反りを矯正できない。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、基板の下面が平坦面でない場合でも、基板の上反りを確実に矯正することができる基板クランプ装置を提供することである。

上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、コンベアによって搬送されてくる基板を、その幅方向両側の下方からリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプする基板クランプ装置において、前記リフト部材と前記押さえ部材との間にクランプされた基板の搬送方向前後の端縁部を上方から押さえて該基板の上反りを矯正する上反り矯正部材と、前記上反り矯正部材の位置を前記基板の上反りを矯正する上反り矯正位置と該基板の搬送に邪魔にならない退避位置とに切り換える位置切換手段と、前記リフト部材と前記押さえ部材との間にクランプされた基板をその下側から受け支えることで該基板の下反りを防ぐバックアップピンと、前記バックアップピンを載せて前記リフト部材と一体的に上下動するバックアッププレートとを備え、前記上反り矯正部材と前記位置切換手段は、上反り矯正ユニットとしてユニット化され、前記上反り矯正ユニットは、前記基板の搬送方向の長さ寸法に応じて前記バックアッププレート上に移動可能に配置されることを特徴とするものである。

この構成では、リフト部材と押さえ部材との間にクランプされた基板の搬送方向前後の端縁部を上方から上反り矯正部材で押さえて該基板の上反りを矯正するようにしているため、クランプされた基板の下面が平坦面でない場合（例えば両面実装基板等）でも、基板の上反りを上反り矯正部材によって確実に矯正できる。しかも、クランプされた基板の厚みが異なっても、基板の上面の高さが押さえ部材の下面の高さを基準にして位置決めされるため、基板の厚みに関係なく基板の上反りを上反り矯正部材によって確実に矯正できる。

しかも、本発明では、リフト部材と押さえ部材との間にクランプされた基板をその下側から受け支えることで該基板の下反りを防ぐバックアップピンと、このバックアップピンを載せて前記リフト部材と一体的に上下動するバックアッププレートとを備えた構成としている。これにより、基板のクランプ動作時にバックアッププレートがリフト部材と一体的に上昇してバックアップピンの上端で基板を受け支えることができるため、基板に下反りがある場合は、バックアップピンで基板の下反りを矯正できると共に、上反り矯正部材の過剰な押し下げにより基板が平面状態を越えて下反り状態になることをバックアップピンで防止できる。

更に、本発明では、上反り矯正部材と位置切換手段を上反り矯正ユニットとしてユニット化し、この上反り矯正ユニットを基板の搬送方向の長さ寸法に応じてバックアッププレート上に移動可能に配置するようにしたので、基板とバックアッププレートとの間の空きスペースに上反り矯正ユニットを配置できると共に、基板に対する上反り矯正部材の相対的な高さ位置（上反り矯正位置）をバックアッププレートの高さ位置を基準にして精度良く位置決めすることができ、上反り矯正部材を上反り矯正位置に切り換えることで基板の上反りを精度良く矯正できる。

更に、請求項２のように、上反り矯正ユニットには、上反り矯正部材により上方から押さえられる基板の端縁部をその下側から受け支えることで該基板の下反りを防ぐ下反り防止部材を設けるようにしても良い。このようにすれば、上反り矯正部材の過剰な押し下げによる基板の下反りを下反り防止部材によって確実に防止できる。

また、請求項３のように、下反り防止部材を撮像するカメラと、このカメラで撮像して画像を処理して前記下反り防止部材の位置を認識する画像処理手段とを備えた構成としても良い。このようにすれば、上反り矯正ユニットに設けられた上反り防止部材の位置を画像認識できるため、基板のクランプ動作前（上反り矯正前）に上反り防止部材の位置を画像認識して、その認識結果に基づいて上反り矯正ユニットの位置が基板の搬送方向の長さ寸法に対応した位置に配置されているか否かを確認することができる。

尚、上反り矯正部材の位置を切り換える位置切換手段は、モータやソレノイド等の電気アクチュエータで駆動するようにしても良いし、或は、請求項４のように、基板クランプ装置を搭載した生産機器に供給されるエアーを圧力源とするエアーシリンダで駆動するようにしても良い。このようにすれば、省電力化の要求を満たすことができる。

図１は本発明の一実施例における部品実装機の部品実装ステーションを示す斜視図である。 図２は基板アンクランプ時の状態を示す縦断面図である。 図３は基板クランプ時の状態を示す縦断面図である。 図４は上反り矯正ユニットの外観を示す斜視図である。 図５は上反り矯正ユニットの内部構造を示す斜視図である。 図６は基板と２つの上反り矯正ユニットの配置を示す斜視図である。 図７は基板アンクランプ時の上反り矯正ユニットと基板との位置関係を示す斜視図である。 図８は基板クランプ動作時に上反り矯正ユニットの上反り矯正部材が上反り矯正位置へ回動する前の状態を示す斜視図である。 図９は基板クランプ動作時に上反り矯正ユニットの上反り矯正部材が上反り矯正位置へ回動した後の状態を示す斜視図である。 図１０は他の実施例を説明する図である。

以下、本発明を実施するための形態を部品実装機に適用して具体化した一実施例を説明する。
まず、図１を用いて部品実装機の部品実装ステーションの構成を説明する。

部品実装ステーション１１は、コンベア１２でＸ方向に搬送されてくる基板１３を基板クランプ装置１０でクランプして、該基板１３に部品実装機の装着ヘッド（図示せず）で部品を実装するステーションである。コンベア１２は、基板１３の左右両側縁部を載せて搬送するように２本のコンベアベルト１２ａで構成され、片方のコンベアベルト１２ａを保持するガイドレール１４を基板１３の幅に応じてその幅方向（Ｙ方向）に移動させることで、基板１３の幅に応じてコンベア１２の幅（２本のコンベアベルト１２ａの間隔）を調整できるようになっている。

部品実装ステーション１１には、バックアップピン１５（図２、図３参照）を載せるバックアッププレート１６が水平に設けられている。このバックアッププレート１６は、鉄等の磁性材料で形成され、バックアップピン１５をその下部に設けた磁石１８（図２、図３参照）によりバックアッププレート１６上の任意の位置（基板１３の下面の先付け部品等と干渉しない位置）に吸着保持できるようになっている。このバックアッププレート１６は、昇降機構１７によって昇降するように構成され、下降動作時の下限位置が図２に示す基板アンクランプ位置となり、上昇動作時の上限位置が図３に示す基板クランプ位置となる。

バックアッププレート１６の両側部には、それぞれ支持部材１９を介してプレート状のリフト部材２１がコンベア１２の幅方向両側（各コンベアベルト１２ａの内側）に位置するように取り付けられている。各ガイドレール１４の上端には、それぞれプレート状の押さえ部材２２が内側にフランジ状に突出するように取り付けられている。

図２に示すように、バックアッププレート１６が基板アンクランプ位置に下降した状態では、バックアッププレート１６上のバックアップピン１５の上端がコンベア１２上の基板１３の下面よりも低い位置にあり、且つ、コンベア１２上の基板１３の下面に先付け部品が実装されている場合は、バックアッププレート１６上のバックアップピン１５の上端が該基板１３の下面の先付け部品の下端よりも低い位置にある。

一方、図３に示すように、バックアッププレート１６が基板クランプ位置に上昇した状態では、バックアッププレート１６上のバックアップピン１５の上端がコンベア１２の搬送面（コンベアベルト１２ａの上面）と同一高さまで上昇して、該バックアップピン１５の上端がコンベア１２上の基板１３の下面に当接して該基板１３を下方から支えて該基板１３の下反り（下方への曲がり）を防止する。バックアッププレート１６が基板クランプ位置に上昇する際に、リフト部材２１がバックアッププレート１６と一体的に上昇して、ガイドレール１４の上端に取り付けられた押さえ部材２２と該リフト部材２１との間に基板１３の左右両側縁部を挟み込んでクランプする。

次に、図４乃至図９を用いて、基板１３の上反りを矯正する上反り矯正ユニット３１の構成を説明する。上反り矯正ユニット３１は、基板１３の搬送方向（Ｘ方向）の長さ寸法に応じてバックアッププレート１６上に移動可能に配置されている。上反り矯正ユニット３１の下面部には、磁石（図示せず）が取り付けられ、該上反り矯正ユニット３１をバックアッププレート１６上の任意の位置に吸着保持できるようになっている。

上反り矯正ユニット３１は、上反り矯正部材３２と位置切換機構３３（位置切換手段）と下反り防止ピン３４（下反り防止部材）とをユニット化したものであり、上反り矯正部材３２は、Ｌ字形レバー状に形成されて、その先端に押圧部３２ａが形成され、リフト部材２１と押さえ部材２２との間にクランプされた基板１３の搬送方向前後の端縁部を上反り矯正部材３２の押圧部３２ａで上方から押さえて該基板１３の上反りを矯正する。

位置切換機構３３は、上反り矯正部材３２の位置を基板１３の上反りを矯正する上反り矯正位置（図４、図５、図９に示す位置）と該基板１３の搬送に邪魔にならない退避位置（図７に示す位置）とに切り換える機構である。この位置切換機構３３は、エアーシリンダ３５（図５参照）を駆動源とし、基板クランプ装置１０を搭載した部品実装機に供給される正圧エアーが上反り矯正ユニット３１に設けられた継手３６と電磁弁３７を通してエアーシリンダ３５内に導入される。

図５に示すように、エアーシリンダ３５で駆動されるピストン３８には、ラック３９が形成され、該ピストン３８が戻しスプリング４１によってエアーシリンダ３５内に押し込む方向に付勢されている。このラック３９に噛み合うピニオン４２の軸４３は、上反り矯正ユニット３１の所定位置に回転可能に支持され、該ピニオン４２の軸４３に上反り矯正部材３２の基端部が固定されている。

上反り矯正ユニット３１は、通常時（基板１３の上反りを矯正しないとき）には、電磁弁３７を大気開放位置に切り換えてエアーシリンダ３５内を大気に連通させた状態に維持する。この状態では、戻しスプリング４１のばね力によってピストン３８（ラック３９）がエアーシリンダ３５内に押し込まれてピニオン４２が図５の反時計回り方向に回動し、これと一体に上反り矯正部材３２が図５の反時計回り方向に回動して、該上反り矯正部材３２が図７に示す退避位置に保持される。

一方、基板クランプ装置１０でクランプした基板１３の上反りを矯正する場合は、電磁弁３７を圧力導入位置に切り換えて正圧エアーをエアーシリンダ３５内に導入して、ピストン３８（ラック３９）を戻しスプリング４１のばね力に抗して突出させる。これにより、ピニオン４２が図５の時計回り方向に回動し、これと一体に上反り矯正部材３２が図５の時計回り方向に回動して、該上反り矯正部材３２が図９に示す上反り矯正位置に切り換えられる。上反り矯正部材３２が上反り矯正位置に切り換えられると、上反り矯正部材３２の先端の押圧部３２ａの真下方向に下反り防止ピン３４が位置し、上反り矯正部材３２の押圧部３２ａで基板１３の端縁部を上方から押さえて該基板１３の上反りを矯正すると共に、該上反り矯正部材３２の押圧部３２ａと下反り防止ピン３４の上端との間に該基板１３の端縁部を挟み込んで、該基板１３の端縁部を下反り防止ピン３４の上端で受け支えることで該基板１３の下反り（下方への曲がり）を防止する。

本実施例では、バックアッププレート１６上の上反り矯正ユニット３１の位置を画像認識するために、基板１３の搬入前に、部品実装機のカメラ（基板１３の基準マークを撮像するカメラ）で上反り矯正ユニット３１の下反り防止ピン３４を上方から撮像して、その画像を部品実装機の画像処理装置（図示せず）で処理することで、下反り防止ピン３４の位置を認識して上反り矯正ユニット３１の位置を確認するようにしている。

以上のように構成した基板クランプ装置１０を使用して、基板１３をクランプして該基板１３の上反りを矯正する場合は、予め、搬入する基板１３の搬送方向前後の端縁部の位置に合わせてバックアッププレート１６上に上反り矯正ユニット３１を位置決めして配置する。一般に、基板１３の上反りは、アーチ状に反ることが多いため、図６に示すように、基板１３の搬送方向前後の端縁部の中央付近を押さえるように、各端縁部に上反り矯正ユニット３１を１個ずつ配置すれば良い。また、基板１３が波打つように複雑に反る場合は、基板１３の搬送方向前後の端縁部の複数箇所を押さえるように、各端縁部に上反り矯正ユニット３１を複数個ずつ配置すれば良い。

上反り矯正ユニット３１を配置する作業は、作業者が手作業で行っても良いし、或は、図示はしないが、部品実装機のＸＹロボットに、部品実装ヘッドに代えてチャックを取り付けて、このチャックで上反り矯正ユニット３１を掴んでバックアッププレート１６上に配置するようにしても良い。バックアッププレート１６上に配置する上反り矯正ユニット３１は、通常時（基板１３の上反りを矯正しないとき）には上反り矯正部材３２が戻しスプリング４１のばね力により図７に示す退避位置に保持される。尚、バックアッププレート１６上へのバックアップピン１５の配置作業も、同様の方法で行えば良い。

バックアッププレート１６上に上反り矯正ユニット３１とバックアップピン１５を配置した後、基板１３の搬入前に、バックアッププレート１６上の上反り矯正ユニット３１の下反り防止ピン３４を部品実装機のカメラで撮像して、その画像を部品実装機の画像処理装置で処理することで、下反り防止ピン３４の位置を認識して上反り矯正ユニット３１の位置を確認する。その結果、上反り矯正ユニット３１が正しい位置に配置されていないことが判明すれば、上反り矯正ユニット３１の位置を修正して、再度、画像処理で上反り矯正ユニット３１の位置を確認する。同様に、バックアッププレート１６上のバックアップピン１５の位置の確認も画像処理で行うようにしても良い。

以上のようにして、上反り矯正ユニット３１やバックアップピン１５が正しい位置に配置されていることが確認されれば、コンベア１２に基板１３を投入して、該基板１３を所定の作業位置まで搬送する。この後、バックアッププレート１６を基板クランプ位置へ上昇させて、該バックアッププレート１６上の上反り矯正ユニット３１の下反り防止ピン３４の上端とバックアップピン１５の上端をコンベア１２の搬送面と同一高さまで上昇させると共に、リフト部材２１をバックアッププレート１６と一体的に上昇させて、ガイドレール１４の上端に取り付けられた押さえ部材２２と該リフト部材２１との間に基板１３の左右両側縁部を挟み込んでクランプする。

この後、上反り矯正ユニット３１の電磁弁３７を圧力導入位置に切り換えて正圧エアーをエアーシリンダ３５内に導入して、ピストン３８（ラック３９）を戻しスプリング４１のばね力に抗して突出させる。これにより、ピニオン４２が図５の時計回り方向に回動し、これと一体に上反り矯正部材３２が図５の時計回り方向に回動して、該上反り矯正部材３２が図９に示す上反り矯正位置に保持される。上反り矯正部材３２が上反り矯正位置に回動されると、上反り矯正部材３２の押圧部３２ａで基板１３の端縁部を上方から押さえて該基板１３の上反りを矯正すると共に、該基板１３の端縁部を下反り防止ピン３４の上端で受け支えることで該基板１３の下反り（下方への曲がり）を防止する。尚、基板１３に下反りがある場合は、バックアップピン１５の上端で基板１３に下反りが矯正される。

この後、基板１３上に部品を実装した後、該基板１３を搬出する場合は、まず、上反り矯正ユニット３１の電磁弁３７を大気開放位置に切り換えてエアーシリンダ３５内を大気に連通させる。これにより、戻しスプリング４１のばね力でピストン３８（ラック３９）がエアーシリンダ３５内に押し込まれてピニオン４２が図５の反時計回り方向に回動し、これと一体に上反り矯正部材３２が図５の反時計回り方向に回動して、該上反り矯正部材３２が基板１３の端縁部から外れて図８に示す退避位置に切り換えられる。この後、バックアッププレート１６を基板アンクランプ位置に下降させることで、リフト部材２１を下降させて基板１３のクランプを解除して該基板１３の両側縁部をコンベアベルト１２ａ上に載せる。この際、バックアッププレート１６の基板アンクランプ位置への下降により、該バックアッププレート１６上の上反り矯正ユニット３１とバックアップピン１５も基板１３の搬送に邪魔にならない高さまで下降する。この後、コンベアベルト１２ａを回転させて基板１３を搬出する。

以上説明した本実施例によれば、リフト部材２１と押さえ部材２２との間にクランプされた基板１３の搬送方向前後の端縁部を上方から上反り矯正部材３２で押さえて該基板１３の上反りを矯正するようにしているため、クランプされた基板１３の下面が平坦面でない場合（例えば両面実装基板等）でも、基板１３の上反りを上反り矯正部材３２によって確実に矯正できる。しかも、クランプされた基板１３の厚みが異なっても、基板１３の上面の高さが押さえ部材２２の下面の高さを基準にして位置決めされるため、基板１３の厚みに関係なく基板１３の上反りを上反り矯正部材３２によって確実に矯正できる。

しかも、上反り矯正部材３２と位置切換機構３３を上反り矯正ユニット３１としてユニット化し、この上反り矯正ユニット３１を基板１３の搬送方向の長さ寸法に応じてバックアッププレート１６上に移動可能に配置するようにしたので、基板１３とバックアッププレート１６との間の空きスペースに上反り矯正ユニット３１を配置できると共に、基板１３に対する上反り矯正部材３２の相対的な高さ位置（上反り矯正位置）をバックアッププレート１６の高さ位置を基準にして精度良く位置決めすることができ、上反り矯正部材３２を上反り矯正位置に切り換えることで基板１３の上反りを精度良く矯正できる。

更に、上反り矯正ユニット３１には、上反り矯正部材３２により上方から押さえられる基板１３の端縁部をその下側から受け支えることで該基板１３の下反りを防ぐ下反り防止ピン３４を設けるようにしたので、上反り矯正部材３２の過剰な押し下げによる基板１３の下反りを下反り防止ピン３４によって防止できる。

しかも、本実施例では、リフト部材２１と押さえ部材２２との間にクランプされた基板１３をその下側から受け支えるバックアップピン１５をバックアッププレート１６上に配置するようにしたので、基板１３のクランプ動作時にバックアッププレート１６がリフト部材２１と一体的に上昇してバックアップピン１５の上端で基板１３を受け支えることができる。これにより、基板１３に下反りがある場合は、バックアップピン１５で基板１３の下反りを矯正できると共に、上反り矯正部材３２の過剰な押し下げにより基板１３が平面状態を越えて下反り状態になることを下反り防止ピン３４とバックアップピン１５によって確実に防止できる。

尚、本発明は、本実施例に限定されず、例えば、上反り矯正ユニット３１から下反り防止ピン３４（下反り防止部材）を省略した構成としても良く、この場合でも、本実施例のように、バックアッププレート１６上にバックアップピン１５を配置すれば、上反り矯正部材３２の過剰な押し下げにより基板１３が平面状態を越えて下反り状態になることをバックアップピン１５によって防止できる。

また、本実施例では、上反り矯正部材３２の位置を切り換える位置切換機構３３の駆動源としてエアーシリンダ３５を用いるようにしたので、基板クランプ装置１０を搭載した部品実装機に供給されるエアーを圧力源としてエアーシリンダ３５を駆動することができ、省電力化の要求を満たすことができる。但し、本発明は、エアーシリンダ３５に代えて、モータやソレノイド等の電気アクチュエータによって上反り矯正部材３２の位置を切り換えるようにしても良い。

また、本実施例では、上反り矯正部材３２を回動させて退避位置と上反り矯正位置とに切り換えるようにしたが、位置切り換えは、回動に限定されない。例えば、図１０に示す他の実施例では、上反り矯正部材４５を上下動及び半回転させることで、上反り矯正部材４５の位置を退避位置と上反り矯正位置とに切り換えるようにしている。この場合、上反り矯正ユニット４６に上反り矯正部材４５を上下動可能且つ半回転可能に設け、上反り矯正部材４５の上端をＬ字状に屈曲させて押圧部４５ａを形成している。退避位置では、上反り矯正部材４５の上端の押圧部４５ａを基板１３とは反対側に向けた状態に保持される。基板１３のクランプ動作時にバックアッププレート１６が上昇することで、該バックアッププレート１６上の上反り矯正ユニット４６も上昇して上反り矯正部材４５の上端の押圧部４５ａが基板１３よりも高い位置まで上昇する。この後、上反り矯正ユニット４６内の位置切換手段（図示せず）により上反り矯正部材４５を半回転させて押圧部４５ａを基板１３の端縁部の上方に位置させた後、上反り矯正部材４５を上反り矯正位置へ下降させて押圧部４５ａで基板１３の端縁部を上方から押さえて該基板１３の上反りを矯正する。その後、基板１３のクランプを解除する場合は、上述と逆の順序で上反り矯正部材４５を上反り矯正位置から退避位置へ移動させれば良い。

その他、本発明は、部品実装機の基板クランプ装置に限定されず、スクリーン印刷機の基板クランプ装置に適用して実施しても良く、更には、コンベアで基板を搬送して所定の作業位置でクランプする様々な生産機器に適用して実施しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。

１０…基板クランプ装置、１１…部品実装ステーション、１２…コンベア、１２ａ…コンベアベルト、１３…基板、１４…ガイドレール、１５…バックアップピン、１６…バックアッププレート、１７…昇降機構、１８…磁石、２１…リフト部材、２２…押さえ部材、３１…上反り矯正ユニット、３２…上反り矯正部材、３２ａ…押圧部、３３…位置切換機構（位置切換手段）、３５…エアーシリンダ、３７…電磁弁、３８…ピストン、３９…ラック、４１…戻しスプリング、４２…ピニオン、４５…上反り矯正部材、４５ａ…押圧部、４６…上反り矯正ユニット

Claims (4)

1. コンベアによって搬送されてくる基板を、その幅方向両側の下方からリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプする基板クランプ装置において、
   前記リフト部材と前記押さえ部材との間にクランプされた基板の搬送方向前後の端縁部を上方から押さえて該基板の上反りを矯正する上反り矯正部材と、
   前記上反り矯正部材の位置を前記基板の上反りを矯正する上反り矯正位置と該基板の搬送に邪魔にならない退避位置とに切り換える位置切換手段と、
   前記リフト部材と前記押さえ部材との間にクランプされた基板をその下側から受け支えることで該基板の下反りを防ぐバックアップピンと、
   前記バックアップピンを載せて前記リフト部材と一体的に上下動するバックアッププレートとを備え、
   前記上反り矯正部材と前記位置切換手段は、上反り矯正ユニットとしてユニット化され、
   前記上反り矯正ユニットは、前記基板の搬送方向の長さ寸法に応じて前記バックアッププレート上に移動可能に配置されることを特徴とする基板クランプ装置。
2. 前記上反り矯正ユニットには、前記上反り矯正部材により上方から押さえられる前記基板の端縁部をその下側から受け支えることで該基板の下反りを防ぐ下反り防止部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板クランプ装置。
3. 前記下反り防止部材を撮像するカメラと、
   前記カメラで撮像して画像を処理して前記下反り防止部材の位置を認識する画像処理手段と
   を備えていることを特徴とする請求項２に記載の基板クランプ装置。
4. 前記位置切換手段は、前記基板クランプ装置を搭載した生産機器に供給されるエアーが導入されるエアーシリンダにより駆動されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板クランプ装置。

Images