JP2014212247A - 基板クランプ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、特許文献3(WO01/058233号公報)では、基板の下側に複数の吸着パッドを配列し、複数の吸着パッドで基板を吸着することで、基板の上反りを矯正するようにしている。
まず、図1を用いて部品実装機の部品実装ステーションの構成を説明する。
Claims (6)
- コンベアによって搬送されてくる基板を、その幅方向両側の下方からリフト部材により持ち上げて、その上方に位置する押さえ部材との間に該基板の側縁部を挟み込んでクランプする基板クランプ装置において、
前記リフト部材と前記押さえ部材との間にクランプされた基板の搬送方向前後の端縁部を上方から押さえて該基板の上反りを矯正する上反り矯正部材と、
前記上反り矯正部材の位置を前記基板の上反りを矯正する上反り矯正位置と該基板の搬送に邪魔にならない退避位置とに切り換える位置切換手段と
を備えていることを特徴とする基板クランプ装置。 - 前記リフト部材と前記押さえ部材との間にクランプされた基板をその下側から受け支えることで該基板の下反りを防ぐバックアップピンと、
前記バックアップピンを載せて前記リフト部材と一体的に上下動するバックアッププレートと
を備えていることを特徴とする請求項1に記載の基板クランプ装置。 - 前記上反り矯正部材と前記位置切換手段は、上反り矯正ユニットとしてユニット化され、
前記上反り矯正ユニットは、前記基板の搬送方向の長さ寸法に応じて前記バックアッププレート上に移動可能に配置されることを特徴とする請求項2に記載の基板クランプ装置。 - 前記上反り矯正ユニットには、前記上反り矯正部材により上方から押さえられる前記基板の端縁部をその下側から受け支えることで該基板の下反りを防ぐ下反り防止部材が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の基板クランプ装置。
- 前記下反り防止部材を撮像するカメラと、
前記カメラで撮像して画像を処理して前記下反り防止部材の位置を認識する画像処理手段と
を備えていることを特徴とする請求項4に記載の基板クランプ装置。 - 前記位置切換手段は、前記基板クランプ装置を搭載した生産機器に供給されるエアーが導入されるエアーシリンダにより駆動されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の基板クランプ装置。
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