JP6411786B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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請求項2に係る基板搬送装置の発明は、基板を搬送する搬送方向に延在し相互に離隔して平行配置され、前記基板の両側の縁部をそれぞれ支持して搬送する一対の基板搬送部と、各前記基板搬送部に並べて配置され、搬送される前記基板の両側の側面をそれぞれガイドする一対の基板ガイド部と、前記一対の基板搬送部の間に配置された支承部材と、前記支承部材に支承され、搬送される前記基板の下面を支持しつつ前記搬送方向に自由回転する回転部材と、を備え、前記回転部材は、前記搬送方向と直交する幅方向に延びる連結軸、および前記連結軸の周りに配置されるローラ部材を有し、かつ、前記ローラ部材の個数および前記幅方向の配置位置の少なくとも一方が異なる複数種類が交換可能とされている。
請求項2に係る基板搬送装置の発明によれば、回転部材を交換するだけで、基板を支持する幅方向の位置を変更したり、支持箇所数を増減したりすることができる。
21:固定支持部 22:可動支持部
31、32:基板搬送部 311、321:レール部材
312、322:コンベアベルト
41、42:基板ガイド部
51、52:支承部材 53:固定ピン 54:固定板
55:支承板 56:結合板 57:支承溝(支承箇所)
6、6A:回転部材 61、61A:ローラ部材
62、62A:連結軸 63:被支承部、
7:幅調整部 71、72:ねじ送り機構
8:バックアップ機構 81:クランプ支持部材
82:バックアップ部材 84:昇降駆動機構
85:クランプ部材 86:支持部材
9:部品実装装置 91:機台 92、93部品供給装置
95:部品移載装置 96、97:部品カメラ装置
Claims (7)
- 基板を搬送する搬送方向に延在し相互に離隔して平行配置され、前記基板の両側の縁部をそれぞれ支持して搬送する一対の基板搬送部と、
各前記基板搬送部に並べて配置され、搬送される前記基板の両側の側面をそれぞれガイドする一対の基板ガイド部と、
前記一対の基板搬送部の間に配置された支承部材と、
前記支承部材に支承され、搬送される前記基板の下面を支持しつつ前記搬送方向に自由回転する回転部材と、を備え、
前記回転部材は、前記搬送方向と直交する幅方向に離隔して配置された複数のローラ部材が一体回転するように連結された連結ローラ部材である、基板搬送装置。 - 基板を搬送する搬送方向に延在し相互に離隔して平行配置され、前記基板の両側の縁部をそれぞれ支持して搬送する一対の基板搬送部と、
各前記基板搬送部に並べて配置され、搬送される前記基板の両側の側面をそれぞれガイドする一対の基板ガイド部と、
前記一対の基板搬送部の間に配置された支承部材と、
前記支承部材に支承され、搬送される前記基板の下面を支持しつつ前記搬送方向に自由回転する回転部材と、を備え、
前記回転部材は、前記搬送方向と直交する幅方向に延びる連結軸、および前記連結軸の周りに配置されるローラ部材を有し、かつ、前記ローラ部材の個数および前記幅方向の配置位置の少なくとも一方が異なる複数種類が交換可能とされている、基板搬送装置。 - 前記回転部材は、前記幅方向の配置位置が可変とされている請求項1または2に記載の基板搬送装置。
- 前記一対の基板搬送部の相互間の離隔距離を調整する幅調整部をさらに備え、
前記回転部材は、前記幅調整部による前記離隔距離の調整に合わせて前記幅方向の配置位置が調整可能とされている請求項3に記載の基板搬送装置。 - 前記回転部材が前記幅方向に並ぶ並列個数、および前記回転部材が前記搬送方向に並ぶ直列個数の少なくとも一方が可変とされ、あるいは、
複数の前記回転部材の少なくとも一部が着脱可能とされている請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 前記回転部材は、形状および材質の少なくとも一方が異なる複数種類が準備され、前記支承部材の支承箇所に交換可能に支承される請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記一対の基板ガイド部に設けられ、前記基板の両側の縁部付近の上面がそれぞれ当接可能な一対のクランプ支持部材と、
前記一対の基板ガイド部の下方に配置されて昇降駆動されるバックアップ部材と、
前記バックアップ部材の上側に配置されて前記バックアップ部材の上昇により駆動され、前記基板の両側の縁部付近の下面をそれぞれ押し上げ前記クランプ支持部材との間に前記基板を位置決め保持する一対のクランプ部材と、
前記バックアップ部材の上側に配置されて前記バックアップ部材の上昇により駆動され、上昇して前記基板の下面を支持する支持部材と、を有するバックアップ機構をさらに備え、
前記支承部材は、上昇した前記バックアップ部材と干渉しない上方位置に配置されている請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
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JP2014126215A JP6411786B2 (ja) | 2014-06-19 | 2014-06-19 | 基板搬送装置 |
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JP2016004964A JP2016004964A (ja) | 2016-01-12 |
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Family Applications (1)
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