CN106611744B - 基板分割装置 - Google Patents

Abstract

本发明的基板分割装置稳定地分割基板。其包括：环形的第一平型传送带(110)，在将基板承载成使得划片槽的排列方向与传输方向平行的状态下传输基板，其表面用聚氨酯树脂覆盖；第一驱动滑轮(130)，驱动第一平型传送带(110)；环形的第二平型传送带(120)，被配置在第一平型传送带(110)的上方，其表面用聚氨酯树脂覆盖；第二驱动滑轮(140)，具有与第一驱动滑轮(130)的转动轴平行的转动轴，驱动第二平型传送带(120)；第一按压滑轮(150)，具有与第一驱动滑轮(130)的转动轴平行的转动轴，与第一平型传送带(110)的内周面相接触；以及第二按压滑轮(160)，具有与第二驱动滑轮(140)的转动轴平行的转动轴，与第二平型传送带(120)的内周面相接触。

Description

基板分割装置

技术领域

本发明涉及一种基板分割装置。

背景技术

作为公开了基板分割装置的结构的现有文献，有日本专利特開2001-246598号公報(专利文献1)。专利文献1所记载的基板分割装置包括：在外表面具有凹凸部的滑轮以及具有与滑轮的凹凸部咬合的凹凸部的传送带。通过用传送带将设置有分割槽的细长型的基板从上下方夹持的状态下、沿滑轮外周传输基板，从而将基板在分割槽的位置进行分割。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特開2001-246598号公報

发明内容

本发明所要解决的技术问题

在用具有凹凸部的传送带夹持基板的状态下，按压基板以在分割槽的位置进行分割的情况下，由于凹凸部处传送带的厚度差异较大，所以基板所负荷的按压力的偏差较大，不能稳定地分割基板。

具体而言，在传送带较薄的部分处，基板所负荷的按压力变得较大，龟裂从分割槽的前端部沿倾斜方向扩展，从而基板容易以歪斜的形状被分割。在传送带较厚的部分，基板所负荷的按压力变得较小，龟裂未能从分割槽的前端部充分扩展，从而有时在分割槽的位置出现未被分割的部分。这种情况下，例如在隔开一个分割槽的位置上基板被分割。

本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供能够稳定地分割基板的基板分割装置。

解决技术问题所采用的技术方案

基于本发明的第一方面的基板分割装置，是一种对每隔一定间隔设置有划片槽的基板进行分割的基板分割装置。基板分割装置包括：环形的第一平型传送带，其在将基板承载成使得划片槽的排列方向与传输方向平行的状态下传输基板，并且，该第一平型传送带的表面用聚氨酯树脂覆盖；第一驱动滑轮，其驱动第一平型传送带；环形的第二平型传送带，其被配置在第一平型传送带的上方，并且该第二平型传送带的表面用聚氨酯树脂覆盖；第二驱动滑轮，其具有与第一驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，驱动第二平型传送带；第一按压滑轮，其具有与第一驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，与第一平型传送带的内周面相接触；以及第二按压滑轮，其具有与第二驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，与第二平型传送带的内周面相接触。第一平型传送带比第二平型传送带要厚。通过利用第一按压滑轮和第二按压滑轮来按压处于被第一平型传送带与第二平型传送带所夹持的状态下的基板，从而在划片槽的位置分割基板。

在本发明的一实施例中，第一平型传送带的厚度是第二平型传送带的厚度的两倍以上。

在本发明的一实施例中，第一平型传送带是将第三平型传送带和第四平型传送带层叠而构成的。基板分割装置还包括：第一张紧器，其在使第三平型传送带与第四平型传送带分离的状态下向第三平型传送带施加张力；以及第二张紧器，在使第三平型传送带与第四平型传送带分离的状态下向第四平型传送带施加张力。

在本发明的一实施例中，第一平型传送带、第三平型传送带以及第四平型传送带各自的厚度偏差为5％以下。

基于本发明的第二方面的基板分割装置是一种对每隔一定间隔设置有划片槽的基板进行分割的基板分割装置。基板分割装置包括：可转动地受到支撑的轧辊；放置台，其使划片槽的排列方向与传输方向平行地、沿正交于轧辊的转动轴的方向经过轧辊的下方来传输基板；第一聚氨酯树脂片，其被承载在放置台上，并承载基板；以及第二聚氨酯树脂片，其被承载在基板上以覆盖基板。第一聚氨酯树脂片以及第二聚氨酯树脂片各自的厚度偏差为5％以下。通过利用轧辊和放置台来按压处于被第一聚氨酯树脂片与第二聚氨酯树脂片所夹持的状态下的基板，从而在划片槽的位置分割基板。

发明效果

根据本发明，能够稳定地分割基板。

附图说明

图1是示出作为电子器件的一个示例的层叠线圈的外观的立体图。

图2是示出每隔一定间隔设置有划片槽的基板的外观的立体图。

图3是示出将基板在划片槽的位置进行分割而形成的成为坯体的部分排成一列的长条状的坯体组的立体图。

图4是示出长条状元件组的两端面设置有外部电极的状态的立体图。

图5是示出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的结构的立体图。

图6是示出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的结构的侧视图。

图7是示出切出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的第二平型传送带、第三平型传送带以及第四平型传送带的环形辊的外观的立体图。

图8是示出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的第二平型传送带、第三平型传送带以及第四平型传送带各自的层叠结构的剖面图。

图9是示出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置中基板正经过第一按压滑轮与第二按压滑轮之间的位置的状态的侧视图。

图10是示出本发明的实施方式2所涉及的基板分割装置的结构的俯视图。

图11是从箭头XI方向观察图10的基板分割装置的侧视图。

图12是示出本发明的实施方式2所涉及的基板分割装置中，轧辊下降后的状态的俯视图。

图13从图12的XIII-XIII线箭头方向观察本发明的实施方式2所涉及的基板分割装置中基板经过轧辊与放置台之间的位置而被分割的状态的剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的各实施方式所涉及的基板分割装置进行说明。在以下的实施方式的说明中，对附图中相同或相当的部分标注相同符号，不重复进行说明。

(实施方式1)

首先，对作为被分割的基板所形成的电子器件的一个示例的、表面安装型的层叠线圈的结构及制造方法进行说明。再者，作为电器件不限于层叠线圈，只要是电阻片等由被分割的基板形成的电子器件即可。

图1是示出作为电子器件的一个示例的层叠线圈的外观的立体图。如图1所示，作为电子器件的一个示例的层叠线圈900包括：坯体910以及被设置为盖住坯体910的两端面的外部电极920。在坯体910的主表面设置有未图示的薄膜线圈。薄膜线圈是将导电体图案层叠而构成的。在图1中，将坯体910的长度方向作为X轴方向、坯体910的宽度方向作为Y轴方向、坯体910的厚度方向作为Z方向示出。

图2是示出每隔一定间隔设置有划片槽的基板的外观的立体图。如图2所示，在长方体状的基板910m的两主表面上呈矩阵状地设置有划片槽。具体而言，在X轴方向上每隔一定间隔设置有划片槽911。多个划片槽911沿X轴方向排列。在Y轴方向上每隔一定间隔设置有划片槽912。多个划片槽912沿Y轴方向排列。

划片槽911以及划片槽912各自通过激光划片或切片而形成。在基板910m的一侧的主表面上，划片槽911以及划片槽912所划分的区域中各自设置有未图示的薄膜线圈。

基板910m的厚度例如为0.3mm以上且1.0mm以下。划片槽911彼此的间隔及划片槽912彼此的间隔各自例如为0.3mm以上且1.0mm以下。基板910m是用玻璃或氧化铝等无机物或者陶瓷构成的。

划片槽911以及划片槽912各自的深度优选为基板910m的厚度的30％以下。划片槽911的深度与划片槽912的深度也可以互不相同。例如，先在划片槽911的位置对基板910m进行分割的情况下，划片槽911的深度优选比划片槽912的深度要深。

图3是示出将基板在划片槽的位置进行分割而形成的、成为坯体的部分排成一列而成的长条状坯体组的立体图。如图3所示，通过将基板910m在多个划片槽911各自的位置进行分割，从而形成成为坯体的部分排成一列而成的长条状坯体组910s。在坯体组910s中，多个划片槽912沿Y轴方向排列。

图4是示出长条状元件群的两端面设置有外部电极的状态的立体图。如图4所示，在坯体组910s的两端面设置有外部电极920。先利用浸渍法使导电性糊状物分别附着在坯体组910s的两端面，或者分别在坯体组910s的两端面涂布导电性糊状物，其后再进行烧成，由此形成外部电极920。其后，也可以根据需要对外部电极920进行电镀处理。

通过将设置有外部电极920的坯体组910s在多个划片槽912各自的位置进行分割，来制造图1所示的多个层叠线圈900。本实施方式所涉及的基板分割装置100是作为基板对设置有外部电极920的坯体组910s进行分割的装置。

以下，对本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的结构进行说明。图5是示出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的结构的立体图。图6是示出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的结构的侧视图。在图5、6中，将基板分割装置100的宽度方向作为X轴方向、基板分割装置100的深度方向作为Y轴方向、基板分割装置100的高度方向作为Z方向示出。

如图5、6所示，本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置100包括：环形的第一平型传送带110，在承载基板使得划片槽的排列方向与传输方向(Y轴方向)平行的状态下传输基板；第一驱动滑轮130，驱动第一平型传送带110；环形的第二平型传送带120，被配置在第一平型传送带110的上方；第二驱动滑轮140，具有与第一驱动滑轮130的转动轴平行的转动轴，驱动第二平型传送带120；第一按压滑轮150，具有与第一驱动滑轮130的转动轴平行的转动轴，与第一平型传送带110的内周面相接触；以及第二按压滑轮160，具有与第二驱动滑轮140的转动轴平行的转动轴，与第二平型传送带120的内周面相接触。

具体而言，基板分割装置100具有沿垂直方向延伸的框架壁190。在框架壁190处所设置的分别将多个滑轮可转动地进行支撑的多个转动轴被设置为沿基板分割装置100的宽度方向(X轴方向)延伸。作为第一平型传送带110所挂绕的滑轮，沿着框架壁190的一侧的壁面配置有第一驱动滑轮130以及三个第一从动滑轮131、132、133。位于第一从动滑轮132与第一从动滑轮133之间的部分的第一平型传送带110沿基板分割装置100的深度方向(Y轴方向)延伸。

第一驱动滑轮130位于第一从动滑轮133的下方。第一从动滑轮131位于第一从动滑轮132的下方。第一驱动滑轮130的转动轴与在框架壁190的另一侧的壁面侧配置的未图示的电动机相连接。通过第一驱动滑轮130的驱动，使得第一平型传送带110顺次经过第一从动滑轮131、第一从动滑轮132以及第一从动滑轮133地转动。

在实施方式中，第一平型传送带110是将第三平型传送带111和第四平型传送带112层叠而构成的。第四平型传送带112被配置在第三平型传送带111的外侧。基板分割装置100还包括：第一张紧器134，在使第三平型传送带111与第四平型传送带112分离的状态下向第三平型传送带111施加张力；以及第二张紧器135，在使第三平型传送带111与第四平型传送带112分离的状态下向第四平型传送带112施加张力。

第一张紧器134对第三平型传送带111的外周面滚动接触并同时按压，以将位于第一驱动滑轮130与第一从动滑轮131之间的部分的第三平型传送带111向上提。第二张紧器135对第四平型传送带112的内周面滚动接触并同时按压，以将位于第一驱动滑轮130与第一从动滑轮131之间的部分的第四平型传送带112向下压，。

第二张紧器150与位于第一驱动滑轮132与第一从动滑轮133之间的部分的第三平型传送带111的内周面滚动接触。在本实施方式中，虽然第一按压滑轮150的转动轴被固定在框架壁190，但也可以将第一按压滑轮150的转动轴设置为能沿垂直方向移动。

作为第二平型传送带120所挂绕的滑轮，沿着框架壁190的一侧的壁面配置有第二驱动滑轮140以及三个第二从动滑轮141、142、143。位于第二从动滑轮142与第二从动滑轮143之间的部分的第二平型传送带120沿基板分割装置100的深度方向(Y轴方向)延伸。

第二驱动滑轮140位于第二从动滑轮143的下方。第二从动滑轮141在侧视图中位于第二从动滑轮142的斜下方。第二从动滑轮141位于在水平方向(Y轴方向)上比第二从动滑轮142离第二驱动滑轮140更远的位置。第二驱动滑轮140的转动轴与在框架壁190的另一侧的壁面侧配置的未图示的电动机连接。通过第二驱动滑轮140的驱动，使得第二平型传送带120顺次经过第二从动滑轮143、第二从动滑轮142以及第二从动滑轮141地转动。

第二张紧器160与位于第二驱动滑轮140与第二从动滑轮141之间的部分的第二平型传送带120的内周面滚动接触。位于第二驱动滑轮140与第二按压滑轮160之间的部分的第二平型传送带120沿基板分割装置100的深度方向(Y轴方向)延伸。第二按压滑轮160的转动轴与在框架壁190的另一侧的壁面侧配置的驱动机构161连接，并被设置为能够沿箭头162所示的垂直方向移动。驱动机构161可以使用气压致动器、油压致动器或者电动致动器等。第二按压滑轮160的直径小于第一按压滑轮150的直径。

第二按压滑轮160在侧视图中位于第二从动滑轮141的斜下方。第二驱动滑轮160位于第一按压滑轮150的上方。第二按压滑轮160的转动轴位于相对于第一按压滑轮150的转动轴、沿基板分割装置100的深度方向(Y轴方向)少许偏离的位置。通过此少许偏离，如后述那样，能够调整利用第一按压滑轮150和第二按压滑轮160按压坯体组910s时的坯体组910s的移动。

位于第一按压滑轮150与第一从动滑轮133之间的部分的第一平型传送带110与位于第二驱动滑轮140与第二按压滑轮160之间的部分的第二平型传送带120隔开间隙相对。

基板分割装置100还包括：顺次提供设置有外部电极920的坯体组910s的供给用给料器170；以及将供给用给料器170所提供的坯体组910s传输到第一平型传送带110上的传输用给料器171。通过传输用给料器171被承载到第一平型传送带110上的坯体组910s的多个划片槽912沿基板分割装置100的深度方向(Y轴方向)排列。

基板分割装置100还包括：沿着框架壁190的一侧的壁面配置的回收引导部180，该回收引导部180被配置成面向位于第一驱动滑轮130与第一从动滑轮133之间的部分的第一平型传送带110；以及在回收引导部180的下方配置的回收箱181。

在此，对本实施方式所涉及的基板分割装置100的第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自的结构及制造方法进行说明。

图7是示出切出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的第二平型传送带、第三平型传送带以及第四平型传送带的环形轧辊的外观的立体图。图8是示出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置的第二平型传送带、第三平型传送带以及第四平型传送带各自的层叠结构的剖面图。

如图7、8所示，本实施方式所涉及的基板分割装置100的第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112通过将一个环形辊10环形切割而分别形成。环形辊10是由表面用聚氨酯树脂12覆盖的无缝筒状布材11构成的。环形辊10的外周面以及内周面分别经过研磨，环形辊10的厚度的偏差被抑制在5％以内。

由此，第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自的厚度偏差都为5％以下。另外，第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112之间的厚度偏差也为5％以下。

在本实施方式中，通过利用第一张紧器134及第二张紧器135向第三平型传送带111及第四平型传送带112各自分别施加张力，从而抑制在第三平型传送带111及第四平型传送带112的一方产生松弛，抑制了由第三平型传送带111及第四平型传送带112的一方的松弛而造成第一平型传送带110的厚度偏差。

由于第一平型传送带110是将第三平型传送带111和第四平型传送带112层叠而构成的，所以第一平型传送带110的厚度是第二平型传送带120的厚度的近似两倍。由此，第一平型传送带110比第二平型传送带120要厚。第一平型传送带110的厚度优选为第二平型传送带120的厚度的两倍以上。

以下，对本实施方式所涉及的基板分割装置100的动作进行说明。由传输用给料器171承载到第一平型传送带110上的坯体组910s通过第一平型传送带110的转动而沿基板分割装置100的深度方向(Y轴方向)被传输，从而经过第一按压滑轮150与第二按压滑轮160之间的位置。

图9是示出本发明的实施方式1所涉及的基板分割装置中基板正经过第一按压滑轮与第二按压滑轮之间的位置的状态的侧视图。

如图9所示，坯体组910s在经过第一按压滑轮150与第二按压滑轮160之间的位置时，变为被第一平型传送带110与第二平型传送带120夹持的状态。在此状态下，通过第一按压滑轮150与第二按压滑轮160的按压，从而经由第一平型传送带110及第二平型使传送带120使坯体组910s上负荷按压力。其结果是，从坯体组910s的两主面的划片槽912的前端部扩展出的龟裂90相连，从而坯体组910s在划片槽912的位置被分割。

被分割而形成的层叠线圈900保持被第一平型传送带110与第二平型传送带120夹持的状态而被传输，在经过了第一从动滑轮133的上方后，再经过位于第一驱动滑轮130与第一从动滑轮133间的部分的第一平型传送带110与回收引导部180之间，落在回收箱180内。

本实施方法所涉及的基板分割装置100中，由于在表面用聚氨酯树脂12覆盖的第一平型传送带110与第二平型传送带120之间夹持坯体组910s的状态下，利用第一按压滑轮150及第二按压滑轮160来按压坯体组910s，从而在划片槽912的位置进行分割，因此能够减小坯体组910s所负荷的按压力的偏差，从而稳定地分割坯体组910s。

另外，由于第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自的厚度偏差为5％以下，所以能够进一步减小坯体组910s所负荷的按压力的偏差。

此外，通过向第三平型传送带111及第四平型传送带112各自分别施加张力，从而抑制了由第三平型传送带111及第四平型传送带112的一方的松弛而造成第一平型传送带110的厚度偏差，也由此能够减小坯体组910s所负荷的按压力的偏差。

此外，在本实施方式中，虽然对作为基板将设置有外部电极920的坯体组910s利用基板分割装置100来进行分割的情况进行了说明，但也可以利用基板分割装置100来将基板910m在划片槽911的位置进行分割。在此情况下，基板分割装置100的宽度变宽。

也可以先使用基板分割装置100来将基板910m沿划片槽911的排列方向传输，并在划片槽911的位置分割基板910m以形成坯体组910s，其后，再次使用基板分割装置100来将坯体组910s沿划片槽912的排列方向传输，并在划片槽912的位置分割坯体组910s，从而制成层叠线圈900。

在此，对验证本实施方式所涉及的基板分割装置100的效果的实验例进行说明。

(实验例1)

使用实施例1、2以及比较例1、2所涉及的四种基板分割装置来分割坯体组910s，并对其分割状态进行了验证。在坯体组910s中形成了十个划片槽912。

在实施例1所涉及的基板分割装置中，第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自用聚氨酯树脂12覆盖了表面。使第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自的厚度偏差为5％以下，使第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112之间的厚度偏差也为5％以下。

在实施例2所涉及的基板分割装置中，第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自用聚氨酯树脂12覆盖了表面。使第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自的厚度偏差为5％以下，使第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112之间的厚度偏差大于5％且在7％以下。

在比较例1所涉及的基板分割装置中，第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自用硅树脂覆盖了表面。使第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自的厚度偏差为5％以下，使第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112之间的厚度偏差也为5％以下。

在比较例2所涉及的基板分割装置中，第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自用硅树脂覆盖了表面。使第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112各自的厚度偏差为5％以下，使第二平型传送带120、第三平型传送带111以及第四平型传送带112之间的厚度偏差大于5％且在7％以下。

【表1】

表1总结了实验例1的条件及结果。如表1所示，龟裂从划片槽的前端部沿倾斜方向扩展所导致的基板以歪斜的形状被分割的部位，在实施例1中为0处，在实施例2中为2处，在比较例1中为8处，在比较例2中为9处。龟裂未能从划片槽的先端部充分扩展所导致的在划片槽的位置未被分割的部分在实施例1及实施例2中未出现，在比较例1及比较例2中出现。

根据实验例1的结果能够确认，通过在表面用聚氨酯树脂覆盖的第一平型传送带与第二平型传送带之间夹持坯体组的状态下，利用第一按压滑轮及第二按压滑轮来按压坯体组以在划片槽的位置进行分割，从而能够减小坯体组所负荷的按压力的偏差，由此能够稳定地分割坯体组。

另外，在用聚氨酯树脂覆盖了表面的第二平型传送带、第三平型传送带以及第四平型传送带之间的各个传送带厚度偏差都为5％以下的情况下，能够确认：既没有出现基板被分割成歪斜形状的部位，也没有出现未分割部分，可稳定地分割坯体组。

(实施方式2)

以下，对本发明的实施方式2所涉及的基板分割装置进行说明。图10是示出本发明的实施方式2所涉及的基板分割装置的结构的俯视图。图11是从箭头XI方向观察图10的基板分割装置的侧视图。图12是示出本发明的实施方式2所涉及的基板分割装置中轧辊下降后的状态的俯视图。图13是从图12的XIII-XIII线箭头方向观察本发明的实施方式2所涉及的基板分割装置中基板正经过轧辊与放置台之间的位置而被分割的状态的剖面图。在本实施方式中，对基板分割装置200将作为基板设置有外部电极920的坯体组910s进行分割的情况进行了说明。

在图10～13中，将基板分割装置200的宽度方向作为X轴方向、基板分割装置200的深度方向作为Y轴方向、基板分割装置200的高度方向作为Z方向示出。

如图10～13所示，本发明的实施方式2所涉及的基板分割装置200包括：可转动地受到支撑的轧辊260；放置台250，使划片槽912的排列方向与传输方向(Y轴方向)252平行地、沿正交于轧辊260的转动轴的方向经过轧辊260的下方来传输基板；第一聚氨酯树脂片210，被承载在放置台250上，以承载基板；以及第二聚氨酯树脂片220，被承载在基板上并覆盖基板。

具体而言，基板分割装置200具有基座290。金属制的放置台250被设置为在基座290上沿箭头251所示的基板分割装置200的深度方向(Y轴方向)可移动。放置台250与使放置台250沿基板分割装置200的深度方向(Y轴方向)移动的未图示的伺服电动机连接着。在放置台250的上表面设置有多个抽吸孔。多个抽吸孔分别与未图示的真空泵相连接。通过使真空泵工作，能够利用真空抽吸来保持放置台250上承载的第一聚氨酯树脂片210。

在基座290上设置有沿基板分割装置200的高度方向(Z轴方向)延伸的两根支撑柱264，使得两根支撑柱264在基板分割装置200的宽度方向(X轴方向)上将放置台250夹在其之间。驱动机构261被设置为将两根支撑柱264的前端部彼此相连。驱动机构261能够使用气压致动器、油压致动器或者电动致动器等。

驱动机构261使轧辊260沿箭头266所示的垂直方向移动。具体而言，支撑轧辊260的转动轴两端的一对腕部263被固定在位于驱动机构261的下方的平板部262的下表面。在平板部262的上表面连接有三根圆柱部265各自的下端。驱动机构261与位于在基板分割装置200的宽度方向(X轴方向)上相互隔开间隔的位置的三根圆柱部265各自的上端相连接，使三根圆柱部256各自沿垂直方向伸缩。

通过三根圆柱部265沿垂直方向伸缩，从而将轧辊260的转动轴维持在水平方向，并同时轧辊260沿垂直方向移动。在本实施方式中，虽然轧辊260是可自由转动地受到支撑的，但也可以设置使轧辊260以任意的转动速度转动的驱动机构。在本实施方式中，虽然轧辊260是金属制，但也可以是树脂制。在轧辊260是金属制的情况下，能够使坯体组910s均等地负荷按压力。

第一聚氨酯树脂片210以及第二聚氨酯树脂片220各自的厚度为0.5mm以下。第一聚氨酯树脂片210以及第二聚氨酯树脂片220各自的厚度偏差为5％以下。第一聚氨酯树脂片210以及第二聚氨酯树脂片220均仅用聚氨酯树脂构成。

以下，对本实施方式所涉及的基板分割装置200的动作进行说明。在被承载在放置台250上的第一聚氨酯树脂片210上承载坯体组910s、坯体组910s上承载第二聚氨酯树脂220的状态下，使真空泵工作。在此状态下，坯体组910s位于使多个划片槽912沿基板分割装置200的深度方向(Y轴方向)排列的位置。其后，使驱动机构261工作，以如图12中的箭头标记268所示那样使轧辊260下降至预定的高度。

接着，通过使放置台250沿如图13中的箭头标记252所示的基板分割装置200的深度方向(Y轴方向)移动，从而坯体组910s经过轧辊260下方的位置。

如图13所示，在坯体组910s经过轧辊260下方的位置时被第一聚氨酯树脂片210与第二聚氨酯树脂片220夹持的状态下，通过轧辊260和放置台250的按压，从而经由第一聚氨酯树脂片210及第二聚氨酯树脂片220，使坯体组910s上负荷按压力。其结果是，从坯体组910s的两主表面的划片槽912的前端部扩展出的龟裂90连起来，从而坯体组910s在划片槽912的位置被分割，形成层叠线圈900。

放置台250的移动速度优选为5mm/秒以上、100mm/秒以下。在放置台250的移动速度过快的情况下，有时龟裂未能从分割槽912的前端部充分扩展从而在分割槽912的位置出现未被分割的部分。在放置台250的移动速度过慢的情况下，基板所负荷的按压力变得较大，龟裂从划片槽912的前端部沿倾斜方向扩展，从而坯体组910s容易被分割成歪斜形状。

本实施方法所涉及的基板分割装置200中，由于在厚度偏差为5％以下的第一聚氨酯树脂片210与第二聚氨酯树脂片220之间夹持坯体组910s的状态下，利用轧辊260及放置台250来按压坯体组910s以在划片槽912的位置进行分割，因此能够减小坯体组910s所负荷的按压力的偏差，从而稳定地分割坯体组910s。

此外，在本实施方式中，虽然对利用基板分割装置200将作为基板设置有外部电极920的坯体组910s进行分割的情况进行了说明，但也可以利用基板分割装置200来将基板910m在划片槽911的位置进行分割。

也可以先使用基板分割装置200来将基板910m沿划片槽911的排列方向传输，并在划片槽911的位置分割基板910m以形成坯体组910s，其后，再次使用基板分割装置200来将坯体组910s沿划片槽912的排列方向传输，并在划片槽912的位置分割坯体组910s，由此制成层叠线圈900。

在此，对验证本实施方式所涉及的基板分割装置200的效果的实验例进行说明。

(实验例2)

使用实施例3、4以及比较例3、4所涉及的四种基板分割装置，分割基板910m以形成坯体组910s，再分割坯体组910s，并对其分割状态进行了验证。在基板910m上，分别形成有九个划片槽911及划片槽912。

实施例3所涉及的基板分割装置中，在厚度偏差为5％以下的第一聚氨酯树脂片210与第二聚氨酯树脂片220之间夹持基板910m的状态下，利用轧辊260及放置台250来按压基板910m。

实施例4所涉及的基板分割装置中，在厚度偏差大于5％且在7％以下的第一聚氨酯树脂片210与第二聚氨酯树脂片220之间夹持基板910m的状态下，利用轧辊260及放置台250来按压基板910m。

比较例3所涉及的基板分割装置中，在厚度偏差为5％以下的第一硅树脂片与第二硅树脂片之间夹持基板910m的状态下，利用轧辊260及放置台250来按压基板910m。

比较例4所涉及的基板分割装置中，在厚度偏差大于5％且在7％以下的第一硅树脂片与第二硅树脂片之间夹持基板910m的状态下，利用轧辊260及放置台250来按压基板910m。

【表2】

表2总结了实验例2的条件及结果。如表2所示，龟裂从划片槽的前端部沿倾斜方向扩展所导致的基板被分割成歪斜形状的部位在实施例3中为0处，在实施例4中为5处，在比较例3中为7处，在比较例4中为23处。龟裂未能从划片槽的先端部充分扩展所导致的在划片槽的位置未被分割的部分在实施例3及实施例4中未出现，在比较例3及比较例4中出现。

根据实验例2的结果，在厚度偏差为5％以下的第一聚氨酯树脂片210与第二聚氨酯树脂片220之间夹持坯体组910s的状态下，利用轧辊260及放置台250来按压坯体组910s以在划片槽912的位置进行分割，在此情况下，能够确认：既没有出现基板被分割成歪斜形状的部位，也没有出现未分割部分，可稳定地分割坯体组。

上述实施方式的说明中，也可以对可组合的结构进行相互组合。

应当认为以上公开的实施方式在所有方面上为例示而非限制。本发明范围不限于上述说明而由权利要求范围表示，与权利要求范围等同的技术方案以及在范围内的各种变更也包含在内。

标号说明

10 环形辊

11 布材

12 聚氨酯树脂

90 龟裂

100、200 基板分割装置

110 第一平型传送带

111 第三平型传送带

112 第四平型传送带

120 第二平型传送带

130 第一驱动滑轮

131、132、133 第一从动滑轮

134 第一张紧器

135 第二张紧器

140 第二驱动滑轮

141、142、143 第二从动滑轮

150 第一按压滑轮

160 第二按压滑轮

161、261 驱动机构

170 提供用给料器

171 传输用给料器

180 回收引导部

181 回收箱

190 框架壁

210 第一聚氨酯树脂片

220 第二聚氨酯树脂片

250 放置台

260 轧辊

262 平板部

263 腕部

264 支撑柱

265 圆柱部

290 基座

900 层叠线圈

910 坯体

910m 基板

910s 坯体组

911、912 划片槽

920 外部电极。

Claims (3)

1.一种基板分割装置，对每隔一定间隔设置有划片槽的基板进行分割，其特征在于，包括：

环形的第一平型传送带，其在将所述基板承载成使得所述划片槽的排列方向与传输方向平行的状态下，传输所述基板，并且，所述第一平型传送带的表面用聚氨酯树脂覆盖；

第一驱动滑轮，其驱动所述第一平型传送带；

环形的第二平型传送带，其被配置在所述第一平型传送带的上方，并且，所述第二平型传送带的表面用聚氨酯树脂覆盖；

第二驱动滑轮，其具有与所述第一驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，驱动所述第二平型传送带；

第一按压滑轮，其具有与所述第一驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，与所述第一平型传送带的内周面相接触；以及

第二按压滑轮，其具有与所述第二驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，与所述第二平型传送带的内周面相接触，

所述第一平型传送带比所述第二平型传送带要厚，

通过利用所述第一按压滑轮和所述第二按压滑轮来按压处于被所述第一平型传送带与所述第二平型传送带夹持的状态下的所述基板，从而在所述划片槽的位置分割所述基板,

所述第一平型传送带是将第三平型传送带和第四平型传送带层叠而构成的，

还包括：

第一张紧器，在使所述第三平型传送带与所述第四平型传送带分离的状态下向所述第三平型传送带施加张力；以及

第二张紧器，在使所述第三平型传送带与所述第四平型传送带分离的状态下向所述第四平型传送带施加张力。

2.如权利要求1所述的基板分割装置，其特征在于，

所述第一平型传送带的厚度是所述第二平型传送带的厚度的两倍以上。

3.如权利要求1所述的基板分割装置，其特征在于，

所述第一平型传送带、所述第三平型传送带以及所述第四平型传送带各自的厚度偏差为5％以下。