JP2011131488A

JP2011131488A - スクリーン印刷装置

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Publication number: JP2011131488A
Application number: JP2009292781A
Authority: JP
Inventors: Toshimichi Sato; 利道佐藤
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2009-12-24
Filing date: 2009-12-24
Publication date: 2011-07-07
Anticipated expiration: 2029-12-24
Also published as: JP5530170B2

Abstract

【課題】振り分け装置等の付帯設備を要することなくシングル搬送型の装置とデュアル搬送型（又は二系統）の装置との間に設置できるようにする。
【解決手段】スクリーン印刷装置は、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂと、第１、第２の基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２および基板搬出部Ｅｘと、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂで印刷が可能となるように基板Ｗを支持する第１、第２の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂとを備える。第１基板支持テーブル１０Ａは、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入される基板Ｗを受け取る第１受取位置と基板搬出部Ｅｘから基板Ｗを搬出する送出位置との間を移動し、第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入される基板Ｗを受け取る第２受取位置と前記送出位置との間を移動し、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂは、それぞれ基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上の基板Ｗに印刷可能な位置に配置されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、プリント配線板（PWB；Printed wiring board））等の基板に部品を実装するための前処理として当該基板にクリーム半田や導電性ペースト等を印刷するスクリーン印刷装置に関するものである。

スクリーン印刷装置は、プリント回路板（PCB；Printed Circuit Board）の製造ラインに組み込まれ、上流側から搬送されてくる基板に導電性ペースト等の印刷を施して下流側の部品実装装置に送り出すものである。この種のスクリーン印刷装置の多くは、特許文献１に開示されるように、装置内の一つの印刷部に対して一枚ずつ基板を受け入れて印刷処理を施しつつ部品実装装置に送り出すものが一般的である。

しかし、近年では、例えば特許文献２に開示されるように、装置内に２つの印刷部とそれらの下方に２つの基板移動ステージとをそれぞれ並列に備え、上流側から各印刷部に個別に基板を受け入れつつ印刷を施して個別に下流側に送り出すものも開発されている。これは、１つの装置内に２つの基板搬送ラインをもち、かつ各搬送ラインで部品実装を同時進行（並行）させる所謂デュアル搬送型の部品実装装置が用いられるようになったことによるもので、これらのスクリーン印刷装置と部品実装装置とを連結することで印刷および部品実装の効率化を図ることが狙いである。

特開平７−２０５３９９号公報特開２００９−７０８６７号公報

プリント回路板の製造ラインは、生産効率を高めるべく様々な形態で構成されており、例えば１つの基板搬送ラインをもつシングル搬送型の装置（一系統の装置と称す）と、２つの基板搬送ラインを並列に備えるデュアル搬送型の部品実装装置又はシングル搬送型の２台の部品実装装置（総括して二系統の装置と称す）との間にスクリーン印刷装置を設けたり、逆に二系統の上流側装置と一系統の部品実装装置との間にスクリーン印刷装置を設置することなどが求められる場合がある。また、二系統の上流側装置と二系統の部品実装装置との間にスクリーン印刷装置を設け、上流側装置から部品実装装置に亘って２つの基板搬送ラインを構成する場合においても、一方の基板搬送ラインの上流側装置からの基板ヘの印刷後、印刷済み基板を他方の基板搬送ラインの部品実装装置に搬送することなどが求められる場合がある。

ところが、特許文献１に記載の従来装置は、シングル搬送型の上流側装置とシングル搬送型の下流側装置（部品実装装置）との間に配置することを前提とするものであり、他方、特許文献２に記載の従来装置は、デュアル搬送型の上流側装置とデュアル搬送型の下流側装置（部品実装装置）との間に配置するとともに、上流側装置から下流側装置に渡って基板搬送ラインをそれぞれ独立に形成することを前提とするものであり、何れのスクリーン印刷装置についても当該装置をそのまま適用することは不可能である。

そこで、実際の運用では、上流側がシングル搬送型の装置で下流側がデュアル搬送型の装置（部品実装装置とする）である場合であって、例えばスクリーン印刷装置として特許文献１のものを適用する場合には、スクリーン印刷装置と部品実装装置との間に基板の搬送先を振り分ける振り分け装置を介設することが行われる。また、同じケースで特許文献２のものを適用する場合には、上流側装置とスクリーン印刷装置との間に同様の振り分け装置を介設することが行われる。そして逆に、上流側がデュアル搬送型の装置で下流側がシングル搬送型の装置（部品実装装置とする）である場合であって、スクリーン印刷装置として特許文献１のものを適用する場合には、上流側装置とスクリーン印刷装置との間に基板の受け入れ元を切り換える切り換え装置を介設することが行われ、また、同じケースで特許文献２のものを適用する場合には、スクリーン印刷装置と部品実装装置との間に同様の切り換え装置を介設することが行われる。

また、二系統の上流側装置と二系統の部品実装装置との間にスクリーン印刷装置を設ける場合であってかつ特許文献２のものを適用する場合でも、例えば２つの基板搬送ラインのうち一方側の基板搬送ラインにおける基板の搬送途中で、当該基板を他方側に移動する場合には、スクリーン印刷装置と部品実装装置との間に上記同様の切り換え装置を介設する必要がある。

しかし、このようにスクリーン印刷装置に加えて振り分け装置や切り換え装置といった付帯設備を設けるライン構成では、プリント回路板製造設備の省スペース化や低コスト化を図る上で望ましくなく、この点に改良の余地が残されている。

本発明は、このような事情に鑑みて成されたものであり、生産効率を高めつつ、振り分け装置等の付帯設備を要することなくシングル搬送型の装置とデュアル搬送型の装置との間やデュアル搬送型の装置とデュアル搬送型の装置との間の上流側と下流側の少なくとも一方がデュアル搬送型の製造ラインの上流側装置と下流側装置の間に設置することができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明は、スクリーン印刷装置において、基板にスクリーン印刷を実施するための印刷実行部と、この印刷実行部の位置を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置に設けられる基板搬出部と、前記基板搬入部から搬入される基板を受け取って前記印刷実行部において印刷が可能となるように支持するとともに、印刷後の当該基板を前記基板搬出部から搬出させる基板支持テーブルとを備えており、前記特定方向をＸ軸方向としたときに、前記基板搬入部がＸ軸方向と直交するＹ軸方向に並ぶ第１基板搬入部および第２基板搬入部からなるか、あるいは、前記基板搬出部がＸ軸方向と直交するＹ軸方向に並ぶ第１基板搬出部および第２基板搬出部からなるかの少なくとも一方の構成を備え、前記基板支持テーブルは、Ｙ軸方向にそれぞれ移動可能に並設され、かつ互いの移動可能域の一部が重なる共通域を有する第１基板支持テーブルおよび第２基板支持テーブルからなり、これらの基板支持テーブルのうち一方側の基板支持テーブルが前記基板搬入部から搬入される基板を受け取るか、又は印刷後の基板を前記基板搬出部から搬出させるに際して当該一方側の基板支持テーブルが前記共通域内に位置する一方、他方側の基板支持テーブルが前記移動可能域内において前記一方側の基板支持テーブルを避けた位置に配置されるものであり、前記印刷実行部は、前記各基板支持テーブルに支持される基板に対してスクリーン印刷を実施可能な位置に配置されているものである。

このスクリーン印刷装置によれば、二つの基板支持テーブルを使った二つの印刷工程を並行して同時進行させることができるので、印刷を効率良く行うことができとともに、上流側装置あるいは下流装置の少なくとも一方が二系統となるスクリーン印刷装置単独で、上流装置からから基板を受け入れつつ印刷を施して下流側装置に搬出することを、従来のような付帯設備（切り換え装置）が無くても実施可能となる。

また、本発明に係る他のスクリーン印刷装置は、基板にスクリーン印刷を実施するための印刷実行部と、この印刷実行部の位置を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置に設けられる基板搬出部と、前記基板搬入部から搬入される基板を受け取って前記印刷実行部において印刷が可能となるように支持するとともに、印刷後の当該基板を前記基板搬出部から搬出させる基板支持テーブルとを備えており、前記特定方向をＸ軸方向としたときに、前記基板搬入部は、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に並ぶ第１基板搬入部および第２基板搬入部からなり、前記基板搬出部は、Ｙ軸方向において前記第１、第２基板搬入部の間の位置に設けられており、前記基板支持テーブルは、その移動可能域内においてＹ軸方向にそれぞれ移動可能に設けられ、前記第１基板搬入部から搬入される基板を受け取り可能な第１受取位置と前記基板搬出部からの基板の搬出が可能となる送出位置との間を移動する第１基板支持テーブルおよび前記第２基板搬入部から搬入される基板を受け取り可能な第２受取位置と前記送出位置との間を移動する第２基板支持テーブルとからなり、互いの前記移動可能域の一部が重なる共通域の域内に、前記第１基板支持テーブルおよび前記第２基板支持テーブルの何れか一方側の基板支持テーブルが位置する時、他方側の基板支持テーブルが前記移動可能域内において前記一方側の基板支持テーブルを避けた位置に配置されるものであり、前記印刷実行部は、前記各基板支持テーブルに支持される基板に対してスクリーン印刷を実施可能な位置に配置されているものである。

このスクリーン印刷装置では、第１基板搬入部から搬入される基板は、第１受取位置に配置された第１基板支持テーブルに受け取られ（受け入れられ）、このテーブル上に支持された状態で印刷が施される。そして、この第１基板支持テーブルが共通域内となる送出位置に配置された状態で当該テーブルから基板が送り出されることにより印刷後の基板が基板搬出部から搬出される。一方、第２基板搬入部から搬入される基板は、移動可能域内において共通域内となる送出位置に位置する第１基板支持テーブルを避けた位置となる第２受取位置に配置された第２基板支持テーブル上に受け入れられ、このテーブル上に支持された状態で印刷が施される。そして、この第２基板支持テーブルが移動可能域を移動し共通域内となる送出位置に配置された状態で当該テーブルから基板が送り出されることにより印刷後の基板が基板搬出部から搬出される。この時、第１基板支持テーブルはその移動可能域内において、共通域内となる送出位置に位置する第２基板支持テーブルを避けた位置となる第２受取位置に配置される。すなわち、このスクリーン印刷装置によれば、二つの基板支持テーブルを使った二つの印刷工程を並行して同時進行させることができるので、印刷を効率良く行うことができとともに、従来のような付帯設備（切り換え装置）は不要であり、スクリーン印刷装置単独で二系統の上流側装置から基板を受け入れつつ印刷を施して一系統の下流側装置に搬出することが可能となる。

このスクリーン印刷装置において、前記印刷実行部は、前記送出位置に配置された前記各基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施するように配置される。

このスクリーン印刷装置では、第１、第２基板搬入部（二系統の上流側装置）から搬入される基板に対して共通の印刷実行部で印刷が行われつつ搬出される。

なお、前記印刷実行部は、前記第１受取位置に配置された前記第１基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施する第１印刷実行部と、前記第２受取位置に配置された前記第２基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施する第２印刷実行部とからなるものでもよい。

このスクリーン印刷装置では、基板が搬入された基板搬入部毎に別々の印刷実行部で基板に印刷が行われて搬出される。そのため、二系統の上流側装置から搬入される基板に対してそれぞれ異なるパターンの印刷を行いつつ搬出することが可能となる。

また、本発明に係るさらに他のスクリーン印刷装置は、基板にスクリーン印刷を実施するための印刷実行部と、この印刷実行部の位置を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置に設けられる基板搬出部と、前記基板搬入部から搬入される基板を受け取って前記印刷実行部において印刷が可能となるように支持するとともに、印刷後の当該基板を前記基板搬出部から搬出させる基板支持テーブルとを備えており、前記特定方向をＸ軸方向としたときに、前記基板搬出部は、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に並ぶ第１基板搬出部および第２基板搬出部とからなり、前記基板搬入部は、Ｙ軸方向における前記第１、第２基板搬出部の間の位置に設けられており、前記基板支持テーブルは、Ｙ軸方向にそれぞれ移動可能に設けられ、その移動可能域内において前記基板搬入部から搬入される基板を受け取り可能な受取位置と前記第１基板搬出部からの基板の搬出が可能となる第１送出位置との間を移動する第１基板支持テーブルおよび前記受取位置と前記第２基板搬出部からの基板の搬出が可能となる第２送出位置との間を移動する第２基板支持テーブルとからなり、互いの前記移動可能域の一部が重なる共通域の域内に、前記第１基板支持テーブルおよび前記第２基板支持テーブルの何れか一方側の基板支持テーブルが位置する時、他方側の基板支持テーブルが前記移動可能域内において前記一方側の基板支持テーブルを避けた位置に配置されるものであり、前記印刷実行部は、前記各基板支持テーブルに支持された基板に対してスクリーン印刷を実施可能な位置に配置されているものである。

このスクリーン印刷装置では、基板搬入部から搬入される基板は、第１基板支持テーブルの移動可能域と第２基板支持テーブルの移動可能域との一部が重なる共通域内となる受取位置に配置される第１基板支持テーブル又は第２基板支持テーブルに受け入れられ、このテーブル上に支持された状態で印刷が施される。そして、基板が第１基板支持テーブルに受け入れられて印刷が施された場合には、この第１基板支持テーブルが第１送出位置に配置された状態で当該テーブルから基板が送り出されることにより印刷後の基板が第１基板搬出部から搬出され、他方、基板が第２基板支持テーブルに受け入れられて印刷が施された場合には、この第２基板支持テーブルが第２送出位置に配置された状態で当該テーブルから基板が送り出されることにより印刷後の基板が第２基板搬出部から搬出される。すなわち、このスクリーン印刷装置では、基板が共通域内となる受取位置に配置された第１基板支持テーブルに受け入れられる場合、印刷後の基板を支持する第２基板支持テーブルは、その前記移動可能域内において第１基板支持テーブルを避けた第２送出位置に位置され、基板が共通域内となる受取位置に配置された第２基板支持テーブルに受け入れられる場合、印刷後の基板を支持する第１基板支持テーブルは、その移動可能域内において第２基板支持テーブルを避けた第１送出位置に位置される。このスクリーン印刷装置によれば、二つの基板支持テーブルを使った二つの印刷工程を並行して同時進行させることができるので、印刷を効率良く行うことができとともに、従来のような付帯設備（振り分け装置）は不要であり、スクリーン印刷装置単独で一系統の上流側装置から基板を受け入れつつ当該基板に印刷を施して二系統の下流側装置に搬出することが可能となる。

このスクリーン印刷装置において、前記印刷実行部は、前記受取位置に配置された前記各基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施するように配置される。

このスクリーン印刷装置では、基板搬入部から搬入される基板に対して共通の印刷実行部で印刷が行われつつ第１又は第２基板搬出部から搬出される。

なお、前記印刷実行部は、前記第１送出位置に配置された前記第１基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施する第１印刷実行部と、前記第２送出位置に配置された前記第２基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施する第２印刷実行部とからなるものでもよい。

このスクリーン印刷装置では、基板が搬出される基板搬出部に応じて別々の印刷実行部で印刷が行われる。そのため、一系統の上流側装置から搬入される基板に対し異なるパターンの印刷を行いつつ二系統の下流側装置に搬出することが可能となる。

なお、上記のようなスクリーン印刷装置において、前記基板支持テーブルは、前記基板搬入部から搬入される基板を受け入れるとともに印刷後の基板を前記基板搬出部から搬出するコンベヤと、このコンベヤによる基板Ｗの基板搬送方向に移動可能に設けられかつ基板を前記印刷実行部において印刷が可能となるように前記コンベヤから持ち上げた状態でクランプするクランプ手段とを備え、かつ前記コンベヤにおける基板搬入部側の位置が基板待機位置とされる一方、前記基板搬出部側の位置が印刷実行位置とされており、前記クランプ手段は、前記基板待機位置において前記コンベヤ上の基板をクランプして前記印刷実行位置に移動させ、当該基板の印刷後、前記印刷実行位置においてクランプ状態を解除することにより前記コンベヤ上に基板を戻した後、後続の基板をクランプすべく前記基板待機位置に移動するように構成されているのが好ましい。

この構成によれば、印刷後の先行基板をコンベヤの駆動に基板搬出部から搬出させる間に、後続の基板をクランプして印刷実行位置に配置することが可能となるため、先行基板の印刷後、後続基板の印刷をより速やかに開始することが可能となる。

以上説明したように、本発明のスクリーン印刷装置によれば、二つの基板支持テーブルを使った二つの印刷工程を並行して同時進行させることができるので、印刷を効率良く行うことができとともに、装置単独で二系統の上流側装置から基板を受け入れつつ印刷を施して一系統の下流側装置に搬出すること、あるいは一系統の上流側装置から基板を受け入れつつ印刷を施して二系統の下流側装置に搬出することを含め、上流側装置あるいは下流装置の少なくとも一方側が二系統となるスクリーン印刷装置単独で、上流装置からから基板を受け入れつつ印刷を施して下流側装置に搬出することが可能となるため、従来のような切り換え装置や振り分け装置等の付帯設備を伴うことなく、少なくとも一方側が二系統となる一系統の装置と二系統の装置との間に介設することが可能となる。

本発明に係るスクリーン印刷装置の第１実施形態を示す平面図である。スクリーン印刷装置を示す正面図である。スクリーン印刷装置に組み込まれる基板支持テーブル及びその駆動機構等を示す平面図（スクリーン印刷装置から印刷実行部等を除いた状態の平面図）である。基板支持テーブルの構成を示すスクリーン印刷装置の断面図（図３のIV−IV線断面図）である。図４におけるクランプユニットの要部拡大図である（（ａ）は基板の非クランプ状態、（ｂ）は基板クランプ状態）。スクリーン印刷装置に組み込まれる印刷実行部等を示す斜視図である。印刷実行部を示す平面図である。スクリーンマスクを保持するマスク保持機構を示す斜視図である。マスク保持機構に組み込まれる回転駆動機構およびＹ軸駆動機構を説明するための当該マスク保持機構の平面模式図である（（ａ）はマスク回転前、（ｂ）はマスク回転後の状態をそれぞれ示す）。制御装置による制御に基づくスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。制御装置による制御に基づくスクリーン印刷装置の印刷動作を説明する平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。本発明に係るスクリーン印刷装置の第２実施形態を示す平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。本発明に係るスクリーン印刷装置の第３実施形態を示す平面模式図である（（ａ）、（ｂ）は印刷動作を時系列的に示している）。本発明に係るスクリーン印刷装置の第４実施形態を示す平面模式図である。本発明に係るスクリーン印刷装置の第５実施形態を示す平面模式図である。本発明に係るスクリーン印刷装置の第６実施形態を示す平面模式図である。本発明に係るスクリーン印刷装置の第７実施形態を示す平面模式図である（（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は印刷動作を時系列的に示している）。

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について詳述する。

図１および図２は、本発明に係るスクリーン印刷装置の第１実施形態を示しており、図１は平面図で、図２は正面図でそれぞれスクリーン印刷装置を概略的に示している。

スクリーン印刷装置１は、二系統の上流側装置と一系統の下流側装置との間に介設された状態でプリント回路板（PCB）の製造ラインに組み込まれるものである。図示の例では、スクリーン印刷装置１（以下、印刷装置１と略す）は、並列に配置された２台のローダＬ１、Ｌ２（第１ローダＬ１、第２ローダＬ２という）と１台の部品実装装置Ｍとの間に介設されており、上流側の各ローダＬ１、Ｌ２から繰り出されてくる基板Ｗに印刷を実施して下流側の部品実装装置Ｍに送り出す。

なお、以下の説明では、製造ラインにおける基板Ｗの搬送方向をＸ軸方向、水平面上でＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、これらＸ軸、Ｙ軸の両方向に直交する方句（鉛直方向）をＺ軸方向として印刷装置１の説明を行う。

印刷装置１は、Ｘ軸方向における一方側の端部（基板搬送方向における上流側の端部）に２つの基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２（第１基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２という）を有する一方、他方側の端部（基板搬送方向における下流側の端部）に一つの基板搬出部Ｅｘを有しており、第１ローダＬ１から繰り出される基板Ｗを第１基板搬入部Ｅｎ１から装置内に、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを第２基板搬入部Ｅｎ２から装置内にそれぞれ搬入し、印刷後の基板Ｗを共通の基板搬出部Ｅｘから部品実装装置Ｍに搬出する。各基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２はＹ軸方向に所定間隔を隔てた位置に設けられており、基板搬出部ＥｘはＹ軸方向において各基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２の間の位置に設けられている。なお、同図中、符号ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭはそれぞれローダＬ１、Ｌ２および部品実装装置Ｍに装備されるベルトコンベヤ対であり、基板Ｗはこれらベルトコンベヤ対ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ（以下、コンベヤ対ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭと略す）に沿って搬送される。

印刷装置１は、その基台２上に、基板Ｗを支持するための２つの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと、これら基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗに個別に印刷を実施する２つの印刷実行部２０Ａ、２０Ｂとを備えている。

基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ（第１基板支持テーブル１０Ａ、第２基板支持テーブル１０Ｂという）は、前記基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から搬入される基板Ｗを受け取って印刷が可能となるように支持するとともに印刷後の当該基板Ｗを基板搬出部Ｅｘから送り出すものであって、これらのうち第１基板支持テーブル１０Ａは、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入されてくる基板Ｗを受け取って第１印刷実行部２０Ａにより印刷が可能となるように基板Ｗを支持し、他方、第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入されてくる基板Ｗを受け取って第２印刷実行部２０Ｂにより印刷が可能となるように基板Ｗを支持する。

各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、図３に示すように、Ｘ軸方向に細長の平面視略長方形の形状を有しており、テーブル駆動機構により個別にＹ軸方向に移動するように構成されている。テーブル駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、基台２上に設けられたＹ軸方向に延びる共通の固定レール３上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸５Ａ、５Ｂを介してモータ４Ａ、４Ｂにより駆動されるように構成されている。そして、後記制御装置によるモータ制御に基づき、第１基板支持テーブル１０Ａが、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入されてくる基板Ｗを受け取り可能な受取位置（図１、図３に示す位置；第１受取位置という）と基板Ｗを基板搬出部Ｅｘから搬出可能な位置（送出位置という）との間で移動する一方で、第２基板支持テーブル１０Ｂが、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入されてくる基板Ｗを受け取り可能な受取位置（図１、図３に示す位置；第２受取位置という）と前記送出位置との間で移動するようになっている。すなわち、第１基板支持テーブル１０Ａはその移動可動域内となる第１受取位置と送出位置との間を移動可能であり、第２基板支持テーブル１０Ｂはその移動可動域内となる第２受取位置と送出位置との間を移動可能である。送出位置は第１基板支持テーブル１０Ａと第２基板支持テーブル１０Ｂのそれぞれの移動可能域が互いに一部重なり合う共通域内に位置する。第１基板支持テーブル１０Ａが共通域内である送出位置に位置する場合、第２基板支持テーブル１０Ｂは移動可能域内において第１基板支持テーブル１０Ａを避けた第１受取位置に、第２基板支持テーブル１０Ｂが共通域内である送出位置に位置する場合、第１基板支持テーブル１０Ａは移動可能域内において第２基板支持テーブル１０Ｂを避けた第２受取位置に、それぞれ位置される。

各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、それぞれ搬入されてくる基板Ｗを受け取るとともに印刷後の基板Ｗを基板搬出部Ｅｘから送り出すためのコンベヤ対１２と、このコンベヤ対１２上の基板Ｗを印刷可能に支持固定するためのクランプユニット１４と、このクランプユニット１４をコンベヤ対１２に沿ってＸ軸方向に移動させるためのクランプユニット駆動機構と、後記スクリーンマスク２１を清掃するためのクリーニングユニット１８等とを備える。

上記コンベヤ対１２は、ベルトコンベヤからなり、モータ駆動により周回移動するベルト１２１により基板Ｗの両端部分を支持した状態で当該ベルトの移動に伴い基板ＷをＸ軸方向に搬送する（図５（ａ）参照）。コンベヤ対１２を構成する２つのコンベヤのうち一方側のコンベヤは支柱を介して基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に固定的に支持された固定コンベヤであり、他方側のコンベヤは上記一方側のコンベヤに対して接離可能（Ｙ軸方向に移動可能）となるように基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された上でモータ等のアクチュエータにより駆動される可動コンベヤである。つまり、このコンベヤ対１２は、基板Ｗのサイズに応じて間隔を変更可能な可変ストローク型コンベヤである。

なお、当実施形態では、装置前側（図１、図３の下側）に位置する第１基板支持テーブル１０Ａについては、コンベヤ対１２のうち後側が固定コンベヤ、前側が可動コンベヤとされることにより後側のコンベヤを基準として間隔変更が可能とされ、他方、装置後側に位置する第２基板支持テーブル１０Ｂは、コンベヤ対１２のうち前側が固定コンベヤ、後側が可動コンベヤとされることにより前側のコンベヤを基準として間隔変更が可能となっている。

上記クランプユニット１４は、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に設けられた固定レール１４１に沿ってＸ軸方向に移動可能に支持されるベース部材１４０を有し、このベース部材１４０上にコンベヤ対１２から基板Ｗを持ち上げて支持するバックアップ機構と、このバックアップ機構により持ち上げられた基板Ｗを固定するクランプ機構とを備える。

図４および図５（ａ）に示すように、バックアップ機構は、所定配列の複数本のバックアップピン１５１（以下、ピン１５１と略す）を備えかつリンク機構等を介して上記ベース部材１４０上に昇降可能に支持されるバックアップテーブル１５０（ＢＵテーブル１５０という）と駆動用のモータ１５２等とを含み、このモータ１５２の駆動により、ＢＵテーブル１５０が所定の退避位置とこの位置から上昇した作動位置とに変位するように構成されている。ここで、退避位置は、ピン１５１の先端位置がコンベヤ対１２（ベルト１２１）に支持された基板Ｗの下面より低くなる位置（図５（ａ）に示す位置）であり、作動位置は、同基板Ｗの下面よりピン１５１の先端位置が高くなる位置である。従って、このバックアップ機構は、図５（ｂ）に示すように、ＢＵテーブル１５０が作動位置に配置されたときに基板Ｗをコンベヤ対１２から持ち上げる。

クランプ機構は、コンベヤ対１２の上方位置に配置されてＸ軸方向に互いに平行に延びる一対のクランプ部材１６０と、これらクランプ部材１６０が組付けられるアーム部材１６１と、クランプ部材駆動用のアクチュエータ、例えば二方向型のエアシリンダ１６２とを含む。両クランプ部材１６０のうち一方側（図４、図５（ａ）では左側）のものは、アーム部材１６１に対してＹ軸方向に変位可能に組付けられており、前記エアシリンダ１６２の駆動により同図に示す退避位置と図５（ｂ）に示す前進位置とに変位する。つまり、クランプ機構は、同図（ｂ）に示すように、一方側のクランプ部材１６０が退避位置から前進位置に変位することにより、前記バックアップ機構により持ち上げられた基板Ｗを他方側のクランプ部材１６０と共にＹ軸方向に挟み込んでクランプする。

クランプ機構の各アーム部材１６１は、コンベヤ対１２を外側（Ｙ軸方向における外側）から抱え込むように形成された上で、それぞれ各コンベヤ対１２に組付けられたＸ軸方向の固定レール１２２にスライド可能に連結されている。このように各アーム部材１６１がコンベヤ対１２（固定レール１２２）に連結されて案内されるように構成されることで、後に説明するようにクランプユニット１４をＸ軸方向に移動させるようにしながらもコンベヤ対１２と各クランプ部材１６０とのＹ軸方向の相対位置が一定に保持される。

また、各アーム部材１６１のうち一方側、具体的にはコンベヤ対１２のうち固定コンベヤに連結される側のアーム部材１６１（図４では右側のアーム部材）はベース部材１４０に固定され、他方、可動コンベヤに連結される側のアーム部材１６１（図４では左側のアーム部材）はベース部材１４０上に設けられた固定レール１６４に沿ってＹ軸方向に変位可能に支持されている。従って、コンベヤ対１２の間隔が変更されると、可動コンベヤと一体に一方側のアーム部材１６１がＹ軸方向に移動し、これにより両クランプ部材１６０の間隔が自動調整される。つまり、コンベヤ対１２の間隔変更後に搬送される基板Ｗをクランプ可能な間隔に両クランプ部材１６０の間隔が自動的に変更される。なお、上記各クランプ部材１６０は、それらのうち可動コンベヤ側に組付けられるものが駆動されるように構成されており、この構成により基板Ｗは、固定コンベヤ側を基準としてクランプされるようになっている。従って、第１基板支持テーブル１０Ａのクランプユニット１４では、装置後側を基準に基板Ｗがクランプされ、第２基板支持テーブル１０Ｂのクランプユニット１４では、装置前側を基準として基板Ｗがクランプされる。

クランプユニット駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、クランプユニット１４の前記ベース部材１４０は、基台２上に設けられたＸ軸方向に延びる固定レール１４１上に移動自在に支持され、ねじ軸１４２を介してモータ１４４により駆動されるように構成されている。そして、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂにおいては、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２近傍の位置が基板待機位置、これよりも下流側の所定の位置が印刷実行位置とされ、クランプユニット１４が後記制御装置によるモータ制御に基づきこれら基板待機位置（図２の二点鎖線に示す位置）と印刷実行位置（図２の実線に示す位置）との間を移動する。

なお、図２、図４および図５では、第１基板支持テーブル１０Ａのクランプユニット１４のみ示しているが、基板Ｗを装置前側基準でクランプする点を除き、第２基板支持テーブル１０Ｂの構成も基本的には第１基板支持テーブル１０Ａと共通している。

クリーニングユニット１８は、詳細図を省略しているが、後述するスクリーンマスク２１の下面に摺接可能なパッドおよびこのパッドを介してスクリーンマスク２１を負圧吸引する吸引ノズル等を含むクリーニングヘッドを備えており、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢがＹ軸方向に移動する際に、このクリーニングヘッドをスクリーンマスク２１の下面に摺接させることで当該マスク下面やパターン孔内に溜まったペーストを除去する。クリーニングヘッドは、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに対して昇降可能に構成されており、清掃時のみスクリーンマスク２１に摺接可能な作動位置に配置され、それ以外はこの作動位置から下降した退避位置に配置されるように構成されている。

なお、図１〜図３中の符号１５は、前記コンベヤ対１２が有するストッパ機構であり、コンベヤ対１２上に受け入れられた基板Ｗを上記基板待機位置で待機させるためのものである。このストッパ機構１５は、例えばエアシリンダ等のアクチュエータにより進退駆動されるストッパ軸を有しており、コンベヤ対１２による基板Ｗの搬送路中に前記ストッパ軸を進出させて基板Ｗの移動を規制する作動状態と、搬送路外にストッパ軸を退避させて基板Ｗの移動を許容する停止状態とに切り換え可能に構成されている。

また、同図中の符号１６は、クランプユニット１４に搭載されるマスク認識カメラである。このマスク認識カメラ１６は、ＣＣＤエリアセンサ等を備えたカメラであり、後記スクリーンマスク２１と基板Ｗとの相対位置を認識するためにスクリーンマスク下面に記されるマークや記号等の標識を下側から撮像するものである。

なお、第１印刷実行部２０Ａは、基板を受け取るため第１受取位置に配置した時の第１基板支持テーブルの上方に設けられ、第２印刷実行部２０Ｂは、基板を受け取るため第２受取位置に配置した時の第２基板支持テーブルの上方に設けられる。

図６は、印刷装置１から印刷実行部２０Ａ、２０Ｂのみを抽出して示した斜視図である。各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂは、Ｙ軸方向に並設され、それぞれマスク２１を保持するためのマスク保持機構と、Ｘ軸方向に配設されるスキージユニット４０と、Ｙ軸方向に配設され、このスキージユニット４０をＹ軸方向に移動させるスキージ駆動機構等とを含む。印刷実行部２０Ａ、２０Ｂを構成する各機構等は、基台２上にＸ軸方向に所定間隔を隔てて設置され、第１基板搬入部Ｅｎ１から第１受取位置へ移動する基板Ｗ、第２基板搬入部Ｅｎ２から第２受取位置へ移動する基板Ｗ、および送出位置から基板搬出部Ｅｘへ移動する基板Ｗを跨ぐように、それぞれ門型に形成された一対の装置フレーム６に組付けられている。

各マスク保持機構は、図６〜図８に示すように、スクリーンマスク２１（以下、マスク２１と略す）が着脱可能に組付けられ矩形のマスク固定部材２２と、このマスク固定部材２２を昇降させるための昇降駆動機構と、同固定部材２２を昇降駆動機構ごとＺ軸回りに回転させる回転駆動機構と、同固定部材２２を昇降駆動機構ごとＹ軸方向に移動させるためのＹ軸駆動機構とを含む。

マスク固定部材２２は、図７および図８に示すように、中央に印刷用の開口部２２ａが形成された矩形形状を有しており、予め枠体に組付けられたマスク２１が当該枠体と共に前記開口部２２ａを塞ぐようにこのマスク固定部材２２に固定されるようになっている。

マスク固定部材２２の上記各駆動機構は次のように構成されている。

各装置フレーム６には、Ｙ軸方向に延びる固定レール２５が設けられ、マスク固定部材２２を昇降可能に支持するためのマスク支持部材２４がこれら固定レール２５に移動自在に支持されている。具体的には、マスク支持部材２４は、固定レール２５に沿って延びる一対のＹ軸プレート部２４ａとそれらの一端部同士を繋ぐＸ軸プレート部２４ｂとからなる平面視コ字型の形状を有しており、前記各固定レール２５に装着されたスライダ２６ａ〜２６ｃに対して各Ｙ軸プレート部２４ａが連結されることによりＹ軸方向に移動可能となっている。

図８に示すように、マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａには、Ｚ軸方向に延びる一対のガイド軸２５１が貫通しており、これらガイド軸２５１の下端部に前記マスク固定部材２２が固定されるとともに上端部に連結部材２５２が固定されている。マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａには、両ガイド軸２５１の間の位置に一対のプーリ一体型ナット２５６が回転自在かつＺ軸方向固定に組付けられており、これらプーリ一体型ナット２５６に対してそれぞれねじ軸２５４がＺ軸方向に螺合挿入されるとともに当該ねじ軸２５４の両端が前記マスク固定部材２２および連結部材２５２に固定支持されている。また、前記マスク支持部材２４にモータ２６０が固定され、このモータ２６０の出力軸に図外の駆動プーリが装着され、この駆動プーリと、マスク支持部材２４に組付けられた複数のアイドルプーリ２５７と、上記プーリ一体型ナット２５６とに亘って駆動ベルト２５８が装着される。

この構成により、モータ２６０が駆動すると、その回転が駆動ベルト２５８を介して前記プーリ一体型ナット２５６に伝動されて当該プーリ一体型ナット２５６が回転し、この回転に伴いねじ軸２５４がその軸方向に移動する結果、図８中に矢印で示すように、当該ねじ軸２５４に固定された前記マスク固定部材２２がガイド軸２５１によって案内されつつ上下方向（Ｚ軸方向）に移動する。そして、印刷時には、後記制御装置によるモータ２６０の制御により、マスク２１が、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗ、詳しくはコンベヤ対１２から持ち上げられた状態で上記クランプユニット１４によりクランプされた状態の基板Ｗに重なる重装高さ位置（図８中の二点鎖線に示す位置）とこの高さ位置よりも上方の退避位置（同図中の実線に示す位置）とに変位するようになっている。

マスク支持部材２４は、上記の通り各固定レール２５に装着されたスライダ２６ａ〜２６ｃに連結されているが、詳しくは、特定位置を支点としてマスク支持部材２４のＺ軸回りの変位が許容されるようにリンク部材２８ａ〜２８ｃを介して各Ｙ軸プレート部２４ａがスライダ２６ａ〜２６ｃに連結されている。図９（ａ）は、その構造の理解を容易にするためにマスク支持部材２４等を模式的に示した図である。この図に示すように、マスク支持部材２４は、一方側（同図では左側）のＹ軸プレート部２４ａにおける中間位置がピン２９を介してスライダ２６ｂに連結された上で、この一方側のＹ軸プレート部２４ａにおけるＹ軸方向両端の位置とスライダ２６ａ、２６ｃとがそれぞれ両端ピン連結のリンク部材２８ａ、２８ｃを介して連結されている。また、マスク支持部材２４の他方側のＹ軸プレート部２４ａにおけるＹ軸方向両端および中間の三箇所とスライダ２６ａ〜２６ｃとが同様にそれぞれ両端ピン連結のリンク部材２８ａ〜２８ｃを介して連結されている。

そして、マスク支持部材２４の各Ｙ軸プレート部２４ａにそれぞれ連結された３つのスライダ２６ａ〜２６ｃのうち真ん中のスライダ２６ｂにそれぞれナット部材３３が固定され、これらナット部材３３に対してＹ軸方向に延びるねじ軸３２が螺合挿入されるとともに当該ねじ軸３２が装置フレーム６に固定されたモータ３０の出力軸と一体化されている。

この構成により、各モータ３０が同方向に等速度で駆動されるとマスク支持部材２４がそのままの状態を保ちつつＹ軸方向に移動する一方で、例えば図９（ｂ）に示すように何れか一方のモータ３０だけが駆動されると、上記ピン２９を支点としてマスク支持部材２４がＺ軸回りに回動する。

上記印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにおいてそれぞれ、上記スキージユニット４０は、上記マスク保持機構の上方に配置されている。このスキージユニット４０は、クリーム半田、導電ペースト等のペーストをマスク２１上でローリング（混練）しながら拡張するもので、単一のスキージ４２と、マスク２１に対するスキージ４２の傾き方向および傾き角度を変更するための図外のスキージ角度可変機構と、前記スキージ４２をこれがマスク２１に摺接する印刷作業高さ位置とこの位置よりも上方の退避位置（図２、図６に示す位置）との間で昇降させる図外のスキージ昇降機構等とを含む。

スキージユニット４０をＹ軸方向に駆動するスキージ駆動機構は、ねじ送り機構により構成されている。すなわち、図６および図７に示すように、各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの各スキージユニット４０は、装置フレーム６に設けられたＹ軸方向に延びる共通の固定レール４４上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸４７Ａ、４７Ｂを介してモータ４６Ａ、４６Ｂにより互いに独立して駆動されるように構成されている。

なお、図６中において符号５０は基板認識カメラであり、上記各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に支持される基板Ｗと印刷実行部２０Ａ、２０Ｂとの相対位置を認識するために基板Ｗのマークや記号等の標識を上側から撮像するものである。この基板認識カメラ５０は、上記マスク認識カメラ１６と同様にＣＣＤエリアセンサ等を備えたカメラであり、装置フレーム６のうち基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２側に位置するものの各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂに対応する位置に固定されている。

この印刷装置１は、ＣＰＵ等を構成要素とする図外の制御装置（制御手段）を備えており、前記モータ４Ａ、４Ｂ等のアクチュエータ類およびマスク認識カメラ１６等のカメラ類は全てこの制御装置に電気的に接続されている。従って、前記基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂおよび印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる一連の印刷処理動作、つまり基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から搬入されてくる基板Ｗの受け取り、基板Ｗへの印刷および基板搬出部Ｅｘからの基板Ｗの搬出の一連の動作はこの制御装置により統括的に制御される。

次に、この制御装置の制御に基づく印刷装置１の印刷動作について図１０および図１１を参照しつつ説明する。

図１０（ａ）は、印刷装置１において連続的に行われている印刷動作の特定時点の状態を模式的に示しており、具体的には、第２基板支持テーブル１０Ｂに支持された基板Ｗの印刷終了直後の状態を示している。この時点の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂおよび印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの状態は以下の通りである。

第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｎ２にコンベヤ対１２が対応する第２受取位置に配置されている。この第２基板支持テーブル１０Ｂにおいて、クランプユニット１４は基板Ｗをクランプした状態で印刷実行位置に配置されており、基板待機位置には後続の基板Ｗが待機している。第２印刷実行部２０Ｂは、所定の待機状態、すなわちマスク支持部材２４が退避位置に配置されることにより基板Ｗからマスク２１が離版され、かつスキージ４２がマスク一端上方の待機位置に配置された状態とされている。

一方、第１基板支持テーブル１０Ａは、基板搬出部Ｅｘにコンベヤ対１２が対応する前記送出位置に配置されている。この第１基板支持テーブル１０Ａは、先に印刷が行われた基板Ｗを基板搬出部Ｅｘから搬出した直後であり、クランプユニット１４は基板待機位置に配置されて後続の基板Ｗをクランプした状態にある。ここで、基板Ｗのクランプは、クランプユニット１４が基板待機位置に移動した後、図５に示すように、ＢＵテーブル１５０により基板Ｗをコンベヤ対１２から持ち上げ、さらに一対の前記クランプ部材１６０によりＹ軸方向両側から基板Ｗを挟持することにより行われる。

このような図１０（ａ）に示す状態から、まず、第１基板支持テーブル１０Ａが第２受取位置、つまりコンベヤ対１２が第１基板搬入部Ｅｎ１に対応する位置に向かって移動する。この際、クランプユニット１４が移動することにより基板待機位置から印刷実行位置に基板Ｗを搬送するとともに、この搬送途中で、第１印刷実行部２０Ａに対応する位置の前記基板認識カメラ５０により基板Ｗ上の複数の標識が撮像されることによりクランプユニット１４上の基板Ｗの位置が画像認識される。また、クランプユニット１４に搭載される前記マスク認識カメラ１６により第１印刷実行部２０Ａのマスク２１の複数の標識が撮像されることによりマスク２１とクランプユニット１４との相対位置が画像認識され、これらの認識結果に基づき、印刷実行位置におけるマスク２１と基板Ｗとの位置ずれが求められるとともにこの位置ずれに応じたＸ軸、Ｙ軸およびＲ軸（Ｚ軸回り）方向の補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）が求められる。このような認識処理および補正値の演算は、基板認識カメラ５０およびマスク認識カメラ１６による撮像画像に基づき上記制御装置により行われる。

また、この第１基板支持テーブル１０Ａの移動に追従するように第２基板支持テーブル１０Ｂが第１受取位置から送出位置に移動する。

これにより、図１０（ｂ）に示すように、第１基板支持テーブル１０Ａが第１受取位置に、第２基板支持テーブル１０Ｂが送出位置にそれぞれ配置される。

第１基板支持テーブル１０Ａが第１受取位置に配置されると、第１印刷実行部２０Ａにより基板Ｗへの印刷が実行されるとともに、その間に、第２基板搬入部Ｅｎ２から後続の基板Ｗが第１基板支持テーブル１０Ａに受け入れられて基板待機位置に配置される。この際、印刷実行位置の基板Ｗはコンベヤ対１２から持ち上げられた状態でクランプユニット１４によりクランプされているためコンベヤ対１２の駆動により当該後続基板Ｗの受け入れに伴い位置ずれを起こすことはない。

第１印刷実行部２０Ａによる基板Ｗの印刷では、まず、マスク支持部材２４が退避位置から重装高さ位置に下降してマスク２１が基板Ｗに重装される。この際、第１基板支持テーブル１０Ａが第１受取位置に配置された状態で、上記補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）に基づきモータ１４４により基板ＡのX軸方向の補正値ΔＸ分の位置補正が、２つのモータ３０によりマスク２１のＹ軸方向の補正値ΔＹ分の位置補正とＲ軸方向の補正値ΔＲ分の位置補正が、それぞれ実施されることによりマスク２１が基板Ｗに対して適正に重装される。

基板Ｗへのマスク２１の重装が完了すると、スキージ４２が退避位置から印刷作業高さ位置に下降移動した後、スキージ４２を含むスキージユニット４０全体がＹ軸方向に移動することによって基板Ｗに印刷が実施される。

このように第１基板支持テーブル１０Ａの基板Ｗに対して印刷が行われている間、第２基板支持テーブル１０Ｂでは、クランプユニット１４による基板Ｗのクランプ状態が解除され、図１１（ａ）に示すように、印刷後の基板Ｗが基板搬出部Ｅｘから搬出されるとともに、クランプユニット１４が基板待機位置に移動して待機中の後続基板Ｗをクランプする。この際、印刷後の基板Ｗを搬出するためにコンベヤ対１２が駆動されるが、基板待機位置で待機中の後続基板Ｗはストッパ機構１５の作動により搬送停止状態にあり、これによりクランプユニット１４による当該基板Ｗのクランプが可能となる。

第１基板支持テーブル１０Ａでの基板Ｗの印刷が終了すると、第１印刷実行部２０Ａが待機状態にリセットされる。すなわち、マスク支持部材２４が退避位置に配置されることにより基板Ｗからマスク２１が離版され、かつスキージ４２がＹ軸方向移動先のマスク一端において上方の待機位置へ上昇移動された後、停止保持された状態にされ、その後、第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置に移動する。

その一方で、第２基板支持テーブル１０Ｂが第２受取位置に移動する。この際、クランプユニット１４の移動に伴い基板Ｗが基板待機位置から印刷実行位置に搬送されるとともに、この搬送途中に、第２印刷実行部２０Ｂに対応する位置の基板認識カメラ５０により基板Ｗ上の複数の標識が撮像され、又マスク認識カメラ１６により第２印刷実行部２０Ｂのマスク２１の標識が撮像されることによりマスク２１と基板Ｗとの相対位置が画像認識され、これらの認識結果に基づき上記補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）が求められる。

こうして、図１１（ｂ）に示すように第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置に、第２基板支持テーブル１０Ｂが第２受取位置にそれぞれ配置されると、上記補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）に基づく位置補正が実施され、マスク２１が基板Ｗに対して適正に重装され、第２基板支持テーブル１０Ｂの印刷実行位置に配置された基板Ｗに対して第２印刷実行部２０Ｂにより印刷が実施されるとともに同図に示すように後続の基板Ｗが当該第２基板支持テーブル１０Ｂに受け入れられる。他方、第１基板支持テーブル１０Ａについては、クランプユニット１４による基板Ｗのクランプが解除されて印刷後の当該基板Ｗが基板搬出部Ｅｘから搬出される。

このようにして以後、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入される基板Ｗが第１基板支持テーブル１０Ａに、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入される基板Ｗが第２基板支持テーブル１０Ｂにそれぞれ受け入れ、各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにおいて基板Ｗの印刷が交互に行われながら当該印刷後の基板Ｗが共通の基板搬出部Ｅｘから部品実装装置Ｍに搬出される。

以上のように、この印刷装置１によれば、第１基板支持テーブル１０Ａを使った、主に、基板Ｗの待機位置への搬入、基板クランプ、基板Ｗの待機位置から印刷位置への移動、印刷、基板クランプ解除、基板搬出、および基板搬出と並行した基板クランプ装置の印刷位置から待機位置への移動からなる印刷工程と、第２基板支持テーブル１０Ｂを使った、主に、基板Ｗの待機位置への搬入、基板クランプ、基板Ｗの待機位置から印刷位置への移動、印刷、基板クランプ解除、基板搬出、および基板搬出と並行した基板クランプ装置の印刷位置から待機位置への移動からなる印刷工程とを、実行のタイミングはずらしながらも並行して同時進行させることができるので、基板Ｗの印刷を効率良く行うことができる。

また、従来のような搬送路の切り換え装置等の付帯設備は不要であり、印刷装置単独で二系統の上流側装置、つまり２台のローダＬ１、Ｌ２から基板Ｗを受け入れつつ印刷を施して一系統の下流側装置、つまり１台の部品実装装置Ｍに搬出することができる。そのため、二系統の上流側装置と一系統の下流側装置との間に印刷装置１を介設しながらも製造ラインをコンパクトに構成することができる。

その上、この印刷装置１では、印刷実行部として第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入される基板Ｗに印刷を行う第１印刷実行部２０Ａと第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入される基板Ｗに印刷を実行する第２印刷実行部２０Ｂとを備えているため、２台のローダＬ１、Ｌ２からそれぞれ繰り出されてくる基板Ｗに対して互いに異なるパターンの印刷を行いながら部品実装装置Ｍに送り出すことができるという利点がある。

また、この印刷装置１では、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂにおいてクランプユニット１４が印刷実行位置と基板待機位置とに移動可能に設けられており、上記の通り、印刷終了後、先行基板Ｗ（印刷が実施された基板Ｗ）のクランプが解除されて当該基板Ｗが搬出されている最中にクランプユニット１４が基板待機位置に移動して待機中の後続基板Ｗをクランプし、送出位置から受取位置（第１受取位置、第２受取位置）へ基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが移動する間に当該基板Ｗが印刷実行位置に配置されるように構成されている。つまり、先行基板Ｗの搬出後、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが受取位置（第１受取位置、第２受取位置）にリセットされるのとほぼ同時に印刷実行部２０Ａ、２０Ｂによる後続基板Ｗの印刷が可能となる。従って、先行基板Ｗの搬出後、後続基板Ｗの印刷を可及的速やかに実施することが可能であり、これにより２台のローダＬ１、Ｌ２からそれぞれ繰り出されてくる基板Ｗに対して、同一パターンの印刷をする場合においても互いに異なるパターンの印刷をする場合においても、基板Ｗの印刷を効率良く行うことができるという利点もある。

次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第２実施形態について図１２を参照しつつ説明する。

図１２（ａ）は第２実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ａ（以下、印刷装置１Ａと略す）を平面図で模式的に示している。この第２実施形態に係る印刷装置１Ａは、次の点で第１実施形態の印刷装置１と構成が相違している。

まず、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、後続の基板Ｗを待機させておくためのスペース（基板待機位置）を有しておらず、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに受け入れられる基板Ｗは、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの下方位置（印刷実行位置）にそのまま搬送され、この位置でクランプユニット１４によりクランプされる。なお、クランプユニット１４は、第１実施形態と同様にＸ軸方向に移動可能であるが、その可動範囲は、マスク重装時にマスク２１と基板Ｗとの相対位置を補正できる範囲に限定される。

また、図示を省略するが、マスク認識カメラ１６および基板認識カメラ５０はモータ等を駆動源とする移動機構に連結され、マスク２１と基板Ｗとの間に介在する位置（撮像位置）と、マスク２１と基板Ｗとの間から外側に退避した位置（退避位置）とに亘って移動可能とされている。つまり、この印刷装置１Ａでは、基板Ｗのクランプ後、マスク２１の重装前に、マスク認識カメラ１６および基板認識カメラ５０がマスク２１と当該基板Ｗとの間に介在してそれぞれ標識を撮像することによりマスク２１と基板Ｗとの相対位置を認識し、その認識結果に基づいてマスク重装時の上記補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）を求めるように構成されている。

この印刷装置１Ａでは、マスク２１は基台２に固定される一方、第１基板支持テーブル１０Ａの移動基台に対してクランプユニット１４がＸ軸方向、Ｚ軸方向およびＺ軸回りのＲ軸方向にそれぞれ移動可能に設けられており、第１基板搬入部Ｅｎ１から第１基板支持テーブル１０Ａに基板Ｗが受け入れられ（図１２（ａ））、当該基板Ｗがクランプユニット１４によりクランプされた後、各モータによりそれぞれ駆動されて、Ｚ軸方向に上昇しつつ上記補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）に基づきクランプユニット１４がＸ軸方向、Ｒ軸方向、第１基板支持テーブル１０Ａの移動基台がＹ軸方向にそれぞれ補正値分移動した後、さらにＺ軸方向に上昇し当該基板Ｗが下方からマスク２１に重装されて印刷が行われる（図１２（ｂ））。印刷終了後は、各モータによりそれぞれ駆動されて、版離れのためクランプユニット１４がＺ軸方向に下降しつつ、Ｘ軸方向に−ΔＸ、Ｒ軸方向に−ΔＲ移動する。その後第１基板支持テーブル１０Ａの移動基台がＹ軸方向に移動することで、第１基板支持テーブル１０Ａが送出位置に移動し、これにより印刷後の基板Ｗが基板搬出部Ｅｘから搬出される（図１２（ｃ））。

そして、このような第１基板支持テーブル１０Ａにおける基板Ｗの受入れ、基板Ｗの印刷および基板Ｗの搬出動作と、第２基板支持テーブル１０Ｂにおける基板Ｗの受入れ（図１２（ａ））、基板Ｗの印刷（図１２（ａ））および基板Ｗの搬出（図１２（ｂ））とが一定の時間差をもって実行されることにより、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入される基板Ｗを第１基板支持テーブル１０Ａに、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入される基板Ｗを第２基板支持テーブル１０Ｂにそれぞれ受け入れつつ、各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにおいて基板Ｗの印刷が交互に行われて共通の基板搬出部Ｅｘから部品実装装置Ｍに搬出される。

すなわち、第１基板支持テーブル１０Ａは移動可動域内となる第１受取位置と送出位置の間を移動可能であり、第２基板支持テーブル１０Ｂは移動可動域内となる第２受取位置と送出位置の間を移動可能である。送出位置は第１基板支持テーブル１０Ａと第２基板支持テーブル１０Ｂのそれぞれの移動可能域が互いに重なり合う共通域内に位置する。第１基板支持テーブル１０Ａが共通領域である送出位置に位置する場合、第２基板支持テーブル１０Ｂは移動可能域内において第１基板支持テーブル１０Ａを避けた第１受取位置に、第２基板支持テーブル１０Ｂが共通領域である送出位置に位置する場合、第１基板支持テーブル１０Ａは移動可能域内において第２基板支持テーブル１０Ｂを避けた第２受取位置に、それぞれ位置される。

このような第２実施形態の印刷装置１Ａにおいても、第１基板支持テーブル１０Ａを使った、主に、基板搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程と、第２基板支持テーブル１０Ｂを使った、主に、基板搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程とを、実行のタイミングはずらしながらも並行して同時進行させることができるので、基板Ｗの印刷を効率良く行うことができる。

また、印刷装置１Ａ単独で２台のローダＬ１、Ｌ２から基板Ｗを受け入れつつ印刷を実施して１台の部品実装装置Ｍに搬出することができる。そのため、第１実施形態の印刷装置１と同様に製造ラインをコンパクトに構成する上で有用なものとなる。特に、この第２実施形態の印刷装置１Ａでは、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが基板Ｗを待機させておくためのスペース（基板待機位置）を有していない分、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢがＸ軸方向にコンパクトになる。そのため、製造ラインを基板搬送方向（Ｘ軸方向）にコンパクト化できるという利点がある。

次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第３実施形態について図１３を参照しつつ説明する。

図１３（ａ）は第３実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ｂ（以下、印刷装置１Ｂと略す）を平面図で模式的に示している。この第３実施形態に係る印刷装置１Ｂは、上述した第２実施形態の印刷装置１Ａ（図１２参照）の変形であり、以下の点で第２実施形態の印刷装置１Ａと構成が相違する。

まず、印刷実行部として、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上の基板Ｗに印刷を実施する共通の印刷実行部２０が設けられており、この印刷実行部２０が、基板Ｗを搬出するための上記送出位置の上方位置に配置されている。また、基板認識カメラ５０は、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に基板Ｗを受け入れるための上記第１、第２受取位置の上方位置にそれぞれ固定的に配置されており、クランプユニット１４によりクランプされた基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上の基板Ｗのそれぞれ複数箇所の標識を第１、第２受取位置において撮像するようになっている。さらに、マスク認識カメラ１６は、第１の実施形態と同様にクランプユニット１４に固定的に設けられており、基板Ｗに印刷を実施すべく基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが第１、第２受取位置から送出位置に移動する途中で、マスク２１の複数箇所の標識を撮像するように構成されている。

この印刷装置１Ｂでは、第１基板搬入部Ｅｎ１から第１基板支持テーブル１０Ａに基板Ｗが受け入れられ（図１３（ａ））、クランプユニット１４により当該基板Ｗがクランプされた後、第１基板支持テーブル１０Ａが第１受取位置から送出位置に移動することにより当該基板Ｗが印刷実行部２０の下方に配置される。そして、この状態で基板Ｗ側において位置補正が行われた後基板Ｗがマスク２１に重装されて印刷が行われ、印刷終了後は、基板Ｗのクランプが解除された後、基板Ｗがマスク２１から離れる版離れがされ、コンベヤ対１２の駆動に基板Ｗがそのまま第１基板支持テーブル１０Ａから基板搬出部Ｅｘを介して搬出される。

そして、このような第１基板支持テーブル１０Ａにおける基板Ｗの受入れ、基板Ｗの印刷および基板Ｗの搬出動作と、第２基板支持テーブル１０Ｂにおける基板Ｗの受入れ（図１３（ｂ））、基板Ｗの印刷（図１３（ａ））および基板Ｗの搬出とが一定の時間差をもって実行されることにより、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入される基板Ｗが第１基板支持テーブル１０Ａに、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入される基板Ｗが第２基板支持テーブル１０Ｂにそれぞれ受け入れつつ、印刷実行部２０において基板Ｗの印刷が交互に行われて共通の基板搬出部Ｅｘから部品実装装置Ｍに搬出される。

すなわち、第１基板支持テーブル１０Ａは移動可動域内となる第１受取位置と送出位置の間を移動可能であり、第２基板支持テーブル１０Ｂは移動可動域内となる第２受取位置と送出位置の間を移動可能である。送出位置は印刷実行部を兼ね、第１基板支持テーブル１０Ａと第２基板支持テーブル１０Ｂのそれぞれの移動可能域が互いに重なり合う共通域内に位置する。第１基板支持テーブル１０Ａが共通域内である送出位置に位置する場合、第２基板支持テーブル１０Ｂは移動可能域内において第１基板支持テーブル１０Ａを避けた第１受取位置に、第２基板支持テーブル１０Ｂが共通域内である送出位置に位置する場合、第１基板支持テーブル１０Ａは移動可能域内において第２基板支持テーブル１０Ｂを避けた第２受取位置に、それぞれ位置される。

このような第３実施形態の印刷装置１Ｂによれば、第１基板支持テーブル１０Ａを使った、主に、基板搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程と、第２基板支持テーブル１０Ｂを使った、主に、基板搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程とを、実行のタイミングはずらしながらも並行して同時進行させることができるので、基板Ｗの印刷を効率良く行うことができる。従って、各ローダＬ１、Ｌ２からそれぞれ繰り出されてくる基板Ｗに共通パターンの印刷を実施する場合に有用であり、一つの印刷実行部２０を備えた簡素な構成でもって効率的に印刷を実施することができる。

次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第４実施形態について図１４を参照しつつ説明する。

図１４（ａ）は第４実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ｃ（以下、印刷装置１Ａと略す）を平面図で模式的に示している。この第４実施形態に係る印刷装置１Ｃは、一系統の上流側装置と二系統の下流側装置との間に介設されるものであり、以下の点で第１実施形態の印刷装置１と構成が相違しており、それ以外の構造は第１実施形態の印刷装置１と基本的に共通している。

この印刷装置１Ｃは、一つの基板搬入部Ｅｎと二つの基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２（第１基板搬出部Ｅｘ１、第２基板搬出部Ｅｘ２）とを有している。図示の例では、印刷装置１Ｃは、１台のローダＬと２台の部品実装装置Ｍ１、Ｍ２（第１部品実装装置Ｍ１、第２部品実装装置Ｍ２）との間に介設されており、ローダＬから繰り出される基板Ｗを基板搬入部Ｅｎより装置内に搬入し、印刷後の基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１から第１部品実装装置Ｍ１に、又は第２基板搬出部Ｅｘ２から第２部品実装装置Ｍ２に搬出する。各基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２はＹ軸方向に所定間隔を隔てた位置に設けられており、基板搬入部ＥｎはＹ軸方向において各基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２の間の位置に設けられている。なお、同図中、符号ＣＬ、ＣＭ１、ＣＭ２はそれぞれローダＬおよび部品実装装置Ｍ１、Ｍ２に装備されるベルトコンベヤ対である。

また、この印刷装置１Ｃは、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上の基板Ｗに印刷を実行する共通の印刷実行部２０と同基板Ｗの標識を撮像する共通の基板認識カメラ５０とを備えている。ここで、第４実施形態の印刷装置１Ｃでは、第１基板支持テーブル１０Ａは、基板搬入部Ｅｎから搬入されてくる基板Ｗを受け取り可能な受取位置と印刷後の基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘから搬出可能な位置（第１送出位置という）との間を移動し、他方、第２基板支持テーブル１０Ｂは、上記受取位置と印刷後の基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘから搬出可能な位置（第２送出位置という）との間を移動するように構成されており、上記印刷実行部２０および基板認識カメラ５０は、上記受取位置に配置された状態における当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの上方位置に設けられている。

すなわち、第１基板支持テーブル１０Ａは移動可動域内となる受取位置と第１送出位置の間を移動可能であり、第２基板支持テーブル１０Ｂは移動可動域内となる受取位置と第２送出位置の間を移動可能である。受取位置は印刷実行部を兼ね、第１基板支持テーブル１０Ａと第２基板支持テーブル１０Ｂのそれぞれの移動可能域が互いに重なり合う共通域内に位置する。第１基板支持テーブル１０Ａが共通域内である受取位置に位置する場合、第２基板支持テーブル１０Ｂは移動可能域内において第１基板支持テーブル１０Ａを避けた第１送出位置に、第２基板支持テーブル１０Ｂが共通域内である受取位置に位置する場合、第１基板支持テーブル１０Ａは移動可能域内において第２基板支持テーブル１０Ｂを避けた第２送出位置に、それぞれ位置される。

この印刷装置１Ｃでは、図１４（ａ）に示すように、第１基板支持テーブル１０Ａが受取位置に配置され、基板Ｗをクランプしたクランプユニット１４が印刷実行位置に配置されることにより当該基板Ｗに対して印刷実行部２０により印刷が実施されるとともに、この印刷の間に、ローダＬから繰り出される後続の基板Ｗが基板搬入部Ｅｎから第１基板支持テーブル１０Ａ上に受け入れて基板待機位置に待機させられる。

第１基板支持テーブル１０Ａ上の基板Ｗの印刷が終了すると、図１４（ｂ）に示すように、第１基板支持テーブル１０Ａが受取位置から第１送出位置に移動する。そして、図１４（ｃ）に示すように、基板Ｗのクランプが解除されてコンベヤ対１２の駆動により印刷後の基板Ｗが第１基板搬出部Ｅｘ１から第１部品実装装置Ｍ１に搬出されるとともに、クランプユニット１４が基板待機位置に移動して後続の基板Ｗをクランプする。その後、第１基板支持テーブル１０Ａが第１送出位置から受取位置に移動するとともにその間に当該クランプユニット１４が基板待機位置から印刷実行位置に移動することにより、当該基板Ｗの印刷準備が行われる。

そして、第２基板支持テーブル１０Ｂにおいては、このような第１基板支持テーブル１０Ａの受取位置における基板Ｗの印刷および後続基板Ｗの受入れと並行して、第２送出位置における印刷後の基板Ｗの第２基板搬出部Ｅｘ２から第２部品実装装置Ｍ２への搬出、およびクランプユニット１４が基板待機位置に移動しての後続の基板Ｗのクランプが実行され、第１基板支持テーブル１０Ａの受取位置から第１送出位置への移動に並行して、クランプユニット１４の基板待機位置から印刷実行位置への移動および第２基板支持テーブル１０Ｂの受取位置への移動が実施される。第１基板支持テーブル１０Ａの第１送出位置における印刷後の基板Ｗの第１基板搬出部Ｅｘ１から第１部品実装装置Ｍ１への搬出、およびクランプユニット１４が基板待機位置に移動しての後続の基板Ｗのクランプに並行し、第２基板支持テーブル１０Ｂにおいては、受取位置における基板Ｗの印刷および後続基板Ｗの受入れが実施される。

このように、第１基板支持テーブル１０Ａにおける基板Ｗの印刷、後続基板Ｗの受入れ、および基板Ｗの第１基板搬出部Ｅｘ１からの搬出動作と、第２基板支持テーブル１０Ｂに支持された基板Ｗの印刷、後続基板Ｗの受入れ、および基板Ｗの第２基板搬出部Ｅｘ２からの搬出動作とが一定の時間差をもって実行されることにより、共通の基板搬入部Ｅｎから搬入される基板Ｗが基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに受け入れつつ印刷実行部２０において印刷が交互に行われて基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２からそれぞれ部品実装装置Ｍ１、Ｍ２に搬出される。

このような第４実施形態の印刷装置１Ｃによれば、第１基板支持テーブル１０Ａを使った、主に、基板Ｗの待機位置への搬入、基板クランプ、基板Ｗの待機位置から印刷位置への移動、印刷、基板クランプ解除、基板搬出、および基板搬出と並行した基板クランプ装置の印刷位置から待機位置への移動からなる印刷工程と、第２基板支持テーブル１０Ｂを使った、主に、基板Ｗの待機位置への搬入、基板クランプ、基板Ｗの待機位置から印刷位置への移動、印刷、基板クランプ解除、基板搬出、および基板搬出と並行した基板クランプ装置の印刷位置から待機位置への移動からなる印刷工程とを、実行のタイミングはずらしながらも並行して同時進行させることができるので、基板Ｗの印刷を効率良く行うことができる。

また、従来のような基板Ｗの振り分け装置等の付帯設備は不要であり、印刷装置単独で一系統の上流側装置、つまり１台のローダＬから基板Ｗを受け入れつつ印刷を施して二系統の下流側装置、つまり２台の部品実装装置Ｍ１、Ｍ２に搬出することができる。そのため、一系統の上流側装置と二系統の下流側装置との間に印刷装置１Ｃを介設しながらも製造ラインをコンパクトに構成できる。特に、この第４実施形態の印刷装置１Ｃは、１台のローダＬ１からそれぞれ繰り出されてくる基板Ｗに共通パターンの印刷を実施して各部品実装装置Ｍ１、Ｍ２に送り出す場合に有用であり、一つの印刷実行部２０で効率的に印刷を実施することができる。

また、この印刷装置１Ｃも第１実施形態の印刷装置１と同様に、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上でクランプユニット１４が印刷実行位置と基板待機位置とに移動可能に設けられており、上記の通り、印刷終了後、先行基板Ｗ（印刷が実施された基板Ｗ）の搬出最中にクランプユニット１４が基板待機位置に移動して待機中の後続基板Ｗをクランプし、受取位置に基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂがリセットされるまでの間に当該基板Ｗが印刷実行位置に配置されるように構成されている。つまり、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが受取位置にリセットされるのとほぼ同時に印刷実行部２０による印刷が可能である。従って、先行基板Ｗの搬出後、後続基板Ｗの印刷を可及的速やかに実施することが可能であり、これにより基板Ｗの印刷を効率良く行うことができるという利点もある。

次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第５実施形態について図１５を参照しつつ説明する。

図１５（ａ）は第５実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ｄ（以下、印刷装置１Ｄと略す）を平面図で模式的に示している。この第５実施形態に係る印刷装置１Ｄは、第４実施形態の印刷装置１Ｃ（図１４参照）の変形であり、以下の点で第４実施形態の印刷装置１Ｃと構成が相違している。

まず、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、後続の基板Ｗを待機させておくスペース（基板待機位置）を有しておらず、基板搬入部Ｅｎから基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに受け入れられる基板Ｗは、そのまま受取位置、すなわち印刷実行部２０の下方位置（印刷実行位置）に搬送され、この位置でクランプユニット１４によりクランプされる。なお、クランプユニット１４は、Ｘ軸方向に移動可能であるが、その可動範囲は、マスク重装時にマスク２１と基板Ｗとの相対位置を補正できる範囲に限定される。

この印刷装置１Ｄでは、マスク２１は基台２に固定される一方、第１基板支持テーブル１０Ａ、第２基板支持テーブル１０Ｂの移動基台に対して、それぞれのクランプユニット１４がＸ軸方向、Ｚ軸方向およびＺ軸回りのＲ方向にそれぞれ移動駆動可能に設けられており、基板搬入部Ｅｎから第１基板支持テーブル１０Ａ、第２基板支持テーブル１０Ｂに基板Ｗが受け入れられ、当該基板Ｗがクランプユニット１４によりクランプされた後、Ｚ軸方向に上昇しつつ上記補正値（ΔＸ、ΔＹ、ΔＲ）に基づきクランプユニット１４がＸ軸方向、Ｒ軸方向、第１基板支持テーブル１０Ａの移動基台がＹ軸方向にそれぞれ補正値分移動した後、さらにＺ軸方向に上昇して当該基板Ｗが下方からマスク２１に重装されて印刷が行われる（図１５（ａ）、図１５（ｂ））。印刷終了後は、第１基板支持テーブル１０Ａが第１送出位置に、第２基板支持テーブル１０Ｂが第２搬出位置に移動し、これにより印刷後の基板Ｗが第１基板搬出部Ｅｘ１から第１部品実装装置Ｍ１に、第２基板搬出部Ｅｘ２から第１部品実装装置Ｍ１に搬出される（図１５（ｂ）、図１５（ａ））。

そして、このような第１基板支持テーブル１０Ａにおける基板Ｗの受入れ、基板Ｗの印刷および基板Ｗの搬出動作と、第２基板支持テーブル１０Ｂにおける基板Ｗの受入れ、基板Ｗの印刷（図１５（ｂ））および基板Ｗの搬出動作（図１５ａ）とが一定の時間差をもって実行されることにより、共通の基板搬入部Ｅｎから搬入される基板Ｗが基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに受け入れつつ印刷実行部２０において印刷が交互に行われて基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２からそれぞれ部品実装装置Ｍ１、Ｍ２に搬出される。

このような第５実施形態の印刷装置１Ｄにおいても、第１基板支持テーブル１０Ａを使った、主に、基板Ｗの搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程と、第２基板支持テーブル１０Ｂを使った、主に、基板Ｗの搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程とを、実行のタイミングはずらしながらも並行して同時進行させることができるので、基板Ｗの印刷を効率良く行うことができる。

また、印刷装置１Ｄ単独で１台のローダＬから基板Ｗを受け入れつつ印刷を施して２台の部品実装装置Ｍ１、Ｍ２に搬出することができる。そのため、第４実施形態の印刷装置１Ｃと同様に製造ラインをコンパクトに構成する上で有用なものとなる。特に、この第５実施形態の印刷装置１Ｄでは、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが基板Ｗを待機させておくためのスペース（基板待機位置）を有していない分、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢがＸ軸方向にコンパクトになる。そのため、製造ラインを基板搬送方向（Ｘ軸方向）にコンパクト化できるという利点がある。

次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第６実施形態について図１６を参照しつつ説明する。

図１６（ａ）は第６実施形態に係るスクリーン印刷装置１Ｅ（以下、印刷装置１Ｅと略す）を平面図で模式的に示している。この第６実施形態に係る印刷装置１Ｅは、上述した第５実施形態の印刷装置１Ｄ（図１５参照）の変形であり、以下の点で第５実施形態の印刷装置１Ｄと構成が相違する。

まず、この印刷装置１Ｅには２つの印刷実行部２０Ａ、２０Ｂが設けられおり、これらの印刷実行部２０Ａ、２０Ｂが、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上の基板Ｗを搬出するための第１、第２送出位置の上方位置に配置されている。

また、基板認識カメラ５０は、基板Ｗを基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に受け入れるための受取位置の上方位置に固定的に配置されており、クランプユニット１４によりクランプされた基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上の基板Ｗの標識を受取位置で撮像するように構成されている。さらに、マスク認識カメラ１６は、クランプユニット１４に固定的に設けられており、基板Ｗに印刷を実施するべく基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが受取位置から第１又は第２送出位置に移動する途中で、マスク２１の標識を撮像するように構成されている。

この印刷装置１Ｅでは、例えば、受入位置に第１基板支持テーブル１０Ａが配置された状態で基板搬入部Ｅｎから当該第１基板支持テーブル１０Ａ上に基板Ｗが受け入れられ、当該基板Ｗがクランプユニット１４によりクランプされるとともに基板認識がされる（図１６（ａ））。その後、各モータによりそれぞれ駆動されて、第１基板支持テーブル１０Ａが第１受取位置に移動しつつマスク認識がされ、それらの認識結果に基づきクランプユニット１４がＸ軸方向、Ｒ軸方向、第１基板支持テーブル１０Ａの移動基台がＹ軸方向にそれぞれ補正値分移動した後、Ｚ軸方向に上昇して、マスク２１に基板Ｗが重装されて印刷が実施される。この印刷の後、第１基板搬出部Ｅｘから第１部品実装装置Ｍ１に搬出される（図１６（ｂ））。

そして、このような第１基板支持テーブル１０Ａにおける基板Ｗの受入れ、基板Ｗの印刷および基板Ｗの搬出動作と、第２基板支持テーブル１０Ｂにおける基板Ｗの受入れ（図１６（ｂ））、基板Ｗの印刷（図１６（ａ））および基板Ｗの搬出動作とが一定の時間差をもって実行されることにより、共通の基板搬入部Ｅｎから搬入される基板Ｗが基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに受け入れつつ印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにおいて交互に印刷が実施されて基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２からそれぞれ部品実装装置Ｍ１、Ｍ２に搬出される。

このような第６実施形態の印刷装置１Ｅによれば、第１基板支持テーブル１０Ａを使った、主に、基板Ｗの搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程と、第２基板支持テーブル１０Ｂを使った、主に、基板Ｗの搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程とを、実行のタイミングはずらしながらも並行して同時進行させることができるので、基板Ｗの印刷を効率良く行うことができる。

また、１台のローダＬ１からそれぞれ繰り出されてくる基板Ｗに異なるパターンの印刷を実施しながら部品実装装置Ｍ１，Ｍ２に送り出す場合に有用となる。

次に、本発明に係るスクリーン印刷装置の第７実施形態について図１７を参照しつつ説明する。

印刷装置１Ｆは、二系統の上流側装置と二系統の下流側装置との間に介設されるものであり、以下の点で第２実施形態の印刷装置１Ｂと構成が相違しており、それ以外の構造は第２実施形態の印刷装置１Ｂと基本的に共通している。

この印刷装置１Ｆは、Ｙ軸方向に所定間隔を隔てた位置に設けられた二つの基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２（第１基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２）と、同じくＹ軸方向に所定間隔を隔てた位置に設けられた二つの基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２（第１基板搬出部Ｅｘ１、第２基板搬出部Ｅｘ２）とを有し、第１基板搬出部Ｅｘ１と第２基板搬出部Ｅｘ２との間隔の方が狭く設けられている。

第１基板支持テーブル１０Ａは、印刷後の基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２から搬出可能な第２送出位置と、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入される基板Ｗを受取可能な第１受取位置よりＹ方向前側の第１退避位置Ｔｅｓ１との間で、レール３上に移動自在に支持されている。第２基板支持テーブル１０Ｂは、印刷後の基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１から搬出可能な第１送出位置と、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入される基板Ｗを受取可能な第２受取位置よりＹ方向後側の第２退避位置Ｔｅｓ２との間で、共通のレール３上に移動自在に支持されている。これにより、第１送出位置と第２送出位置の間が、第１基板支持テーブル１０Ａと第２基板支持テーブル１０Ｂのそれぞれの移動可能域の一部が互いに重なり合う共通域となる。

この印刷装置１Ｆでは、第１基板搬入部Ｅｎ１から第１受入位置の第１基板支持テーブル１０Ａに受け入れられた基板Ｗは、クランプユニット１４によりクランプされ、マスク認識、基板認識がされ、印刷実行部２０Ａの下方の印刷位置（第１受入位置と同じ）において、マスク２１との間で位置補正がなされた後マスク２１に基板Ｗが重装されて印刷が実施される。ほぼ同じタイミングで第１基板搬入部Ｅｎ２から第２受入位置の第２基板支持テーブル１０Ａに受け入れられた基板Ｗは、クランプユニット１４によりクランプされ、マスク認識、基板認識がされ、印刷実行部２０Ａの下方の印刷位置（第２受入位置と同じ）において、マスク２１との間で位置補正がなされた後マスク２１に基板Ｗが重装されて印刷が実施される（図１７（ａ））。

その後、第１基板支持テーブル１０Ａが第２送出位置へ移動するとともに、第２基板支持テーブル１０Ｂが第２受入位置より後側の第２退避位置Ｔｅｓ２に移動する。移動後第１基板支持テーブル１０Ａにおいてクランプユニット１４によるクランプが解除されるとともに、基板Ｗが第２基板搬出部Ｅｘ２から部品実装装置Ｍ２に搬出される（図１７（ｂ））。

その後、第１基板支持テーブル１０Ａが第２送出位置から第１送出位置を通過し前側の第１退避位置Ｔｅｓ１へ移動するとともに、第２基板支持テーブル１０Ｂが第２退避位置Ｔｅｓ２から第１送出位置へ移動する。移動後第２基板支持テーブル１０Ｂにおいてクランプユニット１４によるクランプが解除されるとともに、印刷後の基板Ｗが第１基板搬出部Ｅｘ１から部品実装装置Ｍ１に搬出される（図１７（ｃ））。

すなわち、第１基板支持テーブル１０Ａが共通域内の第２送出位置に位置する場合、第２基板支持テーブル１０Ｂは移動可能域内において第１基板支持テーブルＡを避けた第２退避位置Ｔｅｓ２に、第２基板支持テーブル１０Ｂが共通域内の第１送出位置に位置する場合、第１基板支持テーブル１０Ａは移動可能域内において第２基板支持テーブルＢを避けた第１退避位置Ｔｅｓ１に、それぞれ位置される。

このような第７実施形態の印刷装置１Ｆによれば、第１基板支持テーブル１０Ａを使った、主に、基板搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程と、第２基板支持テーブル１０Ｂを使った、主に、基板搬入、基板クランプ、印刷、基板クランプ解除、基板搬出からなる印刷工程とを、基板搬出のタイミングはずらしながらも並行して同時進行させることができるので、基板Ｗの印刷を効率良く行うことができる。

また、各ローダＬ１、Ｌ２からそれぞれ繰り出されてくる基板Ｗに対し、二つの印刷実行部２０を備えた簡素な構成でもって効率的に、共通あるいは異なるパターンの印刷を実施することができるとともに、第１基板支持テーブル１０Ａを第１受入位置と第１送出位置との間を移動させ、第２基板支持テーブル１０Ｂを第２受入位置と第２送出位置との間を移動させるようにすることで、搬出先をそれぞれ部品実装装置Ｍ２，Ｍ１に簡単に切り換えることができる。

ところで、上述したスクリーン印刷装置１、１Ａ〜１Ｆは、本発明に係るスクリーン印刷装置の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ等における基板Ｗの具体的な支持構造、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂ等における具体的なマスク２１の保持構造、あるいはスキージユニット４０の具体的な構造等は必ずしも上記実施形態のスクリーン印刷装置１、１Ａ〜１Ｆのものに限定されるものではなく適宜変更可能です。

さらに、第１、第２、第６および第７の各実施形態において、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂを第１受取位置と第２受取位置と一致させるようにしたが、送出中の他方の基板テーブルと干渉しない位置で、送出位置寄りあるいは送出位置から遠い側に位置させても良い。また、第３、第４、第５の各実施形態において、共通の印刷実行部２０を第３実施形態においては、送出位置ではなく第１受取位置寄りあるいは第１受取位置寄りに位置させても良く、第４、第５の各実施形態においては、受取位置ではなく第１送出位置寄りあるいは第１送出位置寄りに位置させても良い。

さらにまた、全ての実施形態において、第１基板支持テーブル１０Ａ、第２基板支持テーブル１０Ｂをそれぞれ共通のレール３上に移動可能に支持したが、それぞれ別のレール上に移動可能に支持しても良い。

１、１Ａ〜１Ｆスクリーン印刷装置
１０（１０Ａ、１０Ｂ）基板支持テーブル（第１基板支持テーブル、第２基板支持テーブル）
１４クランプユニット
２０（２０Ａ、２０Ｂ）印刷実行部（第１印刷実行部、第２印刷実行部）
２１スクリーンマスク
４０スキージユニット
４２スキージ
Ｅｎ（Ｅｎ１、Ｅｎ２）基板搬入部（第１基板搬入部、第２基板搬入部）
Ｅｘ（Ｅｘ１、Ｅｘ２）基板搬出部（第１基板搬出部、第２基板搬出部）
Ｗ基板

Claims

スクリーン印刷装置において、
基板にスクリーン印刷を実施するための印刷実行部と、
この印刷実行部の位置を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置に設けられる基板搬出部と、
前記基板搬入部から搬入される基板を受け取って前記印刷実行部において印刷が可能となるように支持するとともに、印刷後の当該基板を前記基板搬出部から搬出させる基板支持テーブルとを備えており、
前記特定方向をＸ軸方向としたときに、前記基板搬入部がＸ軸方向と直交するＹ軸方向に並ぶ第１基板搬入部および第２基板搬入部からなるか、あるいは、前記基板搬出部がＸ軸方向と直交するＹ軸方向に並ぶ第１基板搬出部および第２基板搬出部からなるかの少なくとも一方の構成を備え、
前記基板支持テーブルは、Ｙ軸方向にそれぞれ移動可能に並設され、かつ互いの移動可能域の一部が重なる共通域を有する第１基板支持テーブルおよび第２基板支持テーブルからなり、これらの基板支持テーブルのうち一方側の基板支持テーブルが前記基板搬入部から搬入される基板を受け取るか、又は印刷後の基板を前記基板搬出部から搬出させるに際して当該一方側の基板支持テーブルが前記共通域内に位置する一方、他方側の基板支持テーブルが前記移動可能域内において前記一方側の基板支持テーブルを避けた位置に配置されるものであり、
前記印刷実行部は、前記各基板支持テーブルに支持される基板に対してスクリーン印刷を実施可能な位置に配置されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
スクリーン印刷装置において、
基板にスクリーン印刷を実施するための印刷実行部と、
この印刷実行部の位置を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置に設けられる基板搬出部と、
前記基板搬入部から搬入される基板を受け取って前記印刷実行部において印刷が可能となるように支持するとともに、印刷後の当該基板を前記基板搬出部から搬出させる基板支持テーブルとを備えており、
前記特定方向をＸ軸方向としたときに、前記基板搬入部は、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に並ぶ第１基板搬入部および第２基板搬入部からなり、
前記基板搬出部は、Ｙ軸方向において前記第１、第２基板搬入部の間の位置に設けられており、
前記基板支持テーブルは、Ｙ軸方向にそれぞれ移動可能に設けられ、その移動可能域内において前記第１基板搬入部から搬入される基板を受け取り可能な第１受取位置と前記基板搬出部からの基板の搬出が可能となる送出位置との間を移動する第１基板支持テーブルおよび前記第２基板搬入部から搬入される基板を受け取り可能な第２受取位置と前記送出位置との間を移動する第２基板支持テーブルとからなり、互いの前記移動可能域の一部が重なる共通域の域内に、前記第１基板支持テーブルおよび前記第２基板支持テーブルの何れか一方側の基板支持テーブルが位置する時、他方側の基板支持テーブルが前記移動可能域内において前記一方側の基板支持テーブルを避けた位置に配置されるものであり、
前記印刷実行部は、前記各基板支持テーブルに支持される基板に対してスクリーン印刷を実施可能な位置に配置されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
請求項２に記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷実行部は、前記送出位置に配置された前記各基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施するように配置されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
請求項２に記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷実行部は、前記第１受取位置に配置された前記第１基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施する第１印刷実行部と、前記第２受取位置に配置された前記第２基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施する第２印刷実行部とからなることを特徴とするスクリーン印刷装置。
スクリーン印刷装置において、
基板にスクリーン印刷を実施するための印刷実行部と、
この印刷実行部の位置を挟んで特定方向における一方側の位置に設けられる基板搬入部および他方側の位置に設けられる基板搬出部と、
前記基板搬入部から搬入される基板を受け取って前記印刷実行部において印刷が可能となるように支持するとともに、印刷後の当該基板を前記基板搬出部から搬出させる基板支持テーブルとを備えており、
前記特定方向をＸ軸方向としたときに、前記基板搬出部は、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に並ぶ第１基板搬出部および第２基板搬出部とからなり、
前記基板搬入部は、Ｙ軸方向における前記第１、第２基板搬出部の間の位置に設けられており、
前記基板支持テーブルは、Ｙ軸方向にそれぞれ移動可能に設けられ、その移動可能域内において前記基板搬入部から搬入される基板を受け取り可能な受取位置と前記第１基板搬出部からの基板の搬出が可能となる第１送出位置との間を移動する第１基板支持テーブルおよび前記受取位置と前記第２基板搬出部からの基板の搬出が可能となる第２送出位置との間を移動する第２基板支持テーブルとからなり、互いの前記移動可能域の一部が重なる共通域の域内に、前記第１基板支持テーブルおよび前記第２基板支持テーブルの何れか一方側の基板支持テーブルが位置する時、他方側の基板支持テーブルが前記移動可能域内において前記一方側の基板支持テーブルを避けた位置に配置されるものであり、
前記印刷実行部は、前記各基板支持テーブルに支持された基板に対してスクリーン印刷を実施可能な位置に配置されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
請求項５に記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷実行部は、前記受取位置に配置された前記各基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施するように配置されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
請求項５に記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷実行部は、前記第１送出位置に配置された前記第１基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施する第１印刷実行部と、前記第２送出位置に配置された前記第２基板支持テーブル上の基板に対して印刷を実施する第２印刷実行部とからなることを特徴とするスクリーン印刷装置。
請求項１乃至７の何れか一項に記載のスクリーン印刷装置において、
前記基板支持テーブルは、前記基板搬入部から搬入される基板を受け入れるとともに印刷後の基板を前記基板搬出部から搬出するコンベヤと、このコンベヤによる基板Ｗの基板搬送方向に移動可能に設けられかつ基板を前記印刷実行部において印刷が可能となるように前記コンベヤから持ち上げた状態でクランプするクランプ手段とを備え、かつ前記コンベヤにおける基板搬入部側の位置が基板待機位置とされる一方、前記基板搬出部側の位置が印刷実行位置とされており、
前記クランプ手段は、前記基板待機位置において前記コンベヤ上の基板をクランプして前記印刷実行位置に移動させ、当該基板の印刷後、前記印刷実行位置においてクランプ状態を解除することにより前記コンベヤ上に基板を戻した後、後続の基板をクランプすべく前記基板待機位置に移動するように構成されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。