TWI321545B - Apparatus for aligning cassette - Google Patents
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Description
九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 提供==準盒之褒置'詳言之,係關於 動二進丄二 '"置,可在液晶顯示器製程期間自 或面板,至預定位置該盒用於輸送(convey)基板 【先前技術】 組株:,說:液晶顯示器面板(液晶顯示器之主要 二 )係藉結合薄膜電晶體(TFT)陣列美板盥 彩色滤光片基板,並於其間注入液晶來製造。土” 板之安裝供應用驅動信號以驅動液晶顯示器面 ^驅動早①’以及背総件,藉此完成液晶顯示器 ^ 述製程製造液晶顯*賴組,應輸送 基板或面板以執行每一程序。 钿疋 然而,因為程序間基板之輪送係自動執 板輸送朗控Μ之適當位置很S純订於基 板載3=甘因為藉藉自動機器(r〇b〇t)執行將基 一卸載、將盒載入載具(carrie〇或自
4TOP-EN/06022TW , HP02006-K140051TW 1321545 其卸載、以及將盒插入製程設備係,盒應位於欲被精 確處理之預定位置。 為此目的,於載入盒10之程序期間,使用安裝於 通口之對準桿14,對準盒至通口之傳統裝置,係使用 自導車(automated guided vehicle,AGV),將基板等 堆疊盒上。 亦即,如圖1A所示,使用自導車將盒10載入通 口,通口係對準桿14安裝處。 因此,為了精確將盒對準通口,如圖1B所示, 應使用自導車將盒10對準至對準桿14而載入。 換言之,傳統載入程序中,盒10應藉安裝具氣缸 (air cylinder)於盒10之下端的支撑架12,設定相對 • 於對準桿14預定高度,並驅動氣缸以維持預定高度。 然而,使用上述對準方法,對準盒之裝置因安裝 於盒10之下端之氣缸類型支撐架12而變得複雜,因 此增加裝置之製造成本。 此外,因為需要執行接著驅動支撐架12之氣缸以 調整盒之高度的步驟,總製程時間因此拉長而生產力
4TOP-EN/06022TW ; HP02006-K140051TW 1321545 降低。 同呀,圖2所示-盒通口 25,揭露於韓國專利公 開案第10-2005-64177號,公開於2〇〇5年6月29 係-褒置供輸送堆疊於盒26 +之基板、藉第—盘第二 夾(clamps) 27a與27b,固定地對準盒通口 25、之臺
(stage) 28,至使用自動機器29檢查裝置2〇以檢查 基板。 — 雖然韓國專利公開案第1〇_2〇〇5_64177號中揭露 之傳統盒通口係使用安裝於預定位置之第一與第二夾 27a與27b來對準盒26之位£,因為需要於對準期間 調整第-與第二夾27a與27b,可能導致製程時間拉 此外,圖3所示盒輸送裝置,揭露於韓國專利公 開案第10-2003-77097號,公開於2003年10月1日, 使用供精確輸送盒至安裝於熟化腔(aging chamber) 30中的支樓突出(projecti〇n) 31之技術。 明確而言,為了從可移動輸送裝置35到安裝於熟 化腔30中之支撐突出31,輸送裝設於在驅動部36驅 動之輸送板37之耦合突出38上之盒,盒輸送裝置結 合安裳於輸送裝置之前下端的耦合部(未圖示),與固
4TQP-EN/06022TW ; HP02006-K140051TW =4 ^及^導塊(guidebl()ek) 34安裝於位於熟化腔 jf ^^之固^ (Stah〇nary)位置的基礎塊32,藉 此對準其間相對位置。 然而 马韓國專利公開案第10-2003-77097號 ^露之傳祕送裝置,應㈣輸送輸送裝置%以對準 二於熟化腔30前,及透過它們的對準部彼此搞合,該 輸送方式不適於做為自動製程裝備。 【發明内容】 為了解決以上問題,本發明一目的係提供對準盒 之裝置’當容納基板或面板於其中之盒載人通口時, 可同時執行盒之載入與對準。 本發明另一目的係提供對準盒之裝置,藉移除供 對準盒至通π之分離對準部與盒高調整部,可減少^ 造與作業成本。 本發明之一方面在於提供對準盒之裝置,其包 含.疋位杯t裝於通口之表面,通口中載入容納基板 或面板堆疊其中之盒於預定高度;以及對準裝置,供 於盒载入時,水平與向下移動盒至定位桿上。 對準裝置可包含設置裴置(m〇unting means )接 -9 一
4TOP-EN/06022TW : HP02006-K140051TW 1321545 觸盒之下側表面,滑件(slider)以預定角度與設置部 之一側耦合,以及引導裝置,滑件可滑動地耦合至引 導裝置。 _ 設置裝置可包含設置架(mounting frame)接觸盒 之下侧表面,以及止件(stopper)形成於設置架之一 側並支#盒之一侧端。 設置裝置可更包含複數個轉動裝置,滚動接觸盒 之下表面。 轉動裝置可為光面滾子(plain roller)與球滾子 (ball roller)兩者中之其一。 設置裝置可更包含支撐裝置,供耦合設置架之下 表面與滑件之表面。 對準裝置可更包含返回裝置,用於當盒不在設置 部上時,返回設置部於待命位置。 返回裝置可由彈簧形成。 返回裝置可具—對磁力產生裝置,設置具相反極 性0
4TOP-EN/06022TW ; HP02006-K140051TW -10- 返回裝置可為線性導件(linear guide)。 隨以他目的、特徵、面向與優點,伴 發月砰細說明與圖式將可清楚瞭解。 【實施方式】 示於發明之Γ晰施例以瞭解細節’其例 於對而Γ使用本發明對準盒之裝置, 明對準盒之聚;時前視圖’顯示使用本發 衣1岈,於對準後之一狀態。 port)本盒之裝置’係安裝於盒通口(C薦tte 面板)之製程姻^輸送基板(如 口,對準盒之裳置,係安裝於盒載入之盒通 為此目的,如圖4與圖5所示 (base) 60安裴於通口 表置匕3 ·基。Ρ T /re, ^ , 對準部50安裝於基部60之 兩個内側以對準盒4〇、以乃且箱—a 以及具預疋向度且盒載入於其
4TOP-EN/06022TW ; HP02006-KI40051TW ,11 - 1321545 上之疋位掉7〇。 =程中’定位桿7〇只決定盒 而對準部50決定盒4〇之水平位置。
:圖6所例示之圖4中之部份A,每一個對準部 導板%以傾斜方式以30'60度裝設於基部 滑件53可雜地接合5丨導板52, ^ t ^引導板52之表面上、支標部54固定於 =3之表面於其一侧端、以及設置部%固定於支 每口 之表面,以表面接觸盒40之下侧表面。 欲此外,彈簧56連接於安裝在基部6〇之一端之彈 菁柱(springp〇st)57與設置部55間,以返回(return)
滑件53、對準部50的支撐部54與設置部55至引導 板52之上端(文後稱做待命位置)。此時,彈簧56可 為張力彈簧(tension spring)以向上拉起設置部55。 用於返回滑件53、對準部50之支撐部5 4以及設置部 55至引導板52待命位置之返回裝置(returning means)’ 可為磁斥裝置(magnetic repulsion means)。 如沿圖6中線A_A之圖7所示,引導板%與滑 件53彼此可滑動地接合。此係因滑件53與引導板52 上之垂直滑動結構可避免滑件53之橫向偏差。 12
4TOP-HN/06022TW : HP02006-K140051TW 為此目的,如圖8所示,引導板52具有二個引導 槽52a形成於其垂直縱向之表面,而滑件53具耦合部 53a與引導槽52a耦合於其相對引導板52之表面。 在此程序中,引導槽52a之下端52b終止於自引 導板52之下端間隔開之位置,以阻止滑件53向下移 動。 此外,為避免滑件53之耦合部53a自引導槽52a 分離,耦合部53a具有寬度大於引導槽52a之尖端寬 度之鉤部53b。 再者,為了將滑件53之耦合部53a插入引導板 52之引導槽52a,引導槽52a之上端具開放結構(open structure)。將搞合部53a插入引導槽52a後,分離引 導板止件52c固定於引導板52之上端,以避免滑件 53因彈簧56之張力自引導板52分離。 此處,當引導板52安裝於大約30度,盒可能太 快地向下移動,而當引導板52安裝於大約60度,盒 可能太慢地向下移動。因此,引導板52可安裝於大約 45度。
4TOP-EN/06022TW ; HP02006-K14005ITW 13 1321545 當分離支樓部則來固以置部%於滑件%, 在設置部55之上表面可水平維持的條件下,設置部 55可與支料54-體成型。當然,若有必要的話, 滑件53亦可與支樓部54及設置部% 一體成型。 設置部55包含:設置架A接觸盒40之下表面 以維持盒40之水平狀態、以及止件(stGppe〇说自 • 設置架55a之一側向上突出,以避免盒4〇向彈簀56 被推出。 此外,設置部55之設置架55a具有平坦表面’使 得盒40可滑動地移向止件55b。 為了更平順地移動盒40於設置架5%上,如圖9 與圖ίο所示,可形成複數個滾子容納部於設置部55 之设置架55a中,而複數個滾子55c安裝於滚子容納 泰部中,使得盒40之下表面可平順地移動於設置架55& 上。 此時,滾子55c之外表面應些微突出於設置架55a 之上表面。 文後,關於本發明供對準一盒之裝置的操作,將 會參照圖4與圖5說明。
4TOP EN/06022TW ; HP02006-K14005ITW 1321545 首先,於設置盒40在對準部50上之前,設置部 55藉彈簧56饵於引導板52之上端,即待命位置。 接著,當自導車(AGV)放置盒4〇於對準部5〇 之設置架55a上時,滑件53沿引導板52滑下,且於 設置架55a上的盒40之下側端移至止件551^ 、
當滑件53透過上述過程滑下,滑件53藉定位桿 7〇停止,以完成盒40之高度與水平位置對準。 雖然禾提及對準部50之數目 —π益外u —般且 有矩形下表面,對準部50與定位桿7〇可分 基部60之角落。 裝於
此外,定位桿70可根據所載入盒 整其高度"而基部60可具有一結構, 5 0安裝於其上之兩端間的間隙。 40之特性而調 可調整對準部 雖然描述滑件53與引導板52以及 53與引導板52之彈簧56為結合之結構滑件 另-實施射可作如下使用。 苒#本發明之 圖11係一剖面圖’說明本發明另— 貝施例中之亏丨 •15-
4TOP-EN/06022TW ; HP02006-KI4005ITW 1321545 導板與滑件。固定於設置部58a之一侧之滑件58b, 係可滑動地接合引導板58d ’藉此避免滑件58b自設 置部58a分離。延伸自滑件58d之下表面並容納於弓丨 導板58d中的鉤部,具有滑件磁體(magnet) 58c點著 其上。引導板58d安裝於基部60之一側,以容許滑件 58b滑動其上。固定磁體58e安裝於引導板58d之下 端’以具相對滑件磁體58c之極性來產生斥力。當各 鲁 40位在設置部58a上時,滑件58b滑下至引導板58d 之下端,以藉盒40之重量克服滑件磁體58c與固定磁 體58e間之斥力’直到設置部58a之下表面接觸定位 桿70 (見圖11之(B))。 此外’當卸载設置部58a上之盒4〇時,設置部 58a藉滑件磁體58c與固定磁體58e間之斥力,上移至 引導板58d之上端(見圖11之(a))。 雖然圖11係例示-結構,其中滑件磁體58c斑固 定磁體58e安裝於引導板58d中,若有必要時,滑件 磁體58c可附接至滑件58b之下端,而固定磁體伽 可安裝於引導板58d上表面之下端。然而,♦磁 體58c與固定磁體58e安裝於外,因為另一 可育匕 插入其間而阻擋或衰減磁場’ H此顿正f操作,^ 佳地是將滑件磁體58c與固定磁體58e安裝於引^ 58d 中0 ' -16-
4TOP-EN/06022TW : HP02006-KI4005ITW
導板盘、、1、—剖面圖’描述本發明又-實施例中之弓I 方式ϊΐ於其^性導件59C包含:,以傾斜 59c之可移動構=之一 r、f件5料接至線性導件 件5%。動構件(member)、且設置部5知固定於滑 59a上因^性導件说應視盒4〇是否載入於設置部 考目? ’提供控制器(未圖示)包含上限感測 :未圖示)與下限感測器(未圖示)安裂於線性導 性導^2。與下端’並使用虹與下限翻器控制線 此^當可移祕件上移(返回)以通過上限感 川益、,控制器停止驅動線性導件59c。類似地,各盒 4〇载入於設置部59a上,並藉其重量下移,以容二^; 移動構件通過下限制ϋ,控制H停止驅動線性導件 當載入在設置部59a上之盒4〇下移,線性導件 59c可能沒有操作。然而,線性導件5处應產生小於各 4〇之重量且足以避免設置部59a快速下移之—杻= 17
4TOP-EN/06022TW ; HP02006-K14005ITW 1321545 (torque),並。 此過程中,m 59a,可為圖6、二1與圖12所示之辑置部58a與 圖13所示之执番@ 9與圖10所示之設置部55,以及 0又置部80。 圖13之言分番Λ
具有-結構供衰1^顯示本發明又另-實施例,其 向無關,其邀子盖4〇之下表面之摩擦力,而與方 同。 〜圖6、圖9與圖H)所示之設置部55不
caster))安裳^3個球滚子86 (或球腳輪(baU 古 、叹置。卩80之設置架82,嘹署# sn且 有止件84形成於其— 叹置。M〇具 動於設置部80之任何方向。备孤使其平順地移 此外’圖13之設置部8〇可安裂 側,或可安护於宜、基。P 60之兩 女裝於基部6〇之四個角落 40,使得盒40可穩定地載^ W點支沒益 由前述可知,本發明供對準盒之裝 备 面板容納其中之盒载入通口時,可同睥田土 5 與對準,藉此減少製程時間。Π時〜盒之載入
4TOP-EN/06022TW ; HPO2006-K140051TW -18- 減少成:能略去安裝於盒之輔助對準裝置’藉此 質牲=本發明可以幾個形式實施而不悖離其精神或實 明之…’Sf了解的是’上述實施例不受限於前述說 範圍^細―,除非料指明’而應於騎中請專利 範圍勺i義的精!申與範疇内寬廣解讀,所附申請專利 改變此聽人ψ請專鄉圍界限與範圍之所有 隻^、1改,或此界線與範圍内之均等例。 【圖式簡單說明】 藉參照所附圖式詳述範例實施例,熟此技藝者 更瞭解本發明之前述與其他特徵及優點對,其^: 狀、圖1係一前視圖,顯示傳統盒對準之前與之後的 圖2係一平面圖,顯示傳統對準盒之裝置的構成; 圖3係一立體圖,顯示另一傳統對準盒之裝置 構成; @ 圖4係一前視圖,顯示本發明使用對準盒之 置,於對準前之狀態; ^ ^ 圖5係一前視圖,顯示本發明使用對準盒之 置’於對準後之狀態; | 裝 圖6係圖4之部分Α之放大圖; 圖7係沿圖6之線A-A之剖面圖,顯示本發明锋 -19-
4TOP-EN/06022TW : HP02006-KI40051TW 1321545 合之引導板與滑件; 圖8係一立體圖,顯示本發明之引導板之具體結 構; 圖9係一立體圖,顯示本發明另一實施例之設置 部; 圖10係沿圖9之線B-B之剖面圖; 圖11係本發明另一實施例之引導板與滑件之剖 面圖; 圖12係本發明又一實施例之引導板與滑件之剖 面圖;以及 圖13係根據本發明又一實施例之設置部之立體 圖。 【主要元件符號說明】 10盒 12支撐架 # 14對準桿 20檢查裝置 25盒通口 26盒 27a夾 27b夾 28臺 29自動機器 -20-
4TOP-EN/06022TW ; HP02006-K14005ITW 1321545 30熟化腔 31支撐突出 32基礎塊 33固定塊 34引導塊 35輸送裝置 36驅動部 ^ 37輸送板 38耦合突出 40盒 50對準部 52引導板 52a引導槽 52b下端 52c引導板止件 53滑件 # 53a耦合部 53b鉤部 54支撐部 55設置部 55a設置架 55b止件 55c滾子 56彈簧 -21
4TOP-EN/06022TW : HP02006-K140051TW 1321545 57彈簧柱 58a設置部 58b滑件 58c滑件磁體 58d引導板 58e固定磁體 59a設置部 ^ 59b滑件 59c線性導件 60基部 70定位桿 80設置部 82設置架 84止件 86球滚子 •
4TOP-EN/06022TW ; HP02006-K14005ITW
Claims (1)
1321545 十、申請專利範圍: 1. 一種供對準盒之裝置,包含: 一定位桿安裝於一通口之一表面,該通口中載 入容納一基板或面板堆疊於其中之盒於一預定高 度;以及 一對準裝置,供於盒載入時,來主與向下廉動_ 該盒至該定位桿上。 2. 如請求項1所述之裝置,其中該對準裝置包含一設 置裝置接觸該盒之一下側表面,一滑件以一預定角 度與該設置部之一侧耦合,以及一引導裝置,該滑 件可滑動地耦合至該引導裝置。 3. 如請求項2所述之裝置,其中該設置裝置包含一設 置架接觸該盒之該下側表面,以及一止件形成於該 設置架之一側並支撐該盒之一側端。 4. 如請求項3所述之裝置,其中該設置裝置更包含複 數個轉動裝置,滚動接觸於該盒之一下表面。 5. 如請求項4所述之裝置,其中該轉動裝置係一光面 滾子與一球滾子兩者中之一。 6. 如請求項3所述之裝置,其中該設置裝置更包含一 -23· 4TOP-EN/06022TW : HP02006-K14005ITW 1321545 支撐裝置,供耦合該設置架之一下表面與該滑件之 一表面。 7.如請求項2所述之裝置,其中該對準裝置更包含一 返回裝置,用於當該盒不在該設置部上時,返回該 設置部於一待命位置。 ^ 8.如請求項7所述之裝置,其中該返回裝置係由一彈 簧所形成。 9. 如請求項7所述之裝置,其中該返回裝置包含設置 為具相反極性之一對磁力產生裝置。 10. 如請求項7所述之裝置,其中該返回裝置可為一線 性導件。 -24- 4TOF-EN/06022TW ; HP02006-K140051TW
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20050133772 | 2005-12-29 | ||
KR1020060016957A KR100796020B1 (ko) | 2005-12-29 | 2006-02-21 | 카세트 정렬장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200728173A TW200728173A (en) | 2007-08-01 |
TWI321545B true TWI321545B (en) | 2010-03-11 |
Family
ID=38071256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW095144546A TWI321545B (en) | 2005-12-29 | 2006-11-30 | Apparatus for aligning cassette |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100796020B1 (zh) |
CN (1) | CN100529870C (zh) |
TW (1) | TWI321545B (zh) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100902003B1 (ko) * | 2007-08-31 | 2009-06-11 | 세메스 주식회사 | 카세트 이송부를 구비한 기판 처리 장치 |
CN101954651B (zh) * | 2009-07-17 | 2013-09-18 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 对准装置 |
KR101157198B1 (ko) | 2010-01-14 | 2012-06-20 | 주식회사 에스에프에이 | 카세트 센터링 장치 |
KR102042445B1 (ko) * | 2018-05-08 | 2019-11-08 | 주식회사 에스에프에이 | 반송물 센터링 장치 |
KR102192871B1 (ko) | 2019-08-23 | 2020-12-18 | 주식회사 해동 | 카세트 이송 장치 및 이를 이용한 카세트 이송 방법 |
KR102178615B1 (ko) * | 2020-03-06 | 2020-11-13 | 시너스텍 주식회사 | 센터링 장치 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100488928B1 (ko) * | 1997-12-11 | 2005-10-26 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정 셀 및 카세트 정렬 장치 |
-
2006
- 2006-02-21 KR KR1020060016957A patent/KR100796020B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-11-30 TW TW095144546A patent/TWI321545B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-12-07 CN CNB2006101621851A patent/CN100529870C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200728173A (en) | 2007-08-01 |
KR100796020B1 (ko) | 2008-01-21 |
CN1959488A (zh) | 2007-05-09 |
KR20070072294A (ko) | 2007-07-04 |
CN100529870C (zh) | 2009-08-19 |
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