JP2001321710A - 塗工装置 - Google Patents

塗工装置

Info

Publication number
JP2001321710A
JP2001321710A JP2000143586A JP2000143586A JP2001321710A JP 2001321710 A JP2001321710 A JP 2001321710A JP 2000143586 A JP2000143586 A JP 2000143586A JP 2000143586 A JP2000143586 A JP 2000143586A JP 2001321710 A JP2001321710 A JP 2001321710A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
coating
liquid tank
liquid
base material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000143586A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihisa Mori
佳久 森
Mitsutaka Murata
充孝 村田
Takao Ishida
孝夫 石田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hirano Tecseed Co Ltd
Hirano Steel Recycle Co
Original Assignee
Hirano Tecseed Co Ltd
Hirano Steel Recycle Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hirano Tecseed Co Ltd, Hirano Steel Recycle Co filed Critical Hirano Tecseed Co Ltd
Priority to JP2000143586A priority Critical patent/JP2001321710A/ja
Publication of JP2001321710A publication Critical patent/JP2001321710A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大型基板等においても、塗工厚を微調整する
ことができる塗工装置を提供するものである。 【解決手段】 ノズル82を上下動させる上下移動プレ
ート74にノズル支持部130を設け、このノズル支持
部130に設けたマイクロメータ142を調整すること
によりノズル82の左右方向の高さを微調整することが
でき、そのたわみを補正することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基材に塗工液を塗
工する方法及びその塗工装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】最近、液晶表示装置等が広く普及するよ
うになり、この液晶表示装置のガラス板に保護膜等に使
用される塗工液を塗工する必要が出てきた。
【0003】このようなガラス基板等の基材に塗工液を
塗工する方法として、毛細管現象を利用した塗工装置が
提案されている(特開平8−224528号、特開平6
−343908号)。
【0004】この塗工装置は、塗工液によって満たされ
た液層の内部に毛管状隙間を備えたノズルを沈めてお
き、塗工する際にはこのノズルを上昇させて基材の下面
近傍に位置させ、毛管状隙間から塗工液を接液して、基
材の下面に塗工液を塗工するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで近年、液晶表
示装置は大型基板化し、それへの塗工が必要になってき
たため、ノズルの加工精度も上げる必要があった。
【0006】したがって、上記塗工装置においても、大
型基板を塗工でき、かつ、塗工厚を高精度に保持するた
めには、ノズル等の部品を組み付ける場合に高い技術力
を要した。
【0007】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、大型
基板等においても、塗工厚を微調整することができる塗
工装置を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、塗工
液を入れた液槽と、前記液槽の塗工液の中に沈み、ま
た、毛管状隙間を備えた左右方向に延びたノズルと、を
有し、前後方向に走行する基材の下面近傍まで前記液槽
を上昇させ、さらに前記液槽から前記ノズルを突出させ
ることにより、前記毛管状隙間から塗工液を塗工する塗
工装置において、前記液槽を上下させる液槽上下動手段
を設け、前記ノズルを支持しつつ、前記液槽から前記ノ
ズルを上下させるノズル上下動手段を設け、前記ノズル
上下動手段に支持された前記ノズルの高さをさらに微調
整するための微調整手段を前記ノズルの左右方向に複数
設けたことを特徴とする塗工装置である。
【0009】請求項2の発明は、前記微調整手段は、マ
イクロメータによって前記ノズルを上下動させるもので
あることを特徴とする請求項1記載の塗工装置である。
【0010】請求項3の発明は、前記微調整手段は、モ
ータによって前記ノズルを上下動させるものであること
を特徴とする請求項1記載の塗工装置である。
【0011】請求項4の発明は、前記ノズルと前記基材
との間隔を測定するセンサを設け、前記センサからの信
号に基づいて、前記ノズルと前記基材との距離が所定間
隔になるように前記微調整手段のモータを駆動させる制
御手段を設けたことを特徴とする請求項3記載の塗工装
置である。
【0012】請求項5の発明は、前記基材は、板状であ
り、サクションテーブルの下面に設けられた吸着面に前
記基材が吸着されて前後方向に搬送されることを特徴と
する請求項1から4記載の塗工装置である。
【0013】請求項6の発明は、前記基材は長尺状にあ
り、前記ノズルの上方に配されたバックアップロールに
よって前後方向に搬送されることを特徴とする請求項1
から4記載の塗工装置である。
【0014】本発明の塗工装置であると、微調整手段に
よってノズルの左右方向の高さを個々に調整することが
できるため、基材とノズルとの距離を所定の塗工厚の間
隔に保持することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】第1の実施例 以下、本発明の第1の実施例を示す塗工装置10につい
て図1〜図10に基づいて説明する。
【0016】この塗工装置10は、液晶表示装置等のガ
ラス基板に薄く塗工液を塗工する装置である。
【0017】図1は塗工装置10の左側面図であり、図
2は正面図である。
【0018】1.塗工装置10の全体の構造 図1及び図2が示すように、塗工装置10は、水平な床
面等に設置されるベースフレーム12の上に、リニアウ
ェイ14、14を介して前後方向に移動可能な移動フレ
ーム16、16が載置されている。
【0019】左右一対の移動フレーム16,16の間に
はサクションテーブル(以下、単にテーブルという)2
4が回動自在に回転軸26によって支持されている。な
お、移動フレーム16,16は、左右を溶接構造により
一体化されている。
【0020】このテーブル24の吸着面27にガラス板
よりなる基材28を吸着させ、塗工を行うものである。
このテーブル24の構成についてはあとから詳しく説明
する。
【0021】2.塗工システム30の構造 ベースフレーム12の内部には塗工液を塗工するための
塗工システム30が設けられている。以下、この塗工シ
ステム30について説明する。
【0022】図3が、塗工システム30の斜視図であ
り、図4が正面図であり、図5が図4におけるX−X線
断面図である。
【0023】塗工システム30は、ベースフレーム12
の左右方向に配されたベースプレート32を基礎に構成
されている。
【0024】ベースプレート32の上面には、左右一対
の移動コッタ34,36が設けられている。
【0025】このうち、右側に位置する移動コッタ36
は、ベースプレート32の上面に左右方向に配されたリ
ニアウェイ38に沿って移動可能である。また、移動コ
ッタ36の上面は斜面40になっており、左側が右側よ
りも低くなっている。そして、この斜面40の上にもリ
ニアウェイ42が設けられている。
【0026】移動コッタ34も同様にベースプレート3
2に対してリニアウェイ44で左右方向に移動可能とな
っており、また、斜面46の上にはリニアウェイ48が
設けられている。
【0027】左右一対の移動コッタ34,36には連結
シャフト50が設けられ、この連結シャフト50の右端
部にはサーボモータ52が配されている。連結シャフト
50の移動コッタ34,36の位置には雄ネジ部が設け
られ、移動コッタ34,36内部には雌ネジ部が設けら
れている。このサーボモータ52を回転させることによ
って連結シャフト50が回転し、移動コッタ34,36
がリニアウエイ38,44に沿って左右方向に移動する
ものである。
【0028】一対の移動コッタ34,36の上方には支
持プレート54が設けられている。この支持プレート5
4は、左右方向に沿って延びている支持板56と、この
支持板56の下端より前後方向に延びた基板58とより
なる。
【0029】この基板58の下面には左右一対の支持脚
60,62が設けられている。支持脚60,62の下面
は斜面となっており、前記した移動コッタ34,36の
斜面の上に形成されたリニアウェイ42,48に沿って
移動可能となっている。
【0030】また、ベースプレート32から支持プレー
ト54の基板58の中央部に上下移動用のガイドシャフ
ト64が突出している。支持プレート54はこのガイド
シャフト64に沿って上下動可能であり、かつ、左右方
向の移動が規制されている。
【0031】支持プレート54の上端部には塗工液を溜
めるための液槽66が設けられている。この液槽66に
ついてはあとから説明する。
【0032】支持プレート54の支持板56には左右一
対のリニアウェイ68を介して左右移動プレート70が
設けられている。このリニアウェイ68は左右方向に移
動可能となっている。左右移動プレート70はエアシリ
ンダ71によって左右方向に移動可能となっている。
【0033】左右移動プレート70の前面にはリニアウ
ェイ72を介して上下移動プレート74が設けられてい
る。このリニアウェイ72は斜め方向に移動可能となっ
ている。さらに、上下移動プレート74は支持プレート
54の基板58から突出した左右一対のガイドシャフト
76に沿って上下方向移動可能となっており、かつ、左
右方向の移動が規制されている。
【0034】上下移動プレート74の左端部近傍、中央
部、右端部近傍には、ノズル82を支持しつつ、その高
さを微調整できるノズル支持部130,130,130
が設けられている。
【0035】図5に示すように、ノズル支持部130の
受け台132は上下移動プレート74に固定されてい
る。また、受け台132の上方に配されたシャフト台1
34は、上下移動プレート74に対し上下動移動自在に
配されている。すなわち、シャフト台134の中央部に
は縦方向に長孔136が設けられ、上下移動プレート7
4から突出した突出部138がこの長孔136を貫通し
固定部材140によって固定されている。そして、固定
された突出部138に対して長孔136が上下方向に摺
動する。
【0036】シャフト台134からはノズル支持シャフ
ト78が突出している。そして、このノズル支持シャフ
ト78にノズル82が固定されている。なお、このノズ
ル82については後から詳しく説明する。
【0037】受け台132にはマイクロメータ142が
設けられ、その上端部はシャフト台134を支持してい
る。マイクロメータ142を手動で動作させることによ
りシャフト台134が上下方向に移動し、その高さを微
調整することができる。
【0038】他のノズル支持シャフト79,80も同様
の構成である。
【0039】3.液槽66とノズル82の構造 次に、図6から図8に基づいて液槽66とノズル82の
構造について説明する。
【0040】支持プレート54の支持板56の上部に支
持された液槽66は、左右方向に延びており、図6に示
すように、側面形状は台形となっている。そして、液槽
66の上端部中央部(斜面の頂上部)には、左右方向に
伸びるスリット84が形成されている。このスリット8
4は、液槽66の外方に設けられた蓋86によって閉塞
可能となっている。
【0041】液槽66の内部にはノズル82が内蔵され
ている。このノズル82は、左右方向に伸びる毛管状隙
間88を介して前後一対の前ノズル部材90と後ノズル
部材92とより構成されている。これら前ノズル部材9
0と後ノズル部材92は前後対称であり、上方ほどくち
ばしのように尖った断面形状となっており、その間に毛
管状隙間88が設けられている。この毛管状隙間88の
上端部は左右方向に沿って開口し、下面も左右方向に沿
って開口している。
【0042】ノズル82の左端部及び右端部には前記し
たノズル支持シャフト78,79,80が固定されてい
る。そして、ノズル支持シャフト78,79,80は液
槽66の底面に開口した左右一対の孔94,95,96
を摺動するものである。この孔94,95,96から塗
工液が漏れ出さないようにするために、ノズル82の底
面から液槽66の底面にかけて蛇腹状の閉塞部材98,
99,100が設けられている。これにより、支持シャ
フト78,79,80が上下動しても蛇腹状の閉塞部材
98,99,100が上下方向に延び縮みして、孔9
4,95,96から塗工液が漏れ出さないようになって
いる(図6及び図7参照)。
【0043】図8に示すように、塗工液を溜めたタンク
102から塗工液がポンプ104によってくみ出され、
フィルタ106を通じて液槽66の左側面に開口した塗
工液の供給口108に供給される。また、液槽66の底
面には循環口110が開口しており、この循環口110
からタンク102に塗工液が循環する。なお、フィルタ
106は、塗工液を循環させるため、異物があった場合
に取り除くものである。
【0044】さらに、液槽66の左側面の上部には、孔
111が開口し、そこからL字状の高さ調整管112が
突出している。この高さ調整管112の上端は開口し、
かつ、その調整管112の外部側面には塗工液の高さを
検知する検知センサ114が設けられている。すなわ
ち、液槽66に塗工液が満たされた場合に、それと同じ
高さまでこの高さ調整管112に塗工液が満たされる。
そして、この満たされた量に応じて検知センサ114が
塗工液を検知し、その高さを検知するものである。そし
て、検知した高さのデータは、マイコンよりなる制御部
115に送られ、制御部115は、その高さのデータに
応じて、ポンプ104のモータ105を駆動させて、設
定され高さになるまで塗工液を供給する。
【0045】4.テーブル24の移動構造 次に、テーブル24をノズル82の位置まで移動させる
構造について説明する。
【0046】図1及び図2が示すように、この移動フレ
ーム16、16は、ベースフレーム12の左側面に設け
られたネジ棒18をモータ20によって回動させること
で、前後方向にリニアウエイ14、14に沿って移動可
能となっている。
【0047】すなわち、一対の移動フレーム16,16
のうち左側にある移動フレーム16からネジ棒18と螺
合する雌ネジ部を有する移動部22が突出し、このネジ
棒18が回動することによって移動部22がネジ棒18
に沿って移動して、左右一対の移動フレーム16,16
が前後方向に移動するものである。
【0048】5.テーブル24の吸着構造 次に、基材28をテーブル24に吸着させる構造につい
て説明する。
【0049】左右一対の移動フレーム16,16の間に
設けられたテーブル24は、回転軸26に沿ってほぼ1
80゜回動可能となっている。そして、このテーブル2
4の吸着面27には複数の吸着孔116が開口してい
る。この吸着孔116はテーブル24の前面にわたって
開口しているものであるが、その内部構造は図9及び図
10のようになっている。すなわち、テーブル24の内
部には、複数の区画に分割された吸着空間118が設け
られている。
【0050】具体的には、第1区画は、図10における
テーブル24の上部の中央部に設けられた4つの吸着空
間118から構成され、各吸着空間118は細い空気経
路120によって連結されている。そして、これら4つ
の吸着空間118の各部分に4つの吸着孔116が開口
している。この第1区画の4つの吸着空間118には図
9に示すように、空気を吸い込むための吸引パイプ12
2が連結され、この吸引パイプ122は手動バルブ12
4を経て回転軸26内部に挿通されている。そして、こ
の挿通された吸引パイプ122は、移動フレーム16の
左側から取り出され、真空ポンプ126に連結されてい
る。
【0051】また、テーブル24の第2区画は、前記し
た第1区画をコの字状に囲んだ状態であり、6個の吸着
空間118から構成され、この吸着空間118も空気経
路120によって連結されている。
【0052】以下、同様にして第3区画、第4区画が構
成されている。
【0053】ここで、テーブル24が基材28を吸着す
る場合について説明する。
【0054】テーブル24の中央部に基材28を載置す
る。この場合に、基材28の大きさに合わせて、第1区
画から第n区画までを手動バルブ124を開けて真空ポ
ンプ126によって吸着孔116から基材28を吸着す
る。すなわち、中央部にある第1区画は必ず吸引状態に
し、後の区画は、基材28の大きさに合わせて吸引状態
にする。また、吸引に必要でない区画は手動バルブ12
4を閉めて吸引が行われないようにする。
【0055】そして、移動フレーム16内部には、テー
ブル24の回転軸26を回転するためのモータ128と
減速機が内蔵されている。
【0056】なお、第1区画を矩形状に開口せず4つの
吸着空間118を設けて各吸着空間118を空気経路1
20によって連結したのは、テーブル24の強度を考慮
したためである。
【0057】6.塗工工程 上記構成の塗工装置10を用いて基材28に塗工液を塗
工する場合について説明する。
【0058】(第1工程)まず、塗工装置10を用いて
基材28に塗工液を塗工する前に、ノズル82の左右方
向の高さを微調整する。これは、上下移動プレート74
に設けられている3個のノズル支持部130、130,
130から突出したノズル支持シャフト78,79,8
0の高さをマイクロメータ142,142,142で微
調整することにより、基材28の下面とノズル82の先
端部との間隔(塗工厚さ)が基材28の幅方向において
一定になるように調整する。
【0059】従来、この微調整は組立をする際に行う必
要があり、かなりの技術力が必要であったが、この塗工
装置10ではマイクロメータ142,142,142を
手動で調整することによりその幅方向の間隔、すなわち
ノズル82の左右方向のたわみを微調整することができ
る。
【0060】(第2工程)図1において、基材位置Aの
ところにテーブル24を位置させる。この場合に、吸着
面27は上方を向いている。そして、塗工したい面を上
方にして基材28を吸着面27に載置する。そして、真
空ポンプ126を作動させて、吸着孔116から基材2
8を吸引してテーブル24に基材28を固定する。
【0061】(第3工程)テーブル24をほぼ180゜
回転させ、図1に示す基材位置Bのように吸着面27、
すなわち基材28を下方に位置させる。
【0062】移動フレーム16内部には回転軸26を回
転するためのモータ128と減速機が内蔵されている。
【0063】(第4工程)反転したテーブル24を、モ
ータ20によって移動させて、移動フレーム16,16
によって塗工開始位置まで移動させる。
【0064】(第5工程)液槽66の中には所定の高さ
まで塗工液を満たしておく。この場合に塗工液の現在の
高さは、高さ調整管112の外部側面に設けられた検知
センサ114によって調整し、塗工液の高さを所定の高
さまで上げる場合には制御部115はポンプ104を動
作させて塗工液を供給する。
【0065】また、ノズル82は、塗工液で満たされた
液槽66の内部に沈んだ状態としておく。そして、この
ようにノズル82が塗工液に沈んだ状態で液槽66のス
リット84の蓋86を開けて、液槽66を基材28の下
方まで上昇させる。この上昇させる方法は、図4に示す
ように、サーボモータ52を回転させて左右一対の移動
コッタ34,36を移動させる。すると、左右方向に移
動が規制された支持プレート54が、移動コッタ34,
36の斜面40,46に設けられたリニアウェイ42,
48に沿って上方のみ移動する。支持プレート54が上
方に移動すると液槽66とノズル82が同時に上方に移
動する。
【0066】液槽66が基材28の下方まで上昇させる
と、その上昇を一旦停止させる。
【0067】(第6工程)上記のように上昇した液槽6
6からノズル82のみを突出させる。
【0068】このために、左右移動プレート70をエア
シリンダ71によって移動させる。この場合に上下移動
プレート74は左右方向に移動が規制されているため、
左右移動プレート70が左右方向に移動すると、リニア
ウェイ72が斜めに設けられているため上下移動プレー
ト74は上方のみ移動する。上下移動プレート74が上
方に移動するとノズル支持シャフト78,80も同時に
上方に移動してノズル82が上昇する。ノズル82が液
槽66の塗工液から上昇する際に、毛管状隙間88の間
には塗工液が満たされているため、この毛管状隙間88
には塗工液が先端まで満たされた状態で上昇する。そし
て、その上昇を停止させる。
【0069】(第7工程)上記のようにノズル82が突
出した状態で液槽66を再び上昇させ、基材28の下面
に接液する。すなわち、ノズル82の毛管状隙間88に
満たされた塗工液を基材28の下面に接触させるもので
ある。
【0070】この上昇の際には液槽66の上昇速度及び
上昇距離はかなり微妙な調整を要求されるが、前記した
ようにサーボモータ52を回転させると移動コッタ3
4,36の斜面に沿って支持プレート54が上下動する
ため、この微妙な調整を容易に行うことが可能となる。
また、左右方向に水平な状態で液槽66を持ち上げるこ
とが可能となるため、基材28の塗工厚が左右方向に変
化することがない。
【0071】(第8工程)上記のように接液した状態で
ノズル82と共に液槽66を塗工高さの位置まで接液し
た状態で下降させる。すなわち、ノズル82の先端の位
置と基材28との間の距離が塗工厚さとなるわけであ
る。そして、この微妙な調整も上記したようにサーボモ
ータ52を用いて容易に行うことができる。
【0072】(第9工程)上記のようにノズル82を塗
工高さの位置まで下降させた後、基材28をテーブル2
4によって一定速度で塗工終了位置まで移動させる。す
ると。塗工液はノズル82によって左右方向に塗工され
た状態で、前後方向に基材28を移動させることによっ
て平面状態に塗工を行うことができる。すなわち、基材
28上に平面に塗工液を所定の塗工厚さで塗工すること
が可能となる。なお、この搬送する場合に、基材28の
前後方向の姿勢、及び、左右方向の姿勢は、どちらも水
平に維持する。
【0073】(第10工程)基材28を塗工終了位置で
一旦停止させ、ノズル82及び液槽66をそれぞれ塗工
高さの位置から下降させ、基材28から離す。
【0074】(第11工程)ノズル82が基材28の下
面から離れた後、図1に示すようにテーブル24を後方
に移動させ、基板位置Cまで移動させる。
【0075】(第12工程)基板位置Cまで移動したテ
ーブル24を再び180゜回転させ、基板位置Dの状態
に反転させる。これによって、基板28がテーブル24
の上面に位置する。
【0076】(第13工程)吸着面27の吸引力を解除
し、基材28をテーブル24から取り外す。これによっ
て、一連の塗工動作が終了する。
【0077】以上のように本実施例の塗工装置10であ
ると、上記のような塗工工程を行うことにより、ガラス
基板よりなる基材28に所定の塗工厚さで、かつ、平面
で一度に塗工を行うことができる。
【0078】また、移動コッタ34,36の斜面上を支
持プレート54が上下動するため、液槽66及びノズル
82の上下の位置を正確に、かつ、途中の状態であって
も移動させることができる。
【0079】さらに、ノズル82は左右移動プレート7
0をエアシリンダ71によって移動させて、上下移動プ
レート74を上下方向に移動させるため、正確かつ確実
に上下動させることができる。
【0080】さらに、塗工装置10においては3個のマ
イクロメータ142を調整することによりノズル82の
左右方向のたわみを微調整することができ、高精度で塗
工液を塗工することができる。
【0081】第2の実施例 図11は、第2の実施例の塗工装置10である。
【0082】この塗工装置10と第1の実施例の塗工装
置10との相違点は、ノズル82の高さを微調整する構
造にある。
【0083】すなわち、本実施例では、図11に示すよ
うに上下移動プレート74の受け台132には、垂直方
向にネジ棒144が回動自在に設けられ、このネジ棒1
44にはラック146が設けられている。そして、この
ラック146にシャフト台134が設けられている。一
方、ネジ棒144は減速機付のモータ148が接続さ
れ、このモータ148を回転することによりラック14
6及びシャフト台134が上下動して、ノズル82の高
さを調整することができる。
【0084】さらに、シャフト台134から上方に向か
ってセンサ台150が設けられ、このセンサ台150の
上部には接触式の位置センサ152が設けられている。
この位置センサ152の上端は基材28の下面に接触
し、ノズル82の上端と基材28との間隔を測定するこ
とができる。
【0085】本実施例の塗工装置10において基材28
の下面に塗工液を塗工する前に次のような検査工程を設
ける。
【0086】基材28の下面に塗工液を塗工するのと同
様にサクションテーブル24の下面に基材28を吸着し
て塗工工程と同様に基材28を移動させる。その時に、
位置センサ152を基材28の下面に接触させ、基材2
8の下面の凹凸状態を測定する。すなわち、塗工開始点
から塗工終了点までの間の基材28の下面の凹凸状態を
位置センサ152で測定しマイコンよりなる制御部15
4に記憶しておく。そして、基材28に塗工をする場合
には、その記憶した凹凸の状態に基づいてモータ148
を駆動させてノズル82の左右方向の高さを微調整し
て、常にノズル82と基材28の下面との距離が塗工厚
に保持されるようにする。
【0087】この場合に、位置センサ152とノズル8
2の位置とは異なるため、位置センサ152の位置とノ
ズル82の先端との距離Pを差し引いて、その差し引い
た分に基づいてモータ148を駆動させる。
【0088】なお、塗工する場合には位置センサ152
を基材28の下面に接触しないように下方に待機させて
おく。
【0089】第3の実施例 図12は、第3の実施例の塗工装置200である。
【0090】この塗工装置200は、第1の実施例の塗
工装置10のように板状の基材28に塗工液を塗工する
ものでなく、長尺状の基材202(例えばフィルムや不
織布)に塗工液を塗工するものである。
【0091】図12に示すように、バックアップロール
204の下方に前記で説明した塗工システム30が配さ
れている。
【0092】そして、基材202はバックアップロール
204に沿って搬送され、バックアップロール204の
最下点の位置においてノズル82によって塗工を行うも
のである。この塗工方法は上記と同様である。
【0093】この方法であると、板状の基材28のみな
らず長尺状の基材202に対しても塗工を行うことがで
きる。
【0094】この塗工装置200であっても、ノズル支
持部130に設けたマイクロメータ142を調整するこ
とにより、ノズル82の高さを微調整することができ、
ノズル82の左右方向のたわみを補正することができ
る。
【0095】第4の実施例 図13は、第4の実施例の塗工装置200である。
【0096】この塗工装置200においても長尺状の基
材202を塗工するものであり、ノズル支持部130の
構造が、第2の実施例の塗工装置10におけるモータ1
48を用いた構造となっている。
【0097】そして、本実施例では長尺状の基材202
に塗工された塗工液の厚さをセンサ206によって測定
し、その測定した厚さが常に一定になるようにセンサ2
06からの出力信号をマイコンよりなる制御部208が
受け、その信号に基づいてモータ148を駆動させるフ
ィードバック制御を行っている。
【0098】
【発明の効果】以上により本発明の塗工装置であると、
微調整手段によってノズルの左右方向の高さを微調整す
ることができるため、ノズルの左右方向のたわみを補正
することができ、また、ノズルの上端と基材との距離、
すなわち、塗工厚さを常に一定になるように微調整する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す塗工装置の左側面
図である。
【図2】同じく正面図である。
【図3】塗工システムの斜視図である。
【図4】塗工システムの正面図である。
【図5】図4におけるX−X線断面図である。
【図6】液槽及びノズルの縦断面図であり、塗工前の状
態である。
【図7】同じく塗工中の状態である。
【図8】液槽とノズルとタンクとポンプとフィルタの関
係を示す縦断面図である。
【図9】テーブルの縦断面図である。
【図10】テーブルの一部欠載横断面図である。
【図11】第2の実施例の塗工装置の側面図である。
【図12】第3の実施例を示す塗工装置の左側面図であ
る。
【図13】第4の実施例を示す塗工装置の左側面図であ
る。
【符号の説明】
10 塗工装置 24 テーブル 28 基材 30 塗工システム 34 移動コッタ 36 移動コッタ 52 サーボモータ 54 支持プレート 60 支持脚 62 支持脚 66 液槽 70 左右移動プレート 71 エアシリンダ 74 上下移動プレート 78 ノズル支持シャフト 80 ノズル支持シャフト 82 ノズル 84 スリット 88 毛管状隙間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石田 孝夫 奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の 1 株式会社ヒラノテクシード内 Fターム(参考) 4F040 AA12 AB04 AC01 BA02 CA02 CA05 CA13 CA14 DA02 DA04 DA12 4F041 AA05 AB01 BA05 BA12 BA22 BA56 4F042 AA06 BA08 BA09 CA01 CB11 CB18 DF09

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】塗工液を入れた液槽と、 前記液槽の塗工液の中に沈み、また、毛管状隙間を備え
    た左右方向に延びたノズルと、 を有し、 前後方向に走行する基材の下面近傍まで前記液槽を上昇
    させ、さらに前記液槽から前記ノズルを突出させること
    により、前記毛管状隙間から塗工液を塗工する塗工装置
    において、 前記液槽を上下させる液槽上下動手段を設け、 前記ノズルを支持しつつ、前記液槽から前記ノズルを上
    下させるノズル上下動手段を設け、 前記ノズル上下動手段に支持された前記ノズルの高さを
    さらに微調整するための微調整手段を前記ノズルの左右
    方向に複数設けたことを特徴とする塗工装置。
  2. 【請求項2】前記微調整手段は、マイクロメータによっ
    て前記ノズルを上下動させるものであることを特徴とす
    る請求項1記載の塗工装置。
  3. 【請求項3】前記微調整手段は、モータによって前記ノ
    ズルを上下動させるものであることを特徴とする請求項
    1記載の塗工装置。
  4. 【請求項4】前記ノズルと前記基材との間隔を測定する
    センサを設け、 前記センサからの信号に基づいて、前記ノズルと前記基
    材との距離が所定間隔になるように前記微調整手段のモ
    ータを駆動させる制御手段を設けたことを特徴とする請
    求項3記載の塗工装置。
  5. 【請求項5】前記基材は、板状であり、 サクションテーブルの下面に設けられた吸着面に前記基
    材が吸着されて前後方向に搬送されることを特徴とする
    請求項1から4記載の塗工装置。
  6. 【請求項6】前記基材は長尺状にあり、 前記ノズルの上方に配されたバックアップロールによっ
    て前後方向に搬送されることを特徴とする請求項1から
    4記載の塗工装置。
JP2000143586A 2000-05-16 2000-05-16 塗工装置 Pending JP2001321710A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000143586A JP2001321710A (ja) 2000-05-16 2000-05-16 塗工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000143586A JP2001321710A (ja) 2000-05-16 2000-05-16 塗工装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001321710A true JP2001321710A (ja) 2001-11-20

Family

ID=18650383

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000143586A Pending JP2001321710A (ja) 2000-05-16 2000-05-16 塗工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001321710A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006122891A (ja) * 2004-10-01 2006-05-18 Hirano Tecseed Co Ltd 塗工装置
JP2008229492A (ja) * 2007-03-20 2008-10-02 Toray Ind Inc 塗液の塗布装置
JP2009172556A (ja) * 2008-01-28 2009-08-06 Seiko Epson Corp スリットコート式塗布装置及び塗布方法
US8267039B2 (en) 2007-12-10 2012-09-18 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Coating apparatus and method of applying coating liquid
CN102773200A (zh) * 2012-08-09 2012-11-14 深圳市浩能科技有限公司 一种挤压模头调节装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006122891A (ja) * 2004-10-01 2006-05-18 Hirano Tecseed Co Ltd 塗工装置
JP4673157B2 (ja) * 2004-10-01 2011-04-20 株式会社ヒラノテクシード 塗工装置
JP2008229492A (ja) * 2007-03-20 2008-10-02 Toray Ind Inc 塗液の塗布装置
US8267039B2 (en) 2007-12-10 2012-09-18 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Coating apparatus and method of applying coating liquid
JP2009172556A (ja) * 2008-01-28 2009-08-06 Seiko Epson Corp スリットコート式塗布装置及び塗布方法
CN102773200A (zh) * 2012-08-09 2012-11-14 深圳市浩能科技有限公司 一种挤压模头调节装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI329533B (en) Coating apparatus and coating method
JP4995488B2 (ja) 塗布方法及び塗布装置
TWI559365B (zh) Coating device
JP4091372B2 (ja) 基板処理装置
JP3334045B2 (ja) 塗工方法及び塗工装置
JP2008147291A (ja) 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法
JP4301694B2 (ja) 塗布装置
JP2000140736A (ja) 流体塗布装置及び流体塗布方法
JP5771432B2 (ja) 塗布装置
JP2001321710A (ja) 塗工装置
JP5188759B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP4982292B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP4372606B2 (ja) 塗布膜形成装置
JP3252325B2 (ja) 塗工方法及び塗工装置
JP2003243286A (ja) 基板処理装置
JPH11300258A (ja) 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法
JP4241339B2 (ja) 液晶基板の組立方法
JP4360889B2 (ja) 吐出装置および基板処理装置
TW201043342A (en) Paste coating device and coating method
KR101513016B1 (ko) 도포장치 및 도포방법
TWI481540B (zh) 塗佈裝置及塗佈方法
JP4927274B2 (ja) 塗工装置及び塗工方法
JP2002153791A (ja) 塗工装置
JP3663450B2 (ja) 塗工装置及び塗工方法
JP5044332B2 (ja) 処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040513

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040608

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040714

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050125