JP3334045B2 - 塗工方法及び塗工装置 - Google Patents

塗工方法及び塗工装置

Info

Publication number
JP3334045B2
JP3334045B2 JP24549799A JP24549799A JP3334045B2 JP 3334045 B2 JP3334045 B2 JP 3334045B2 JP 24549799 A JP24549799 A JP 24549799A JP 24549799 A JP24549799 A JP 24549799A JP 3334045 B2 JP3334045 B2 JP 3334045B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
coating
liquid tank
liquid
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP24549799A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001062370A (ja
Inventor
佳久 森
充孝 村田
Original Assignee
株式会社ヒラノテクシード
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社ヒラノテクシード filed Critical 株式会社ヒラノテクシード
Priority to JP24549799A priority Critical patent/JP3334045B2/ja
Publication of JP2001062370A publication Critical patent/JP2001062370A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3334045B2 publication Critical patent/JP3334045B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基材に塗工液を塗
工する方法及びその塗工装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】最近、液晶表示装置等が広く普及するよ
うになり、この液晶表示装置のガラス板に保護膜等に使
用される塗工液を塗工する必要が出てきた。
【0003】このようなガラス基板等の基材に塗工液を
塗工する方法として、毛細管現象を利用した塗工装置が
提案されている(特開平8−224528号、特開平6
−343908号)。
【0004】この塗工装置は、塗工液によって満たされ
た液層の内部に毛管状隙間を備えたノズルを沈めてお
き、塗工する際にはこのノズルを上昇させて基材の下面
近傍に位置させ、毛管状隙間から塗工液を接液して、基
材の下面に塗工液を塗工するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶表示装
置等のガラス基板に塗工液を塗工する場合には、その塗
工厚さをかなり薄くする必要がある。そのため、上記の
ような塗工装置を使用した場合であっても、その塗工方
法はかなり難しく、実質的には上記装置はガラス基板等
の塗工には使用することについて実現されていなかっ
た。
【0006】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、上記
のような塗工装置を使用しても確実にガラス板等の基材
の下面に塗工液を薄く塗工することができる塗工方法及
びその塗工装置を提供するものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の請求項1の塗
工方法は、塗工液を入れた液槽と、前記液槽に入れた塗
工液の中に沈み、また、毛管状隙間を備えた左右方向に
延びたノズルと、を有し、前後方向に走行する基材の下
面に前記ノズルの毛管状隙間から塗工液を塗布する塗工
装置の塗工方法であって、次の工程に基づいて前記基材
に塗工液を塗工するものである。
【0008】前記ノズルが沈んだ状態で前記液槽が、前
記基材の下方まで上昇する工程。
【0009】前記ノズルのみが前記液槽から突出する工
程。
【0010】前記ノズルが突出した状態で前記液槽が
記ノズルと共に上昇して、前記ノズルの前記毛管状隙間
から流出する塗工液を前記基材の下面における塗工開始
位置に接液する工程。
【0011】前記ノズルが突出して前記基材の下面に接
液した状態で前記液槽が前記ノズルと共に塗工高さの位
置まで下降する工程。
【0012】前記基材の下面に塗工液を塗工しながら、
前記基材を塗工終了位置まで走行させる工程。
【0013】前記ノズルと前記液槽が塗工高さの位置か
ら下降する工程。
【0014】請求項2の発明は、基材を、前後方向及び
左右方向共にほぼ水平に走行させることを特徴とする請
求項1記載の塗工方法である。
【0015】請求項3の発明は、基材を、前後方向は傾
斜させつつ、左右方向はほぼ水平に走行させることを特
徴とする請求項1記載の塗工方法である。
【0016】請求項4の塗工装置は、塗工液を入れた液
槽と、前記液槽に入れた塗工液の中に沈み、また、毛管
状隙間を備えた左右方向に延びたノズルと、を有し、前
後方向に走行する基材の下面近傍まで前記液槽を上昇さ
せ、さらに前記液槽から前記ノズルを突出させることに
より、前記毛管状隙間から塗工液を塗布し、その塗工後
前記液槽及び前記ノズルを下降させる塗工装置におい
て、前記液槽を上下させる手段は、ベースプレート上を
左右方向に移動自在に配され、上面が斜面になっている
移動コッタと、前記移動コッタを左右方向に移動させる
第1駆動部材と、前記移動コッタの上方に配され、前記
液槽を支持した支持プレートと、前記支持プレートの下
面から突出し、前記移動コッタの斜面上を移動可能なよ
うに下面が斜面に形成された支持脚と、よりなり、前記
液槽から前記ノズルを上下させる手段は、前記支持プレ
ートと水平に移動可能な第1連結部材を介して連結され
た左右移動プレートと、前記左右移動プレートと斜めに
移動可能な第2連結部材を介して連結され、かつ、左右
方向の移動が規制された上下移動プレートと、前記上下
移動プレートに設けられ、前記ノズルを支持する支持シ
ャフトと、前記左右移動プレートを左右に移動させる第
2駆動部材と、よりなるものである。
【0017】請求項5の塗工装置は、塗工液を入れた液
槽と、前記液槽に入れた塗工液の中に沈み、また、毛管
状隙間を備えた左右方向に延びたノズルと、を有し、前
後方向に走行する基材の下面に前記ノズルの毛管状隙間
から塗工液を塗布する塗工装置において、前記基材を吸
い付けて固定する吸着面を有したサクションテーブル
と、前記基材を吸着した前記サクションテーブルを回動
させ、前記基材を前記サクションテーブルの下方に位置
させる回動手段と、前記サクションテーブルを所定の速
度で前後方向に前記ノズルの上方で走行させる移動手段
と、前記液槽を上下させる手段と、前記液槽から前記ノ
ズルを上下させる手段とを有し、前記液槽を上下させる
手段は前後方向に走行する前記基材の下面近傍まで前記
液槽及び前記ノズルを上昇させ、さらに、前記液槽から
前記ノズルを上下させる手段は前記液槽から前記ノズル
を突出させることにより、前記毛管状隙間から塗工液を
塗布し、その塗工後、前記液槽を上下させる手段は前記
液槽及び前記ノズルを下降させるものである。
【0018】請求項6の発明は、基材を、前後方向及び
左右方向共にほぼ水平に走行させることを特徴とする請
求項4.5記載の塗工装置である。
【0019】請求項7の発明は、基材を、前後方向は傾
斜させつつ、左右方向はほぼ水平に走行させることを特
徴とする請求項4.5記載の塗工装置である。
【0020】請求項1、2,3の塗工方法を用いると、
塗工開始直前までノズルを液層に沈めておくことがで
き、また、基材の下面に塗工液を接液した後に、ノズル
とともに液層を塗工高さの位置まで下降するため、塗工
厚を正確にすることができる。
【0021】請求項4の塗工装置であると、液層を上下
させる場合には、第1駆動部材によって移動コッタを左
右に移動させ、これに伴って支持プレートが上下動す
る。したがって、液層を上下方向に正確に移動させるこ
とができる。
【0022】また、ノズルを上下方向に移動させる場合
には、第2駆動部材によって左右移動プレートを左右に
移動させ、これによって左右方向に移動がなお、この場
合に、毛管状隙間82と基材28の走行方向とは直交さ
せるのが好ましい。規制された上下移動プレートが上下
に移動し、ノズルを正確に上下動させることができる。
【0023】請求項5の塗工装置であると、まず、サク
ションテーブルの吸着面を上方に位置させ、基材をこの
吸着面に吸着させる。その後、回動手段によってサクシ
ョンテーブルを回動させ基材をサクションテーブルの下
方に移動させる。この状態のままサクションテーブルを
所定の速度で前後方向に移動手段によって移動させ、ノ
ズルから塗工液を前記基材の下面に塗工させる。
【0024】
【発明の実施の形態】第1の実施例 以下、本発明の第1の実施例を示す塗工装置10につい
て図1〜図10に基づいて説明する。
【0025】この塗工装置10は、液晶表示装置等のガ
ラス基板に薄く塗工液を塗工する装置である。
【0026】図1は塗工装置10の左側面図であり、図
2は正面図である。
【0027】1.塗工装置10の全体の構造 図1及び図2が示すように、塗工装置10は、水平な床
面等に設置されるベースフレーム12の上に、リニアウ
ェイ14、14を介して前後方向に移動可能な移動フレ
ーム16、16が載置されている。
【0028】左右一対の移動フレーム16,16の間に
はサクションテーブル(以下、単にテーブルという)2
4が回動自在に回転軸26によって支持されている。な
お、移動フレーム16,16は、左右を溶接構造により
一体化されている。
【0029】このテーブル24の吸着面27にガラス板
よりなる基材28を吸着させ、塗工を行うものである。
このテーブル24の構成についてはあとから詳しく説明
する。
【0030】2.塗工システム30の構造 ベースフレーム12の内部には塗工液を塗工するための
塗工システム30が設けられている。以下、この塗工シ
ステム30について説明する。
【0031】図3が、塗工システム30の斜視図であ
り、図4が正面図であり、図5が図4におけるX−X線
断面図である。
【0032】塗工システム30は、ベースフレーム12
の左右方向に配されたベースプレート32を基礎に構成
されている。
【0033】ベースプレート32の上面には、左右一対
の移動コッタ34,36が設けられている。
【0034】このうち、右側に位置する移動コッタ36
は、ベースプレート32の上面に左右方向に配されたリ
ニアウェイ38に沿って移動可能である。また、移動コ
ッタ36の上面は斜面40になっており、左側が右側よ
りも低くなっている。そして、この斜面40の上にもリ
ニアウェイ42が設けられている。
【0035】移動コッタ34も同様にベースプレート3
2に対してリニアウェイ44で左右方向に移動可能とな
っており、また、斜面46の上にはリニアウェイ48が
設けられている。
【0036】左右一対の移動コッタ34,36には連結
シャフト50が設けられ、この連結シャフト50の右端
部にはサーボモータ52が配されている。連結シャフト
50の移動コッタ34,36の位置には雄ネジ部が設け
られ、移動コッタ34,36内部には雌ネジ部が設けら
れている。このサーボモータ52を回転させることによ
って連結シャフト50が回転し、移動コッタ34,36
がリニアウエイ38,44に沿って左右方向に移動する
ものである。
【0037】一対の移動コッタ34,36の上方には支
持プレート54が設けられている。この支持プレート5
4は、左右方向に沿って延びている支持板56と、この
支持板56の下端より前後方向に延びた基板58とより
なる。
【0038】この基板58の下面には左右一対の支持脚
60,62が設けられている。支持脚60,62の下面
は斜面となっており、前記した移動コッタ34,36の
斜面の上に形成されたリニアウェイ42,48に沿って
移動可能となっている。
【0039】また、ベースプレート32から支持プレー
ト54の基板58の中央部に上下移動用のガイドシャフ
ト64が突出している。支持プレート54はこのガイド
シャフト64に沿って上下動可能であり、かつ、左右方
向の移動が規制されている。
【0040】支持プレート54の上端部には塗工液を溜
めるための液槽66が設けられている。この液槽66に
ついてはあとから説明する。
【0041】支持プレート54の支持板56には左右一
対のリニアウェイ68を介して左右移動プレート70が
設けられている。このリニアウェイ68は左右方向に移
動可能となっている。左右移動プレート70はエアシリ
ンダ71によって左右方向に移動可能となっている。
【0042】左右移動プレート70の前面にはリニアウ
ェイ72を介して上下移動プレート74が設けられてい
る。このリニアウェイ72は斜め方向に移動可能となっ
ている。さらに、上下移動プレート74は支持プレート
54の基板58から突出した左右一対のガイドシャフト
76に沿って上下方向移動可能となっており、かつ、左
右方向の移動が規制されている。
【0043】上下移動プレート74の左端部近傍及び右
端部近傍からノズル支持シャフト78が突出し、この左
右一対のノズル支持シャフト78,80にはノズル82
が支持されている。このノズル82についてはあとから
説明する。
【0044】3.液槽66とノズル82の構造 次に、図6から図8に基づいて液槽66とノズル82の
構造について説明する。
【0045】支持プレート54の支持板56の上部に支
持された液槽66は、左右方向に延びており、図6に示
すように、側面形状は台形となっている。そして、液槽
66の上端部中央部(斜面の頂上部)には、左右方向に
伸びるスリット84が形成されている。このスリット8
4は、液槽66の外方に設けられた蓋86によって閉塞
可能となっている。
【0046】液槽66の内部にはノズル82が内蔵され
ている。このノズル82は、左右方向に伸びる毛管状隙
間88を介して前後一対の前ノズル部材90と後ノズル
部材92とより構成されている。これら前ノズル部材9
0と後ノズル部材92は前後対称であり、上方ほどくち
ばしのように尖った断面形状となっており、その間に毛
管状隙間88が設けられている。この毛管状隙間88の
上端部は左右方向に沿って開口し、下面も左右方向に沿
って開口している。
【0047】ノズル82の左端部及び右端部には前記し
た左右一対のノズル支持シャフト78,80が固定され
ている。そして、左右一対のノズル支持シャフト78,
80は液槽66の底面に開口した左右一対の孔94,9
6を摺動するものである。この孔94,96から塗工液
が漏れ出さないようにするために、ノズル82の底面か
ら液槽66の底面にかけて蛇腹状の閉塞部材98,10
0が設けられている。これにより、支持シャフト78,
80が上下動しても蛇腹状の閉塞部材98,100が上
下方向に延び縮みして、孔94,96から塗工液が漏れ
出さないようになっている(図6及び図7参照)。
【0048】図8に示すように、塗工液を溜めたタンク
102から塗工液がポンプ104によってくみ出され、
フィルタ106を通じて液槽66の左側面に開口した塗
工液の供給口108に供給される。また、液槽66の底
面には循環口110が開口しており、この循環口110
からタンク102に塗工液が循環する。なお、フィルタ
106は、塗工液を循環させるため、異物があった場合
に取り除くものである。
【0049】さらに、液槽66の左側面の上部には、孔
111が開口し、そこからL字状の高さ調整管112が
突出している。この高さ調整管112の上端は開口し、
かつ、その調整管112の外部側面には塗工液の高さを
検知する検知センサ114が設けられている。すなわ
ち、液槽66に塗工液が満たされた場合に、それと同じ
高さまでこの高さ調整管112に塗工液が満たされる。
そして、この満たされた量に応じて検知センサ114が
塗工液を検知し、その高さを検知するものである。そし
て、検知した高さのデータは、マイコンよりなる制御部
115に送られ、制御部115は、その高さのデータに
応じて、ポンプ104のモータ105を駆動させて、設
定され高さになるまで塗工液を供給する。
【0050】4.テーブル24の移動構造 次に、テーブル24をノズル82の位置まで移動させる
構造について説明する。
【0051】図1及び図2が示すように、この移動フレ
ーム16、16は、ベースフレーム12の左側面に設け
られたネジ棒18をモータ20によって回動させること
で、前後方向にリニアウエイ14、14に沿って移動可
能となっている。
【0052】すなわち、一対の移動フレーム16,16
のうち左側にある移動フレーム16からネジ棒18と螺
合する雌ネジ部を有する移動部22が突出し、このネジ
棒18が回動することによって移動部22がネジ棒18
に沿って移動して、左右一対の移動フレーム16,16
が前後方向に移動するものである。
【0053】5.テーブル24の吸着構造 次に、基材28をテーブル24に吸着させる構造につい
て説明する。
【0054】左右一対の移動フレーム16,16の間に
設けられたテーブル24は、回転軸26に沿ってほぼ1
80゜回動可能となっている。そして、このテーブル2
4の吸着面27には複数の吸着孔116が開口してい
る。この吸着孔116はテーブル24の前面にわたって
開口しているものであるが、その内部構造は図9及び図
10のようになっている。すなわち、テーブル24の内
部には、複数の区画に分割された吸着空間118が設け
られている。
【0055】具体的には、第1区画は、図10における
テーブル24の上部の中央部に設けられた4つの吸着空
間118から構成され、各吸着空間118は細い空気経
路120によって連結されている。そして、これら4つ
の吸着空間118の各部分に4つの吸着孔116が開口
している。この第1区画の4つの吸着空間118には図
9に示すように、空気を吸い込むための吸引パイプ12
2が連結され、この吸引パイプ122は手動バルブ12
4を経て回転軸26内部に挿通されている。そして、こ
の挿通された吸引パイプ122は、移動フレーム16の
左側から取り出され、真空ポンプ126に連結されてい
る。
【0056】また、テーブル24の第2区画は、前記し
た第1区画をコの字状に囲んだ状態であり、6個の吸着
空間118から構成され、この吸着空間118も空気経
路120によって連結されている。
【0057】以下、同様にして第3区画、第4区画が構
成されている。
【0058】ここで、テーブル24が基材28を吸着す
る場合について説明する。
【0059】テーブル24の中央部に基材28を載置す
る。この場合に、基材28の大きさに合わせて、第1区
画から第n区画までを手動バルブ124を開けて真空ポ
ンプ126によって吸着孔116から基材28を吸着す
る。すなわち、中央部にある第1区画は必ず吸引状態に
し、後の区画は、基材28の大きさに合わせて吸引状態
にする。また、吸引に必要でない区画は手動バルブ12
4を閉めて吸引が行われないようにする。
【0060】そして、移動フレーム16内部には、テー
ブル24の回転軸26を回転するためのモータ128と
減速機が内蔵されている。
【0061】なお、第1区画を矩形状に開口せず4つの
吸着空間118を設けて各吸着空間118を空気経路1
20によって連結したのは、テーブル24の強度を考慮
したためである。
【0062】6.塗工工程 上記構成の塗工装置10を用いて基材28に塗工液を塗
工する場合について説明する。
【0063】(第1工程) 図1において、基材位置Aのところにテーブル24を位
置させる。この場合に、吸着面27は上方を向いてい
る。そして、塗工したい面を上方にして基材28を吸着
面27に載置する。そして、真空ポンプ126を作動さ
せて、吸着孔116から基材28を吸引してテーブル2
4に基材28を固定する。
【0064】(第2工程) テーブル24をほぼ180゜回転させ、図1に示す基材
位置Bのように吸着面27、すなわち基材28を下方に
位置させる。
【0065】移動フレーム16内部には回転軸26を回
転するためのモータ128と減速機が内蔵されている。
【0066】(第3工程) 反転したテーブル24を、モータ20によって移動させ
て、移動フレーム16,16によって塗工開始位置まで
移動させる。
【0067】(第4工程) 液槽66の中には所定の高さまで塗工液を満たしてお
く。この場合に塗工液の現在の高さは、高さ調整管11
2の外部側面に設けられた検知センサ114によって調
整し、塗工液の高さを所定の高さまで上げる場合には制
御部115はポンプ104を動作させて塗工液を供給す
る。
【0068】また、ノズル82は、塗工液で満たされた
液槽66の内部に沈んだ状態としておく。そして、この
ようにノズル82が塗工液に沈んだ状態で液槽66のス
リット84の蓋86を開けて、液槽66を基材28の下
方まで上昇させる。この上昇させる方法は、図4に示す
ように、サーボモータ52を回転させて左右一対の移動
コッタ34,36を移動させる。すると、左右方向に移
動が規制された支持プレート54が、移動コッタ34,
36の斜面40,46に設けられたリニアウェイ42,
48に沿って上方のみ移動する。支持プレート54が上
方に移動すると液槽66とノズル82が同時に上方に移
動する。
【0069】液槽66が基材28の下方まで上昇させる
と、その上昇を一旦停止させる。
【0070】(第5工程) 上記のように上昇した液槽66からノズル82のみを突
出させる。
【0071】このために、左右移動プレート70をエア
シリンダ71によって移動させる。この場合に上下移動
プレート74は左右方向に移動が規制されているため、
左右移動プレート70が左右方向に移動すると、リニア
ウェイ72が斜めに設けられているため上下移動プレー
ト74は上方のみ移動する。上下移動プレート74が上
方に移動するとノズル支持シャフト78,80も同時に
上方に移動してノズル82が上昇する。ノズル82が液
槽66の塗工液から上昇する際に、毛管状隙間88の間
には塗工液が満たされているため、この毛管状隙間88
には塗工液が先端まで満たされた状態で上昇する。そし
て、その上昇を停止させる。
【0072】(第6工程) 上記のようにノズル82が突出した状態で液槽66を再
び上昇させ、基材28の下面に接液する。すなわち、ノ
ズル82の毛管状隙間88に満たされた塗工液を基材2
8の下面に接触させるものである。
【0073】この上昇の際には液槽66の上昇速度及び
上昇距離はかなり微妙な調整を要求されるが、前記した
ようにサーボモータ52を回転させると移動コッタ3
4,36の斜面に沿って支持プレート54が上下動する
ため、この微妙な調整を容易に行うことが可能となる。
また、左右方向に水平な状態で液槽66を持ち上げるこ
とが可能となるため、基材28の塗工厚が左右方向に変
化することがない。
【0074】(第7工程) 上記のように接液した状態でノズル82と共に液槽66
を塗工高さの位置まで接液した状態で下降させる。すな
わち、ノズル82の先端の位置と基材28との間の距離
が塗工厚さとなるわけである。そして、この微妙な調整
も上記したようにサーボモータ52を用いて容易に行う
ことができる。
【0075】(第8工程) 上記のようにノズル82を塗工高さの位置まで下降させ
た後、基材28をテーブル24によって一定速度で塗工
終了位置まで移動させる。すると。塗工液はノズル82
によって左右方向に塗工された状態で、前後方向に基材
28を移動させることによって平面状態に塗工を行うこ
とができる。すなわち、基材28上に平面に塗工液を所
定の塗工厚さで塗工することが可能となる。なお、この
搬送する場合に、基材28の前後方向の姿勢、及び、左
右方向の姿勢は、どちらも水平に維持する。
【0076】(第9工程) 基材28を塗工終了位置で一旦停止させ、ノズル82及
び液槽66をそれぞれ塗工高さの位置から下降させ、基
材28から離す。
【0077】(第10工程) ノズル82が基材28の下面から離れた後、図1に示す
ようにテーブル24を後方に移動させ、基板位置Cまで
移動させる。
【0078】(第11工程) 基板位置Cまで移動したテーブル24を再び180゜回
転させ、基板位置Dの状態に反転させる。これによっ
て、基板28がテーブル24の上面に位置する。
【0079】(第12工程) 吸着面27の吸引力を解除し、基材28をテーブル24
から取り外す。これによって、一連の塗工動作が終了す
る。
【0080】以上のように本実施例の塗工装置10であ
ると、上記のような塗工工程を行うことにより、ガラス
基板よりなる基材28に所定の塗工厚さで、かつ、平面
で一度に塗工を行うことができる。また、移動コッタ3
4,36の斜面上を支持プレート54が上下動するた
め、液槽66及びノズル82の上下の位置を正確に、か
つ、途中の状態であっても移動させることができる。
【0081】さらに、ノズル82は左右移動プレート7
0をエアシリンダ71によって移動させて、上下移動プ
レート74を上下方向に移動させるため、正確かつ確実
に上下動させることができる。
【0082】参 考 例 図11は、本発明に該当しない参考例の塗工装置200
である。
【0083】この塗工装置200は、第1の実施例の塗
工装置10のように板状の基材28に塗工液を塗工する
ものでなく、長尺状の基材202(例えばフィルムや不
織布)に塗工液を塗工するものである。
【0084】図11に示すように、バックアップロール
204の下方に前記で説明した塗工システム30が配さ
れている。
【0085】そして、基材202はバックアップロール
204に沿って搬送され、バックアップロール204の
最下点の位置においてノズル82によって塗工を行うも
のである。この塗工方法は上記と同様である。
【0086】この方法であると、板状の基材28のみな
らず長尺状の基材202に対しても塗工を行うことがで
きる。
【0087】第2の実施例 上記実施例では、基材28を水平に搬送していたが、搬
送の姿勢はこれに限らない。
【0088】すなわち、ノズル82を図12に示すよう
な形状、具体的には、毛管状隙88を傾斜させ、ノズル
82の先端も後方が下がるように傾斜させる。そして、
基材28を進行するほど上方に行くように傾斜させて搬
送させる。
【0089】この方法であると、粘度が低い塗工液であ
って、それが基材28の下面に沿って流れても、これか
ら塗工する部分に流れるため、塗工厚を均等に保持する
ことができる。なお、この場合に、毛管状隙間82と基
材28の走行方向とは直交させるのが好ましい。
【0090】第3の実施例 第2の実施例では、基材28を進行するほど上方に行く
ように傾斜させて搬送させたが、本実施例では、反対に
進行するほど下方に行くように傾斜させるものである。
【0091】すなわち、ノズル82を図13に示すよう
な形状、具体的には、毛管状隙間88を傾斜させ、ノズ
ル82の先端も前方が下がるように傾斜させる。そし
て、基材28を進行するほど下方に行くように傾斜させ
て搬送させる。
【0092】この方法であると、粘度が高い塗工液であ
れば、それが基材28の下面に沿って流れることがな
く、このような塗工方法であっても、塗工厚を均等に保
持することができる。なお、この場合に、毛管状隙間8
2と基材28の走行方向とは直交させるのが好ましい。
【0093】変 更 例 第1の実施例では、ノズル82の全体の形状を図6に示
すように台形状の基部から前後対象のくちばし状のもの
を突出させた形状にしたが、ノズル82全体の形状は、
これに限らず図14(a)から(i)に示すように、い
ろいろな形状で可能である。
【0094】また、ノズル82の先端の形状も、図15
(a)から(j)に示すように、いろいろな形状が可能
である。
【0095】ノズル82は前ノズル部150と後ノズル
部152とより構成され、その間に毛管状隙間82があ
る。そして、ノズル82の断面形状はそれぞれ具体的に
は、次の通りである。
【0096】(a)は、前ノズル部150の上面が平面
状であり、後ノズル部152の上面が平面状である。
【0097】(b)は、前ノズル部150の上面が円弧
状であり、後ノズル部152の上面が平面状である。
【0098】(c)は、前ノズル部150の上面が傾斜
面であり、後ノズル部152の上面が平面状である。
【0099】(d)は、前ノズル部150の上面が段階
的な傾斜面であり角度θが鈍角をなし、後ノズル部15
2の上面が段階的な平面状である。
【0100】(e)は、後ノズル部152の上面が平面
状であり、前ノズル部150の上面が円弧状であるとと
もに、前ノズル部150の断面が三角形状でなく板状と
なっている。
【0101】(f)は、前ノズル部150の上面が平面
から傾斜しており、後ノズル部152の上面が平面から
傾斜している。
【0102】(g)は、前ノズル部150の上面が円弧
状であり、後ノズル部152の上面が円弧状である。
【0103】(h)は、後ノズル部152の上面が平面
状であり、前ノズル部150の上面が円弧状であり、ま
た、後ノズル部152の上面が前ノズル部150の上面
より高い。
【0104】(i)は、前ノズル部150の上面が平面
状であり、後ノズル部152の上面が平面状である。そ
して、毛管状隙間82が傾斜面を形成して上部で狭くな
っている。
【0105】(j)は、前ノズル部150の上面が平面
状であり、後ノズル部152の上面が平面状である。そ
して、毛管状隙間82が傾斜面を形成して上部で狭くな
っている。
【0106】
【発明の効果】以上により本発明の請求項1,2,3の
塗工方法であると、基材の下面に所定の塗工厚さで、か
つ、平面状態に塗工を行うことができる。
【0107】請求項4の塗工装置であると、液槽及びノ
ズルを所定の高さに正確に上下動させることができる。
【0108】請求項5の塗工装置であると、サクション
テーブルを反転させることにより、基材の下面をノズル
の上方に確実に位置させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す塗工装置の左側面
図である。
【図2】同じく正面図である。
【図3】塗工システムの斜視図である。
【図4】塗工システムの正面図である。
【図5】図4におけるX線断面図である。
【図6】液槽及びノズルの縦断面図であり、塗工前の状
態である。
【図7】同じく塗工中の状態である。
【図8】液槽とノズルとタンクとポンプとフィルタの関
係を示す縦断面図である。
【図9】テーブルの縦断面図である。
【図10】テーブルの一部欠載横断面図である。
【図11】参考例の塗工装置の側面図である。
【図12】第2の実施例の塗工装置の要部の縦断面図で
ある。
【図13】第3の実施例の塗工装置の要部の縦断面図で
ある。
【図14】(a)から(i)はノズルの変更例の縦断面
図である。
【図15】(a)から(j)はノズルの先端の変更例の
縦断面図である。
【符号の説明】
10 塗工装置 24 テーブル 28 基材 30 塗工システム 34 移動コッタ 36 移動コッタ 52 サーボモータ 54 支持プレート 60 支持脚 62 支持脚 66 液槽 70 左右移動プレート 71 エアシリンダ 74 上下移動プレート 78 ノズル支持シャフト 80 ノズル支持シャフト 82 ノズル 84 スリット 88 毛管状隙間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−224528(JP,A) 特開 平7−307282(JP,A) 特開 平9−155269(JP,A) 特開 平6−114313(JP,A) 特開 平10−5655(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B05C 5/02 B05C 1/02 101 B05D 1/26

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】塗工液を入れた液槽と、 前記液槽に入れた塗工液の中に沈み、また、毛管状隙間
    を備えた左右方向に延びたノズルと、 を有し、 前後方向に走行する基材の下面に前記ノズルの毛管状隙
    間から塗工液を塗布する塗工装置の塗工方法であって、
    次の工程に基づいて前記基材に塗工液を塗工する。前記
    ノズルが沈んだ状態で前記液槽が、前記基材の下方まで
    上昇する工程。前記ノズルのみが前記液槽から突出する
    工程。前記ノズルが突出した状態で前記液槽が前記ノズ
    ルと共に上昇して、前記ノズルの前記毛管状隙間から流
    出する塗工液を前記基材の下面における塗工開始位置に
    接液する工程。前記ノズルが突出して前記基材の下面に
    接液した状態で前記液槽が前記ノズルと共に塗工高さの
    位置まで下降する工程。前記基材の下面に塗工液を塗工
    しながら、前記基材を塗工終了位置まで走行させる工
    程。前記ノズルと前記液槽が塗工高さの位置から下降す
    る工程。
  2. 【請求項2】基材を、前後方向及び左右方向共にほぼ水
    平に走行させることを特徴とする請求項1記載の塗工方
    法。
  3. 【請求項3】基材を、前後方向は傾斜させつつ、左右方
    向はほぼ水平に走行させることを特徴とする請求項1記
    載の塗工方法。
  4. 【請求項4】塗工液を入れた液槽と、 前記液槽に入れた塗工液の中に沈み、また、毛管状隙間
    を備えた左右方向に延びたノズルと、 を有し、 前後方向に走行する基材の下面近傍まで前記液槽を上昇
    させ、さらに前記液槽から前記ノズルを突出させること
    により、前記毛管状隙間から塗工液を塗布し、その塗工
    後前記液槽及び前記ノズルを下降させる塗工装置におい
    て、 前記液槽を上下させる手段は、 ベースプレート上を左右方向に移動自在に配され、上面
    が斜面になっている移動コッタと、 前記移動コッタを左右方向に移動させる第1駆動部材
    と、 前記移動コッタの上方に配され、前記液槽を支持した支
    持プレートと、 前記支持プレートの下面から突出し、前記移動コッタの
    斜面上を移動可能なように下面が斜面に形成された支持
    脚と、 よりなり、 前記液槽から前記ノズルを上下させる手段は、 前記支持プレートと水平に移動可能な第1連結部材を介
    して連結された左右移動プレートと、 前記左右移動プレートと斜めに移動可能な第2連結部材
    を介して連結され、かつ、左右方向の移動が規制された
    上下移動プレートと、 前記上下移動プレートに設けられ、前記ノズルを支持す
    る支持シャフトと、 前記左右移動プレートを左右に移動させる第2駆動部材
    と、 よりなることを特徴とする塗工装置。
  5. 【請求項5】塗工液を入れた液槽と、 前記液槽に入れた塗工液の中に沈み、また、毛管状隙間
    を備えた左右方向に延びたノズルと、 を有し、 前後方向に走行する基材の下面に前記ノズルの毛管状隙
    間から塗工液を塗布する塗工装置において、 前記基材を吸い付けて固定する吸着面を有したサクショ
    ンテーブルと、 前記基材を吸着した前記サクションテーブルを回動さ
    せ、前記基材を前記サクションテーブルの下方に位置さ
    せる回動手段と、 前記サクションテーブルを所定の速度で前後方向に前記
    ノズルの上方で走行させる移動手段と、 前記液槽を上下させる手段と、 前記液槽から前記ノズルを上下させる手段とを有し、 前記液槽を上下させる手段は前後方向に走行する前記基
    材の下面近傍まで前記液槽及び前記ノズルを上昇させ、
    さらに、前記液槽から前記ノズルを上下させる手段は前
    記液槽から前記ノズルを突出させることにより、前記毛
    管状隙間から塗工液を塗布し、その塗工後、前記液槽を
    上下させる手段は前記液槽及び前記ノズルを下降させる
    ことを特徴とする塗工装置。
  6. 【請求項6】基材を、前後方向及び左右方向共にほぼ水
    平に走行させることを特徴とする請求項4,5記載の塗
    工装置。
  7. 【請求項7】基材を、前後方向は傾斜させつつ、左右方
    向はほぼ水平に走行させることを特徴とする請求項4,
    5記載の塗工装置。
JP24549799A 1999-08-31 1999-08-31 塗工方法及び塗工装置 Expired - Lifetime JP3334045B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24549799A JP3334045B2 (ja) 1999-08-31 1999-08-31 塗工方法及び塗工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24549799A JP3334045B2 (ja) 1999-08-31 1999-08-31 塗工方法及び塗工装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30860999A Division JP3252325B2 (ja) 1999-10-29 1999-10-29 塗工方法及び塗工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001062370A JP2001062370A (ja) 2001-03-13
JP3334045B2 true JP3334045B2 (ja) 2002-10-15

Family

ID=17134558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24549799A Expired - Lifetime JP3334045B2 (ja) 1999-08-31 1999-08-31 塗工方法及び塗工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3334045B2 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4927274B2 (ja) * 2001-09-17 2012-05-09 株式会社ヒラノテクシード 塗工装置及び塗工方法
JP3658355B2 (ja) 2001-10-03 2005-06-08 Hoya株式会社 塗布膜の乾燥方法、塗布膜の形成方法、及び塗布膜形成装置
KR100724477B1 (ko) * 2002-11-19 2007-06-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시패널의 디스펜서 및 이를 이용한 디스펜싱 방법
JP4481688B2 (ja) * 2003-04-10 2010-06-16 Hoya株式会社 基板処理装置,塗布装置、塗布方法、及び、フォトマスクの製造方法
JP2004335728A (ja) * 2003-05-07 2004-11-25 Hoya Corp 基板塗布装置及び基板塗布方法
JP4169719B2 (ja) * 2004-03-30 2008-10-22 Hoya株式会社 レジスト膜付基板の製造方法
JP4673157B2 (ja) * 2004-10-01 2011-04-20 株式会社ヒラノテクシード 塗工装置
CN100570439C (zh) * 2005-03-28 2009-12-16 Ntn株式会社 涂敷机构及涂敷方法、缺陷修正装置及缺陷修正方法
JP2006294820A (ja) * 2005-04-08 2006-10-26 Hoya Corp 塗布装置及びフォトマスクブランクの製造方法
JP2006314995A (ja) * 2005-04-11 2006-11-24 Kawakami Tekkosho:Kk ナイフコーティング装置
JP2007072138A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd レジスト液製造方法及びこれを用いたレジスト膜
JP5401621B2 (ja) * 2013-03-15 2014-01-29 Hoya株式会社 塗布方法及び塗布装置、並びにフォトマスクブランクの製造方法
JP6404695B2 (ja) * 2014-12-09 2018-10-10 Ntn株式会社 塗布機構および塗布装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001062370A (ja) 2001-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3334045B2 (ja) 塗工方法及び塗工装置
CN101003041B (zh) 涂敷方法、涂敷装置以及涂敷处理程序
JP2004055607A (ja) 基板処理装置
JP4301694B2 (ja) 塗布装置
JP3658355B2 (ja) 塗布膜の乾燥方法、塗布膜の形成方法、及び塗布膜形成装置
JP2008147291A (ja) 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法
JP3252325B2 (ja) 塗工方法及び塗工装置
US4599969A (en) Device for the formation and deposition on a substrate of monomolecular films
JP4927274B2 (ja) 塗工装置及び塗工方法
JP2001321710A (ja) 塗工装置
JP4034280B2 (ja) 現像処理装置
TWI240658B (en) Apparatus and method for substrate coating
JP3811740B2 (ja) 塗工装置
US5695833A (en) Method for uniform film coating of substrates
JP2002153791A (ja) 塗工装置
JP3663450B2 (ja) 塗工装置及び塗工方法
JP3742822B2 (ja) 塗工装置及びそれを使用した塗工システム
JPH11300258A (ja) 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法
JP4360889B2 (ja) 吐出装置および基板処理装置
JP2004141810A (ja) 塗工装置
JP3661010B2 (ja) 塗工装置及びその方法
JP4799640B2 (ja) 現像処理装置
KR20060107378A (ko) 도포 장치 및 포토 마스크 블랭크의 제조 방법
JP2002136915A (ja) 塗工装置の塗工方法
JP2004039727A (ja) 基板処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3334045

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100802

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100802

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110802

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120802

Year of fee payment: 10

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130802

Year of fee payment: 11

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140802

Year of fee payment: 12

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term