JP6404695B2 - 塗布機構および塗布装置 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施の形態に従う塗布装置の全体構成図である。図1を参照して、本実施の形態に従う塗布装置200は、X軸テーブル1と、Y軸テーブル2と、Z軸テーブル3と、塗布機構4と、観察光学系6と、CCDカメラ7と、基板固定板8と、制御部とを備える。制御部は、画像処理部9と、制御用コンピュータ10と、ホストコンピュータ11とを含んで構成される。
図2は、図1に示した塗布機構4を示す模式図である。図2(A)は側面図を示し、図2(B)は正面図を示す。図2を参照して、塗布機構4は、塗布ユニット20と、駆動部19とを備える。
図3は、図2に示した塗布ユニット20を示す模式図である。図3を参照して、塗布ユニット20は、容器21と、塗布針24と、第1蓋部22と、第2蓋部23とを含む。
図4は、図2に示した塗布機構4の動作に伴なう塗布針24の位置を説明するための模式的な断面図である。図4を用いて、塗布針24の移動の様子を塗布工程に沿って説明する。塗布工程において、塗布針24は、塗布待機状態(図4(a),(c))と、塗布状態(図4(b))との間を遷移する。
たとえば、カムフォロワ18が下側領域17bに近接する状態では、塗布針24は、移動可能範囲の下端位置(サーボモータ15に最も近い位置)に移動している。このとき、図4(a)に示すように、塗布針24の先端部24aは、収容部21x内に収容されている液体材料100に浸漬されている。
サーボモータ15の回転軸15bの回転により、さらにカム17が回転してカムフォロワ18が上側領域17cに到達すると、塗布針24は、移動可能範囲の上端位置に移動する。これにより、図4(b)に示すように、塗布針24の先端部24aは、容器21の頂部21aに形成された第3孔部21dを貫通して頂部21aから上向きに突出された状態となる。先端部24aの表面には液体材料100が付着されており、先端部24aを基板5の表面に接触させることで基板5の表面に液体材料100が塗布される。
以上説明したように、本実施の形態に係る塗布機構4は、容器21の頂部21aに第3孔部21dを設けておき、塗布針24の先端部24aを、第3孔部21dを貫通して頂部21aから上向きに突出させることにより、頂部21aに対面して設けられた基板5の表面に液体材料100を塗布するように構成されている。本実施の形態に係る塗布機構の作用効果を、図5の比較例を用いて説明する。
Claims (3)
- 処理対象材に液体材料を塗布するための塗布機構であって、
前記処理対象材に対面して設けられた頂部と、前記頂部と反対側の底部とを有し、かつ、前記頂部側に前記液体材料を収容する収容部が設けられるとともに、前記底部側に開口部が設けられた容器と、
前記容器の前記開口部を塞ぐ第1蓋部と、
前記容器内の前記第1蓋部よりも前記頂部側に配置され、前記収容部を密閉する第2蓋部とを備え、
前記第1蓋部には上下方向に貫通する第1孔部が設けられ、前記第2蓋部には上下方向に貫通する第2孔部が設けられ、前記容器の前記頂部には上下方向に貫通する第3孔部が設けられ、かつ、前記第1孔部、前記第2孔部および前記第3孔部は、中心線が互いに一致するように配置され、
前記塗布機構はさらに、
前記第1孔部および前記第2孔部を貫通するとともに、少なくとも先端部が前記第3孔部を貫通可能に構成された塗布針と、
前記塗布針を上下方向に往復移動可能に構成され、前記第3孔部を貫通して前記頂部から前記先端部を突出させることにより前記処理対象材に前記液体材料を塗布する駆動部とを備える、塗布機構。 - 前記処理対象材は、塗布対象面を下方に向けて配置され、
前記駆動部は、前記塗布針を下方向に移動させることによって、前記先端部を前記収容部内の前記液体材料に浸漬させた状態とし、当該状態から前記塗布針を上方向に移動させることによって、前記先端部を前記頂部から突出させて前記塗布対象面に接触させる、請求項1に記載の塗布機構。 - 塗布対象面を下方に向けて処理対象材を保持する保持台と、
前記処理対象材に液体材料を塗布するための塗布機構と、
前記塗布機構を前記処理対象材に対して相対移動させるための移動機構とを備え、
前記塗布機構は、
前記処理対象材に対面して設けられた頂部と、前記頂部と反対側の底部とを有し、かつ、前記頂部側に前記液体材料を収容する収容部が設けられるとともに、前記底部側に開口部が設けられた容器と、
前記容器の前記開口部を塞ぐ第1蓋部と、
前記容器内の前記第1蓋部よりも前記頂部側に配置され、前記収容部を密閉する第2蓋部とを含み、
前記第1蓋部には上下方向に貫通する第1孔部が設けられ、前記第2蓋部には上下方向に貫通する第2孔部が設けられ、前記容器の前記頂部には上下方向に貫通する第3孔部が設けられ、かつ、前記第1孔部、前記第2孔部および前記第3孔部は、中心線が互いに一致するように配置され、
前記塗布機構はさらに、
前記第1孔部および前記第2孔部を貫通するとともに、少なくとも先端部が前記第3孔部を貫通可能に構成された塗布針と、
前記塗布針を上下方向に往復移動可能に構成され、前記第3孔部を貫通して前記頂部から前記先端部を突出させることにより前記処理対象材に前記液体材料を塗布する駆動部とを含む、塗布装置。
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