JP7050611B2 - 塗布部材、塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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前記塗布針の前記先端が前記外筒の前記第1端より前記外筒の内部に後退している上記塗布部材を第1状態とし、塗布針の先端と外筒の第1端との間に位置する外筒の内部領域に液体材料を保持する工程を実施する。また、上記塗布方法では、塗布部材を第1状態から第2状態とすることにより、外筒の第1端より外側に液体材料の少なくとも一部を突出させる工程を実施する。また、上記塗布方法では、第1端より外側に突出させた液体材料の少なくとも一部を処理対象材に接触させる工程を実施する。
図1は、本実施形態に従った塗布装置の模式図である。図1に示す本発明の実施形態である塗布装置は、処理室と、当該処理室の内部に配置されたY軸テーブル2と、X軸テーブル1と、Z軸テーブル3と、塗布機構と、観察光学系6と、当該観察光学系6に接続されたCCDカメラ7と、制御部とを主に備えている。制御部は、モニタ9と、制御用コンピュータ10と、操作パネル8とを含む。塗布機構は複数の塗布部材4を含む。図1に示した塗布装置では、2つの塗布部材4が設置されている。塗布部材4は塗布針ホルダを含む。塗布針ホルダは塗布針部24(図4参照)を含む。塗布針部24は塗布針24a(図4参照)と塗布針外筒24b(図4参照、なお以下では外筒24bと呼ぶ)とを有する。当該塗布針部24の詳細な構成は後述する。
図2および図3は、図1に示した塗布装置の塗布部材4を示す模式図である。図4は、図3に示した塗布装置における塗布針ホルダの構成を説明するための模式図である。上述した塗布部材4に関して、図2および図3を参照してより詳しく説明する。なお、図1に示した塗布装置に設置された2つの塗布部材4は同様の構成を備える。
上述した塗布部材4においては、サーボモータ41を駆動することにより当該サーボモータ41の回転軸を回転させてカム43を回転させる。この結果、カム43のカム面は、Z軸方向における高さが変化するため、図2および図3に示すように、カム43の右側においてカム面に接触している軸受44のZ軸方向における位置もサーボモータ41の駆動軸の回転に応じて変動する。そして、この軸受44のZ軸方向での位置変動に応じて、可動部46および塗布針ホルダ収納部48がZ軸方向に移動する。この結果、塗布針ホルダ収納部48に保持されている塗布針ホルダ20もZ軸方向に移動する。このようにして、当該塗布針ホルダ20に設置されている塗布針部24のZ軸方向における位置を変化させることができる。なお、図2では塗布針部24がZ軸方向において相対的に上側に変位した状態を示し、図3では塗布針部24がZ軸方向において相対的に下側に変位した状態を示す。
図5および図7は、図2および図3に示した塗布部材における塗布針ホルダ20の動作を説明するための模式図である。図6は、図5における領域VIの拡大模式図である。図8は、図7における領域VIIIの拡大模式図である。図5および図6は塗布待機状態を示し、図7および図8は塗布状態を示している。
図9は、比較例としての塗布方法を説明するための模式図である。図10は、本実施形態に従った塗布方法を説明するための模式図である。図9に示す比較例としての塗布方法と対比しながら、図10に示す本実施形態に従った塗布方法を説明する。なお、図9および図10は、ともに処理対象材5の表面に先に塗布されている液体材料75に他の液体材料を塗布する場合を示している。
上述した本実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法の具体例を説明する。図11は、本実施形態に従った塗布方法のフローチャートである。図11および適宜図5~図10を用いて、本実施形態に従った塗布方法を説明する。
図12は、本実施形態に従った塗布方法の変形例のフローチャートである。図12および適宜図5~図11を用いて、本実施形態に従った塗布方法の変形例を説明する。
本開示に従った塗布部材4は、処理対象材に液体を塗布するための塗布針24aと、外筒24bと、第1駆動部80と、第2駆動部40とを備える。外筒24bは、塗布針24aの外周を囲み、塗布針24aの先端に近い側に位置する第1端26を含む。第1駆動部80は、塗布針24aの延在方向である第1方向において、塗布針24aに対して外筒24bを相対的に移動させる。第2駆動部40は、塗布針24aおよび外筒24bを第1方向に移動させる。第1駆動部80は、塗布針24aの先端25が外筒24bの第1端26より外筒24bの内部に後退している第1状態(図6、図10(A)参照)と、塗布針24aの先端25が第1状態より外筒24bの第1端26側に移動した第2状態(図8、図10(B)、図10(C)、図10(D)参照)とを切替えるように構成されている。
図13は、本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第1の変形例を説明するための模式図である。
図14および図15は、本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第2の変形例を説明するための模式図である。なお、図14は塗布針24aの先端25が外筒24bの第1端26より外筒24bの内部に後退している第1状態を示す。図15は、塗布針24aの先端25が第1状態より外筒24bの第1端26側に移動した第2状態を示す。
図16および図17は、本実施形態に従った塗布部材および塗布針ホルダの第3の変形例を説明するための模式図である。図16は塗布針24aの先端25が外筒24bの第1端26より外筒24bの内部に後退している第1状態を示す。図17は、塗布針24aの先端25が第1状態より外筒24bの第1端26側に移動した第2状態を示す。
Claims (8)
- 処理対象材に液体材料を塗布するための塗布針と、
前記塗布針の外周を囲み、前記塗布針の先端に近い側に位置する第1端を含む外筒と、
前記塗布針の延在方向である第1方向において、前記塗布針に対して前記外筒を相対的に移動させる第1駆動部と、
前記塗布針および前記外筒を前記第1方向に移動させる第2駆動部とを備え、
前記第1駆動部は、前記塗布針の前記先端が前記外筒の前記第1端より前記外筒の内部に後退している第1状態と、前記塗布針の前記先端が前記第1状態より前記外筒の前記第1端側に移動した第2状態とを切替えるように構成され、
前記液体材料を保持する容器を備え、
前記第1状態において、前記容器に前記塗布針と前記外筒が収納され、
前記第2状態において、前記塗布針の前記先端および前記外筒の前記第1端が前記容器を貫通している、塗布部材。 - 前記外筒の前記第1端および前記第1端に連なる外周側面部分は、撥液処理層を含む、請求項1に記載の塗布部材。
- 前記第1駆動部は、電磁ソレノイドを含む、請求項1または2に記載の塗布部材。
- 請求項1に記載の塗布部材と、
前記塗布針により前記液体材料を塗布される前記処理対象材を保持する保持台とを備える、塗布装置。 - 前記第2状態において、第前記液体材料を前記処理対象材に塗布するよう構成された、請求項4に記載の塗布装置。
- 前記容器は、前記保持台に保持される前記処理対象材に面するように配置され、
前記第2駆動部は、前記塗布針の前記先端および前記外筒の前記第1端が前記容器の内部に位置する第3状態と、前記塗布針の前記先端および前記外筒の前記第1端が前記容器の外部に位置する第4状態とを切替えるように構成され、
前記第1駆動部は、前記第3状態において前記第1状態となり、前記第4状態において前記第2状態となるように、前記塗布針に対して前記外筒を相対的に移動させる、請求項4に記載の塗布装置。 - 処理対象材に液体材料を塗布するための塗布針と、前記塗布針の外周を囲み、前記塗布針の先端に近い側に位置する第1端を含む外筒と、前記液体材料を保持し、前記塗布針の前記先端および前記外筒の前記第1端を貫通可能な容器とを備える塗布部材を用いた塗布方法であって、
前記容器に前記塗布針と前記外筒が収納され、前記塗布針の前記先端が前記外筒の前記第1端より前記外筒の内部に後退している第1状態で、前記塗布針の前記先端と前記外筒の前記第1端との間に位置する前記外筒の内部領域に前記液体材料を保持する工程と、
前記塗布部材を前記第1状態から、前記塗布針の前記先端および前記外筒の前記第1端を前記容器から貫通させ、前記塗布針の前記先端が前記第1状態より前記外筒の前記第1端側に移動した第2状態とすることにより、前記外筒の前記第1端より外側に前記液体材料の少なくとも一部を突出させる工程と、
前記第1端より外側に突出させた前記液体材料の少なくとも一部を前記処理対象材に接触させる工程とを備える、塗布方法。 - 前記接触させる工程の後、前記塗布部材を前記第2状態から前記第1状態とするとともに前記外筒の前記内部領域に他の液体材料を再び保持する工程と、
前記塗布部材を前記第1状態から前記第2状態とすることにより、前記外筒の前記第1端より外側に前記他の液体材料の少なくとも一部を再び突出させる工程と、
前記第1端より外側に突出させた前記他の液体材料の少なくとも一部を前記処理対象材または前記接触させる工程により前記処理対象材に付着した前記液体材料に接触させる工程とを備える、請求項7に記載の塗布方法。
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