JP2018034074A - 液体塗布ユニット、液体塗布装置、および液体塗布方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[液体塗布ユニットの構成]
図1〜図6を参照して、本実施の形態に係る液体塗布ユニット100について説明する。液体塗布ユニット100は、塗布針1と、リニアモータ2と、支持部3と、ベース部4と、液体材料容器5とを備える。図1、図2および図5は、塗布針1によって基板140(図5および図6参照)に対し液体材料を塗布可能な状態にある液体塗布ユニット100を示す。図1および図2に示される可動部21の重力方向における位置を、可動部21の第1の位置とよぶ。図3、図4および図6は、可動部21が第1の位置よりも鉛直方向の上方に配置された状態にある液体塗布ユニット100を示す。
図7は、本実施の形態に従った液体塗布装置200の模式的な斜視図である。液体塗布装置200は、上述した液体塗布ユニット100を備えている。図2に示されるように、液体塗布装置200は、液体塗布ユニット100と、観察光学系110と、観察光学系110に接続されたCCDカメラ111と、Z軸テーブル120と、X軸テーブル121と、Y軸テーブル122と、基台123と、制御部130とを含む。
次に、液体塗布装置200を用いた液体塗布方法について説明する。液体塗布方法では、まず塗布対象物である基板140の塗布位置が決定される。具体的には、基板140の塗布位置が観察光学系110の直下に位置するように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120が移動される。基板140の塗布位置は、観察光学系110により観察され、決定される。このようにして決定された塗布位置が液体塗布ユニット100の直下に来るように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120によって基板140が移動される。そして、決定された塗布位置に、液体塗布ユニット100によって液体材料が塗布される。その後、次の塗布位置が液体塗布ユニット100の直下に来るように、X軸テーブル121、Y軸テーブル122およびZ軸テーブル120によって基板140が移動される。移動が完了した後、液体塗布ユニット100によって液体材料が塗布される。これらの各工程は、連続して繰り返し実施され得る。その結果、本実施の形態に係る液体塗布方法により、基板140の上面上には所定の回路パターンが短時間に形成され得る。
Claims (6)
- 塗布針を用いて対象物の表面に液状材料を塗布するための液体塗布ユニットであって、
前記塗布針を搭載しており、かつ直線移動する可動部と、前記可動部を案内する固定部とを含むリニアモータと、
前記可動部に対し重力方向の上方に向かう力を付与し、前記可動部を支持している支持部を備え、
前記可動部は、少なくとも、前記塗布針と前記対象物とが接触可能な状態にある第1の位置と、前記第1の位置よりも重力方向の上方にある第2の位置との間を移動可能に設けられている、液体塗布ユニット。 - 前記支持部は、前記固定部に対して前記可動部を吊り下げて、前記可動部を前記第2の位置に保持可能に設けられている、請求項1に記載の液体塗布ユニット。
- 前記支持部は、前記可動部の移動に伴い弾性変形する弾性部を含み、
前記弾性部の一端は前記固定部に接続されており、前記弾性部の他端は前記可動部に接続されている、請求項1または請求項2に記載の液体塗布ユニット。 - 前記可動部の移動速度を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記第2の位置から前記第1の位置と前記第2の位置との間に位置する第3の位置までの領域における前記可動部の移動速度より、前記第3の位置から前記第1の位置までの領域における前記可動部の移動速度が遅くなるように、前記可動部の移動速度を制御可能に設けられている、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の液体塗布ユニット。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の液体塗布ユニットと、
前記液体塗布ユニットを少なくとも重力方向と交差する方向に移動可能に設けられている移動部とを備える、液体塗布装置。 - 請求項4に記載の液体塗布ユニットを用いて液体材料を塗布する液体塗布方法であって、
前記可動部を前記第2の位置から前記第3の位置まで移動させる第1工程と、前記可動部を前記第3の位置から前記第1の位置まで移動させる第2工程とを備え、
前記第2工程における前記可動部の移動速度は、前記第1工程における前記可動部の移動速度よりも遅い、液体塗布方法。
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