JP2013109315A - 液状材料塗布装置およびそれを含む欠陥修正装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上の微細領域に液状材料を塗布して欠陥を修正するための液状材料塗布装置において、微細領域に液状材料を塗布する塗布針と、塗布針を上下方向に移動させるためのスライド機構と、スライド機構を上下方向に移動可能に支持する支持部材と、支持部材との距離が一定となるように設定された基板と塗布針との接触圧力を軽減する接触圧力軽減機構とを備える。
【選択図】図6
Description
さらに好ましくは、接触圧力軽減機構は、電磁石へ印加電流の大きさを調整する制御部をさらに含み、制御部は、電磁石へ印加電流の大きさを調整することによって、塗布針と基板との接触圧力を調整する。
また、好ましくは、液状材料塗布装置は、塗布針支持部および塗布針支持部を上昇端で保持する塗布針上昇端保持機構のうちの一方に設けられる第3の磁石と、他方に設けられる磁性体とを備え、第3の磁石および磁性体は、互いに吸着することによって、塗布針上昇端保持機構と塗布針支持部とが連動して動作可能にする。
好ましくは、欠陥修正装置は上述した液状材料塗布装置を備える。
図5は、本実施の形態1の液状材料塗布装置6を示す図である。図6は、本実施の形態1の液状材料塗布装置6の主要部を示す図である。
図7は、本実施の形態2の液状材料塗布装置6Aを示す図である。図8は、本実施の形態2の液状材料塗布装置6Aの主要部を示す図である。
図9は、本実施の形態3の液状材料塗布装置6Bを示す図である。図10は、本実施の形態3の液状材料塗布装置6Bの主要部を示す図である。
図11は、本実施の形態4の液状材料塗布装置6Cを示す図である。図12は、本実施の形態3の液状材料塗布装置6Cの主要部を示す図である。
図16は、本実施の形態5の液状材料塗布装置6Dの主要部を示す図で、塗布前の状態である。図17は、本実施の形態5の塗布時の状態を示す図である。図18は、本実施の形態5の液状材料塗布装置6Dのマグネット(磁石)520が無い、本実施の形態4の液状材料塗布装置6Cで、塗布針支持部18の下降不足が発生した場合を示す図である。
図13は、この発明の各実施の形態1〜5の液状材料塗布装置を含む欠陥修正装置の共通の全体構成を示す図である。図13を参照して、この欠陥修正装置は、観察光学系31、CCD(Charge Coupled Device)カメラ32、カット用レーザ装置33、インク塗布機構34、およびインク硬化用光源35から構成される修正ヘッド部と、この修正ヘッド部を修正対象の基板5に対して垂直方向(Z軸方向)に移動させるZ軸テーブル36と、Z軸テーブル36を搭載してX軸方向に移動させるX軸テーブル37と、基板5を搭載してY軸方向に移動させるY軸テーブル38と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ39と、CCDカメラ32によって撮影された画像などを表示するモニタ40と、制御用コンピュータ39に作業者からの指令を入力するための操作パネル41とを備える。
本実施の形態1〜5の液状材料塗布装置は、図5〜図18に示されたように、基板5上の微細領域に液状材料を塗布して欠陥を修正するための液状材料塗布装置において、微細領域に液状材料を塗布する塗布針11と、塗布針11を上下方向に移動させるためのスライド機構25と、スライド機構25を上下方向に移動可能に支持する支持部材26と、支持部材との距離が一定となるように設定された基板と塗布針11との接触圧力を軽減する接触圧力軽減機構(たとえば、磁石110、電磁石112、エア噴射機構210、磁石310、磁石312、支持バネ410)と、下降補助機構(たとえば、マグネット520,521)とを備える。
好ましくは、本実施の形態5の液状材料塗布装置6Dは、塗布針支持部18および塗布針支持部18を上昇端で保持する支持ピン29(塗布針上昇端保持機構)のうちの一方に設けられる磁石と、他方に設けられる磁性体とを備え、磁石および磁性体は、互いに吸着することによって、支持ピン29(塗布針上昇端保持機構)と塗布針支持部18とが連動して動作可能にする。
また欠陥修正装置は、図13に示したように実施の形態1〜5の液状材料塗布装置を備える。
Claims (18)
- 基板上の微細領域に液状材料を塗布して欠陥を修正するための液状材料塗布装置において、
前記微細領域に液状材料を塗布する塗布針と、
前記塗布針を上下方向に移動させるためのスライド機構と、
前記スライド機構を上下方向に移動可能に支持する支持部材と、
前記支持部材との距離が一定となるように設定された前記基板と前記塗布針との接触圧力を軽減する接触圧力軽減機構とを備える、液状材料塗布装置。 - 前記液状材料塗布装置は、
前記塗布針を支持する塗布針支持部と、
前記塗布針支持部の下方への移動を制限するストッパ部とをさらに備え、
前記接触圧力軽減機構は、
前記塗布針支持部の下端に設けられる第1の磁石と、
前記ストッパ部に設けられる第2の磁石とを含み、
前記第1の磁石と前記第2の磁石とは前記基板と鉛直する軸の同軸上に配置される、請求項1に記載の液状材料塗布装置。 - 前記第1の磁石および前記第2の磁石のいずれか一方は電磁石を含む、請求項2に記載の液状材料塗布装置。
- 前記接触圧力軽減機構は、
前記電磁石への印加電流の大きさを調整する制御部をさらに含み、
前記制御部は、前記電磁石への印加電流の大きさを調整することによって、前記塗布針と前記基板との接触圧力を調整する、請求項3に記載の液状材料塗布装置。 - 前記制御部は、前記塗布針の先端が下降する際に前記印加電流をオフ状態からオン状態に切替えることによって前記塗布針と前記基板との接触圧力を軽減する、請求項4に記載の液状材料塗布装置。
- 前記液状材料塗布装置は、
前記塗布針を支持する塗布針支持部と、
前記塗布針支持部の下方への移動を制限するストッパ部と、
前記塗布針支持部と前記ストッパ部との間にエアを噴射するエア噴射機構とを含み、
前記エア噴射機構は前記エアの噴射を調整することにより、前記塗布針と前記基板との接触圧力を軽減する、請求項1に記載の液状材料塗布装置。 - 前記接触圧力軽減機構は、
前記エア噴射機構のエア流量を調整する制御部をさらに含み、
前記制御部は、前記エア噴射機構の強弱を変えることによって前記塗布針と前記基板との接触圧力を調整する、請求項6に記載の液状材料塗布装置。 - 前記制御部は、前記塗布針の先端が下降する際に、前記エア噴射機構を停止状態から噴射状態に切替えることによって前記塗布針と前記基板との接触圧力を軽減する、請求項7に記載の液状材料塗布装置。
- 塗布針支持部とストッパ部とをさらに備え、
前記塗布針支持部は、第1の磁石を含み、
前記ストッパ部は、第2の磁石を含み、
前記第1の磁石と前記第2の磁石とは前記基板と鉛直な軸の同軸上に配置され、
前記第1の磁石と前記第2の磁石とのそれぞれ対向する磁極は同性質の磁極となるように設けられ、
前記第1の磁石と前記第2の磁石との間には反発力が発生する、請求項1に記載の液状材料塗布装置。 - 前記液状材料塗布装置は、
前記第1の磁石と前記第2の磁石との間の距離を調節する間隔調整機構をさらに備える、請求項9に記載の液状材料塗布装置。 - 前記液状材料塗布装置は、
前記塗布針を支持する塗布針支持部と、
前記支持部材と前記塗布針支持部との間に設けられる支持バネとをさらに備える、請求項1に記載の液状材料塗布装置。 - 前記塗布針支持部は、前記支持バネによって前記支持部材から吊り下げられるように設けられ、前記支持部材と前記塗布針支持部との間には収縮力が発生する、請求項11に記載の液状材料塗布装置。
- 前記液状材料塗布装置は、
前記支持部材側および前記塗布針支持部側のいずれか一方に設けたバネ調整機構をさらに備える、請求項12に記載の液状材料塗布装置。 - 前記液状材料塗布装置は、
前記塗布針支持部を上昇端で保持する塗布針上昇端保持機構と、
前記塗布針支持部および前記塗布針上昇端保持機構のそれぞれに設けられる第3の磁石および第4の磁石とを備え、
前記第3および第4の磁石は、互いに吸着することによって、前記塗布針上昇端保持機構と前記塗布針支持部とが連動して動作可能にする、請求項9〜13のいずれか1項に記載の液状材料塗布装置。 - 前記第3の磁石および前記第4の磁石のいずれか一方は電磁石を含む、請求項14に記載の液状材料塗布装置。
- 前記液状材料塗布装置は、
前記塗布針支持部を上昇端で保持する塗布針上昇端保持機構と、
前記塗布針支持部および前記塗布針上昇端保持機構のうちの一方に設けられる第3の磁石と、他方に設けられる磁性体とを備え、
前記第3の磁石および前記磁性体は、互いに吸着することによって、前記塗布針上昇端保持機構と前記塗布針支持部とが連動して動作可能にする、請求項9〜13のいずれか1項に記載の液状材料塗布装置。 - 前記第3の磁石は電磁石を含む、請求項16に記載の液状材料塗布装置。
- 請求項1から請求項17のいずれか1項に記載の液状材料塗布装置を備える、欠陥修正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012144055A JP5969281B2 (ja) | 2011-10-24 | 2012-06-27 | 液状材料塗布装置およびそれを含む欠陥修正装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011232849 | 2011-10-24 | ||
JP2011232849 | 2011-10-24 | ||
JP2012144055A JP5969281B2 (ja) | 2011-10-24 | 2012-06-27 | 液状材料塗布装置およびそれを含む欠陥修正装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013109315A true JP2013109315A (ja) | 2013-06-06 |
JP5969281B2 JP5969281B2 (ja) | 2016-08-17 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5969281B2 (ja) |
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US11511311B2 (en) | 2017-08-02 | 2022-11-29 | Ntn Corporation | Application mechanism and application apparatus |
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---|---|
JP5969281B2 (ja) | 2016-08-17 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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