JP5127197B2 - 液体容器着脱装置および欠陥修正装置 - Google Patents

Description

本発明は液体容器着脱装置および欠陥修正装置に関し、より特定的には、微細な欠陥部に液体材料を塗布することにより、当該欠陥を修正する欠陥修正装置および当該欠陥修正装置に設置される液体容器着脱装置に関するものである。

近年、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの大型化、高精細化が進められている。これに伴って、ディスプレイの製造工程において、基板上の電極やリブなどに欠陥が発生したり、液晶カラーフィルタの着色層に欠陥が発生したりする確率が高くなっている。これに対し、歩留まりの向上を図り、各種欠陥を修正するための種々の欠陥修正装置が提案されている（たとえば特許文献１参照）。

以下、液晶カラーフィルタの欠陥の一例について説明する。図１５〜図１７は、液晶カラーフィルタに発生する欠陥の一例を示す平面図である。図１５〜図１７を参照して、カラーフィルタ１９０は、赤色の画素であるＲ画素１９１と、緑色の画素であるＧ画素１９２と、青色の画素であるＢ画素１９３とを備えている。このＲ画素１９１、Ｇ画素１９２およびＢ画素１９３が規則的に配置されることにより、カラーフィルタ１９０にはパターンが形成されている。

ここで、カラーフィルタ１９０の製造工程においては、図１５に示すように色が抜けている白欠陥１９９、図１６に示すように隣接する画素との間で色が混ざった黒欠陥１９８、あるいは図１７に示すように異物が付着した異物欠陥１９７などが発生する場合がある。白欠陥１９９が発生した場合、色が抜けた領域に本来有するべき色のインクを塗布することにより、欠陥を修正することができる。また、黒欠陥１９８や異物欠陥１９７が発生した場合、たとえばレーザを欠陥部分に照射することにより、欠陥を除去して当該欠陥を白欠陥に変換したうえで、色が抜けた領域に本来有するべき色のインクを塗布することにより、欠陥を修正することができる。

次に、上述のような欠陥の修正に使用される欠陥修正装置について説明する。図１８は、特許文献１に開示された従来の欠陥修正装置を示す概略図である。図１８を参照して、従来の欠陥修正装置１００は、インクを塗布するための塗布針１３３と、塗布針１３３を保持する塗布針ホルダ１３２と、塗布針ホルダ１３２を塗布針１３３が延びる方向に往復可能に駆動する駆動シリンダ１３１と、塗布針１３３が延びる方向に垂直な主面を有し、円盤状の形状を有する回転テーブル１１１と、回転テーブル１１１を、中心を含む領域において保持し、当該中心周りに回転駆動するテーブル駆動部材１２０とを備えている。回転テーブル１１１の主面上には、インクが保持されるインクポット１１２と、塗布針を洗浄する洗浄装置１１４と、洗浄装置１１４において使用される洗浄液を除去するパージ装置１１３とが設置されている。また、回転テーブル１１１には、塗布針１３３が駆動シリンダ１３１によって駆動された場合に、塗布針１３３を通過させるための切欠部１１５が形成されている。

次に、欠陥修正装置１００を用いた欠陥の修正方法について説明する。図１８を参照して、欠陥が白欠陥である場合、まず図示しないＸＹテーブルおよびＺテーブルを駆動して、塗布針１３３を白欠陥の上方の所定位置に位置決めする。そして、回転テーブル１１１が回転して塗布針１３３の直下に所望の色のインクを保持するインクポット１１２が移動し、駆動シリンダ１３１により塗布針１３３がインクポット１１２に保持されたインク中に浸漬される。塗布針１３３が上昇して退避した後、塗布針１３３の直下に切欠部１１５が位置するように回転テーブル１１１が回転し、塗布針１３３が下降することにより、インクが白欠陥に塗布される。さらに、塗布されたインクの量が不十分な場合、一旦塗布針１３３が回転テーブル１１１よりも上方に退避した後、回転テーブル１１１が回転して塗布針１３３の直下にインクポットが移動し、インク中に塗布針１３３が浸漬されることにより、インクが補充される。そして、再度塗布針１３３の直下に切欠部１１５が位置するように回転テーブル１１１が回転し、上述と同様に欠陥部にインクが塗布される。

また、塗布するインクの色を変更したい場合、一旦塗布針１３３が回転テーブル１１１よりも上方に退避した後、回転テーブル１１１が回転して塗布針１３３の直下に洗浄装置１１４が移動し、洗浄装置に保持された洗浄液中に塗布針１３３が浸漬されることにより、インクが除去される。さらに、塗布針１３３が上方に退避した後、回転テーブル１１１が回転して塗布針１３３の直下にパージ装置１１３が移動し、空気が吹き付けられることにより、洗浄液が除去される。その後、塗布針１３３が回転テーブル１１１よりも上方に退避した後、回転テーブル１１１が回転して塗布針１３３の直下に所望のインクを保持するインクポット１１２が移動し、インク中に塗布針１３３が浸漬されることにより、塗布針１３３にインクが付着する。そして、上述の手順と同様に、欠陥部にインクを塗布することができる。

以上の手順により、カラーフィルタの欠陥が修正される。なお、欠陥が黒欠陥または異物欠陥である場合は、まず、欠陥部にレーザが照射されて当該欠陥が白欠陥に変換された後、上記手順にしたがってインクが塗布されることにより、欠陥が修正される。
特開平９−２３６９３３号公報

しかしながら、図１８に示す従来の欠陥修正装置の構成では、欠陥が比較的大きく、１回のインクの塗布によって欠陥が修正されない場合、上述したインクの塗布および補充の動作を繰り返す必要がある。また、色の異なる複数の画素において欠陥が発生し、塗布するインクの色を変更する必要がある場合、上述のように、塗布針を一旦洗浄し、洗浄液を除去したうえで、塗布針に所望の色のインクを付着させる必要がある。このように、図１８に基づいて説明した従来の欠陥修正装置においては、欠陥が比較的大きい場合や、色の異なる複数の画素において欠陥が発生した場合、欠陥の修正効率が低下するという問題点があった。

これに対し、以下のような欠陥修正装置を採用することにより、上記問題点を解決することが可能となる。図１９は、従来の問題点を解決可能な欠陥修正装置の構成を示す概略斜視図である。また、図２０は、図１９の欠陥修正装置の塗布針周辺を図１９とは異なった角度から拡大した概略斜視図である。

図１９および図２０を参照して、欠陥修正装置２００は、Ｒ画素１９１、Ｇ画素１９２およびＢ画素１９３を含むカラーフィルタ１９０の欠陥を修正する欠陥修正装置であって、インクを塗布するための塗布針２３３と、塗布針２３３を保持する塗布針ホルダ２３２と、塗布針ホルダ２３２をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各方向に移動可能に保持する駆動部材２６０と、塗布針ホルダ２３２から見て塗布針２３３とは反対側に配置され、カラーフィルタの表面を観察可能な観察部材２１０とを備えている。観察部材２１０は、カラーフィルタの表面に対向して配置され、カラーフィルタからの光を集光する対物レンズ２１２と、外部からの光を遮断し、対物レンズ２１２により集光された光を通過させる光学鏡筒２１１とを含んでいる。図２０を参照して、駆動部材２６０は、複数の塗布針ホルダ２３２を保持しており、塗布針ホルダ２３２はそれぞれ塗布針２３３を保持している。さらに、塗布針２３３は、それぞれ異なった色のインクを保持するインクポット２３５のタンク２３５Ａ内にその先端が進入しており、かつタンク２３５Ａを貫通可能となっている。

次に、従来の問題点を解決可能な欠陥修正装置２００の動作について説明する。図１９および図２０を参照して、まず、カラーフィルタ１９０の表面が観察部材２１０によって観察され、欠陥が発見される。次に、欠陥の修正に必要な色のインクを保持しているインクポット２３５のタンク２３５Ａに先端が進入している塗布針２３３が選択され、当該塗布針２３３が発見された欠陥の直上に位置するように駆動部材２６０により移動される。このとき、塗布針２３３の先端は、インクに浸漬された状態となっている。そして、塗布針２３３がインクポット２３５のタンク２３５Ａを貫通して、発見された欠陥部にインクが塗布される。さらに、インクの塗布が完了した後、観察部材２１０により、欠陥の修正状態を確認することもできる。

欠陥修正装置２００によれば、塗布針２３３がインクポット２３５のタンク２３５Ａ内に、その先端が進入しており、かつインクポット２３５のタンク２３５Ａを貫通可能となっているため、欠陥部が比較的大きく、塗布するためのインクが不足した場合、塗布針２３３の先端を一旦タンク２３５Ａ内に戻すことにより直ちにインクを補充することができる。また、上述のように、インクの色の異なった複数のインクポット２３５および塗布針２３３が配置されているため、色の異なる複数の画素において欠陥が発生し、塗布するインクの色を変更する必要がある場合、使用するインクポット２３５および塗布針２３３を変更するだけで直ちに塗布するインクの色を変更することができる。以上のように、欠陥修正装置２００によれば、欠陥が比較的大きい場合や、色の異なる複数の画素において欠陥が発生した場合、欠陥の修正効率が低下するという従来の欠陥修正装置の問題点を解決することが可能となる。

しかし、上記欠陥修正装置２００においては、新たな問題が発生する。すなわち、欠陥へのインクの塗布によりインクポット２３５内のインクが消費されて不足した場合、インクポット２３５を欠陥修正装置２００から取り外し、インクを補充したうえで、再度インクポット２３５を欠陥修正装置２００に取り付ける必要がある。

ここで、上述のように、欠陥修正装置２００は、塗布針２３３およびインクポット２３５を複数備えるとともに、これらがカラーフィルタ１９０などの欠陥修正の対象物と観察部材２１０との間に進入可能となっている。そのため、塗布針２３３周辺の各部材はコンパクト化されている。一般に、カラーフィルタの生産は、塵の発生（発塵）を抑制するため、発塵が管理されたクリ−ンルーム内において行なわれる。クリーンルーム内では、発塵を極力抑制するため、作業者にクリーンウェアの着用、マスクおよびゴム手袋の装着などが義務付けられる場合が多い。そのため、作業者は、このような作業スタイルで、限られたスペースにおいて、インクポット２３５を着脱する必要がある。そのため、不慣れな作業者が当該作業を行なった場合、塗布針２３３を損傷させたり、インクポット２３５を落下させたりする可能性がある。また、塗布針２３３の位置がずれたり、損傷したりした場合、欠陥の修正に大きな悪影響をもたらすおそれがあるため、インクポット２３５の確実な着脱が求められる。

そこで、本発明の目的は、インクポット２３５のような液体容器の欠陥修正装置への確実な着脱を容易にする液体容器着脱装置を提供することである。また、本発明の他の目的は、液体容器の確実な着脱が容易な欠陥修正装置を提供することである。

本発明に従った液体容器着脱装置は、液体材料を基板に塗布する塗布針を含む塗布部材に取り付け可能に構成され、液体材料を保持する液体容器を、塗布部材に取り付けるために、液体容器を保持する取り付け部材と、液体容器を塗布部材から取り外すために、液体容器を保持する取り外し部材と、磁性体を含み、前記液体容器を貫通する吸着用磁性部材とを備えている。取り付け部材は、液体容器を引き付けて保持するために塗布部材が有している第１磁性部材よりも液体容器を引き付ける向きの磁力が小さい第２磁性部材を含んでいる。取り外し部材は、第１磁性部材よりも液体容器を引き付ける向きの磁力が大きい第３磁性部材を含んでいる。そして、吸着用磁性部材が、一方の端面において第１磁性部材に引き付けられることにより液体容器が塗布部材に保持され、他方の端面において第２磁性部材に引き付けられることにより液体容器が取り付け部材に保持され、他方の端面において第３磁性部材に引き付けられることにより液体容器が取り外し部材に保持されることが可能となっている。

本発明の液体容器着脱装置においては、塗布部材が有している第１磁性部材よりも液体容器を引き付ける向きの磁力が小さい第２磁性部材を、取り付け部材が有している。そのため、以下のような操作により、液体容器を塗布部材に確実に、かつ容易に取り付けることができる。すなわち、まず、インクなどの液体材料が補充された液体容器を、液体容器と第２磁性部材との間にはたらく磁力を利用して取り付け部材に保持させる。その後、第２磁性部材よりも液体容器を引き付ける向きの磁力が大きい第１磁性部材を含む塗布部材に液体容器を接触させる。そして、取り付け部材を塗布部材から離れる向きに移動させ、液体容器を取り付け部材から離脱させる。

一方、本発明の液体容器着脱装置においては、塗布部材が有している第１磁性部材よりも液体容器を引き付ける向きの磁力が大きい第３磁性部材を、取り外し部材が有している。そのため、インクなどの液体材料が消費され、補充が必要になった塗布部材に取り付けられた状態の液体容器に取り外し部材を接触させ、さらに取り外し部材を塗布部材から離れる向きに移動させることにより、液体容器を塗布部材から離脱させるとともに、液体容器と第３磁性部材との間にはたらく磁力を利用して確実に、かつ容易に取り外し部材に保持することができる。

以上のように、本発明の液体容器着脱装置によれば、液体容器の欠陥修正装置への確実な着脱を容易にする液体容器着脱装置を提供することができる。

ここで、磁性部材とは、他の磁性部材との間に磁力を生じる部材であって、たとえば磁石、磁性体などを含む部材である。磁石としては、フェライト磁石などの永久磁石のほか、電磁石を採用することができる。また、磁性体としては鉄、ニッケル、コバルトなどの強磁性体を採用することができる。

上記液体容器着脱装置において好ましくは、取り付け部材および取り外し部材は、液体容器が押付けられる向きの力を緩衝する緩衝部材をさらに含んでいる。

これにより、液体容器着脱装置において液体容器が着脱される際、両者の接触の衝撃が緩和されるとともに、誤って塗布部材に含まれる塗布針と液体容器とが接触した場合でも、取り付け部材または取り外し部材との接触の衝撃が緩和され、塗布針の破損の発生を抑制することができる。

なお、緩衝部材としては、コイルばね、板ばねなどのばねのほか、ゴム、樹脂などの弾性部材など、変形することによって、衝撃を吸収可能な緩衝機能を有する部材を採用することができる。

本発明に従った欠陥修正装置は、上述の本発明の液体容器着脱装置を備えている。本発明の欠陥修正装置によれば、液体容器の欠陥修正装置への確実な着脱を容易にする上記本発明の液体容器着脱装置を備えていることにより、液体容器の確実な着脱が容易な欠陥修正装置を提供することができる。

以上の説明から明らかなように、本発明の液体容器着脱装置によれば、液体容器の欠陥修正装置への確実な着脱を容易にする液体容器着脱装置を提供することができる。また、本発明の欠陥修正装置によれば、液体容器の確実な着脱が容易な欠陥修正装置を提供することができる。

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。

まず、本発明の一実施の形態における欠陥修正装置の構成について説明する。図１は、本発明の一実施の形態における欠陥修正装置の構成を示す概略斜視図である。

図１を参照して、本実施の形態における欠陥修正装置１は、ベース部材３０と、インク塗布部１０と、インクポット交換装置２０と、レーザ照射部４０と、観察光学系５０と、移動装置６０とを備えている。ベース部材３０は、欠陥の修正対象であるカラーフィルタなどの基板を載置するためのステージ３１を含んでいる。インク塗布部１０は、基板に液体材料としてのインクを塗布することにより、基板の欠陥を修正する。液体容器着脱装置としてのインクポット交換装置２０は、ベース部材３０に設置されており、液体材料としてのインクを保持する液体容器であるインクポットを、インク塗布部１０に対して着脱するために用いられる。レーザ照射部４０は、基板にレーザ光を照射する。

観察光学系５０は、基板の表面を観察するために用いられる複数の対物レンズ５１と、対物レンズ５１を保持し、複数の対物レンズ５１の中から所望の対物レンズ５１を選択可能な電動レボルバ５２と、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ５３とを含んでいる。移動装置６０は、Ｘテーブル６２と、Ｙテーブル６１と、Ｚテーブル６３とを含んでいる。Ｚテーブル６３は、インク塗布部１０、レーザ照射部４０および観察光学系５０をＺ軸方向に移動可能に保持している。Ｘテーブル６２は、Ｚテーブル６３を、Ｚ軸に直交するＸ軸方向に移動可能に保持している。さらに、Ｙテーブル６１は、Ｘテーブル６２を、Ｚ軸およびＸ軸に直交するＹ軸方向に移動可能に保持している。

次に、本実施の形態における欠陥修正装置１の動作について説明する。まず、電動レボルバ５２により低倍率の対物レンズ５１が選択された状態で、ステージ３１上に載置された基板の欠陥がＣＣＤカメラ５３を通じて確認される。次に、電動レボルバ５２により高倍率の対物レンズ５１が選択され、欠陥の位置および状態が詳細に確認される。そして、必要に応じて当該欠陥にレーザ照射部４０からレーザが照射されたうえで、インク塗布部１０によりインクが塗布され、欠陥が修正される。ここで、インクが消費され、インクの補充が必要になった場合、インクポット交換装置２０を用いて、インク塗布部１０からインクポットが取り外され、インクが補充されたインクポットが取り付けられる。このようにして、本実施の形態における欠陥修正装置を用いた欠陥の修正が実施される。

次に、インクポット交換装置２０の構成および動作について説明する。図２は、インクポット交換装置２０の構成を示す概略斜視図である。また、図３は、インクポット交換装置２０の動作を説明するための概略斜視図である。図２を参照して、本実施の形態における液体容器着脱装置としてのインクポット交換装置２０は、取り付け部材としての取り付けホルダ２２と、取り外し部材としての取り外しホルダ２１と、取り付けホルダ２２および取り外しホルダ２１を保持する着脱ホルダ保持部材２４と、着脱ホルダ保持部材２４を保持するホルダベース２３とを備えている。

取り付けホルダ２２は、取り付けホルダ本体２２Ａと、昇降棒９３を有し、取り付けホルダ本体２２Ａを保持するホルダ支持台８７と、取り付けホルダ本体２２Ａとホルダ支持台８７との間に配置され、インクポット（図示しない）が押付けられる向きの力を緩衝する緩衝部材としてのばね９１と、ホルダ支持台８７に設置され、取り付けホルダ本体２２Ａに形成されたホルダレール９８に嵌め込まれることにより、取り付けホルダ本体２２Ａをインクポットが押付けられる方向に移動可能に案内するガイド部材８８と、ホルダ支持台８７の端部に配置され、ホルダレール９８がホルダ支持台８７から突出しないように取り付けホルダ本体２２Ａの移動範囲を制限する板状のストッパ８９とを備えている。ここで、ばね９１のばね定数は、ホルダレール９８をストッパ８９に対して押付け、インクポットに作用する重力よりも大きい力が取り付けホルダ本体２２Ａに作用した場合、ホルダ本体２２Ａがインクポットにより押付けられる向きに退避する程度に設定されている。

さらに、取り付けホルダ２２は、ホルダ支持台８７を保持するホルダ保持台８４と、ホルダ支持台８７に設置され、ホルダ保持台８４に形成された保持台レール８５に嵌め込まれることにより、ホルダ支持台８７をインクポットが押付けられる方向に移動可能に案内する第２ガイド部材８６と、ホルダ保持台８４の端部に配置され、第２ガイド部材８６がホルダ保持台８４から突出しないように第２ガイド部材８６の移動範囲を制限する板状の第２ストッパ８４Ａとを備えている。

そして、取り付けホルダ本体２２Ａには、インク塗布部１０に含まれる塗布部材１９が有している第１磁性部材としての第１磁石９２Ａよりもインクポットを引き付ける磁力の小さい第２磁性部材としての第２磁石９２Ｂが、インクポットが押付けられる面に露出するように配置されている。

一方、取り付けホルダ２２に対して並列に配置された取り外しホルダ２１は、基本的には取り付けホルダ２２と同様の構成を有している。しかし、取り付けホルダ本体２２Ａに配置されている第２磁石９２Ｂに代えて、第１磁石９２Ａよりもインクポットを引き付ける磁力の大きい第３磁性部材としての第３磁石９２Ｃが取り外しホルダ本体２１Ａに配置されている点で、取り付けホルダ２２とは異なっている。

さらに、図２および図３を参照して、ホルダベース２３には、着脱ホルダ保持部材２４が直線上を往復可能となるようにガイドするベースレール８１が配置されており、かつ２つのベース部材固定穴８２が形成されている。２つのベース部材固定穴８２の間隔は、第２磁石９２Ｂと第３磁石９２Ｃとの間隔に一致する。着脱ホルダ保持部材２４には、着脱ホルダ保持部材２４がベースレール８１に沿ってホルダベース２３上を移動することによりベース部材固定穴８２と開口が一致する部位に、貫通穴８３が形成されている。これにより、貫通穴８３を貫通し、ベース部材固定穴８２に進入するように、位置選択ピン９９を挿入することにより、予め決定されたインクポット交換位置に塗布針１３を含む塗布部材１９が位置する状態において、第１磁石９２Ａと第２磁石９２Ｂとが対向する状態と、第１磁石９２Ａと第３磁石９２Ｃとが対向する状態とを選択可能となっている。

すなわち、本実施の形態における液体容器着脱装置としてのインクポット交換装置２０は、液体材料としてのインクを基板に塗布する塗布針１３を含む塗布部材１９に取り付け可能に構成され、インクを保持するインクポットを、塗布部材１９に取り付けるために、インクポットを保持する取り付け部材としての取り付けホルダ２２と、インクポットを、塗布部材１９から取り外すために、インクポットを保持する取り外し部材としての取り外しホルダ２１とを備えている。

そして、取り付けホルダ２２は、インクポットを引き付けて保持するために塗布部材１９が有している第１磁性部材としての第１磁石９２Ａよりもインクポットを引き付ける向きの磁力が小さい第２磁性部材としての第２磁石９２Ｂを含んでいる。また、取り外しホルダ２１は、第１磁石９２Ａよりもインクポットを引き付ける向きの磁力が大きい第３磁性部材としての第３磁石９２Ｃを含んでいる。

さらに、取り付けホルダ２２および取り外しホルダ２１は、インクポットが押付けられる向きの力を緩衝する緩衝部材としてのばね９１を含んでいる。

次に、インクポット交換装置２０を用いたインクポットの交換手順のうち、インクポットの取り付けについて説明する。図４は、塗布部材、取り付けホルダおよびインクポットの構成を示す概略斜視図である。また、図５は、インクポットが取り付けホルダに保持されている状態を示す概略斜視図である。また、図６は、インクポットを塗布部材に取り付けるために、インクポットと塗布部材とが接触した状態を示す概略斜視図である。また、図７は、インクポットを塗布部材に取り付けるために、インクポットと塗布部材とが接触した状態を示す概略部分断面図である。また、図８は、インクポットの塗布部材への取り付けが完了した状態を示す概略斜視図である。また、図９は、インクポットの塗布部材への取り付けが完了した状態を示す概略部分断面図である。

図４を参照して、塗布部材１９は、インクを塗布するための塗布針１３と、インクポット１８を保持するための第１磁石９２Ａを備えている。インクポット１８は樹脂を素材として形成されており、内部に形成されたインクを保持するインクタンクを閉じる蓋１４と、磁性体を含み、第１磁石９２Ａおよび第２磁石９２Ｂに磁力により吸着する機能を有し、インクポット１８の本体を貫通する吸着用磁性部材としての吸着ピン１５とを備えている。さらに、インクポット１８には、２つの切欠部としてのＵ字切欠１６が長手方向の両端に形成されている。取り付けホルダ２２は、第１磁石９２Ａよりもインクポット１８の吸着ピン１５を引き付ける向きの磁力が小さい第２磁石９２Ｂを備えている。さらに、取り付けホルダ２２には、インクポット１８の２つのＵ字切欠１６に嵌合する２つの位置決め部としての位置決めピン２９が形成されている。

インクポット１８を塗布部材１９に取り付けるためには、まず、図２を参照して、位置選択ピン９９を用いて塗布部材１９の第１磁石９２Ａと取り付けホルダ２２の第２磁石９２Ｂとが対向する状態を、インクポット交換装置２０において選択する。次に、図５に示すように、２つのＵ字切欠１６が２つの位置決めピン２９に嵌合するように、取り付けホルダ本体２２Ａ上にインクポット１８が載置される。このとき、吸着ピン１５と第２磁石９２Ｂとの間にはたらく磁力により、インクポット１８は取り付けホルダ２２に安定して保持される。その後、インクポット１８を塗布部材１９に取り付けるために、インクポット１８が保持された取り付けホルダ本体２２Ａを塗布部材１９に接近させる。このとき、図２を参照して、当該取り付けホルダ本体２２Ａの塗布部材１９への接近は、昇降棒９３を保持し、ホルダ支持台８７を塗布部材１９に接近させることにより行なうことができる。

次に、図６および図７を参照して、インクポット１８と塗布部材１９とが接触した状態では、インクポット１８は、取り付けホルダ２２と塗布部材１９との両方に保持された状態となる。具体的には、図７を参照して、インクポット１８と塗布部材１９とが接触した状態では、塗布部材１９の塗布針１３が蓋１４に形成された穴を貫通し、その先端がインクタンク１８Ａ内に保持されたインク１７に浸漬された状態となるとともに、第１磁石９２Ａと吸着ピン１５の一方の端面とが接触した状態となる。これにより、インクポット１８は、第１磁石９２Ａと吸着ピン１５との間にはたらく磁力により、塗布部材１９に保持されている。一方、インクポット１８と取り付けホルダ２２とは、図５に基づいて説明した状態が維持されている。これにより、第２磁石９２Ｂと吸着ピン１５の他方の端面とが接触し、インクポット１８は、第２磁石９２Ｂと吸着ピン１５との間にはたらく磁力により、取り付けホルダ２２に保持されている。

ここで、図２を参照して、インクポット１８と塗布部材１９とが接触する際、ばね９１の緩衝作用により、インクポット１８により押付けられる向きに取り付けホルダ本体２２Ａが退避するため、接触の衝撃が緩衝されるとともに、誤って塗布針１３とインクポット１８とが接触した場合でも、塗布針１３の破損の発生を抑制することができる。

その後、図６および図７を参照して、インクポット１８と取り付けホルダ２２とを分離するために、取り付けホルダ本体２２Ａを塗布部材１９から離れる向きに移動させる。当該移動も、昇降棒９３を保持し、ホルダ支持台８７を塗布部材１９から離れる向きに移動させることにより行なうことができる。

このとき、前述のように、第２磁石９２Ｂがインクポット１８の吸着ピン１５を引き付ける向きの磁力は、第１磁石９２Ａに比べて小さい。そのため、図８および図９に示すように、インクポット１８は、塗布部材１９に保持された状態を維持しつつ、取り付けホルダ２２から離脱する。以上の手順により、インクポット１８の塗布部材１９への取り付けを行なうことができる。

次に、インクポット交換装置２０を用いたインクポットの交換手順のうち、インクポットの取り外しについて説明する。図１０は、インクポットが塗布部材に保持されている状態を示す概略斜視図である。また、図１１は、インクポットを塗布部材から取り外すために、インクポットと取り外しホルダとが接触した状態を示す概略斜視図である。また、図１２は、インクポットを塗布部材から取り外すために、インクポットと取り外しホルダとが接触した状態を示す概略部分断面図である。また、図１３は、インクポットの取り外しが完了した状態を示す概略斜視図である。また、図１４は、インクポットの取り外しが完了した状態を示す概略部分断面図である。

まず、図３を参照して、位置選択ピン９９を用いて塗布部材１９の第１磁石９２Ａと取り外しホルダ２１の第３磁石９２Ｃとが対向する状態を、インクポット交換装置２０において選択する。次に、図１０を参照して、塗布部材１９に保持されたインクポット１８に、取り外しホルダ本体２１Ａを接近させる。このとき、当該取り外しホルダ本体２１Ａのインクポット１８への接近は、上述の場合と同様に、昇降棒９３を保持し、ホルダ支持台８７をインクポット１８に接近させることにより行なうことができる。

次に、図１１および図１２を参照して、インクが消費されたインクポット１８と取り外しホルダ本体２１Ａとが接触した状態では、インクポット１８は、取り外しホルダ２１と塗布部材１９との両方に保持された状態となる。具体的には、インクポット１８と塗布部材１９とが接触した状態では、第１磁石９２Ａと吸着ピン１５の一方の端面とが接触した状態となるため、インクポット１８は、第１磁石９２Ａと吸着ピン１５との間にはたらく磁力により、塗布部材１９に保持されている。一方、取り外しホルダ２１とインクポット１８とは、第３磁石９２Ｃと吸着ピン１５の他方の端面とが接触した状態となるため、インクポット１８は、第３磁石９２Ｃと吸着ピン１５との間にはたらく磁力により、取り外しホルダ２１に保持されている。

ここで、図３を参照して、インクポット１８と塗布部材１９とが接触する際、インクポット１８の取り付けの場合と同様に、ばね９１の緩衝作用により、接触の衝撃が緩衝される。

その後、インクポット１８と塗布部材１９とを分離するために、取り外しホルダ本体２１Ａを塗布部材１９から離れる向きに移動させる。当該移動も、昇降棒９３を保持し、ホルダ支持台８７を塗布部材１９から離れる向きに移動させることにより行なうことができる。

このとき、前述のように、第３磁石９２Ｃがインクポット１８の吸着ピン１５を引き付ける向きの磁力は、第１磁石９２Ａに比べて大きい。そのため、図１３および図１４に示すように、インクポット１８は、取り外しホルダ２１に保持された状態を維持しつつ、塗布部材１９から離脱する。以上の手順により、インクポット１８の塗布部材１９からの取り外しを行なうことができる。

上記本実施の形態における液体容器着脱装置としてのインクポット交換装置２０およびこれを備えた欠陥修正装置１によれば、液体容器としてのインクポット１８の欠陥修正装置１への確実な着脱を容易にすることができる。また、インクポット交換装置２０においてインクポット１８が着脱される際、両者の接触の衝撃が緩和されるとともに、誤って塗布部材１９に含まれる塗布針１３とインクポット１８とが接触した場合でも、塗布針１３の破損の発生を抑制することができる。

より具体的には、上記本実施の形態におけるインクポット交換装置２０およびこれを備えた欠陥修正装置１によれば、インクポットの着脱を磁力の差を利用して行なうため、ねじや工具などを使用することなく実施することができる。その結果、作業性（作業の効率）が向上し、作業時間を短縮することができる。また、インクポットの取り付けにおいては、取り付けホルダの所定位置にインクポットを載置するのみで位置決めが完了するため、不慣れな作業者でも容易に作業を行なうことができる。さらに、塗布針に作業者が手を近づけて作業をする必要がないため、塗布針の損傷発生を抑制することができる。また、上記作業は、基本的には手動で行なうことが可能であるため、インクポット交換装置に電気的な制御機構を付与する必要がないため、比較的安価に上記構成を実現することができる。

なお、上記実施の形態においては、塗布針１３が１本である場合について説明したが、本発明の欠陥修正装置はこれに限られず、塗布針１３を複数本備えていてもよい。塗布針が並列に複数本存在する場合、ホルダベース２３を含むインクポット交換装置２０全体を、塗布針１３のピッチに合わせて塗布針が並ぶ方向に沿って移動可能に構成することで、複数の塗布針１３に対応するインクポット１８の交換を容易に行なうことができる。

また、上記実施の形態の磁性部材に関しては、液体容器を引き付ける磁力が（第２磁性部材＜第１磁性部材＜第３磁性部材）の関係を満たしていればよい。これを達成するためには、磁束密度の異なった磁石を採用してもよいし、他の磁性部材と接触する面積を変化させて当該関係を達成してもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明の欠陥修正装置および液体容器着脱装置は、微細な欠陥部に液体材料を塗布することにより、当該欠陥を修正する欠陥修正装置、および当該欠陥修正装置に含まれる液体容器着脱装置に、特に有利に適用され得る。

本発明の一実施の形態における欠陥修正装置の構成を示す概略斜視図である。 インクポット交換装置の構成を示す概略斜視図である。 インクポット交換装置の動作を説明するための概略斜視図である。 塗布部材、取り付けホルダおよびインクポットの構成を示す概略斜視図である。 インクポットが取り付けホルダに保持されている状態を示す概略斜視図である。 インクポットを塗布部材に取り付けるために、インクポットと塗布部材とが接触した状態を示す概略斜視図である。 インクポットを塗布部材に取り付けるために、インクポットと塗布部材とが接触した状態を示す概略部分断面図である。 インクポットの塗布部材への取り付けが完了した状態を示す概略斜視図である。 インクポットの塗布部材への取り付けが完了した状態を示す概略部分断面図である。 インクポットが塗布部材に保持されている状態を示す概略斜視図である。 インクポットを塗布部材から取り外すために、インクポットと取り外しホルダとが接触した状態を示す概略斜視図である。 インクポットを塗布部材から取り外すために、インクポットと取り外しホルダとが接触した状態を示す概略部分断面図である。 インクポットの取り外しが完了した状態を示す概略斜視図である。 インクポットの取り外しが完了した状態を示す概略部分断面図である。 液晶カラーフィルタに発生する欠陥の一例を示す平面図である。 液晶カラーフィルタに発生する欠陥の一例を示す平面図である。 液晶カラーフィルタに発生する欠陥の一例を示す平面図である。 特許文献１に開示された従来の欠陥修正装置を示す概略図である。 従来の問題点を解決可能な欠陥修正装置の構成を示す概略斜視図である。 図１９の欠陥修正装置の塗布針周辺を図１９とは異なった角度から拡大した概略斜視図である。

符号の説明

１ 欠陥修正装置、１０ インク塗布部、１３ 塗布針、１４ 蓋、１５ 吸着ピン、１６ Ｕ字切欠、１７ インク、１８ インクポット、１８Ａ インクタンク、１９ 塗布部材、２０ インクポット交換装置、２１ 取り外しホルダ、２１Ａ 取り外しホルダ本体、２２ 取り付けホルダ、２２Ａ 取り付けホルダ本体、２３ ホルダベース、２４ 着脱ホルダ保持部材、２９ 位置決めピン、３０ ベース部材、３１ ステージ、４０ レーザ照射部、５０ 観察光学系、５１ 対物レンズ、５２ 電動レボルバ、５３ ＣＣＤカメラ、６０ 移動装置、６１ Ｙテーブル、６２ Ｘテーブル、６３ Ｚテーブル、８１ ベースレール、８２ ベース部材固定穴、８３ 貫通穴、８４ ホルダ保持台、８４Ａ 第２ストッパ、８５ 保持台レール、８６ 第２ガイド部材、８７ ホルダ支持台、８８ ガイド部材、８９ ストッパ、９２Ａ 第１磁石、９２Ｂ 第２磁石、９２Ｃ 第３磁石、９３ 昇降棒、９８ ホルダレール、９９ 位置選択ピン、１００ 欠陥修正装置、１１１ 回転テーブル、１１２ インクポット、１１３ パージ装置、１１４ 洗浄装置、１１５ 切欠部、１２０ テーブル駆動部材、１３１ 駆動シリンダ、１３２ 塗布針ホルダ、１３３ 塗布針、１９０ カラーフィルタ、１９１ Ｒ画素、１９２ Ｇ画素、１９３ Ｂ画素、１９７ 異物欠陥、１９８ 黒欠陥、１９９ 白欠陥、２００ 欠陥修正装置、２１０ 観察部材、２１１ 光学鏡筒、２１２ 対物レンズ、２３２ 塗布針ホルダ、２３３ 塗布針、２３５ インクポット、２３５Ａ タンク、２６０ 駆動部材。

Claims (3)

1. 液体材料を基板に塗布する塗布針を含む塗布部材に取り付け可能に構成され、前記液体材料を保持する液体容器を、前記塗布部材に取り付けるために、前記液体容器を保持する取り付け部材と、
   前記液体容器を、前記塗布部材から取り外すために、前記液体容器を保持する取り外し部材と、
   磁性体を含み、前記液体容器を貫通する吸着用磁性部材とを備え、
   前記取り付け部材は、前記液体容器を引き付けて保持するために前記塗布部材が有している第１磁性部材よりも前記液体容器を引き付ける向きの磁力が小さい第２磁性部材を含み、
   前記取り外し部材は、前記第１磁性部材よりも前記液体容器を引き付ける向きの磁力が大きい第３磁性部材を含んでおり、
   前記吸着用磁性部材が、一方の端面において前記第１磁性部材に引き付けられることにより前記液体容器が前記塗布部材に保持され、他方の端面において前記第２磁性部材に引き付けられることにより前記液体容器が前記取り付け部材に保持され、前記他方の端面において前記第３磁性部材に引き付けられることにより前記液体容器が前記取り外し部材に保持されることが可能となっている、液体容器着脱装置。
2. 前記取り付け部材および前記取り外し部材は、前記液体容器が押付けられる向きの力を緩衝する緩衝部材をさらに含んでいる、請求項１に記載の液体容器着脱装置。
3. 請求項１または２に記載の液体容器着脱装置を備えた、欠陥修正装置。

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