KR101140209B1 - 홀더 조인트, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치 - Google Patents

홀더 조인트, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101140209B1
KR101140209B1 KR1020110077234A KR20110077234A KR101140209B1 KR 101140209 B1 KR101140209 B1 KR 101140209B1 KR 1020110077234 A KR1020110077234 A KR 1020110077234A KR 20110077234 A KR20110077234 A KR 20110077234A KR 101140209 B1 KR101140209 B1 KR 101140209B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
holder
scribe
tip
tip holder
holder joint
Prior art date
Application number
KR1020110077234A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110103908A (ko
Inventor
마사오 야마모토
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20110103908A publication Critical patent/KR20110103908A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101140209B1 publication Critical patent/KR101140209B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/027—Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037—Controlling or regulating
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Abstract

(과제) 홀더 조인트에 팁 홀더를 정확하게 위치 결정함과 아울러, 팁 홀더의 분리를 용이하게 하는 것이다.
(해결 수단) 홀더 조인트(20)에 개구(23)를 형성하고, 그 측방에 절결(25a, 25b)을 형성한다. 팁 홀더(10)에는 부착부(16)의 측방으로 돌출하는 돌기부(16a, 16b)를 형성한다. 홀더 조인트(20)의 개구(23)에 팁 홀더(10)를 삽입하고, 그 돌기부(16a, 16b)를 홀더 조인트의 절결(25a, 25b)에 접촉시켜 홀더 유닛(30)으로 한다. 이에 따라 팁 홀더를 정확하게 위치 결정할 수 있어, 착탈이 자유로운 홀더 유닛 및 스크라이브 헤드를 실현할 수 있다.

Description

홀더 조인트, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치{HOLDER JOINT, SCRIBE HEAD AND SCRIBE DEVICE}
본 발명은 취성 재료(brittle material) 기판에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성하기 위해 이용되는 스크라이브 장치와 그 스크라이브 헤드, 홀더 유닛 및 팁 홀더에 관한 것이다.
종래, 액정 표시 패널이나 액정 프로젝터 기판 등의 플랫 패널 디스플레이 등에서는, 제조 과정에 있어서 마더 유리 기판(mother glass substrate)이 접합된 후에 소정의 크기의 단개(單個)의 패널이 되도록 분단(分斷)된다. 이 마더 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단에는 스크라이브 공정과 브레이크 공정이 있고, 스크라이브 공정에서는 스크라이브 장치가 이용된다.
도 1은 특허문헌 1에 나타나 있는 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다. 이 스크라이브 장치(100)는, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 볼나사(103)는 이동대(101)와 나사결합하고 있다. 볼나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하여, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 형성되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(107)은 이 테이블(106) 상에 올려 놓여지고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 스크라이브 장치(100)의 상부에는, 취성 재료 기판(107)의 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(108)가 형성되어 있다.
스크라이브 장치(100)에는, 이동대(101)와 그 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브릿지(110)가 x축 방향을 따라 지주(支柱; 111a, 111b)에 의해 가설(架設)되어 있다. 스크라이브 헤드(112)는 브릿지(110)에 형성된 가이드(113)를 따라 x축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 모터(114)는 스크라이브 헤드(112)를 x축 방향을 따라 이동시키는 것이다.
스크라이브 장치의 스크라이브 헤드(112)에는, 홀더 조인트(120)를 통하여 팁 홀더(130)가 부착된다. 도 2는 특허문헌 1에 따른 팁 홀더를 나타내는 도면이며, 도 3은 그 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이, 팁 홀더(130)는 대략 원통형의 부재로서, 그 일단에는 대략 정방형상의 평탄부(131a, 131b)가 모두 중심축에 평행하게 형성된다. 팁 홀더(130)는 이 평탄부의 사이에 중심축을 따른 절결(切欠; cut-out)(132)을 갖고 있고, 평탄부(131a, 131b)의 하단에는 그 면에 수직인 방향의 핀홈(133)을 갖고 있다. 스크라이빙 휠(「커터 휠」이라고도 함)(134)은 예를 들면 휠지름이 2.5mm, 두께 0.5mm 정도의 원판상의 형상을 갖고, 원주 부분의 단면이 원추형으로 형성되어, 중심에 관통구멍을 갖는 커터로서, 단순히 팁(tip)이라고도 불린다. 스크라이빙 휠(134)은, 핀홈(133)에 삽입된 핀(135)을 중심의 관통구멍에 관통시킴으로써, 회전이 자유롭게 지지된다. 핀(135)을 핀홈(133)에 삽입하여 스크라이빙 휠(134)을 지지한 후는, 스크라이빙 휠의 교환을 요할 경우에도 스크라이빙 휠을 분리하지 않고, 팁 홀더와 함께 교환된다. 한편 팁 홀더(130)의 타단(他端)에는 위치 결정용의 부착부(136)가 형성되어 있다. 부착부(136)는 팁 홀더(130)를 절결하여 형성되고, 경사부(136a) 및 평탄부(136b)를 갖는다. 평탄부(136b)는 팁 홀더의 축과 평행하며, 그리고 하방의 평탄부(131a, 131b)와는 수직으로 되어 있다. 팁 홀더(130)는 그 상부의 부착부(136)가 자성체 금속으로 구성되어 있다.
스크라이브 헤드(112)는 그 내부에, 팁 홀더(130)의 승강 동작을 가능하게 하는 승강부, 예를 들면 공기압 제어를 이용하는 에어 실린더나 리니어 모터에 의한 전동 승강부 등이 형성되어 있다. 스크라이브 장치는 승강부에 의해 스크라이빙 휠(134)을 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하여 전동(轉動)해 가서, 스크라이브 라인을 형성한다.
다음으로 홀더 조인트(120)에 대하여 설명한다. 도 4는 종래의 홀더 조인트(120)를 나타내는 도면이며, 도 5는 이 홀더 조인트(120)에 팁 홀더(130)를 삽입하는 상태를 나타내는 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트(120)는 상부에 베어링(121a, 121b)을 갖고 있고, 하방이 팁 홀더(130)를 지지하는 지지부(122)로 되어 있다. 홀더 조인트(120)의 지지부(122)에는, 도시와 같이 원형의 개구(123)가 형성되어 있고, 그 내측에 자석(124)이 매설되어 있다. 또한 이 개구(123)의 내부에는 중심축으로부터 거리를 둔 위치에 중심축과 수직인 평행핀(125)이 형성된다. 평행핀(125)은 원기둥의 부재로서, 팁 홀더(130)의 경사부(136a)에 접하여 팁 홀더(130)를 위치 결정하는 것이다.
이 팁 홀더(130)를 홀더 조인트(120)에 부착할 때에는, 도 5에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트의 개구(123)에 팁 홀더(130)를 그 부착부(136)로부터 삽입한다. 그렇게 하면 팁 홀더(130)의 선단부가 자석(124)에 의해 흡인되고, 그리고 경사부(136a)가 평행핀(125)에 접촉하여 위치 결정 고정된다. 도 6은 홀더 조인트(120)에 팁 홀더(130)가 부착된 상태를 나타내는 부분 단면도이며, 도 7은 홀더 조인트(120)가 부착된 스크라이브 헤드(112)의 일부를 나타내는 도면이다. 팁 홀더(130)는 자석(124)에 의해 흡인되어 있을 뿐이기 때문에, 부착이 매우 용이하며, 소정의 위치에 고정된다. 교환할 경우에는 팁 홀더(130)를 당겨 분리하고 있다.
국제특허공개공보 WO 2007/063979
종래의 팁 홀더는, 홀더 조인트에 부착하여 홀더 유닛(140)이 구성된다. 홀더 유닛(140)을 스크라이브 헤드(112)에 부착하여 스크라이브할 경우에는, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 가압하면서 이동시킨다. 이때 스크라이브 라인이 만곡하여 있으면, 팁 홀더를 지지하는 홀더 조인트(120)에도 비틀림 힘이 가해진다. 이 때문에 일단 만곡한 스크라이브 라인을 형성한 후에는, 직선 스크라이브를 할 경우라도 스크라이브 라인의 위치 정밀도가 저하된다는 결점이 있었다. 또한 팁 홀더가 홀더 조인트의 개구(123)의 내측에 끼여지기 때문에 분리하는 것이 어려워진다. 특히 로봇 등의 자동 공구 교환기를 이용하여 팁 홀더를 교환할 경우에는, 팁 홀더의 분리가 어려워진다는 결점이 있었다.
본 발명은 이러한 문제점에 착안하여 이루어진 것으로, 홀더 조인트에 확실하게 지지할 수 있어, 스크라이브 라인의 위치 정밀도를 향상시킴과 아울러, 용이하게 착탈할 수 있도록 한 팁 홀더 및, 이와 홀더 조인트를 포함하는 홀더 유닛이나 스크라이브 헤드를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 홀더 조인트는, 스크라이브 라인 형성용의 스크라이빙 휠을 구비하기 위한 팁 홀더를 부착하기 위한 홀더 조인트로서, 일단에 형성된 개구와, 상기 개구의 내측에 매설된 자석과, 상기 개구의 측방에 형성된 단수 또는 복수의 절결을 갖는 것이다.
여기에서 상기 절결은, 그의 내측의 선단을 V자형으로 형성한 것으로 해도 좋다.
이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 헤드는, 스크라이브 장치에 이용되는 스크라이브 헤드로서, 전술한 홀더 조인트를 상하운동이 자유롭게 지지하는 승강부를 갖는 것이다.
이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 장치는, 취성 재료 기판의 스크라이브에 이용되는 스크라이브 장치로서, 상기 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이브 헤드를 취성 재료 기판과 취성 재료 기판의 평면 방향에 있어서 상대적으로 이동하는 상대 이동부를 갖는 것이다.
이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 홀더 조인트는 팁 홀더를 그 돌기에 의해 안정되게 지지할 수 있기 때문에, 스크라이브 라인을 형성할 때의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한 홀더 조인트로부터 팁 홀더를 용이하게 부착하거나 분리할 수 있다. 따라서 로봇이나 자동 공구 교환기를 이용하여 팁 홀더의 착탈이 자유로워진다는 효과가 얻어진다.
도 1은 종래의 스크라이브 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래의 팁 홀더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 종래의 팁 홀더를 나타내는 사시도이다.
도 4는 종래의 홀더 조인트를 나타내는 도면이다.
도 5는 종래의 홀더 조인트에 팁 홀더를 삽입할 때의 사시도이다.
도 6은 종래의 팁 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 홀더 조인트의 일부 단면도이다.
도 7은 종래의 홀더 조인트를 스크라이브 헤드에 부착한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시 형태에 따른 팁 홀더의 구성을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태의 홀더 조인트를 나타내는 도면이다.
도 11a는 본 발명의 실시 형태에 있어서 홀더 조인트에 팁 홀더를 삽입하기 직전의 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 11b는 본 발명의 실시 형태에 있어서 홀더 조인트에 팁 홀더를 삽입한 상태를 나타내는 부분 단면도이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태의 스크라이브 헤드를 나타내는 사시도이다.
(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)
도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드를 이용한 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다. 이 스크라이브 장치에 있어서, 전술한 종래예와 동일 부분은 동일 부호를 붙이고 있다. 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치(1)는, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 볼나사(103)는 이동대(101)와 나사결합하고 있다. 볼나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하여, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 형성되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(107)은 이 테이블(106) 상에 올려 놓여지고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 지지된다. 스크라이브 장치(1)의 상부에는, 취성 재료 기판(107)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(108)가 형성되어 있다.
스크라이브 장치(1)에는, 이동대(101)와 그 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브릿지(110)가 x축 방향을 따라 지주(111a, 111b)에 의해 가설되어 있다. 스크라이브 헤드(112)는 브릿지(110)에 형성된 가이드(113)를 따라 x축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 모터(114)는 스크라이브 헤드(112)를 x축 방향을 따라 이동시키는 것이다. 스크라이브 헤드(112)의 선단부에는, 후술하는 팁 홀더(10)가 홀더 조인트(20)를 통하여 부착되어 있다. 여기에서 모터(104)와 안내 레일(102a, 102b), 볼나사(103)는 테이블을 y축 방향으로 이동시키는 이동부이며, 브릿지(110), 지주(111a, 111b), 가이드(113)는 스크라이브 헤드를 x축 방향으로 이동시키는 이동부이며, 모터(105)는 테이블을 회전시키는 회전부로서, 이들이 상대 이동부를 구성하고 있다.
다음으로 스크라이브 헤드에 부착되는 홀더 유닛의 구성에 대하여 설명한다. 홀더 유닛(30)은 홀더 조인트(20)와 팁 홀더(10)에 의해 구성된다. 팁 홀더는, 도 9에 나타내는 바와 같이 원기둥형의 부재로서, 그 일단에는 대략 정방형상의 평탄부(11a, 11b)가 모두 중심축에 평행하게 형성된다. 팁 홀더(10)는 그 평탄부의 사이에 중심축을 따른 절결(12)을 갖고 있고, 평탄부(11a, 11b)의 하단에는 그 면에 수직인 방향의 핀홈(13)을 갖고 있다. 스크라이빙 휠(14)은 예를 들면 휠지름이 2.5mm, 두께 0.5mm 정도의 원판상의 형상을 갖고, 원주 부분의 단면이 원추형으로 형성되어, 중심에 관통구멍을 갖는 커터로서, 단순히 팁으로도 불린다. 스크라이빙 휠(14)은, 핀홈(13)에 삽입된 핀(15)을 중심의 관통구멍에 관통시킴으로써, 회전이 자유롭게 지지된다. 핀(15)을 핀홈(13)에 삽입하여 스크라이빙 휠(14)을 지지한 후는, 스크라이빙 휠의 교환을 요할 경우에도 스크라이빙 휠을 분리하지 않고, 팁 홀더와 함께 교환된다. 한편 팁 홀더(10)의 타단의 원주 부분은 부착부(16)로서, 적어도 부착부(16)가 자성체 금속으로 구성되어 있다. 또한 이 실시 형태에서는 원통형의 팁 홀더의 측면에 대칭으로 돌출하는 원기둥형의 돌기(16a, 16b)를 형성하고 있다. 이 돌기(16a, 16b)는 팁 홀더의 축으로부터 수직으로 돌출시키는 것이 바람직하다. 따라서 돌기(16a, 16b)는 팁 홀더(10)의 부착부(16)의 측벽에 돌기 부재를 심어두어도 좋고, 또한 팁 홀더(10)에 관통구멍을 형성하여 1개의 핀을 통과시켜, 좌우로 돌출시킨 것이어도 좋다.
다음으로 본 실시 형태의 홀더 조인트(20)에 대하여 설명한다. 도 10은 홀더 조인트(20)를 나타내는 도면이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 홀더 조인트(20)는 상부에 베어링(21a, 21b)을 갖고 있고, 하방이 팁 홀더를 지지하는 지지부(22)로 되어 있다. 홀더 조인트(20)의 지지부(22)에는, 도시와 같이 하방으로부터 원형의 개구(23)가 중심축으로부터 조금 어긋나게 하여 형성되어 있고, 그 내측에 자석(24)이 매설되어 있다. 홀더 조인트(20)의 지지부(22)에는, 개구(23)의 측방에 하방으로부터 좌우 한 쌍의 절결(25a, 25b)이 형성되어 있다. 절결(25a, 25b)은 개구의 중심에 대칭으로 형성하는 것으로 한다. 또한 그 가장 내측 부분은 V자 형상으로 해 두는 것이 바람직하다. 절결(25a, 25b)에는 팁 홀더(10)의 돌기(16a, 16b)를 삽입함으로써 팁 홀더(10)를 위치 결정하는 것이다.
이와 같이 홀더 조인트(20)를 구성한 후, 전술한 팁 홀더(10)를 홀더 조인트(20)에 부착한다. 부착시에는, 도 11a에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트의 개구(23)에 팁 홀더(10)의 돌기(16a, 16b)를 절결(25a, 25b)에 맞추도록 삽입한다. 삽입해 가면 절결(25a, 25b)의 V자형의 절결에 들어가 위치 결정되어, 도 11b에 나타내는 바와 같이 자석(24)에 의해 팁 홀더(10)를 고정할 수 있다. 팁 홀더(10)는 자석(24)에 의해 흡인되어 있을 뿐이기 때문에, 부착이 매우 용이하며, 소정의 위치에 고정된다.
도 12는 스크라이브 헤드(112)의 사시도이다. 스크라이브 헤드(112)의 서보 모터(41)는, 회전축을 하측으로 돌출시킨 도립(倒立) 상태로 재치판(載置板; 42)을 통하여 부착판(43)에 부착되어 있다. 서보 모터(41)의 회전축에는, 원통캠(44)이 회전축과 일체적으로 회전하도록 부착되어 있다. 원통캠(44)의 하면은, 수평 상태에 대하여 경사 상태가 된 캠면(44a)으로 되어 있다.
또한, 스크라이브 헤드(112)는, 하부에 리니어 베어링(45)을 갖고 있고, 이 리니어 베어링(45)에, 홀더 부재(46)가, 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 리니어 베어링(45)에는, 원통캠(44)의 캠면(44a)에 맞닿는 캠팔로워(cam follower; 47)가, 홀더 부재(46)와 일체적으로 형성되어 있다. 캠팔로워(47)는, 회전 가능한 롤러 형상으로 되어 있다. 홀더 부재(46)와 부착판(43)과의 사이에는, 홀더 부재(46)를 부착판(43)에 대하여 상방을 향하여 탄성 지지하는 탄성체, 예를 들면 코일 스프링(48)이 형성되어 있다. 코일 스프링(48)은 홀더 부재(46)를 상방으로 탄성 지지함으로써, 캠팔로워(47)를 캠면(44a)에 압접하고 있다. 여기에서 서보 모터(41), 원통캠(44), 리니어 베어링(45), 홀더 부재(46), 캠팔로워(47), 코일 스프링(48)은 홀더 유닛(30)을 승강시키는 승강부를 구성하고 있다.
이와 같이 구성된 스크라이브 장치(1)에 있어서, 승강부에 의해 스크라이빙 휠(14)을 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하여 전동해 가서, 스크라이브 라인을 형성한다. 본 실시 형태에서는, 팁 홀더(10)의 돌기(16a, 16b)가 홀더 조인트(20)의 절결(25a, 25b)에 의해 고정되어 있고, 절결(25a, 25b)의 선단이 V자형이기 때문에, 지지 위치를 유지할 수 있어, 만곡한 스크라이브 라인을 형성해도 부착 위치가 움직이는 일은 없다.
그리고 소정 시간 스크라이브한 후는, 팁 홀더(10)를 교환할 필요가 있다. 이때 로봇 아암 등으로 팁 홀더(10)를 도 11b의 상태로부터 하향으로 인출한다. 이때 팁 홀더의 돌기가 절결(25a, 25b)에 삽입되어 있을 뿐이기 때문에, 횡방향의 힘이 스크라이브시에 가해지고 있었다고 해도 용이하게 팁 홀더(10)를 분리할 수 있다. 이 때문에 팁 홀더(10)의 교환은 용이하며, 지장없이 자동 교환기 등을 이용할 수 있다.
또한 본 실시 형태에서는, 팁 홀더의 돌기를 2개로 하고 있지만, 단수 또는 복수의 임의의 개수로 해도 좋다. 그 경우에는 절결수는 돌기의 수 이상이면 족하지만, 돌기의 수에 맞춘 수로 하는 것이 바람직하다.
본 발명은 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 이용되어, 교환을 용이하게 할 수 있는 팁 홀더, 홀더 유닛에 관한 것으로, 팁 홀더의 부착 위치를 안정화할 수 있고, 교환을 자동화할 수 있다. 따라서 스크라이브 장치에 널리 이용할 수 있다.
1 : 스크라이브 장치
10 : 팁 홀더
11a, 11b : 평탄부
12 : 절결
13 : 핀홈
14 : 스크라이빙 휠
15 : 스크라이빙 휠용 핀
16a, 16b : 돌기
20 : 홀더 조인트
21a, 21b : 베어링
22 : 지지부
23 : 개구
24 : 자석
25a, 25b : 절결
112 : 스크라이브 헤드

Claims (4)

  1. 스크라이브 라인 형성용의 스크라이빙 휠을 구비하기 위한 팁 홀더를 부착하기 위한 홀더 조인트로서,
    일단(一端)에 형성된 개구와,
    상기 개구의 내측에 매설된 자석과,
    상기 개구의 측방에 하방으로 부터 형성된 단수 또는 복수의 절결을 갖는 홀더 조인트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 절결은, 그의 내측의 선단을 V자형으로 형성한 것인 홀더 조인트.
  3. 스크라이브 장치에 이용되는 스크라이브 헤드로서,
    제1항 또는 제2항에 기재된 홀더 조인트를 상하운동이 자유롭게 지지하는 승강부를 갖는 스크라이브 헤드.
  4. 취성 재료 기판의 스크라이브에 이용되는 스크라이브 장치로서,
    제3항에 기재된 스크라이브 헤드와,
    상기 스크라이브 헤드를 취성 재료 기판과 취성 재료 기판의 평면 방향에 있어서 상대적으로 이동하는 상대 이동부를 갖는 스크라이브 장치.
KR1020110077234A 2008-06-23 2011-08-03 홀더 조인트, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치 KR101140209B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2008-163095 2008-06-23
JP2008163095A JP5239547B2 (ja) 2008-06-23 2008-06-23 チップホルダ、ホルダユニット、スクライブヘッド及びスクライブ装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090054835A Division KR101140207B1 (ko) 2008-06-23 2009-06-19 홀더 유닛, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110103908A KR20110103908A (ko) 2011-09-21
KR101140209B1 true KR101140209B1 (ko) 2012-05-02

Family

ID=41493088

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090054835A KR101140207B1 (ko) 2008-06-23 2009-06-19 홀더 유닛, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치
KR1020110077236A KR101164457B1 (ko) 2008-06-23 2011-08-03 팁 홀더
KR1020110077234A KR101140209B1 (ko) 2008-06-23 2011-08-03 홀더 조인트, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치

Family Applications Before (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090054835A KR101140207B1 (ko) 2008-06-23 2009-06-19 홀더 유닛, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치
KR1020110077236A KR101164457B1 (ko) 2008-06-23 2011-08-03 팁 홀더

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5239547B2 (ko)
KR (3) KR101140207B1 (ko)
CN (3) CN102407572B (ko)
TW (2) TWI443073B (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4923133B2 (ja) * 2010-05-17 2012-04-25 三星ダイヤモンド工業株式会社 ホイールホルダおよびその製造方法およびホイールホルダを用いたカッターホイール保持機構
KR20120052007A (ko) * 2010-11-15 2012-05-23 신한다이아몬드공업 주식회사 스크라이버 홀더
KR101297558B1 (ko) * 2011-08-23 2013-08-14 주식회사 로보스타 휠 레이저 공용 스크라이빙 유닛
JP5753504B2 (ja) * 2012-02-27 2015-07-22 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライビングホイール、スクライブ装置及びスクライビングホイールの製造方法。
KR101673427B1 (ko) * 2014-11-05 2016-11-07 이화다이아몬드공업 주식회사 스크라이브 라인 형성용 휠팁이 부착된 팁홀더, 상기 팁홀더가 장착되는 홀더조인트 및 상기 팁홀더 및 홀더조인트를 포함하는 팁홀더부착구조체
JP6424652B2 (ja) * 2015-02-02 2018-11-21 三星ダイヤモンド工業株式会社 ホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置
KR20180085111A (ko) * 2017-01-17 2018-07-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR20180085110A (ko) * 2017-01-17 2018-07-26 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
CN109129386A (zh) * 2018-07-10 2019-01-04 伯恩光学(惠州)有限公司 划线机
CN113910476A (zh) * 2021-10-15 2022-01-11 蓝芯存储技术(赣州)有限公司 一种简易晶圆切割装置及切割方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001328833A (ja) * 2000-05-16 2001-11-27 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 脆性材料のスクライブ方法及びスクライブヘッド並びにスクライブ装置
KR100673269B1 (ko) * 2005-12-29 2007-01-24 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이버의 휠 홀더장치

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3122953A (en) * 1964-03-03 Apparatus and method of cutting glass
US2096285A (en) * 1935-06-21 1937-10-19 John M B Churchill Heat exchanger
US2680333A (en) * 1951-03-16 1954-06-08 Raytheon Mfg Co Tool chuck for vibrating devices
US2707849A (en) * 1953-01-08 1955-05-10 Pittsburgh Plate Glass Co Pillow post
US3461755A (en) * 1967-02-06 1969-08-19 Macinnes P A Tool Corp Glasscutter
US4083274A (en) * 1977-05-31 1978-04-11 The Fletcher-Terry Company Glass cutter
JPH024104Y2 (ko) 1985-05-22 1990-01-31
FI80225C (fi) * 1988-03-14 1990-05-10 Valmet Paper Machinery Inc Oeverknivhaollare.
JP4191304B2 (ja) * 1999-03-03 2008-12-03 三星ダイヤモンド工業株式会社 チップホルダー
DE60024731T2 (de) * 1999-08-06 2006-06-29 Beldex Corp. Ritzgerät
JP4843180B2 (ja) * 2002-12-12 2011-12-21 三星ダイヤモンド工業株式会社 チップホルダー、スクライブヘッドおよびスクライブ装置ならびにスクライブ方法
JP4330392B2 (ja) * 2003-07-14 2009-09-16 パナソニック株式会社 部品実装装置
CN1906002B (zh) * 2003-12-29 2011-08-31 三星钻石工业株式会社 划线形成机构、划线头和划线设备
KR20060017058A (ko) * 2004-08-19 2006-02-23 엠.제이.테크(주) 스크라이빙 휠 커터
JP2007150096A (ja) * 2005-11-29 2007-06-14 Juki Corp ノズル装着機構
CN102701580B (zh) * 2005-12-01 2014-10-08 三星钻石工业股份有限公司 划线装置的刀片架的更换方法
JP4842015B2 (ja) 2006-04-28 2011-12-21 英一 大林 脆性材料用のカッターホイールのチップホルダー
CN102765873B (zh) * 2007-06-06 2016-01-20 三星钻石工业株式会社 多头搭载划线装置及刀片保持器的自动更换系统

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001328833A (ja) * 2000-05-16 2001-11-27 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 脆性材料のスクライブ方法及びスクライブヘッド並びにスクライブ装置
KR100673269B1 (ko) * 2005-12-29 2007-01-24 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이버의 휠 홀더장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR101140207B1 (ko) 2012-05-02
CN102372425A (zh) 2012-03-14
JP5239547B2 (ja) 2013-07-17
CN101613178B (zh) 2012-10-03
TW201139311A (en) 2011-11-16
KR20110102266A (ko) 2011-09-16
KR101164457B1 (ko) 2012-07-18
JP2010000745A (ja) 2010-01-07
CN102407572B (zh) 2016-08-31
TWI449679B (zh) 2014-08-21
CN101613178A (zh) 2009-12-30
CN102407572A (zh) 2012-04-11
TWI443073B (zh) 2014-07-01
KR20110103908A (ko) 2011-09-21
KR20090133082A (ko) 2009-12-31
TW201000418A (en) 2010-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101140209B1 (ko) 홀더 조인트, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치
KR101075840B1 (ko) 홀더 유닛, 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치
JP5447994B2 (ja) ホルダジョイント、スクライブヘッド及びスクライブ装置
KR101242265B1 (ko) 팁홀더
JP5462895B2 (ja) マルチヘッド搭載スクライブ装置及びマルチヘッド搭載スクライブ装置のチップホルダ交換方法
JP5287945B2 (ja) ホルダユニット、スクライブヘッド及びスクライブ装置
KR20100081944A (ko) 커터 장치 및 커터 홀더
KR20100119717A (ko) 스크라이브 헤드 및 당해 스크라이브 헤드를 이용한 스크라이브 장치
WO2019225189A1 (ja) スクライブ装置
KR20200115181A (ko) 커터 홀더 부착 유닛 및 스크라이브 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160318

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170317

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee