CN100483115C - 基板保持装置和基板检验装置 - Google Patents

Abstract

在台架(1)上利用起重器(19)的伸缩动作能够使基板支架(5)在升起方向上进行摇动，若通过摇动使基板支架(5)升起，则基板支架(5)在直线导向器(15)的铰链(10)上所设置的移动块(14)上进行滑动，从基座(3)的边缘部分(11)向前方推出，同时使基板支架(5)的作为下端侧的边缘从台架(1)的基座(3)的边缘部分(11)向下降低。

Description

基板保持装置和基板检验装置

技术领域

本发明涉及基板保持装置和利用该基板保持装置的基板检验装置，该基板保持装置在检验例如大屏幕液晶显示器(以下简称为LCD)、等离子显示板(以下简称为PDP)等的平板显示器(以下简称为FPD)等玻璃基板的缺陷时保持玻璃基板并进行摇动。

背景技术

近几年，在LCD和PDP这种FPD领域，要求增大画面和降低成本。为了满足这些要求，在FPD制造工序中，增加玻璃基板的分割划片数量，出现其尺寸日益增大的趋势。玻璃基板的尺寸，例如出现了1250×1100mm的大型尺寸。

对在这种FPD制造工序中制造的大型玻璃基板进行基板检验。基板检验的一种方法是并用宏观检验和微观检验。宏观检验是把照明光照射到玻璃基板上，对在玻璃基板上反射的光进行目视观察。微观检验是利用显微镜来放大观察经宏观检验而确定的缺陷部分。

这种基板检验装置，其技术例如日本专利特开平11-160242号公报所述。该公报中记述了：具有能够使玻璃基板升起到进行保持的规定角度的支架，当宏观检验时把玻璃基板放在支架上，通过使支架上升，使玻璃基板面向观察者向升起，用目视进行宏观检验，或者，使支架面向观察者在前后方向上进行摇动，用目视进行宏观检验。在微观检验时使支架返回到原状，使玻璃基板保持水平状态，用微观观察系统来放大观察缺陷部分。

但是，当宏观检验时，由于以其下边为中心使支架向上升起，所以，若被检验的玻璃基板大型化，升起时的大型玻璃基板的上端部分高于观察者的眼睛位置。因此，从观察者的眼睛到大型玻璃基板的上端部的距离增大，很难看得见大型玻璃基板的上端部分。

并且，使大型玻璃基板升起来时的大型玻璃基板的上端部分处于较高的位置上，所以，为了使大型玻璃基板进行摇动，必须有较高的空间。因此使整个设备体积增大。

发明内容

按照本发明的主要观点，可提供这样的基板保持装置，基座；基板支架，设置在上述基座上，用于保持大型基板；以及摇动机构，使上述基板支架以设置在上述基座的前侧边缘部上的旋转支点为中心进行旋转、以使上述基板支架向前方升起的同时，将上述支架推出到上述基座上面的上述前侧边缘部的前方，以便在使基板支架升起时，上述基板支架的下端下降到上述基座上面的前侧边缘部分以下；上述摇动机构具有：2个直线导向器，设置在上述基板支架的两侧；上述旋转支点，设置在上述基座的前侧两端部；以及起重器，以上述旋转支点为中心，使上述基板支架升起；通过使上述直线导向器相对于上述旋转支点进行滑动，将上述基板支架向前方推出。

按照本发明的主要观点，可以提供这样的基板保持装置，具有：基座；基板支架，设置在上述基座上，用于保持大型基板；摇动机构，使上述基座的前侧边缘部以旋转支点中心进行旋转，以使上述基板支架向前方升起，同时，将上述基板支架推出到上述基座上面的上述前侧边缘部的前方，以便在上述支架升起时使上述基板支架的下端下降到上述基座上面的前侧边缘部以下；以及宏观照明装置，把宏观照明光照射到被上述基板支架保持的上述大型基板的表面上；上述摇动机构具有：各直线导向器，设置在上述基板支架的两侧；上述旋转支点，设置在上述基座的上述前侧边缘部的两端；以及起重器，以上述旋转支点为中心，使上述基板支架升起；使上述起重器伸缩，将上述基板支架升起到易于宏观观察的角度，在此状态下进行宏观检验。

附图说明

图1是表示涉及本发明的基板保持装置的第1实施方式的结构图。

图2是表示涉及本发明的基板保持装置的第1实施方式的基板支架的正视图。

图3是表示涉及本发明的基板保持装置的第1实施方式的铰链部分的放大图。

图4是表示涉及本发明的基板保持装置的第1实施方式的基板支架的升起动作的示意图。

图5是表示涉及本发明的基板保持装置的第2实施方式的结构图。

图6是表示涉及本发明的基板保持装置的第2实施方式的另一方向摇动机构的结构图。

图7是表示涉及本发明的基板保持装置的第2实施方式的基板支架的摇头方向上摇动的示意图。

具体实施方式

以下参照附图，详细说明本发明的第1实施方式。

图1是适用本发明的基板保持装置的基板检验装置的剖面结构图。台架1由支柱2和设置在该支柱2上的基座3构成。在该基座3上，设置了用于保持大型玻璃基板4的基板支架5。该基板支架5的水平状态的高度设定为传送机械手的传递高度。基座3的上表面设置成水平状态。

在基座5上，如图2所示形成了开口部6。在该开口部的各个边上设置了：用于决定大型玻璃基板4的基准位置的各个基准销7、带有辊轮的基准销8、以及推压销9。推压销9设置成能够在把大型玻璃基板4推压到基准销7一侧的方向上移动。

基板支架5设置成通过以下说明的摇动机构(作为摇动支点的铰链10、作为推出机构的直线导向器15、连杆机构17)能够以铰链10为摇动轴、且相对于基座3的上表面进行摇动。其摇动方向是使基板支架5升起或返回到水平状态(箭头A方向)。从正面观看基板保持装置时，铰链10分别设置在基座3的两端。

在基板支架3上表面的正面侧的边缘部分11的两端上，如图3所示分别设置了各铰链支承构件12。在该铰链支承构件12上分别设置可转动自如的各个铰链10。为了使基板支架5在升起或返回到水平状态的方向(箭头A方向)上摇动，从正面看，该铰链10的转动轴13设置在水平方向(Y方向)上。

在铰链10上设置了移动块14。在该移动块14上形成与设置在基板支架5背面的直线导向器15相嵌合的滑动用沟槽16。

当使基板支架5升起时，直线导向器15在滑动用沟槽16内进行滑动，把基板支架5向正面侧推出。通过铰链10，以转动轴13为支点使基板支架5摇动。这样，基板支架5的下端下降到低于基座3上表面的边缘部分11的位置，由直线导向器15和铰链10来构成推出机构。

直线导向器15分别设置在基板支架5背面的两端，安装在基座3两端的各移动块14上所形成的各滑动用沟槽16内。在使基板支架5升起时，这些直线导向器15在滑动用沟槽16内滑动，把基板支架5推出到正面侧，而且，为了使基板支架5的下端即边缘下降到低于基座3上表面的边缘部分11的位置，该直线导向器15需要形成足够长度、例如从基板支架5的下端起到中央部稍稍向上为止。

在该直线导向器15的上端设置了止动器15a。设置该止动器15a的目的是限制基板支架5的倾斜，以免基板支架5在升起时其倾斜度超过预先设定的最大倾斜角度。

连杆机构17使基板支架5在基座3上，在水平状态或升起方向上进行摇动。该连杆机构17由连杆18和起重器19构成。连杆18形成固定的长度。该连杆18设置在从基座3向下方延伸的延伸端部20和设置在基板支架5的下部的支承构件21之间。该连杆18能够相对于延伸端部20和支承构件21分别以各支点22、23进行转动。

起重器19具有伸缩杆19a，该起重器19设置在连杆18中的支承构件21侧和支柱2的水平梁2a之间。该起重器19的连结状态是，能使伸缩杆19a的前端以支点24为中心相对于连杆18进行转动。起重器19的下端连结成能以支点25为中心相对于水平梁2a进行转动。

从正面侧观看基板保持装置，连杆机构17分别设置在基板支架5的两端。

所以，若起重器19的伸缩杆19a伸长，则该起重器19的伸缩杆19a的前端向上推连杆18的支承构件21侧。这时起重器19的另一端设置在支柱2的水平梁2a上，而且，连杆18的长度是固定的。连杆18依靠起重器19的伸缩杆19a的伸长而以支点22为中心进行转动。若该连杆18以支点22为中心进行转动，则支点23以连杆1为半径在圆弧上移动。

这时，连杆18两端的各支点22、23的间隔和连杆18的支点22与铰链10的转动轴13之间的间隔被固定，连杆18的支点23和铰链10的转动轴13之间的间隔发生变动。

由此，若考察由各支点22、23和铰链10这3点构成的三角形，随着连杆18以支点22为中心进行转动，支点23和铰链10的间隔随之逐渐缩短。

然而，若随着连杆18的转动、支点23和铰链10的间隔随之缩短，则基板支架5在直线导向器15上向正面侧滑动，基板支架5的下端即边缘被推出到比基座3上表面的边缘部分11还靠近正面侧的位置。

随着起重器19的伸缩杆19a的伸长量增大，连杆18的转动量增加。并且，随着基板支架5的升起角度增大，基板支架5的下端即边缘从基座3上表面的边缘部分11向外推出的量增加。

这样，若基板支架5的升起角度增大，则基板支架5的下端即边缘的推出量增加。因此，基板支架5的下端即边缘下降到低于基座3上表面的边缘部分11的位置。

通过改变连杆18的长度、直线导向器15的长度和伸缩杆19a的伸出长度，而任意设定基板支架5从下端边缘部分11下降的距离。

也就是说，若考察由上述各支点22、23和铰链10这3点所构成的三角形，则根据伸缩杆19a的伸出长度，通过各支点22、23的边与通过支点23及铰链10的边所构成的角度越小，基板支架5的升起角度越大。并且，连杆18的支点22和铰链10的转动轴13的间隔越小于连杆18的长度，则基板支架5的升起角度(倾斜角)可以越大。

所以，通过调整伸缩杆19a的伸出长度，能够改变通过各支点22、23的边与通过支点23和铰链10的边所形成的角度，能够任意设定基板支架5的升起角度和基板支架5从下端边缘部分11下降的距离。

而且，基板支架5通过由铰链支持构件12、铰链10以及移动块14构成的部分和支承构件21，而在基座3上保持水平状态。铰链支承构件12、铰链10以及移动块14的高度和支承构件21的高度设置为相同。

在基板支架5的上方，设置了宏观照明装置30。该宏观照明装置30由以下部分构成：放射宏观照明光的宏观光源31、对从该宏观光源31发出的宏观照明光进行反射的反射镜32、以及对由该反射镜32反射的宏观照明光进行聚光的菲涅耳透镜33。宏观光源31设置成例如在水平方向(X方向)上发出宏观照明光。反射镜32相对于水平方向约倾斜50度进行设置，使照明光轴折射到升起的大型玻璃基板侧。

微观检验装置40具有以下构成部分：设置在基座3上且能在X方向上移动的门型臂41、以及设置成可沿该门型臂41的水平臂在Y方向上移动的显微镜42。

控制装置43，对起重器19的伸缩动作进行控制，对宏观光源31的点亮进行控制。并且，控制装置43对显微镜载物台42在XY方向上的移动进行控制，使显微镜42的观察视野移动到能捕捉大型玻璃基板4上的缺陷部分的位置上。大型玻璃基板4上的缺陷部分通过宏观检验来确定，其座标数据也被存储起来。

以下说明在宏观检验和微观检验的情况下上述结构的装置的动作。

检验开始前，起重器19处于收缩状态，放置大型玻璃基板4的基板支架5处于水平状态。

在进行宏观检验的情况下，若利用控制装置43的控制来使起重器19的伸缩杆19a伸长，则连杆18以支点22为中心进行转动。利用该起重器19的伸缩杆19a的伸长和连杆18的转动，使基板支架5开始升起。

这时基板支架5下面的各直线导向器15在各滑动用沟槽16内滑动。这样，基板支架5如图4所示，被推出到基座3的边缘部分11的前方，同时以铰链10为摇动中心而向上升起。

再者，若随着起重器19的伸缩杆19a的伸长而使基板支架5升起，则基板支架5的下端即边缘下降到低于基座3上表面的边缘部分11的位置。

当进行宏观检验时，由观察者来调整起重器19的伸缩杆19a的伸长。这样，把基板支架5调整到容易进行宏观观察的任意升起角度上。

这样升起的基板支架5的下端即边缘降低到低于基座3上表面的边缘部分11的位置，所以，基板支架5设置在台架1上也能使大型玻璃基板4的整个面都接近观察者。尤其大型玻璃基板4的上端部分的高度比过去降低，大型玻璃基板4的上端部分和观察者的距离缩短。

在此状态下若从宏观光源31发出宏观照明光，则宏观照明光由反射镜32进行反射，由菲涅耳透镜33进行聚光后，照射到基板支架5上的大型玻璃基板4上。

观察者对由大型玻璃基板4反射的光做目视观察，进行宏观检验。这时，大型玻璃基板4的上端部分的高度比过去低，所以，观察者不需要抬头观看大型玻璃基板4的上端部分，而且，能够在大型玻璃基板4的整个表面上均能准确地看清楚例如伤痕或不均匀等缺陷部分的方向所产生的不同反射方向的光，准确地确定大型玻璃基板4上存在的缺陷部分。

再者，当进行宏观检验时，例如在把基板支架5调整到了容易宏观观察的任意升起角度上的状态下，若各起重器19按照预先设定的伸缩长度使伸缩杆19a反复进行伸缩动作。通过反复进行该伸缩动作，基板支架5按规定周期在箭头A方向上连续摇动。

该摇动的基板支架5的升起角度范围预先由控制装置43来设定。该控制装置43根据预先设定的升起角度范围来控制各起重器19的伸缩杆19a的伸缩长度。

若这样使基板支架连续摇动，则大型玻璃基板4上的例如伤痕或不均匀等缺陷部分的方向所产生的不同反射方向的光进入到观察者的视场内。这样，观察者稍许移动视点即可确定大型玻璃基板4上的例如伤痕或不均匀等缺陷部分。

而且，通过宏观检验而确定的大型玻璃基板4上的缺陷部分的坐标数据被输入到控制装置43内。

接着，进行微观检验。起重器19利用控制装置43的控制来使伸缩杆19a进行收缩。与该伸缩杆19a的收缩相对应，连杆18以支点22为中心按照与基板支架5升起时相反的方向进行转动。这样基板支架5返回到原来的水平状态。

若基板支架5在基座3上下降到水平状态，则控制装置43根据宏观检验时输入的缺陷部分的坐标数据，控制显微镜载物台41在XY方向上移动，把显微镜42的观察视野移动到能看见在宏观观察时确定的大型玻璃基板4上的缺陷部分的位置上。

由显微镜42放大的缺陷部分图像，例如由CCD摄像机拍摄，显示在监视电视上。观察者观察监视电视上所显示的缺陷部分的放大图像。

而且，控制装置43也可控制显微镜42在XY方向上移动，使显微镜42的观察视野对大型玻璃基板4整个表面进行扫描。

当微观检验时，基板支架5借助由铰链支承构件12、铰链10及移动块14组成的部分和支承构件21被设置在基座3上，所以，不受外部振动的影响，能提高基板支架5的稳定性。

该基板保持装置不仅限于在宏观检验时和微观检验时使用，也可以作为把大型玻璃基板4放到基板支架5上时、以及从基板支架5上取下来时的传送装置而使用。

例如，当把大型玻璃基板4放到基板支架5上时，若由控制装置43的控制来使起重器19的伸缩杆19a伸长，则基板支架5如图4所示向上升起，使基板支架5的下端即边缘下降到低于基座3上表面的边缘部分11的位置。

这样，若基板支架5升起，则大型玻璃基板4以竖立成大致垂直方向(Z方向)的状态被放置到图2所示的各个带辊轮的基准销8上。并且，大型玻璃基板4被推压销9向各个基准销7推压，安装到基准位置上。

然后，大型玻璃基板4利用设置在基板支架5上的无图示的吸附孔的吸引力而被吸附到基板支架5的表面上。然后，若起重器19的伸缩杆19a收缩，则基板支架5返回到原来的水平状态。

另一方面，当把大型玻璃基板4从基板支架5上取下时，按照与上述安放时相反的顺序，在使基板支架5升起的状态下解除对大型玻璃基板4的吸附。并且，大型玻璃基板4被竖立成大体垂直方向(Z方向)，从基板支架5上取下来。

在这种大型玻璃基板4往基板支架5上安放或取下时，基板支架5使下端的边缘下降到低于基座3的上表面的边缘部分11的位置。这样，在把大型玻璃基板4安发放到基板支架5上的情况下，不必把大型玻璃基板4提高到很高的位置上，即可很容易地在基板支架5上安放或取下大型玻璃基板4。

并且，若使大型玻璃基板4在立起的状态下安放到基板支架5上，则大型玻璃基板4利用自重来使下边安装到带辊轮的基准销8上，进行定位。这样，在基板支架5上能省略与带辊轮的基准销8相对置的推压销，而且，能减小大型玻璃基板4和基板支架5之间的面接触阻力，能减小推压销的推压力。

这样，按照上述第1实施方式，当使基板支架5升起时，使基板支架5的下端侧即边缘被推出到台架1的基座3的边缘部分11的前方，同时下降到低于台架1的基座3的边缘部分11的位置，所以，即使基板支架5设置在台架1上，也能使大型玻璃基板4的整个表面接近观察者，与过去相比，可降低特别是例如1250×1000mm的大型玻璃基板4的上端部分的高度，能缩短大型玻璃基板4的上端部分与观察者的距离。

这样，观察者不需要抬头观看大型玻璃基板4的上端部分，而且，能够在大型玻璃基板4整个表面上均能准确地看清楚例如伤痕或不均匀等缺陷部分的方向所产生的不同反射方向的光，准确地确定大型玻璃基板4上存在的缺陷部分。

并且，由于大型玻璃基板4升起时其上端部分与过去相比能够降低，所以宏观照明装置30的设置位置也能降低，基板保持装置整体的安装空间能够减小。

再者，当进行宏观检验时，例如在把基板支架5调整到容易宏观观察的任意升起角度的状态下，若连续地重复各起重器19的伸缩动作而使基板支架5摇动，则观察者的视点移动减少，可以看到例如伤痕或不均匀等缺陷部分的方向所产生的不同反射方向的光，并确定该缺陷部分。在此情况下，使基板支架5摇动的角度范围，可任意设定在控制装置43内，所以不仅限于例如伤痕和不均匀等，还能确定缺口、污点、灰尘等各种各样的缺陷部分。

当微观检验时，为了将基板支架5保持为水平状态，借助由铰链支承构件12、铰链10及移动块14所组成的部分和支承构件21放置在基座3上，所以，不受外部振动的影响，能提高基板支架5的稳定性。这样，能够利用显微镜42不摆动的放大图像来观察大型玻璃基板4上的缺陷部分。

再者，本装置在基板支架5升起使下端即边缘下降到低于台架1的基座3的边缘部分11的位置的状态下，也可以作为把大型玻璃基板4安放到基板支架5上时、以及从基板支架5上取下来时的传送装置来使用。在此情况下，不必把大型玻璃基板4提升到很高的位置上，即可很容易地在基板支架5上安放或取下大型玻璃基板4。

再者，因为一边把基板支架5推出到基座3的边缘部分11的前方，一边使基板支架5向上升起，所以不会遮挡宏观照明光。

摇动机构包括作为摇动支点的铰链10、作为推出机构的直线导向器15、以及连杆机构17等，所以，能降低价格。

以下参照附图，详细说明本发明的第2实施方式。而且，对于和图1相同的部分，标注相同的符号，其详细说明从略。

图5是把本发明的基板保持装置适用于基板检验装置的构成图。在本装置中，铰链10、铰链支承构件12、移动块14、直线导向器15、连杆18、起重器19、延伸端部20和支承构件21，如上述第1实施方式中说明的那样，从正面侧观看，分别在Y方向的两端各设置一组。

在本实施方式中，将这些分别用以下符号表示：各铰链10、10′、各铰链支承构件12、12′、各移动块14、14′、各直线导向器15、15′、各连杆18、18′、各起重器19、19′、和各支承构件21、21′。

在本装置中，如图6所示，设置了另一方向摇动机构50，其用途是：在与基板支架5的升起方向上摇动的轴向相垂直的轴向上，对基板支架5进行摇动。

在该另一方向摇动机构50内设置了铰接组件(转动支承构件)51，用于在与基板支架5的升起方向的摇动轴方向相垂直的轴向上进行转动(箭头B方向)。该铰接组件51具有以下构成部分：铰接保持杆52，分别设置在该铰接保持杆52的两端上的各铰链支承片52a、52b，以及设置在铰接保持杆52的底面的大致中央部上的转动轴53。

在各铰链支承片52a、52b上分设置了能转动的各铰链13、13′。转动轴53设置在转动用孔54内并能转动，该转动用孔54形成在基座3的正面侧的大致中央部上。

控制装置43对各起重器19、19′的各伸缩量分别按互不相同的摇动量来进行控制。例如使一边的起重器19或19′不伸缩，使另一边的起重器19′或19进行伸缩。或者，使一边的起重器19或19′进行伸长，使另一边的起重器19′或19进行收缩。而且，使各起重器19、19′同步地进行伸缩动作。

若是这样的结构，则在宏观检验的情况下，由观察者来调整各起重器19、19′的各伸缩杆19a、19′a的各伸长量。这样，把基板支架5调整到容易进行宏观检验的任意的升起角度。

在此状态下，若重复地使各起重器19、19′的各伸缩杆19a、19′a进行同步的伸缩动作，则通过该伸缩动作的重复进行，使基板支架5按规定周期在箭头A方向上连续地摇动。

并且，对各起重器19、19′，例如使一边的起重器19或19′不进行伸缩杆、而另一边的起重器19′或19进行收缩。或者使一边的起重器19或19′伸长、而另一边的起重器19′或19收缩。或者连续地重复各起重器19、19′的伸缩动作。

这样，通过改变各起重器19、19′的伸缩动作，基板支架5使图6所示的铰接装置51以转动轴53为中心按箭头B方向转动。这样，从正面看，基板支架5在左右方向(以下简称为摇头方向)进行摇动。

图7是让一边的起重器19或19′不伸缩、而另一边的19′或19伸缩的情况。在此情况下，示出基板支架5从正面看向左侧摇头的状态。该摇头方向的摇动范围，也可以在控制装置43中预先设定，也可以通过观察者的操作来任意设定。

这样，若采用上述第2实施方式，则能够使基板支架5在摇头方向上摇动，任意设定摇头角度，或者连续地摇动，以此增加宏观检验的变化。这样一来，观察者能够检验出大型玻璃基板4上的伤痕和不均匀等缺陷部分的反射光，能够确定这些缺陷部分，而在过去通过基板支架5在升起方向(箭头A方向)上摇动是不能检验出来的。

再者，使基板支架5的升起方向的摇动和摇头方向的摇动同时动作，能够把基板支架5设定在任意角度方向上，或者连续地在所有的角度方向上摇动，进行宏观检验。

而且，本发明并非仅限于上述第1和第2实施方式，在实施阶段，在不脱离其要点的范围内能够进行各种变形。

例如，也可以是：当使基板支架5升起时，首先使基板支架5被推出到基座3的边缘部分11的前方，然后使基板支架5以铰链10的转动轴13为中心进行转动，下降到低于基座3的边缘部分11的位置。

总之，基板支架5在从水平状态升起到规定的倾斜角度时，进行摇动使基板支架5的下侧即边缘下降到低于基座3的边缘部分11的位置。这种基板支架5的摇动动作，通过使摇动机构的结构进行各种变形即可实现。

各连杆18、18′也可以替换成例如起重器。通过替换成起重器，在基板支架5升起的状态下使该起重器伸缩，则能使基板支架5在上下方向上移动。这样，能够把大型玻璃基板上的目视观察的希望区域布置在观察者容易进行宏观检验的高度位置上。

摇动机构由作为摇动支点的铰链10、作为推出机构的直线导向器15、以及连杆机构17等构成，但也可以采用其他任何机构。例如也可以采用使作为基板支架5的摇动支点的各个铰链10、10′兼有摇动和滑动两种功能的结构，并且，也可以采用使基板支架5按圆弧状路线移动的摇动机构。

产业上利用的可能性

本发明并不仅限于在大屏幕LCD和PDP等FPD制造工序中所用的基板保持装置中使用、且结合宏观检验和微观检验的结构。也可以适用于单独的宏观检验，并且，能够适用于在大型玻璃基板上的膜厚测量和图形检验等各种基板的检验装置，可对大型玻璃基板进行保持以及对其进行安放和取出。

Claims (18)

1、一种基板保持装置，其特征在于，具有：

基座；

基板支架，设置在上述基座上，用于保持大型基板；以及

摇动机构，使上述基板支架以设置在上述基座的前侧边缘部上的旋转支点为中心进行旋转、以使上述基板支架向前方升起的同时，将上述支架推出到上述基座上面的上述前侧边缘部的前方，以便在使基板支架升起时，上述基板支架的下端下降到上述基座上面的前侧边缘部分以下；

上述摇动机构具有：

2个直线导向器，设置在上述基板支架的两侧；

上述旋转支点，设置在上述基座的前侧两端部；以及

起重器，以上述旋转支点为中心，使上述基板支架升起；

通过使上述直线导向器相对于上述旋转支点进行滑动，将上述基板支架向前方推出。

2、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，上述摇动机构具有另一方向摇动机构，使上述基板支架在与使上述基板支架升起的上述旋转支点的轴向相垂直的轴向上进行旋转。

3、如权利要求2所述的基板保持装置，其特征在于，在通过上述摇动机构使上述基板支架升起的状态下，上述另一方向摇动机构使上述基板支架向左右方向旋转。

4、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，上述起重器，其一端以可转动的状态连结在上述基座的水平梁上，其另一端以可转动的状态连结在连杆上，该连杆连结上述基板支架的后方与上述基座的前方之间。

5、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，上述起重器具有伸缩的杆，利用上述杆的伸缩量来设定上述基板支架的升起角度。

6、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，上述起重器具有伸缩的杆，通过反复进行上述杆的伸缩动作使上述基板支架在前后方向上旋转。

7、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，上述起重器分别设置在上述基板支架的两侧，通过同步地在一个方向上进行伸缩而使上述基板支架按规定角度升起，而且，通过同步地在上下方向上反复伸缩而使上述基板支架在前后方向上摇动。

8、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，上述旋转支点由铰链构成，该铰链以转动自如的状态设置在上述基座的前侧边缘部的两端部。

9、如权利要求2所述的基板保持装置，其特征在于，上述摇动机构在上述基板支架的两侧分别具有使上述基板支架升起的各起重器，在上述基板支架升起的状态下，通过使上述各起重器进行伸缩而使上述基板支架在上下方向上移动。

10、如权利要求2所述的基板保持装置，其特征在于，上述另一方向摇动机构，在上述基板支架的两侧分别设有使上述基板支架升起的各起重器，通过使一方的上述起重器在上下方向上伸缩、或者使两方的上述起重器分别向不同的方向伸缩，使上述基板支架向左右方向的一方或两方摇动。

11、如权利要求2所述的基板保持装置，其特征在于，上述另一方向摇动机构中设有：

旋转支承部，设置在上述基座上，在与上述基板支架的升起方向的旋转支点的轴向相垂直的方向上可旋转；以及

旋转支点，在上述旋转支承部的两端支承上述基板支架，使其在升起方向上旋转自如。

12、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，利用上述摇动机构使上述基板支架升起到大致垂直的位置，并使上述基板支架的上述前侧边缘部下降到上述基座以下，在此状态下将上述大型基板换载到上述基板支架上进行传送。

13、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，具有：设置在上述基板支架的上述前侧边缘部上的带有辊轮的基准销、以及设置在上述基板支架的横侧端部上的基准销，通过把上述大型基板放置到上述带辊轮的基准销上并向上述基准销推压，对上述大型基板进行定位。

14、如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，具有：设置在上述基板支架的上述前侧边缘部上的带有辊轮的基准销；设置在上述基板支架的横侧端部上的基准销；以及推压销，设置在与设有上述基准销的上述基板支架的横侧端部相对置的上述基板支架的横侧端部上；

在把上述大型基板放置在上述带有辊轮的基准销上的状态下，利用上述推压销把上述大型基板向上述基准销推压，对上述大型基板进行定位。

15、一种基板检验装置，其特征在于，具有：

基座；

基板支架，设置在上述基座上，用于保持大型基板；

摇动机构，使上述基座的前侧边缘部以旋转支点中心进行旋转，以使上述基板支架向前方升起，同时，将上述基板支架推出到上述基座上面的上述前侧边缘部的前方，以便在上述支架升起时使上述基板支架的下端下降到上述基座上面的前侧边缘部以下；以及

宏观照明装置，把宏观照明光照射到被上述基板支架保持的上述大型基板的表面上；

上述摇动机构具有：

各直线导向器，设置在上述基板支架的两侧；

上述旋转支点，设置在上述基座的上述前侧边缘部的两端；以及

起重器，以上述旋转支点为中心，使上述基板支架升起；

使上述起重器伸缩，将上述基板支架升起到易于宏观观察的角度，在此状态下进行宏观检验。

16、如权利要求15所述的基板检验装置，其特征在于，在上述起重器将上述基板支架升起到易于进行上述宏观观察的角度的状态下，通过上述起重器反复进行伸缩动作，使上述大型基板连续地摇动。

17、如权利要求15所述的基板检验装置，其特征在于，具有：

门型臂，其设置状态是：在上述基板支架被水平地放置在上述基座上的状态下，能够沿着保持在上述基板支架上的上述大型基板的两侧进行移动；

显微镜，其设置成能够沿着上述门型臂的水平杆移动；以及

控制部，用于在XY方向上对上述门型臂和上述显微镜的移动进行控制。

18、如权利要求17所述的基板检验装置，其特征在于，上述控制部中输入有通过上述宏观检验而确定的上述大型基板上的缺陷部分的坐标数据，在把上述基板支架放置在水平的状态下，上述控制部根据上述坐标数据对上述门型臂和上述显微镜在XY方向的移动进行控制。

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