CN220085998U - 设备前端装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种设备前端装置，所述设备前端装置包括前开式晶圆盒、装载端口和净化装置，所述净化装置能够吸取所述前开式晶圆盒中的杂质，由此能够减少所述前开式晶圆盒中的水汽或者酸气，从而避免/减轻了对所述前开式晶圆盒中的晶圆造成腐蚀，提高了制程的可靠性。

Description

设备前端装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种设备前端装置。

背景技术

半导体制造工厂中，晶圆通常需要在生产线上不同的工艺模块之间进行高效的传输和定位，设备前端装置(Equipment Front End Module，简称EFEM)正是这一任务的关键装备，是连接物料搬运系统与晶圆处理系统的桥梁，是晶圆生产线不可或缺的组成部分。

设备前端装置主要包括用于存储晶圆的前开式晶圆盒(Front Opening UnifiedPod，简称Foup)、用于承载Foup的装载端口(Load Port)以及用于将晶圆从Foup内取出和收纳至Foup内的操作机械手。具体的，当半导体生产线上的空中运输小车将Foup放置到LoadPort后，便由Load Port执行Foup的开盒动作，进而由操作机械手取出Foup中的晶圆并输送至机台进行相应的制程，待晶圆加工处理后，再由操作机械手将晶圆收纳至Foup中。

一般的，一个Foup可同时容纳一批(25片)晶圆，而这25片晶圆通常是逐片进行制程的，为此，必须所有晶圆完成某一制程之后方可转移到下一机台进行下一制程，也就是说，每一晶圆在Foup内的等待时间(Q-time)都是非常长的。而在这批晶圆进行制程的过程中，必须不停地打开以及关闭Foup以从Foup中将晶圆取出送至机台内以及完成制程后将晶圆放回Foup。这些开闭Foup的动作容易使Foup中积累水汽、酸气等杂质，从而容易对Foup中的晶圆造成腐蚀，降低了晶圆的质量与可靠性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种设备前端装置，以解决现有技术中的前开式晶圆盒中容易积累水汽或者酸气的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种设备前端装置，所述设备前端装置包括：前开式晶圆盒、装载端口和净化装置，其中，所述净化装置设置于所述装载端口上，所述净化装置能够吸取所述前开式晶圆盒中的杂质。

可选的，在所述的设备前端装置中，所述净化装置包括管路以及与所述管路连接的动力设备，所述管路上设置有一孔洞段，所述孔洞段上设置有多个孔洞。

可选的，在所述的设备前端装置中，所述管路上还设置有开关。

可选的，在所述的设备前端装置中，所述孔洞段的长度等于或者小于所述前开式晶圆盒的宽度。

可选的，在所述的设备前端装置中，所述净化装置还包括连接结构，所述连接结构设置于所述装载端口上，所述管路设置于所述连接结构上。

可选的，在所述的设备前端装置中，所述管路固定于所述连接结构上，所述连接结构可动地设置于所述装载端口上。

可选的，在所述的设备前端装置中，所述连接结构能够在所述装载端口上转动、移动和/或伸缩。

可选的，在所述的设备前端装置中，所述连接结构包括多根连接柱，多根所述连接柱平行设置于所述装载端口上。

可选的，在所述的设备前端装置中，多根所述连接柱形成一支撑面，所述支撑面的高度大于或者等于所述前开式晶圆盒底壁的厚度。

可选的，在所述的设备前端装置中，所述设备前端装置还包括传感器，所述传感器设置于所述装载端口上。

在本实用新型提供的设备前端装置中，所述设备前端装置包括前开式晶圆盒、装载端口和净化装置，所述净化装置能够吸取所述前开式晶圆盒中的杂质，由此能够减少所述前开式晶圆盒中的水汽或者酸气，从而避免/减轻了对所述前开式晶圆盒中的晶圆造成腐蚀，提高了制程的可靠性。

附图说明

图1是本实用新型实施例的设备前端装置的主视示意图。

其中，附图标记说明如下：

10-设备前端装置；

100-前开式晶圆盒；110-装载端口；120-净化装置；130-传感器；

121-管路；122-动力设备；123-连接结构；

1210-孔洞段；1211-孔洞；1212-开关；1230-连接柱；

L-长度；W-宽度；h1-高度；h2-厚度。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的设备前端装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型使用的术语仅仅是出于描述特定实施方式的目的，而非旨在限制本实用新型。除非本申请文件中另作定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“多个”或者“若干”表示两个及两个以上。除非另行指出，“前部”、“后部”、“下部”和/或“上部”等类似词语只是为了便于说明，而并非限于一个位置或者一种空间定向。“包括”或者“包含”等类似词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而且可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。在本实用新型说明书和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

请参考图1，其为本实用新型实施例的设备前端装置的主视示意图。如图1所示，在本申请实施例中，所述设备前端装置10包括：前开式晶圆盒100、装载端口110和净化装置120，其中，所述净化装置120设置于所述装载端口110上，所述净化装置120能够吸取所述前开式晶圆盒100中的杂质。

在本申请实施例中，所述净化装置120包括管路121以及与所述管路121连接的动力设备122，所述管路121上设置有一孔洞段1210，所述孔洞段1210上设置有多个孔洞1211。

其中，所述动力设备122例如可以是用于抽气的气泵。所述动力设备122与所述管路121相连，可以抽取所述管路121中的气体并进而通过多个所述孔洞1211抽取外部的气体。在本申请实施例中，使用时，所述孔洞段1210对准所述前开式晶圆盒100的内部，从而通过所述动力设备122经由所述管路121和其上的孔洞1211对所述前开式晶圆盒100的内部抽气，吸取所述前开式晶圆盒100内的杂质，包括水汽或者酸气等。

优选的，所述管路121上还设置有开关1212。所述开关1212例如可以是一个阀门，用于连通或者断开所述开关1212两侧的管路121。在本申请实施例中，使用所述净化装置120对所述前开式晶圆盒100吸取杂质时，开启所述动力设备122和所述开关1212，中间若需要短暂的停止杂质吸取时，关闭所述开关1212；中间若需要长时间的停止杂质吸取时，可以关闭所述动力设备122或者同时关闭所述动力设备122和所述开关1212。例如，对于同一个所述前开式晶圆盒100，即所述前开式晶圆盒100没有更换时，始终开启所述动力设备122；其间，打开所述前开式晶圆盒100的门时，同时开启所述开关1212，关闭所述前开式晶圆盒100的门时，同时关闭所述开关1212。

请继续参考图1，在本申请实施例中，所述孔洞段1210上均匀设置有多个孔洞1211，即各相邻两个所述孔洞1211之间的间隔相同。在此，所述孔洞段1210包括首尾孔洞1211以及两者时间的管路121。优选的，所述孔洞段1210的长度L等于或者小于所述前开式晶圆盒100的宽度W。从而既能够充分吸取所述前开式晶圆盒100内的杂质，又能够避免对所述前开式晶圆盒100外部的吸取，即避免了不必要的能量消耗。

在本申请实施例中，所述净化装置120还包括连接结构123，所述连接结构123设置于所述装载端口110上，所述管路121设置于所述连接结构123上。即在本申请实施例中，所述连接结构123和所述装载端口110直接相连，所述管路121和所述连接结构123直接相连。

进一步的，所述管路121固定于所述连接结构123上，所述连接结构123可动地设置于所述装载端口110上。例如，所述连接结构123能够在所述装载端口110上转动、移动和/或伸缩。具体的，所述连接结构123仅能够在所述装载端口110上转动、移动或伸缩；或者，所述连接结构123能够在所述装载端口110上转动和移动、转动和伸缩或移动和伸缩；或者，所述连接结构123能够在所述装载端口110上转动、移动和伸缩。其中，所述连接结构123可以通过螺纹、导轨等现有的机械连接方式与所述装载端口110连接。

如图1所示，在本申请实施例中，所述连接结构123包括多根连接柱1230，多根所述连接柱1230平行设置于所述装载端口110上。进一步的，多根所述连接柱1230呈一行设置于所述装载端口110上。图1中示意性地示出了两根所述连接柱1230。

在本申请实施例中，多根所述连接柱1230形成一支撑面，所述管路121设置于所述支撑面上。所述支撑面的高度h1大于或者等于所述前开式晶圆盒100底壁的厚度h2，由此可以方便地实现所述孔洞1211对着所述前开式晶圆盒100的内部。在本申请实施例中，所述支撑面的高度h1为所述支撑面的最低高度；所述前开式晶圆盒100底壁的厚度通常为均匀的，对于非均匀的情况，在此所述前开式晶圆盒100底壁的厚度h2为所述前开式晶圆盒100底壁的最大厚度。

发明人发现，在所述前开式晶圆盒100中，通常位于底部的晶圆更容易受到腐蚀，因此，较佳的，所述支撑面的高度h1等于所述前开式晶圆盒100底壁的厚度h2或者略大于所述前开式晶圆盒100底壁的厚度h2。例如，所述支撑面的高度h1和所述前开式晶圆盒100底壁的厚度h2之差为0cm～10cm。

优选的，所述支撑面为一平面，所述管路121水平设置于所述连接结构123上。具体的，可以选取多根高度相同的所述连接柱1230设置于所述装载端口110上，从而形成一呈平面的支撑面。

在本申请的其他实施例中，所述支撑面也可以为曲面。例如，可以通过多根高度不相同的所述连接柱1230形成一呈曲面的支撑面。进一步的，多根所述连接柱1230在所述装载端口110上设置方式可以不同，例如深入所述装载端口110的长度不同，由此，也可以通过多根高度相同的所述连接柱1230形成一呈曲面的支撑面；或者，通过多根高度不相同的所述连接柱1230形成一呈平面的支撑面。

其中，所述管路121的材质和所述连接结构123的材质可以相同，也可以不相同。例如，所述管路121和所述连接结构123的材质可以均为金属材料或者可以均为树脂材料或者分属于金属材料和树脂材料。在本申请的一个实施例中，例如所述管路121和所述连接结构123的材质均为不锈钢。进一步的，所述管路121和所述连接结构123可以一体形成，也可以分别形成后通过焊接、胶接等方式固定连接。

进一步的，所述设备前端装置10还包括传感器130，所述传感器130设置于所述装载端口110上。所述传感器130用于感测所述前开式晶圆盒100的位置，以便于更好地控制所述净化装置120。在本申请中，所述净化装置120的开启与关闭以及所述净化装置120相对于所述前开式晶圆盒100的位置，可以通过手动控制，也可以通过自动控制，本申请对此不作限定。

例如，通过手动控制所述动力设备122的开启与关闭以及所述管路121相对于所述前开式晶圆盒100的位置，以实现手动控制方式吸取所述前开式晶圆盒100中的杂质。又如，在所述传感器130感测到所述前开式晶圆盒100的位置后，发送一位置信号，以控制所述动力设备122的开启与关闭以及所述管路121相对于所述前开式晶圆盒100的位置，从而实现自动控制方式吸取所述前开式晶圆盒100中的杂质，具体的，可以采用现有的自动控制技术，本申请对此不作限定。

综上可见，在本实用新型实施例提供的设备前端装置中，所述设备前端装置包括前开式晶圆盒、装载端口和净化装置，所述净化装置能够吸取所述前开式晶圆盒中的杂质，由此能够减少所述前开式晶圆盒中的水汽或者酸气，从而避免/减轻了对所述前开式晶圆盒中的晶圆造成腐蚀，提高了制程的可靠性。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种设备前端装置，其特征在于，所述设备前端装置包括：前开式晶圆盒、装载端口和净化装置，其中，所述净化装置设置于所述装载端口上，所述净化装置能够吸取所述前开式晶圆盒中的杂质。

2.如权利要求1所述的设备前端装置，其特征在于，所述净化装置包括管路以及与所述管路连接的动力设备，所述管路上设置有一孔洞段，所述孔洞段上设置有多个孔洞。

3.如权利要求2所述的设备前端装置，其特征在于，所述管路上还设置有开关。

4.如权利要求2所述的设备前端装置，其特征在于，所述孔洞段的长度等于或者小于所述前开式晶圆盒的宽度。

5.如权利要求2所述的设备前端装置，其特征在于，所述净化装置还包括连接结构，所述连接结构设置于所述装载端口上，所述管路设置于所述连接结构上。

6.如权利要求5所述的设备前端装置，其特征在于，所述管路固定于所述连接结构上，所述连接结构可动地设置于所述装载端口上。

7.如权利要求6所述的设备前端装置，其特征在于，所述连接结构能够在所述装载端口上转动、移动和/或伸缩。

8.如权利要求5所述的设备前端装置，其特征在于，所述连接结构包括多根连接柱，多根所述连接柱平行设置于所述装载端口上。

9.如权利要求8所述的设备前端装置，其特征在于，多根所述连接柱形成一支撑面，所述支撑面的高度大于或者等于所述前开式晶圆盒底壁的厚度。

10.如权利要求1～9中任一项所述的设备前端装置，其特征在于，所述设备前端装置还包括传感器，所述传感器设置于所述装载端口上。