JPH034031Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案はICチツプ等の高密度実装素子の特性
を測定する際に使用されるプローブカードの位置
決め機構に関する。

〈従来の技術〉 プローバによるICチツプ等の特性の測定には、
プローブカードが使用されている。この作業を行
うにあたつては、プローバに取り付けられたマザ
ーボードにプローブカードを挿入した後、プロー
ブカードを顕微鏡等の目視作業にて微細距離移動
させ、ウエハ上に多数個形成されたICチツプの
電極である一辺が約70乃至120μｍのパツドに直
径約50μｍの探針の先端を接触させている。

このプローブカードは約100万回の作業（つま
り、前記パツドに接触させること）に耐えられる
だけの耐久性を有している。つまり、約100万回
の作業を行つたプローブカードは交換される必要
があるのである。

〈考案が解決しようとする問題点〉 しかしながら、上記したICチツプの特性測定
は無塵のいわゆるクリーンルームにて行わなけれ
ばなならない。従つて、作業者がクリーンルーム
内部に立ち入ることはできるだけ少なくすること
が必要とされているが、上記したプローブカード
の交換作業は人間が行つているため、この作業終
了後にはクリーンルーム内部を再び無塵化するた
めの作業が必要になつている。

また、上記したパツドは一辺が約70乃至120μ
ｍの正方形であるので、プローブカードをマザー
ボードに取り付けた際には、必ず探針がその視野
内に位置するようになつていなければならない。
しかし、プローブカードに開設されたガイド孔と
マザーボードから突設されたガイドとの対応が狂
つていると（往々にしてガイド孔を開設するドリ
ル等の誤差によつて狂いがちである）プローブカ
ードがマザーボードに対して正確に位置決めされ
ない。従つて、いちいち人手により最初の調節を
行わないとICチツプの正確な特性の測定を行う
ことができないという問題点を有している。

本考案は上記事情に鑑みて創案されたもので、
プローブカード交換作業時にクリーンルーム内部
に作業者が立ち入る必要がなく、さらにプローブ
カードがマザーボードに対して正確に位置決めさ
れることのできるプローブカードの位置決め機構
を提供することを目的としている。

〈問題点を解決するための手段〉 本考案に係るプローブカードの位置決め機構
は、プローバに取り付けられたマザーボードと、
そのマザーボードに取り付けられる支持板と、プ
ローブカードとを具備しており、前記プローブカ
ードはその略中心を通る直線上に少なくとも２つ
の段付孔が開設され、この段付孔には若干小さめ
のワツシヤが嵌入されており、一方支持板には前
記ワツシヤに対応したガイドが突設されており、
このガイドに前記ワツシヤを挿入することによ
り、プローブカードの複数本の探針の先端が所定
の位置になるべくワツシヤとプローブカードの位
置を調整し接着剤で固定して構成されている。

〈作用〉 プローブカードの段付孔に固定されたワツシヤ
に支持板を取り付け、それをプローバに取り付け
られたマザーボードに挿入する。

〈実施例〉 以下、図面を参照して本考案に係る一実施例を
説明する。

第１図は本考案に係るプローブカードの位置決
め機構の一実施例を示す断面図、第２図は本考案
に係るプローブカードの位置決め機構のプローブ
カードの平面図、第３図はプローブカードにワツ
シヤを固定する工具の概念図、第４図は該工具に
ウエハを取り付ける位置決めゲージである。

本考案に係るプローブカードの位置決め機構
は、図示しないプローバに適宜な手段にて取り付
けられるマザーボード２０と、マザーボード２０
に取り付けられる支持板２３及びプローブカード
１０とを具備しており、前記プローブカード１０
はその略中心を通る直線Ｌ上に少なくとも２つの
段付孔１１が開設され、この段付孔１１には若干
小さめのワツシヤ１２が固定されており、一方支
持板２３には前記ワツシヤ１２に対応したガイド
２１が突設されており、このガイド２１に前記ワ
ツシヤ１２を挿入することにより、プローブカー
ド１０の複数本の探針１３の先端が所定の位置に
なるべく構成されている。

前記プローブカード１０は略正方形状又は円形
をなしており、その略中央部には円形の開口１４
が開設され、この開口１４には中心に向かつて傾
斜した絶縁リング１４１が取り付けられており、
この絶縁リング１４１の斜面１４１ａには絶縁性
の接着剤等（例えば、エポキシ系樹脂）でタング
ステン等からなる複数本（第２図では14本）の探
針１３が取り付けられている。この探針１３はプ
ローブカード１０に穿設されたスルーホール１５
に接続されている。

前記ワツシヤ１２の中心には貫通孔１２１が開
設されている。当該ワツシヤ１２が段付孔１１よ
り若干小さめなのは、ワツシヤ１２を段付孔１１
内にて微細距離移動させる後述する作業のためで
ある。また、前記直線Ｌ以外の部分には取付孔１
６が開設されている。この取付孔１６は当該プロ
ーブカード１０の取付方向を示すものである。

前記マザーボード２０は略長方形状又は円形を
なしている。前記プローブカード１０を取り付け
た場合に、プローブカード１０のスルーホール１
５に挿入される複数個の接触ピン（図示省略）が
形成されている。また、当該支持板２３には前記
プローブカード１０の開口１４よりも若干大きめ
の開口２２が開設されており、この開口２２の中
心を通過する対角線の略両端部には、前記ワツシ
ヤ１２の貫通孔１２１に精合するガイド２１が突
設されている。さらに、前記取付孔１６に対応す
る取付ガイド（図示省略）が突設されている。な
お、前記探針はスルーホール１５を通じ支持板２
３、マザーボード２０を通つて、プローバに接続
する。これらは本図には示されていない。

上記構成によるプローブカード１０を支持板２
３に取り付けるに際しては、取付孔１６に取り付
ガイドを、またワツシヤ１２の貫通孔１２１にガ
イド２１をそれぞれ対応させて取り付ける。取付
ガイドと取付孔１６によつてプローブカード１０
の支持板２０に対する取付方向は常に同一方向に
なる。

次に、上記プローブカード１０の製作手順につ
いて、第３図により説明する。

第３図は本考案のプローブカード製作用の工具
５０である。本工具５０は基台の上に取り付けら
れたウエハ取付用のＸ−Ｙテーブル２と、プロー
ブカード１０を取り付け、上下前後左右に調節で
きるＸ−Ｙ−Ｚテーブル１及び探針先端が観察で
きる顕微鏡（図示せず）を具備するものとする。
当然ながらＸ−Ｙテーブル２、Ｘ−Ｙ−Ｚテーブ
ル１は任意の位置出固定できる。図面のガイド棒
５１は前記支持板２３のガイド２１と同一位置、
寸法として基台に固定される。

次に手順について説明する。

ウエハ台４２にウエハ４０を載せる。

第４図はプローブカード１０の２ケの段付孔
１１と座標軸を示す直交細線３２を刻したガラ
ス等でできた透明のゲージ板３０である。この
ゲージ板３０の孔３１に工具５０にある２本の
ガイド棒５１を通してウエハ４０上にゲージ板
３０をのせる。

Ｘ−Ｙテーブル２を調節してウエハ４０の座
標軸をゲージ板３０の座標軸と合わせ、Ｘ−Ｙ
テーブル２を固定し、ゲージ板３０を取り外
す。

Ｘ−Ｙ−Ｚテーブル１にプローブカード１０
を取り付ける。Ｘ−Ｙ−Ｚテーブル１を調節し
てプローブカード１０の針先をウエハ４０上の
パツド４１１に正しく合わせ、Ｘ−Ｙ−Ｚテー
ブル１を固定する。

ワツシヤ１２をガイド棒５１にはめる。

接着剤をぬり、プローブカード１０の基板と
ワツシヤ１２を固定する。

〈考案の効果〉 本考案に係るプローブカードの位置決め機構に
よると、予めプローブカードの支持板に対する位
置、つまりICチツプのパツドに対する探針の先
端の位置が正確に設定されているため、プローブ
カードの交換作業を自動化が可能で、作業者がク
リーンルームに立ち入る必要がない。従つて、ク
リーンルーム内は常に無塵状態にある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るプローブカードの位置決
め機構の一実施例を示す断面図、第２図は本考案
に係るプローブカードの位置決め機構のプローブ
カードの平面図、第３図はプローブカードにワツ
シヤを固定する工具の概念図、第４図は該工具に
ウエハを取り付ける位置決めゲージである。 １０……プローブカード、１１……段付孔、１
２……ワツシヤ、１３……探針、２０……マザー
ボード、２１……ガイド、２３……支持板、Ｌ…
…プローブカードの略中心を通る直線。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. プローバに取り付けられた支持板と、支持板に
   取り付けられるプローブカードとを具備してお
   り、前記プローブカードはその略中心を通る直線
   上に少なくとも２つの段付孔が開設され、この段
   付孔には若干小さめのワツシヤが嵌入されてお
   り、一方支持板には前記ワツシヤに対応したガイ
   ドが突設されており、このガイドに前記ワツシヤ
   を挿入することにより、プローブカードの複数本
   の探針の先端が支持板に対し所定の位置になるべ
   くワツシヤとプローブカードとの関係位置を調整
   し接着剤で固定して構成されたことを特徴とする
   プローブカードの位置決め機構。